JP3997480B2 - 板状部材研磨方法及びその装置 - Google Patents

板状部材研磨方法及びその装置 Download PDF

Info

Publication number
JP3997480B2
JP3997480B2 JP2002289968A JP2002289968A JP3997480B2 JP 3997480 B2 JP3997480 B2 JP 3997480B2 JP 2002289968 A JP2002289968 A JP 2002289968A JP 2002289968 A JP2002289968 A JP 2002289968A JP 3997480 B2 JP3997480 B2 JP 3997480B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polishing
plate
eccentric
tape
head
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2002289968A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004122294A (ja
Inventor
信和 細貝
Original Assignee
株式会社サンシン
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社サンシン filed Critical 株式会社サンシン
Priority to JP2002289968A priority Critical patent/JP3997480B2/ja
Publication of JP2004122294A publication Critical patent/JP2004122294A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3997480B2 publication Critical patent/JP3997480B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は例えば多層プリント配線基板、液晶カラーフィルタ、プラズマデイスプレイパネル、TAB(Tape Automated Bonding)用テープ、銅板等の表面研磨に用いられる板状部材研磨方法及びその装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
【0003】
【特許文献】
特許第3069614号公報
【0004】
この種の多層プリント配線基板、液晶カラーフィルタ、銅板等の板状部材の研磨方法及びその装置として、図11の如く、板状部材Wを保持台Hに保持し、この保持台Hを送り運動Kさせると共に砥粒を固定したラッピングフィルムFからなる研磨機構をもつ研磨ヘッドを保持台Hの送り運動K方向と交差する方向に揺振研磨運動Yさせ、さらに、ラッピングフィルムFを送り運動K方向に一方向移送Eさせて板状部材Wの研磨面を研磨する構造のものが知られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来構造の場合、ラッピングフィルムの揺振研磨運動Y及び又はラッピングフィルムFの一方向移送E並びに板状部材の送り運動Kにより板状部材Wを研磨する構造であるが、板状部材の研磨面の表面あらさ及び平滑度等において限界があるという不都合を有している。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明はこのような課題を解決することを目的とするもので、本発明のうちで、請求項1記載の装置の発明は、板状部材を保持可能な保持台と、該板状部材の研磨面を研磨可能な研磨機構をもつ研磨ヘッドと、該研磨ヘッドを研磨運動させる研磨運動機構と、該保持台を送り運動させる送り機構と、該研磨ヘッドを上下移動させる上下移動機構を設けてなり、上記研磨運動機構を上記研磨ヘッドを円軌跡平面研磨運動させる両偏心輪機構により構成すると共に該研磨ヘッドを上記保持台の送り運動方向と交差する方向に往復運動させる往復運動機構を設け、該両偏心輪機構として、並列状に縦設された一対の支持軸と、該両支持軸に形成された該各支持軸の回転軸線より偏心した偏心軸線をもつ偏心軸部からなる偏心輪機構と、該支持軸を回転させる円軌跡用モータとを備えてなることを特徴とする板状部材研磨装置にある。
【0007】
又、請求項2記載の装置の発明は、上記研磨機構は、表面に砥粒を固定したラッピングフィルムと、該ラッピングフィルムを移送可能な移送機構と、該ラッピングフィルムの表面を上記板状部材の研磨面に圧接可能な圧接機構とからなることを特徴とするものであり、又、請求項記載の発明は、上記研磨機構は、ポリッシングテープと、該ポリッシングテープを移送可能な移送機構と、該ポリッシングテープの表面と上記板状部材の研磨面との間に砥粒を含むスラリーを供給可能なスラリー供給機構と、該ポリッシングテープの表面を上記板状部材の研磨面に圧接可能な圧接機構とからなることを特徴とするものであり、又、請求項記載の発明は、上記研磨機構は、ポリッシングシートと、該ポリッシングシートを貼着固定可能なパッド機構と、該ポリッシングシートの表面と上記板状部材の研磨面との間に砥粒を含むスラリーを供給可能なスラリー供給機構と、該ポリッシングシートの表面を上記板状部材の研磨面に圧接可能な圧接機構とからなることを特徴とするものである。
【0008】
【発明の実施の形態】
図1乃至図11は本発明の実施の形態例を示し、図1乃至図7は第一形態例、図8は第二形態例、図9は第三形態例、図10は第四形態例である。
【0009】
図1乃至図7の第一形態例において、1は機台、2は保持台、3は送り機構であって、この場合、機台1上に摺動部5により前後方向に移動自在に保持台2を配設し、この保持台2を送り用モータ6及びボールネジ機構7により送り運動させるように設け、この保持台2に多層プリント配線基板や液晶カラーフィルタ等の研磨すべき板状部材Wを研磨面W1を上面にして位置決め状態で固定載置可能な図外の吸着固定機構を配設している。
【0010】
8は研磨ヘッド、9は上下動機構、10は研磨機構、11は研磨運動機構、往復運動機構12であって、この場合、機台1に門形の支柱部材13を立設し、支柱部材13に往復運動台14を摺動部15により保持台2の送り運動方向Kと交差する方向に水平往復運動自在に設け、往復運動台14を往復運動させる往復動用モータ16及びボールネジ機構17を設け、往復運動台14に柱部材18を立設し、柱部材18に上下移動台19を摺動部20aにより上下移動自在に配設し、この上下移動台19を上下移動用モータ20及びボールネジ機構21により上下移動させるように設け、この上下移動台19に研磨機構10をもつ研磨ヘッド8及び研磨運動機構11を設けて構成している。
【0011】
この場合、上記研磨運動機構11として、上記研磨ヘッド8を円軌跡平面研磨運動させる両偏心輪機構22が用いられ、上記上下移動台13に並列状に一対の支持軸23・23を軸受24・24により回転自在に縦設し、この各支持軸23・23の下部に偏心輪機構Q・Qとしての支持軸23・23の回転軸線B・Bより偏心量ε分偏心した偏心軸線D・Dをもつ偏心軸部23a・23aを形成し、この偏心軸部23a・23aに研磨ヘッド8の構成部材である保持部材26を軸受26a・26aにより軸受し、かつ、支持軸23・23の上部に支持軸23・23の回転軸線B・Bより偏心量ε分偏心すると共に上記偏心軸線D・Dに対して90度の回転位相差をもつ偏心軸線N・Nを有する偏心軸部23b・3bを形成し、偏心軸部23b・23bの間にリンク部材27を軸受27a・27aにより架設し、上下移動台19に円軌跡運動用モータ25を取付け、円軌跡用モータ25の主軸を一方の支持軸23に連結し、しかして、円軌跡用モータ25により一方の支持軸23を回転させることにより保持部材26を円軌跡平面運動させるように構成している。
【0012】
又、この場合、上記研磨機構10は、表面に砥粒を固定したテープ状のラッピングフィルムFと、ラッピングフィルムFを移送可能な移送機構28と、ラッピングフィルムFの表面を上記板状部材Wの研磨面W1に圧接可能な圧接機構29とからなり、すなわち、上記保持部材26に取付部材30を摺動部31・31により上下動自在に設け、保持部材26に上下動用シリンダ32・32を取付け、上下動用シリンダ32・32のロッドを取付部材30の取付片30a・30aに連結し、取付部材30に圧接部材33を取り付け、取付部材30にラッピングフィルムFを巻き取った実巻リール34及び実巻リール34から解かれたラッピングフィルムFを巻き取る空リール35を架設し、この実巻リール35及び空リール35を図示省略の制御モータにより制御回転させると共に図示省略のフィルム送り用モータによりラッピングフィルムFを実巻リール34から空リール35へと案内ロール36・36及び圧接機構29の圧接部材33の圧接面33aを介して連続的又は間欠的に移送案内するように構成している。
【0013】
このラッピングフィルムFは、例えば、ポリエステルフィルム、メタル、クロス等のテープ状の基材の表面に酸化アルミニュウム、酸化クロム、シリコンカーバイド、ダイヤモンド等の所定粒度の砥粒をコーティング又は結合してなる構造のものが用いられている。
【0014】
この実施の第一形態例は上記構成であるから、研磨すべき板状部材Wを保持台2に保持し、保持台2を送り機構3により送り運動Kさせると共に研磨機構10をもつ研磨ヘッド8を上下動機構9により下降させ、板状部材Wを研磨運動機構11により研磨運動する研磨機構10により研磨することになり、この際、上記研磨ヘッド8は両偏心輪機構22により円軌跡運動すると共に往復運動機構12により送り運動K方向と交差する方向に往復運動してひらがなのの文字を連続して描くような円軌跡平面研磨運動Rをすることになり、このため、板状部材Wの研磨面W1の表面あらさ及び平滑度等を向上することができ、良好な研磨加工を行うことができる。
【0015】
この場合、上記両偏心輪機構22は、並列状に縦設された一対の支持軸23・23と、両支持軸23・23の下部にそれぞれ設けられた偏心輪機構Q・Qとからなるので、円軌跡平面研磨運動を円滑に行うことができると共に構造を簡素化することができ、又、この場合、上記研磨機構10は、表面に砥粒を固定したラッピングフィルムFと、ラッピングフィルムFを移送可能な移送機構28、ラッピングフィルムFの表面を上記板状部材Wの研磨面W1に圧接可能な圧接機構29とからなるので、表面に固定された砥粒による所謂固定砥粒による研磨作用がなされ、加えて、ラッピングフィルムFの一方向移送Eによる研磨作用がなされ、研磨すべき板状部材Wの研磨条件に応じた良好な研磨加工を行うことができる。
【0016】
図8の第二形態例は別例構造を示し、この場合、上記研磨機構10は、上記第一形態例のラッピングフィルムFに代えてポリッシングテープPが用いられ、加えて、このポリッシングテープPの表面と上記板状部材Wの研磨面W1との間に砥粒を含むスラリーGを給送ノズル37aより噴出供給可能なスラリー供給機構37が設けられ、その他は同一構造が採用されている。
【0017】
このポリッシングテープPは、例えば、不織布基体層に発泡ウレタン樹脂をスエード革状に形成した構造や不織布単一特殊構造の帯状のものが用いられ、スラリーGとしては、例えば、酸化アルミニュウム、酸化クロム、シリコンカーバイド、ダイヤモンド等の所定粒度の砥粒を加工液や化学液に混合させてなるものが用いられる。
【0018】
この第二形態例は上記構成であるから、上記第一形態例と同様な作用効果を得ることができると共にスラリー供給機構37からのスラリーGに含まれる砥粒による所謂遊離砥粒による研磨作用がなされ、研磨すべき板状部材Wの研磨条件に応じた良好な研磨加工を行うことができる。
【0019】
図10の第三形態例は別例構造を示し、この場合、上記研磨機構10は、上記第二形態例の帯状のポリッシングテープPに代えてポリッシングテープPと同様な構造の例えば円板状や四角板状のシート状のポリッシングシートSが用いられ、かつ、ポリッシングテープPを移送可能な移送機構28に代えてシート状のポリッシングシートSを貼着固定可能な圧接部材33をもつパッド機構38を設けてなり、その他は同一構造が採用されている。
【0020】
この第三形態例は上記構成であるから、上記第二形態例と同様な作用効果を得ることができると共にパッド機構38に固定されたシート状のポリッシングシートSによる研磨作用を得ることができ、研磨すべき板状部材Wの研磨条件に応じた良好な研磨加工を行うことができる。
【0021】
図11の第四形態例は別例構造を示し、この場合、上記研磨機構10は、上記第三形態例の圧接部材33の圧接面33aが平坦面であるのに対し、この圧接部材33の圧接面33aを凹凸面に形成し、凸面部分にシート状のポリッシングシートSを貼着した構造とされ、その他は同一構造が採用されている。
【0022】
この第四形態例は上記構成であるから、上記第三形態例と同様な作用効果を得ることができると共にパッド機構38に固定されたシート状のポリッシングシートSによる研磨作用を得ることができると共に凹凸面となっている圧接面33aの凹部分が切粉の逃げ部分として作用することになり、研磨すべき板状部材Wの研磨条件に応じた良好な研磨加工を行うことができる。
【0023】
尚、本発明は上記実施の形態例に限られるものではなく、移動機構2、保持台4、移送機構7、圧接機構8、圧接部材21、揺振機構18の構造や支持軸26、偏心輪機構20の構造等は適宜変更して設計される。
【0024】
又、本発明は上記実施の形態例に限られるものではなく、例えば、送り機構3、上下動機構9、研磨機構10、往復運動機構12両偏心輪機構22、圧接機構29、移送機構28、スラリー供給機構37の構造やラッピングフィルムF、ポリッシングテープP、ポリッシングシートSの材質等は板状部材Wの種類や研磨条件により選択して設計される。
【0025】
【発明の効果】
本発明は上述の如く、請求項記載の発明にあっては、板状部材を保持可能な保持台と、該板状部材の研磨面を研磨可能な研磨機構をもつ研磨ヘッドと、該研磨ヘッドを研磨運動させる研磨運動機構と、該保持台を送り運動させる送り機構と、該研磨ヘッドを上下移動させる上下移動機構を設けてなり、上記研磨運動機構を上記研磨ヘッドを円軌跡平面研磨運動させる両偏心輪機構により構成すると共に該研磨ヘッドを上記保持台の送り運動方向と交差する方向に往復運動させる往復運動機構を設け、該両偏心輪機構として、並列状に縦設された一対の支持軸と、該両支持軸に形成された該各支持軸の回転軸線より偏心した偏心軸線をもつ偏心軸部からなる偏心輪機構と、該支持軸を回転させる円軌跡用モータ とを備えてなるから、板状部材を保持台に保持し、保持台を送り機構により送り運動させると共に研磨機構をもつ研磨ヘッドを研磨運動させて板状部材を研磨することになり、この際、上記研磨ヘッドは両偏心輪機構により円軌跡運動すると共に往復運動機構により送り運動方向と交差する方向に往復運動してひらがなのの文字を連続して描くような円軌跡平面研磨運動をすることになり、このため、板状部材の研磨面の表面あらさ及び平滑度等を向上することができ、円軌跡平面研磨運動を円滑に行うことができると共に構造を簡素化することができ、良好な研磨加工を行うことができる。
【0026】
又、請求項記載の発明にあっては、上記研磨機構は、表面に砥粒を固定したラッピングフィルムと、ラッピングフィルムを移送可能な移送機構、ラッピングフィルムの表面を上記板状部材の研磨面に圧接可能な圧接機構とからなるので、円軌跡運動すると共に送り運動方向と交差する方向に往復運動してひらがなのの文字を連続して描くような円軌跡平面研磨運動に加えて、表面に固定された砥粒による所謂固定砥粒による研磨作用がなされ、加えて、ラッピングフィルムの一方向移送による研磨作用がなされ、研磨すべき板状部材の研磨条件に応じた良好な研磨加工を行うことができる。
【0027】
又、請求項記載の発明にあっては、上記研磨機構は、ポリッシングテープと、ポリッシングテープを移送可能な移送機構と、ポリッシングテープの表面と上記板状部材の研磨面との間に砥粒を含むスラリーを供給可能なスラリー供給機構と、ポリッシングテープの表面を上記板状部材の研磨面に圧接可能な圧接機構とからなるので、上記円軌跡平面研磨運動に加えて、スラリー供給機構からのスラリーに含まれる砥粒による所謂遊離砥粒による研磨作用がなされ、研磨すべき板状部材の研磨条件に応じた良好な研磨加工を行うことができる。
【0028】
又、請求項記載の発明にあっては、上記研磨機構は、ポリッシングシートと、ポリッシングシートを貼着固定可能なパッド機構と、ポリッシングシートの表面と上記板状部材の研磨面との間に砥粒を含むスラリーを供給可能なスラリー供給機構と、ポリッシングシートの表面を上記板状部材の研磨面に圧接可能な圧接機構とからなるので、上記円軌跡平面研磨運動に加えて、パッド機構に固定されたポリッシングシートによる研磨作用を得ることができ、研磨すべき板状部材の研磨条件に応じた良好な研磨加工を行うことができる。
【0029】
以上、所期の目的を充分達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の第一形態例の全体正面図である。
【図2】 本発明の実施の第一形態例の部分側断面図である。
【図3】 本発明の実施の第一形態例の全体平面図である。
【図4】 本発明の実施の第一形態例の部分縦断面図である。
【図5】 本発明の実施の第一形態例の部分平断面図である。
【図6】 本発明の実施の第一形態例の部分正面図である。
【図7】 本発明の実施の第一形態例の部分斜視図である。
【図8】 本発明の実施の第二形態例の部分正面図である。
【図9】 本発明の実施の第三形態例の部分正面図である。
【図10】 本発明の実施の第四形態例の部分正面図である。
【図11】 従来構造の部分斜視図である。
【符号の説明】
W 板状部材
F ラッピングフィルム
P ポリッシングテープ
S ポリッシングシート
R 円軌跡平面研磨運動
偏心軸線
偏心軸線
2 保持台
3 送り機構
9 上下動機構
10 研磨機構
11 研磨運動機構
12 往復運動機構
22 両偏心輪機構
23a 偏心軸部
23b 偏心軸部
23 支持軸
25 円軌跡運動用モータ
28 移送機構
29 圧接機構
37 スラリー供給機構

Claims (4)

  1. 板状部材を保持可能な保持台と、該板状部材の研磨面を研磨可能な研磨機構をもつ研磨ヘッドと、該研磨ヘッドを研磨運動させる研磨運動機構と、該保持台を送り運動させる送り機構と、該研磨ヘッドを上下移動させる上下移動機構を設けてなり、上記研磨運動機構を上記研磨ヘッドを円軌跡平面研磨運動させる両偏心輪機構により構成すると共に該研磨ヘッドを上記保持台の送り運動方向と交差する方向に往復運動させる往復運動機構を設け、該両偏心輪機構として、並列状に縦設された一対の支持軸と、該両支持軸に形成された該各支持軸の回転軸線より偏心した偏心軸線をもつ偏心軸部からなる偏心輪機構と、該支持軸を回転させる円軌跡用モータとを備えてなることを特徴とする板状部材研磨装置。
  2. 上記研磨機構は、表面に砥粒を固定したラッピングフィルムと、該ラッピングフィルムを移送可能な移送機構と、該ラッピングフィルムの表面を上記板状部材の研磨面に圧接可能な圧接機構とからなることを特徴とする請求項記載の板状部材研磨装置。
  3. 上記研磨機構は、ポリッシングテープと、該ポリッシングテープを移送可能な移送機構と、該ポリッシングテープの表面と上記板状部材の研磨面との間に砥粒を含むスラリーを供給可能なスラリー供給機構と、該ポリッシングテープの表面を上記板状部材の研磨面に圧接可能な圧接機構とからなることを特徴とする請求項記載の板状部材研磨装置。
  4. 上記研磨機構は、ポリッシングシートと、該ポリッシングシートを貼着固定可能なパッド機構と、該ポリッシングシートの表面と上記板状部材の研磨面との間に砥粒を含むスラリーを供給可能なスラリー供給機構と、該ポリッシングシートの表面を上記板状部材の研磨面に圧接可能な圧接機構とからなることを特徴とする請求項記載の板状部材研磨装置。
JP2002289968A 2002-10-02 2002-10-02 板状部材研磨方法及びその装置 Expired - Lifetime JP3997480B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002289968A JP3997480B2 (ja) 2002-10-02 2002-10-02 板状部材研磨方法及びその装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002289968A JP3997480B2 (ja) 2002-10-02 2002-10-02 板状部材研磨方法及びその装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004122294A JP2004122294A (ja) 2004-04-22
JP3997480B2 true JP3997480B2 (ja) 2007-10-24

Family

ID=32281985

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002289968A Expired - Lifetime JP3997480B2 (ja) 2002-10-02 2002-10-02 板状部材研磨方法及びその装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3997480B2 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4688520B2 (ja) * 2005-02-21 2011-05-25 株式会社タムラ製作所 精密研削装置
JP5132971B2 (ja) * 2007-04-04 2013-01-30 日本ミクロコーティング株式会社 研磨装置及び研磨方法
JP4505600B1 (ja) * 2009-06-19 2010-07-21 レーザーテック株式会社 欠陥修正方法及び装置
CN102059632B (zh) * 2010-09-23 2012-08-22 广东科豪木工机械有限公司 一种用于砂边机的调节式压模块
CN102446788A (zh) * 2010-09-30 2012-05-09 京东方科技集团股份有限公司 修理基板凸起不良的设备和方法
CN112975717B (zh) * 2021-04-07 2022-03-11 哈尔滨职业技术学院 一种计算机外壳抛光装置及其操作方法
CN114227442B (zh) * 2021-12-15 2023-05-02 佛山市铭德塑料有限公司 一种塑料件生产用去飞边装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2004122294A (ja) 2004-04-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100259702B1 (ko) 표면연마가공방법 및 그 장치
KR960002336B1 (ko) 유리판의 평면연마기계
US6902466B2 (en) Oscillating chemical mechanical planarization apparatus
EP1738870A1 (en) Polisher
JP2007075943A (ja) 角形状基板の両面研磨装置および両面研磨方法
JP3997480B2 (ja) 板状部材研磨方法及びその装置
US20020164936A1 (en) Chemical mechanical polisher with grooved belt
JP6851068B2 (ja) 研削・研磨複合加工装置及び研磨装置
JP5464497B2 (ja) 基板研磨方法及びその装置
EP1432017A1 (en) Polishing head and semiconductor wafer end face polishing machine
JPH05329759A (ja) ウエハー材縁端面研磨装置
JPH1199458A (ja) 板状部材角縁面取装置
JP4751115B2 (ja) 角形状基板の両面研削装置および両面研削方法
JPH081494A (ja) ウエハー材縁端部研磨装置
JP2005066783A (ja) 板状部材研磨方法及びその装置
JP7284852B2 (ja) 研磨ユニット
KR100926025B1 (ko) 직사각형 기판의 양면 연마 장치 및 양면 연마 방법
JP3966030B2 (ja) 板状部材研磨装置
TW528644B (en) Polishing device
JP3404579B2 (ja) 両端軸状部研磨装置
JP2000024901A (ja) 研磨装置
JPH05329760A (ja) ガラス基板角縁面研磨装置
JPH10291147A (ja) 板ガラスの研磨方法及び装置
JP7066805B1 (ja) 研磨ユニット
JPH09248752A (ja) デバイスウエハ表面平坦化研磨加工方法及びその装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050908

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070406

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070410

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070607

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070703

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070725

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3997480

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100817

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110817

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120817

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120817

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130817

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term