JPH1199458A - 板状部材角縁面取装置 - Google Patents
板状部材角縁面取装置Info
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- JPH1199458A JPH1199458A JP26466197A JP26466197A JPH1199458A JP H1199458 A JPH1199458 A JP H1199458A JP 26466197 A JP26466197 A JP 26466197A JP 26466197 A JP26466197 A JP 26466197A JP H1199458 A JPH1199458 A JP H1199458A
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- tape
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 旋回機構によりテープ走行機構を旋回させる
ことにより板状部材の両角縁の面取り加工がなされ、板
状部材の端面も研磨加工することができ、又、連続往復
旋回させることにより両角縁及び端面を連続的に面取り
加工することができ、板状部材の両角縁を研磨テープに
より面取り加工することができる。 【解決手段】 板状部材Ｗを保持可能な保持部４をもつ
保持機構３と、研磨テープを移送可能なテープ移送機構
１１と、研磨テープを板状部材の角縁に圧接させる圧接
機構１２とを備えてなり、上記研磨テープを上記板状部
材の角縁の延びる方向と交差する方向に角度旋回させる
旋回機構１４を具備してなる。
ことにより板状部材の両角縁の面取り加工がなされ、板
状部材の端面も研磨加工することができ、又、連続往復
旋回させることにより両角縁及び端面を連続的に面取り
加工することができ、板状部材の両角縁を研磨テープに
より面取り加工することができる。 【解決手段】 板状部材Ｗを保持可能な保持部４をもつ
保持機構３と、研磨テープを移送可能なテープ移送機構
１１と、研磨テープを板状部材の角縁に圧接させる圧接
機構１２とを備えてなり、上記研磨テープを上記板状部
材の角縁の延びる方向と交差する方向に角度旋回させる
旋回機構１４を具備してなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は例えば液晶パネル、
カラー液晶フィルタの構成要素としてのガラス板やシリ
コンからなる半導体ウエハー、電子部品となる基板材と
しての銅板、アルミ板等の各種の板状部材の角縁の面取
り加工に用いられる板状部材角縁面取装置に関するもの
である。
カラー液晶フィルタの構成要素としてのガラス板やシリ
コンからなる半導体ウエハー、電子部品となる基板材と
しての銅板、アルミ板等の各種の板状部材の角縁の面取
り加工に用いられる板状部材角縁面取装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来この種のガラス基板や半導体ウエハ
ー、銅板等の角縁を加工する装置としてベベリング装置
なるものが知られている。
ー、銅板等の角縁を加工する装置としてベベリング装置
なるものが知られている。
【０００３】これら液晶パネルは図１１に示す如く、二
枚のガラス板Ｇの間に液晶を封止して形成され、又、ウ
エハー材は図１５に示す如く、シリコン等の薄板状であ
って、円周状の縁端Ｆ1及び直線状の縁端Ｆ2からなる縁
端Ｆを有している。
枚のガラス板Ｇの間に液晶を封止して形成され、又、ウ
エハー材は図１５に示す如く、シリコン等の薄板状であ
って、円周状の縁端Ｆ1及び直線状の縁端Ｆ2からなる縁
端Ｆを有している。
【０００４】そしてこれら板状部材の角縁は鋭利となっ
ており、鋭利な角縁のままでは取り扱いに危険であるこ
と及び鋭利な角縁からのチッピングが生じ易いこと等か
ら角縁の両面取り加工がなされるものである。
ており、鋭利な角縁のままでは取り扱いに危険であるこ
と及び鋭利な角縁からのチッピングが生じ易いこと等か
ら角縁の両面取り加工がなされるものである。
【０００５】しかして、上記ベベリング装置は、ガラス
板にあっては平坦な外周面をもつ回転砥石を用い、ウエ
ハー材にあっては縁端に適合させた凹周面を有する回転
砥石を用い、この回転砥石をガラス板やウエハー材等の
板状部材Ｗの縁端に圧接させて角縁の面取加工を行うよ
うに構成されている。
板にあっては平坦な外周面をもつ回転砥石を用い、ウエ
ハー材にあっては縁端に適合させた凹周面を有する回転
砥石を用い、この回転砥石をガラス板やウエハー材等の
板状部材Ｗの縁端に圧接させて角縁の面取加工を行うよ
うに構成されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら回転砥石
を用いる従来構造の場合、砥石のドレッシング加工が不
可欠となり、かつ砥石の回転作用のみによる研磨作用で
あるため満足し得る研磨面の状態にならないことがある
とともに回転砥石の回転圧接によって板状部材の角縁の
チッピングが生じ易いという不都合を有している。
を用いる従来構造の場合、砥石のドレッシング加工が不
可欠となり、かつ砥石の回転作用のみによる研磨作用で
あるため満足し得る研磨面の状態にならないことがある
とともに回転砥石の回転圧接によって板状部材の角縁の
チッピングが生じ易いという不都合を有している。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような不都
合を解決することを目的とするもので、本発明のうち
で、請求項１記載の発明は、板状部材を保持可能な保持
部をもつ保持機構と、研磨テープを移送可能なテープ移
送機構と、該研磨テープを板状部材の角縁に圧接させる
圧接機構とを備えてなり、上記研磨テープを上記板状部
材の角縁の延びる方向と交差する方向に角度旋回させる
旋回機構を具備したことを特徴とする板状部材角縁面取
装置にある。
合を解決することを目的とするもので、本発明のうち
で、請求項１記載の発明は、板状部材を保持可能な保持
部をもつ保持機構と、研磨テープを移送可能なテープ移
送機構と、該研磨テープを板状部材の角縁に圧接させる
圧接機構とを備えてなり、上記研磨テープを上記板状部
材の角縁の延びる方向と交差する方向に角度旋回させる
旋回機構を具備したことを特徴とする板状部材角縁面取
装置にある。
【０００８】又、請求項２記載の発明は、上記研磨テー
プを研磨テープの移送方向と交差する方向に揺振運動さ
せる交差揺振機構を設けてなることを特徴とするもので
あり、又、請求項３記載の発明は、上記研磨テープを研
磨テープの移送方向と同方向に揺振運動させる平行揺振
機構を設けてなることを特徴とするものである。
プを研磨テープの移送方向と交差する方向に揺振運動さ
せる交差揺振機構を設けてなることを特徴とするもので
あり、又、請求項３記載の発明は、上記研磨テープを研
磨テープの移送方向と同方向に揺振運動させる平行揺振
機構を設けてなることを特徴とするものである。
【０００９】又、請求項４記載の発明は、上記保持部を
上記板状部材の角縁の延びる方向に移動させる移動機構
を設けてなることを特徴とするものであり、又、請求項
５記載の発明は、上記保持部を上記板状部材の角縁の延
びる方向に回転させる回転機構を設けてなることを特徴
とするものである。
上記板状部材の角縁の延びる方向に移動させる移動機構
を設けてなることを特徴とするものであり、又、請求項
５記載の発明は、上記保持部を上記板状部材の角縁の延
びる方向に回転させる回転機構を設けてなることを特徴
とするものである。
【００１０】又、請求項６記載の発明は、上記研磨テー
プは有端帯状に形成され、該研磨テープを一方向に連続
移送させるテープ移送機構を設けてなることを特徴とす
るものであり、又、請求項７記載の発明は、上記研磨テ
ープは無端帯状に形成され、該研磨テープを循環連続移
送させるテープ移送機構を設けてなることを特徴とする
ものである。
プは有端帯状に形成され、該研磨テープを一方向に連続
移送させるテープ移送機構を設けてなることを特徴とす
るものであり、又、請求項７記載の発明は、上記研磨テ
ープは無端帯状に形成され、該研磨テープを循環連続移
送させるテープ移送機構を設けてなることを特徴とする
ものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１乃至図１５は本発明の実施の
形態例を示し、図１乃至図１１は第一形態例、図１２は
第二形態例、図１３乃至１５は第三形態例である。
形態例を示し、図１乃至図１１は第一形態例、図１２は
第二形態例、図１３乃至１５は第三形態例である。
【００１２】図１乃至図１１の第一形態例は、ガラス板
としての板状部材Ｗの両角縁の面取り加工に用いられ、
１は保持機構であって、この場合、機台２上に板状部材
Ｗをその面取りすべき角縁Ｗ1の延びる方向に移動させ
る移動機構３を介して保持部４を配設してなり、移動機
構３は機台２上に載置台５を取付け、載置台５上に摺動
部６により移動台７を移動自在に設け、移動台７を移動
させるボールネジ機構８及び移動用モータ９を設けてな
り、又、保持部４は移動台７上に吸着部材１０を取付
け、吸着部材１０に図外の真空発生源に連通する図示省
略の負圧吸着穴を形成し、この負圧吸着穴の負圧吸着作
用により吸着部材１０上に載置された板状部材Ｗを吸着
保持するように構成されている。
としての板状部材Ｗの両角縁の面取り加工に用いられ、
１は保持機構であって、この場合、機台２上に板状部材
Ｗをその面取りすべき角縁Ｗ1の延びる方向に移動させ
る移動機構３を介して保持部４を配設してなり、移動機
構３は機台２上に載置台５を取付け、載置台５上に摺動
部６により移動台７を移動自在に設け、移動台７を移動
させるボールネジ機構８及び移動用モータ９を設けてな
り、又、保持部４は移動台７上に吸着部材１０を取付
け、吸着部材１０に図外の真空発生源に連通する図示省
略の負圧吸着穴を形成し、この負圧吸着穴の負圧吸着作
用により吸着部材１０上に載置された板状部材Ｗを吸着
保持するように構成されている。
【００１３】１１はテープ移送機構であって、機台２上
に研磨テープＴを板状部材Ｗの角縁Ｗ1に圧接させる圧
接機構１２を配設し、圧接機構１２上に研磨テープＴを
研磨テープＴの移送方向Ｔ1と交差する方向Ｍに揺振運
動させる交差揺振機構１３を配設し、交差揺振機構１３
上にテープ移送機構１１を配設し、かつ研磨テープＴを
上記板状部材Ｗの角縁Ｗ1の延びる方向と交差する方向
に角度旋回させる旋回機構１４及び研磨テープＴを研磨
テープＴの移送方向Ｔ1と同方向Ｎに揺振運動させる平
行揺振機構１５を設けて構成している。
に研磨テープＴを板状部材Ｗの角縁Ｗ1に圧接させる圧
接機構１２を配設し、圧接機構１２上に研磨テープＴを
研磨テープＴの移送方向Ｔ1と交差する方向Ｍに揺振運
動させる交差揺振機構１３を配設し、交差揺振機構１３
上にテープ移送機構１１を配設し、かつ研磨テープＴを
上記板状部材Ｗの角縁Ｗ1の延びる方向と交差する方向
に角度旋回させる旋回機構１４及び研磨テープＴを研磨
テープＴの移送方向Ｔ1と同方向Ｎに揺振運動させる平
行揺振機構１５を設けて構成している。
【００１４】この場合、研磨テープＴはポリエステルフ
ィルム、メタル、クロス等の基材に酸化アルミニュウ
ム、酸化クロム、シリコンカーバイド、ダイヤモンド等
の所定粒度の研磨粒子をコーティング又は結合してなる
ものが用いられ、又、圧接機構１２は機台２上に基台１
６を固定し、基台１６上に摺動部１７により移動台１８
を図１の左右方向に移動可能に設け、移動台１８を前後
移動させる圧接用シリンダ１９を設けてなり、又、交差
揺振機構１３は上記移動台１８上に摺動部２０により交
差揺振台２１を平面視の図２の上下方向に移動可能に設
け、上記移動台１８上にブラケット２２を取付け、ブラ
ケット２２に交差揺振用モータ２３を取付け、交差揺振
用モータ２３の主軸にカムローラ２４を偏心状態に取付
け、交差揺振台２１に二個のガイド板２５をカムローラ
２４を挟装する状態に対向して取付け、交差揺振用モー
タ２３の回転駆動によりカムローラ２４を偏心回転さ
せ、カムローラ２４と対向一対のガイド板２５との作用
で上記摺動部２０によって研磨テープＴを研磨テープＴ
の移送方向Ｔ1と交差する方向Ｍに交差揺振運動させる
ように構成されている。
ィルム、メタル、クロス等の基材に酸化アルミニュウ
ム、酸化クロム、シリコンカーバイド、ダイヤモンド等
の所定粒度の研磨粒子をコーティング又は結合してなる
ものが用いられ、又、圧接機構１２は機台２上に基台１
６を固定し、基台１６上に摺動部１７により移動台１８
を図１の左右方向に移動可能に設け、移動台１８を前後
移動させる圧接用シリンダ１９を設けてなり、又、交差
揺振機構１３は上記移動台１８上に摺動部２０により交
差揺振台２１を平面視の図２の上下方向に移動可能に設
け、上記移動台１８上にブラケット２２を取付け、ブラ
ケット２２に交差揺振用モータ２３を取付け、交差揺振
用モータ２３の主軸にカムローラ２４を偏心状態に取付
け、交差揺振台２１に二個のガイド板２５をカムローラ
２４を挟装する状態に対向して取付け、交差揺振用モー
タ２３の回転駆動によりカムローラ２４を偏心回転さ
せ、カムローラ２４と対向一対のガイド板２５との作用
で上記摺動部２０によって研磨テープＴを研磨テープＴ
の移送方向Ｔ1と交差する方向Ｍに交差揺振運動させる
ように構成されている。
【００１５】又、上記旋回機構１４及び平行揺振機構１
５は、この場合上記交差揺振台２１にブラケット２６を
立設し、ブラケット２６に上下調節台２７を回動つまみ
２７ａにより上下調節自在に取付け、上下調節台２７に
旋回用モータ２８を取り付け、上下調節台２７にウオー
ムギヤ２９を上下方向に縦設し、上下調節台２７に軸受
筒体３０を取付け、軸受筒体３０に軸受３１により旋回
筒軸３２をその軸線Ｌを板状部材Ｗの角縁Ｗ1近傍に合
致させた位置に設定して軸線Ｌを旋回軸線として垂直旋
回自在に軸受し、旋回筒軸３２に旋回盤３３を取付け、
旋回筒軸３３にウオームギヤ２９に噛合するウオームホ
イール３４を取付け、しかして、旋回用モータ２８の駆
動によりウオームギヤ２９とウオームホイール３４との
噛合によって旋回筒軸３２を介して旋回盤３３を軸線Ｌ
を中心として垂直旋回動作可能に構成し、この場合旋回
盤３３を図６中の水平軸線Ｋの上下振り分け角度θ＝４
５度以上の旋回角度をもって垂直旋回動作としての板状
部材Ｗの角縁Ｗ1の延びる方向と交差する方向に角度旋
回させるように構成され、かつ、上記軸受筒体３０に平
行揺振用モータ３５を取付け、旋回筒軸３２内の同心軸
線上に回転軸３６を軸受３７により軸架し、回転軸３６
と平行揺振用モータ３５の主軸との間にギヤ列３８を介
装し、一方上記旋回盤３３に対向一対の摺動部３９によ
り取付部材４０を図４中においては上下方向に移動自在
に取付け、取付部材４０に対向する平行なガイド面４１
ａ・４１ａをもつガイド体４１を取付け、回転軸３６に
ガイド面４１ａ・４１ａの間に挟装状態にカムローラ４
２を回転軸線Ｌに対して偏心状態で取付け、しかして、
平行揺振用モータ３５の駆動によりギヤ列３８を介して
回転軸３６を回転させ、偏心位置したカムローラ４２と
ガイド面４１ａ・４１ａとの作用により取付部材４０を
研磨テープＴの移送方向Ｔ1と同方向Ｎに揺振運動させ
るように構成している。
５は、この場合上記交差揺振台２１にブラケット２６を
立設し、ブラケット２６に上下調節台２７を回動つまみ
２７ａにより上下調節自在に取付け、上下調節台２７に
旋回用モータ２８を取り付け、上下調節台２７にウオー
ムギヤ２９を上下方向に縦設し、上下調節台２７に軸受
筒体３０を取付け、軸受筒体３０に軸受３１により旋回
筒軸３２をその軸線Ｌを板状部材Ｗの角縁Ｗ1近傍に合
致させた位置に設定して軸線Ｌを旋回軸線として垂直旋
回自在に軸受し、旋回筒軸３２に旋回盤３３を取付け、
旋回筒軸３３にウオームギヤ２９に噛合するウオームホ
イール３４を取付け、しかして、旋回用モータ２８の駆
動によりウオームギヤ２９とウオームホイール３４との
噛合によって旋回筒軸３２を介して旋回盤３３を軸線Ｌ
を中心として垂直旋回動作可能に構成し、この場合旋回
盤３３を図６中の水平軸線Ｋの上下振り分け角度θ＝４
５度以上の旋回角度をもって垂直旋回動作としての板状
部材Ｗの角縁Ｗ1の延びる方向と交差する方向に角度旋
回させるように構成され、かつ、上記軸受筒体３０に平
行揺振用モータ３５を取付け、旋回筒軸３２内の同心軸
線上に回転軸３６を軸受３７により軸架し、回転軸３６
と平行揺振用モータ３５の主軸との間にギヤ列３８を介
装し、一方上記旋回盤３３に対向一対の摺動部３９によ
り取付部材４０を図４中においては上下方向に移動自在
に取付け、取付部材４０に対向する平行なガイド面４１
ａ・４１ａをもつガイド体４１を取付け、回転軸３６に
ガイド面４１ａ・４１ａの間に挟装状態にカムローラ４
２を回転軸線Ｌに対して偏心状態で取付け、しかして、
平行揺振用モータ３５の駆動によりギヤ列３８を介して
回転軸３６を回転させ、偏心位置したカムローラ４２と
ガイド面４１ａ・４１ａとの作用により取付部材４０を
研磨テープＴの移送方向Ｔ1と同方向Ｎに揺振運動させ
るように構成している。
【００１６】又、テープ移送機構１１は、この場合、有
端帯状の研磨テープＴを一方向に連続移送させる構造と
なっており、上記取付部材４０にブラケット４３を介し
てベース部材４４を取付け、ベース部材４４に研磨テー
プＴの実巻リール４５及び巻取リール４６を軸着し、ベ
ース部材４４にスライド台４７を進退調節自在に取付
け、スライド台４７に複数個の受圧ロール４８ａ及び受
圧パッド４８ｂをもつテープガイド部４８を配設し、実
巻リール４５より引き出した研磨テープＴをロール４
９、テープガイド部４８、一対の挟装ロール５０・５１
の間、ロール５２を介して巻取リール４６に巻回し、実
巻リール４５をサーボモータ５３により駆動すると共に
一方の挟装ロール５０をサーボモータ５４により駆動さ
せ、かつ巻取リール４６をベルト伝導機構５５により駆
動し、研磨テープＴをバックテンションを付与しつつ一
方向に連続移送させるように構成している。
端帯状の研磨テープＴを一方向に連続移送させる構造と
なっており、上記取付部材４０にブラケット４３を介し
てベース部材４４を取付け、ベース部材４４に研磨テー
プＴの実巻リール４５及び巻取リール４６を軸着し、ベ
ース部材４４にスライド台４７を進退調節自在に取付
け、スライド台４７に複数個の受圧ロール４８ａ及び受
圧パッド４８ｂをもつテープガイド部４８を配設し、実
巻リール４５より引き出した研磨テープＴをロール４
９、テープガイド部４８、一対の挟装ロール５０・５１
の間、ロール５２を介して巻取リール４６に巻回し、実
巻リール４５をサーボモータ５３により駆動すると共に
一方の挟装ロール５０をサーボモータ５４により駆動さ
せ、かつ巻取リール４６をベルト伝導機構５５により駆
動し、研磨テープＴをバックテンションを付与しつつ一
方向に連続移送させるように構成している。
【００１７】この実施の第一形態例は上記構成であるか
ら、板状部材Ｗを人為的又は自動的に保持部４上に給送
し、保持機構１により保持部４上に板状部材Ｗを保持
し、テープ走行機構１１により研磨テープＴを連続移送
させ、圧接機構１２により研磨テープＴを板状部材Ｗに
向けて移動させ、板状部材Ｗの角部分に圧接させること
になり、この際、図６の如く、旋回機構１４によりテー
プ走行機構１１を上向き旋回させることにより図８の如
く、板状部材Ｗの上側の角縁Ｗ1の面取り加工がなさ
れ、下向き旋回させることにより、図１０の如く、板状
部材Ｗの下側の角縁Ｗ1の面取り加工がなされ、旋回せ
ずに水平保持することにより図９の如く、板状部材Ｗの
端面Ｗ2を研磨加工することができ、又、連続往復旋回
させることにより上側の角縁Ｗ1、端面Ｗ2及び下側の角
縁Ｗ1を連続的に面取り加工することができ、したがっ
て、板状部材Ｗの両角縁Ｗ1・Ｗ1を研磨テープＴにより
面取り加工することができ、それだけ面取り加工の作業
性及び融通性を高めることができる。
ら、板状部材Ｗを人為的又は自動的に保持部４上に給送
し、保持機構１により保持部４上に板状部材Ｗを保持
し、テープ走行機構１１により研磨テープＴを連続移送
させ、圧接機構１２により研磨テープＴを板状部材Ｗに
向けて移動させ、板状部材Ｗの角部分に圧接させること
になり、この際、図６の如く、旋回機構１４によりテー
プ走行機構１１を上向き旋回させることにより図８の如
く、板状部材Ｗの上側の角縁Ｗ1の面取り加工がなさ
れ、下向き旋回させることにより、図１０の如く、板状
部材Ｗの下側の角縁Ｗ1の面取り加工がなされ、旋回せ
ずに水平保持することにより図９の如く、板状部材Ｗの
端面Ｗ2を研磨加工することができ、又、連続往復旋回
させることにより上側の角縁Ｗ1、端面Ｗ2及び下側の角
縁Ｗ1を連続的に面取り加工することができ、したがっ
て、板状部材Ｗの両角縁Ｗ1・Ｗ1を研磨テープＴにより
面取り加工することができ、それだけ面取り加工の作業
性及び融通性を高めることができる。
【００１８】又、この場合、図７の如く、上記研磨テー
プＴを研磨テープＴの移送方向Ｔ1と交差する方向Ｍに
揺振運動させる交差揺振機構１３を設けているから、上
記板状部材Ｗの角縁Ｗ1は研磨テープＴの移送及び交差
揺振運動の二つの複合作用により面取り加工され、良好
な面取り加工を行うことができ、又、この場合、上記研
磨テープＴを研磨テープＴの移送方向Ｔ1と同方向Ｎに
揺振運動させる平行揺振機構１５を設けているから、上
記板状部材Ｗの角縁Ｗ1は研磨テープＴの移送、交差揺
振運動及び平行揺振運動の三つの複合作用により面取り
加工され、一層良好な面取り加工を行うことができる。
プＴを研磨テープＴの移送方向Ｔ1と交差する方向Ｍに
揺振運動させる交差揺振機構１３を設けているから、上
記板状部材Ｗの角縁Ｗ1は研磨テープＴの移送及び交差
揺振運動の二つの複合作用により面取り加工され、良好
な面取り加工を行うことができ、又、この場合、上記研
磨テープＴを研磨テープＴの移送方向Ｔ1と同方向Ｎに
揺振運動させる平行揺振機構１５を設けているから、上
記板状部材Ｗの角縁Ｗ1は研磨テープＴの移送、交差揺
振運動及び平行揺振運動の三つの複合作用により面取り
加工され、一層良好な面取り加工を行うことができる。
【００１９】又、この場合、上記保持部４を上記板状部
材Ｗの角縁Ｗ1の延びる方向に移動させる移動機構３を
設けているから、退避位置において、保持部４上に板状
部材Ｗを供給し、供給後に移動機構３により板状部材Ｗ
を研磨テープＴに対向位置させ、面取り加工後に退避位
置に退避移動させ、退避位置にて、板状部材Ｗの取出及
び取出を行うことができ、かつ面取り加工時において、
移動機構３により板状部材Ｗを角縁Ｗ1の延びる方向Ｂ
へ移動させることにより研磨テープＴの幅よりも長い角
縁Ｗ1を連続して面取り加工することができると共に上
記複合作用に加えて角縁Ｗ1の延びる方向Ｂへの移動に
伴う研磨作用を得ることもできる。
材Ｗの角縁Ｗ1の延びる方向に移動させる移動機構３を
設けているから、退避位置において、保持部４上に板状
部材Ｗを供給し、供給後に移動機構３により板状部材Ｗ
を研磨テープＴに対向位置させ、面取り加工後に退避位
置に退避移動させ、退避位置にて、板状部材Ｗの取出及
び取出を行うことができ、かつ面取り加工時において、
移動機構３により板状部材Ｗを角縁Ｗ1の延びる方向Ｂ
へ移動させることにより研磨テープＴの幅よりも長い角
縁Ｗ1を連続して面取り加工することができると共に上
記複合作用に加えて角縁Ｗ1の延びる方向Ｂへの移動に
伴う研磨作用を得ることもできる。
【００２０】又、この場合、上記研磨テープＴは有端帯
状に形成され、研磨テープＴを一方向に連続移送させる
テープ移送機構１１を設けているから、研磨テープＴの
研磨面は逐次新たな研磨面が露呈し、研磨加工が良好に
なされることになる。
状に形成され、研磨テープＴを一方向に連続移送させる
テープ移送機構１１を設けているから、研磨テープＴの
研磨面は逐次新たな研磨面が露呈し、研磨加工が良好に
なされることになる。
【００２１】図１２の第二形態例はテープ走行機構１１
の別例構造を示し、上記第一形態例に示したものは、有
端帯状の研磨テープＴを一方向に連続移送させる構造と
なっていたが、この場合、無端帯状の研磨テープＴを循
環連続移送させる構造が採用され、この場合上記ベース
部材４４に代えてベース部材５６をブラケット４３に取
り付け、ベース部材５６に上記サーボモータ５３により
回転駆動される駆動ロール５７を突設し、ベース部材５
６に上記テープガイド部４８を取付け、駆動ロール５７
とテープガイド部４８との間に案内ロール５８・５９・
６０及びテンションロール６１を介して無端状の研磨テ
ープＴ掛け回し、研磨テープＴを循環連続移送させるよ
うに構成している。
の別例構造を示し、上記第一形態例に示したものは、有
端帯状の研磨テープＴを一方向に連続移送させる構造と
なっていたが、この場合、無端帯状の研磨テープＴを循
環連続移送させる構造が採用され、この場合上記ベース
部材４４に代えてベース部材５６をブラケット４３に取
り付け、ベース部材５６に上記サーボモータ５３により
回転駆動される駆動ロール５７を突設し、ベース部材５
６に上記テープガイド部４８を取付け、駆動ロール５７
とテープガイド部４８との間に案内ロール５８・５９・
６０及びテンションロール６１を介して無端状の研磨テ
ープＴ掛け回し、研磨テープＴを循環連続移送させるよ
うに構成している。
【００２２】この第二形態例にあっては、上記第一形態
例と同様な作用効果を得ることができると共に研磨テー
プＴは無端帯状に形成され、テープ移送機構１１は無端
帯状の研磨テープＴを循環連続移送させるように構成さ
れているので、研磨テープＴの一方向消費に伴う経済性
を高めることができる。
例と同様な作用効果を得ることができると共に研磨テー
プＴは無端帯状に形成され、テープ移送機構１１は無端
帯状の研磨テープＴを循環連続移送させるように構成さ
れているので、研磨テープＴの一方向消費に伴う経済性
を高めることができる。
【００２３】図１３乃至１５の第三形態例は、ウエハー
材としての板状部材Ｗの両角縁Ｗ1・Ｗ1の面取り加工に
用いられ、この場合、上記移動機構３の移動台７上に保
持機構１が設けられ、この保持機構１には回転盤状の保
持部４が設けられ、保持部４には図示省略の負圧吸着穴
が設けられ、この保持部４をウエハーとしての板状部材
Ｗの角縁の延びる方向に回転させる回転機構６２が設け
られ、回転機構６２は図外の回転用モータにより保持部
４を軸線Ｐ回りに連続回転させるように構成されてい
る。
材としての板状部材Ｗの両角縁Ｗ1・Ｗ1の面取り加工に
用いられ、この場合、上記移動機構３の移動台７上に保
持機構１が設けられ、この保持機構１には回転盤状の保
持部４が設けられ、保持部４には図示省略の負圧吸着穴
が設けられ、この保持部４をウエハーとしての板状部材
Ｗの角縁の延びる方向に回転させる回転機構６２が設け
られ、回転機構６２は図外の回転用モータにより保持部
４を軸線Ｐ回りに連続回転させるように構成されてい
る。
【００２４】この第三形態例にあっては、図１３、図１
４の如く、上記第一形態例と同様な作用効果を得ること
ができると共に上記保持部４を上記板状部材Ｗの角縁Ｗ
1の延びる方向Ｂを接線として回転させる回転機構６２
を設けているので、移動機構３による角縁Ｗ1の延びる
方向Ｂの研磨作用及び又は回転機構６２による回転Ｒに
伴う研磨作用により板状部材Ｗの角縁Ｗ1を面取り加工
することができ、板状部材Ｗとしてのウエハー材の円周
状の縁端面Ｆ1の面取り加工にあっては移動機構３を停
止させると共に回転機構６２を駆動し、直線状の縁端面
Ｆ2の面取り加工にあっては、回転機構６２を停止させ
て移動機構３を駆動することにより縁端面Ｆ1及び縁端
面Ｆ2の両方を面取り加工することができる。
４の如く、上記第一形態例と同様な作用効果を得ること
ができると共に上記保持部４を上記板状部材Ｗの角縁Ｗ
1の延びる方向Ｂを接線として回転させる回転機構６２
を設けているので、移動機構３による角縁Ｗ1の延びる
方向Ｂの研磨作用及び又は回転機構６２による回転Ｒに
伴う研磨作用により板状部材Ｗの角縁Ｗ1を面取り加工
することができ、板状部材Ｗとしてのウエハー材の円周
状の縁端面Ｆ1の面取り加工にあっては移動機構３を停
止させると共に回転機構６２を駆動し、直線状の縁端面
Ｆ2の面取り加工にあっては、回転機構６２を停止させ
て移動機構３を駆動することにより縁端面Ｆ1及び縁端
面Ｆ2の両方を面取り加工することができる。
【００２５】尚、本発明は上記実施の形態例に限られる
ものではなく、例えば上記実施の形態例では移動機構と
してボールネジ機構に代えてシリンダ構造を採用した
り、圧接機構としてシリンダ構造に代えてボールネジ機
構とサーボモータとの組み合わせ構造を採用することも
でき、また保持機構の構造や圧接機構の構造等は適宜変
更して設計されるものであり、又、加工条件に応じて乾
式状態又は加工部位に研磨液を供給する湿式状態の雰囲
気において、研磨加工を行うことができる。
ものではなく、例えば上記実施の形態例では移動機構と
してボールネジ機構に代えてシリンダ構造を採用した
り、圧接機構としてシリンダ構造に代えてボールネジ機
構とサーボモータとの組み合わせ構造を採用することも
でき、また保持機構の構造や圧接機構の構造等は適宜変
更して設計されるものであり、又、加工条件に応じて乾
式状態又は加工部位に研磨液を供給する湿式状態の雰囲
気において、研磨加工を行うことができる。
【００２６】
【発明の効果】本発明は上述の如く、請求項１記載の発
明にあっては、板状部材を人為的又は自動的に保持部上
に給送し、保持機構により保持部上に板状部材を保持
し、テープ走行機構により研磨テープを連続移送させ、
圧接機構により研磨テープを板状部材に向けて移動さ
せ、板状部材の角部分に圧接させることになり、この
際、旋回機構によりテープ走行機構を旋回させることに
より板状部材の両角縁の面取り加工がなされ、板状部材
の端面も研磨加工することができ、又、連続往復旋回さ
せることにより両角縁及び端面を連続的に面取り加工す
ることができ、したがって、板状部材の両角縁を研磨テ
ープにより面取り加工することができ、それだけ面取り
加工の作業性及び融通性を高めることができる。
明にあっては、板状部材を人為的又は自動的に保持部上
に給送し、保持機構により保持部上に板状部材を保持
し、テープ走行機構により研磨テープを連続移送させ、
圧接機構により研磨テープを板状部材に向けて移動さ
せ、板状部材の角部分に圧接させることになり、この
際、旋回機構によりテープ走行機構を旋回させることに
より板状部材の両角縁の面取り加工がなされ、板状部材
の端面も研磨加工することができ、又、連続往復旋回さ
せることにより両角縁及び端面を連続的に面取り加工す
ることができ、したがって、板状部材の両角縁を研磨テ
ープにより面取り加工することができ、それだけ面取り
加工の作業性及び融通性を高めることができる。
【００２７】又、請求項２記載の発明にあっては、上記
研磨テープを研磨テープの移送方向と交差する方向に揺
振運動させる交差揺振機構を設けているから、上記板状
部材の角縁は研磨テープの移送及び交差揺振運動の二つ
の複合作用により面取り加工され、良好な面取り加工を
行うことができ、又、請求項３記載の発明にあっては、
上記研磨テープを研磨テープの移送方向と同方向に揺振
運動させる平行揺振機構を設けているから、上記板状部
材の角縁は研磨テープの移送、平行揺振運動の複合作用
により面取り加工され、一層良好な面取り加工を行うこ
とができる。
研磨テープを研磨テープの移送方向と交差する方向に揺
振運動させる交差揺振機構を設けているから、上記板状
部材の角縁は研磨テープの移送及び交差揺振運動の二つ
の複合作用により面取り加工され、良好な面取り加工を
行うことができ、又、請求項３記載の発明にあっては、
上記研磨テープを研磨テープの移送方向と同方向に揺振
運動させる平行揺振機構を設けているから、上記板状部
材の角縁は研磨テープの移送、平行揺振運動の複合作用
により面取り加工され、一層良好な面取り加工を行うこ
とができる。
【００２８】又、請求項４記載の発明にあっては、上記
保持部を上記板状部材の角縁の延びる方向に移動させる
移動機構を設けているから、退避位置において、保持部
上に板状部材を供給し、供給後に移動機構により板状部
材を研磨テープに対向位置させ、面取り加工後に退避位
置に退避移動させ、退避位置にて、板状部材の取出及び
取出を行うことができ、かつ面取り加工時において、移
動機構により板状部材を角縁の延びる方向へ移動させる
ことにより研磨テープの幅よりも長い角縁を連続して面
取り加工することができると共に上記複合作用に加えて
角縁の延びる方向への移動に伴う研磨作用を得ることも
できる。
保持部を上記板状部材の角縁の延びる方向に移動させる
移動機構を設けているから、退避位置において、保持部
上に板状部材を供給し、供給後に移動機構により板状部
材を研磨テープに対向位置させ、面取り加工後に退避位
置に退避移動させ、退避位置にて、板状部材の取出及び
取出を行うことができ、かつ面取り加工時において、移
動機構により板状部材を角縁の延びる方向へ移動させる
ことにより研磨テープの幅よりも長い角縁を連続して面
取り加工することができると共に上記複合作用に加えて
角縁の延びる方向への移動に伴う研磨作用を得ることも
できる。
【００２９】又、請求項５記載の発明にあっては、上記
保持部を上記板状部材の角縁の延びる方向を接線として
回転させる回転機構を設けているので、移動機構による
角縁の延びる方向の研磨作用及び又は回転機構による回
転に伴う研磨作用により板状部材の角縁を面取り加工す
ることができ、又、請求項６記載の発明にあっては、上
記研磨テープは有端帯状に形成され、研磨テープを一方
向に連続移送させるテープ移送機構を設けているから、
研磨テープの研磨面は逐次新たな研磨面が露呈し、研磨
加工が良好になされることになり、又、請求項７記載の
発明にあっては、研磨テープは無端帯状に形成され、テ
ープ移送機構は無端帯状の研磨テープを循環連続移送さ
せるように構成されているので、研磨テープの一方向消
費に伴う経済性を高めることができる。
保持部を上記板状部材の角縁の延びる方向を接線として
回転させる回転機構を設けているので、移動機構による
角縁の延びる方向の研磨作用及び又は回転機構による回
転に伴う研磨作用により板状部材の角縁を面取り加工す
ることができ、又、請求項６記載の発明にあっては、上
記研磨テープは有端帯状に形成され、研磨テープを一方
向に連続移送させるテープ移送機構を設けているから、
研磨テープの研磨面は逐次新たな研磨面が露呈し、研磨
加工が良好になされることになり、又、請求項７記載の
発明にあっては、研磨テープは無端帯状に形成され、テ
ープ移送機構は無端帯状の研磨テープを循環連続移送さ
せるように構成されているので、研磨テープの一方向消
費に伴う経済性を高めることができる。
【００３０】以上、所期の目的を充分達成することがで
きる。
きる。
【図１】本発明の第一実施の形態例の全体正面図であ
る。
る。
【図２】本発明の実施の第一形態例の全体平面図であ
る。
る。
【図３】本発明の実施の第一形態例の部分正面図であ
る。
る。
【図４】本発明の実施の第一形態例のテープ移送機構を
除いた平面図である。
除いた平面図である。
【図５】本発明の実施の第一形態例の部分平断面図であ
る。
る。
【図６】本発明の第一実施の形態例の説明正面図であ
る。
る。
【図７】本発明の実施の第一形態例の説明斜視図であ
る。
る。
【図８】本発明の実施の第一形態例の説明側面図であ
る。
る。
【図９】本発明の実施の第一形態例の説明側面図であ
る。
る。
【図１０】本発明の実施の第一形態例の説明側面図であ
る。
る。
【図１１】液晶パネルの斜視図である。
【図１２】本発明の実施の第二形態例の部分側面図であ
る。
る。
【図１３】本発明の実施の第三形態例の説明斜視図であ
る。
る。
【図１４】本発明の実施の第三形態例の説明側面図であ
る。
る。
【図１５】ウエハー材の斜視図である。
Ｗ 板状部材 Ｗ1 角縁 Ｔ 研磨テープ １ 保持機構 ３ 移動機構 ４ 保持部 １１ テープ移送機構 １２ 圧接機構 １３ 交差揺振機構 １４ 旋回機構 １５ 平行揺振機構 ６２ 回転機構
Claims (7)
- 【請求項１】 板状部材を保持可能な保持部をもつ保持
機構と、研磨テープを移送可能なテープ移送機構と、該
研磨テープを板状部材の角縁に圧接させる圧接機構とを
備えてなり、上記研磨テープを上記板状部材の角縁の延
びる方向と交差する方向に角度旋回させる旋回機構を具
備したことを特徴とする板状部材角縁面取装置。 - 【請求項２】 上記研磨テープを研磨テープの移送方向
と交差する方向に揺振運動させる交差揺振機構を設けて
なることを特徴とする請求項１記載の板状部材角縁面取
装置。 - 【請求項３】 上記研磨テープを研磨テープの移送方向
と同方向に揺振運動させる平行揺振機構を設けてなるこ
とを特徴とする請求項１又は２記載の板状部材角縁面取
装置。 - 【請求項４】 上記保持部を上記板状部材の角縁の延び
る方向に移動させる移動機構を設けてなることを特徴と
する請求項１、２又は３記載の板状部材角縁面取装置。 - 【請求項５】 上記保持部を上記板状部材の角縁の延び
る方向に回転させる回転機構を設けてなることを特徴と
する請求項１、２又は３記載の板状部材角縁面取装置。 - 【請求項６】 上記研磨テープは有端帯状に形成され、
該研磨テープを一方向に連続移送させるテープ移送機構
を設けてなることを特徴とする請求項１、２又は３記載
の板状部材角縁面取装置。 - 【請求項７】 上記研磨テープは無端帯状に形成され、
該研磨テープを循環連続移送させるテープ移送機構を設
けてなることを特徴とする請求項１、２又は３記載の板
状部材角縁面取装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26466197A JPH1199458A (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 板状部材角縁面取装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26466197A JPH1199458A (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 板状部材角縁面取装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1199458A true JPH1199458A (ja) | 1999-04-13 |
Family
ID=17406459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26466197A Pending JPH1199458A (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 板状部材角縁面取装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1199458A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001239445A (ja) * | 2000-01-28 | 2001-09-04 | Tsk America Inc | ウエハ加工機 |
| WO2005102601A1 (ja) * | 2004-04-20 | 2005-11-03 | Nihon Microcoating Co., Ltd. | 研磨装置 |
| WO2006054378A1 (ja) * | 2004-11-16 | 2006-05-26 | Nihon Microcoating Co., Ltd. | 研磨テープ及び研磨方法 |
| US7993485B2 (en) * | 2005-12-09 | 2011-08-09 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for processing a substrate |
| JP2012040643A (ja) * | 2010-08-19 | 2012-03-01 | Sanshin Co Ltd | 基板研磨方法及びその装置 |
| JP2013094867A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Sanshin Co Ltd | テープ研磨装置 |
| CN103831705A (zh) * | 2012-11-27 | 2014-06-04 | 日本微涂料株式会社 | 通过研磨带研磨玻璃板等工件的周缘部的研磨装置及方法 |
| CN106041685A (zh) * | 2016-05-13 | 2016-10-26 | 宁波方太厨具有限公司 | 一种定尺寸圆角打磨装置 |
| JP2017087305A (ja) * | 2015-11-02 | 2017-05-25 | 日本電気硝子株式会社 | 円板状ワークの研磨加工方法及び研磨加工装置 |
| CN108481094A (zh) * | 2018-03-31 | 2018-09-04 | 格润智能光伏南通有限公司 | 一种光伏组件自动锉角工艺 |
| JP2019042835A (ja) * | 2017-08-31 | 2019-03-22 | 株式会社荏原製作所 | 基板を研磨する方法および装置 |
| JP2020175457A (ja) * | 2019-04-16 | 2020-10-29 | 株式会社滋賀山下 | バリ除去装置 |
| CN113458891A (zh) * | 2021-08-18 | 2021-10-01 | 广州珠江恺撒堡钢琴有限公司 | 钢琴弦槌芯毡的自动打磨装置 |
-
1997
- 1997-09-29 JP JP26466197A patent/JPH1199458A/ja active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR20140067886A (ko) * | 2012-11-27 | 2014-06-05 | 니혼 미크로 코팅 가부시끼 가이샤 | 판유리 등 워크의 주연부를 연마 테이프에 의해 연마하는 연마 장치 및 연마 방법 |
| CN103831705A (zh) * | 2012-11-27 | 2014-06-04 | 日本微涂料株式会社 | 通过研磨带研磨玻璃板等工件的周缘部的研磨装置及方法 |
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| CN113458891A (zh) * | 2021-08-18 | 2021-10-01 | 广州珠江恺撒堡钢琴有限公司 | 钢琴弦槌芯毡的自动打磨装置 |
| CN113458891B (zh) * | 2021-08-18 | 2024-05-31 | 广州珠江恺撒堡钢琴有限公司 | 钢琴弦槌芯毡的自动打磨装置 |
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