JP2857816B2 - ウエハー材縁端面研磨装置 - Google Patents
ウエハー材縁端面研磨装置Info
- Publication number
- JP2857816B2 JP2857816B2 JP4163535A JP16353592A JP2857816B2 JP 2857816 B2 JP2857816 B2 JP 2857816B2 JP 4163535 A JP4163535 A JP 4163535A JP 16353592 A JP16353592 A JP 16353592A JP 2857816 B2 JP2857816 B2 JP 2857816B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tape
- edge
- polishing
- wafer material
- polishing tape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は例えばシリコンからなる
半導体ウエハーの縁端面の研磨加工に用いられるウエハ
ー材縁端面研磨装置に関するものである。
半導体ウエハーの縁端面の研磨加工に用いられるウエハ
ー材縁端面研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来この種の半導体ウエハーの縁端面を
加工する装置としてベベリング装置なるものが知られて
いる。
加工する装置としてベベリング装置なるものが知られて
いる。
【０００３】図９に示すように、このウエハー材Ｗはシ
リコン等の薄板状であって、円周状の縁端面Ｆ1及び直
線状の縁端面Ｆ2（オリエンテーションフラット）から
なる縁端面Ｆを有している。
リコン等の薄板状であって、円周状の縁端面Ｆ1及び直
線状の縁端面Ｆ2（オリエンテーションフラット）から
なる縁端面Ｆを有している。
【０００４】そして上記従来構造のものは、ウエハー材
Ｗの縁端面Ｆに適合させた凹周面を有する回転砥石を用
い、この回転砥石をウエハー材Ｗの縁端面Ｆに圧接させ
て研磨加工を行うように構成されている。
Ｗの縁端面Ｆに適合させた凹周面を有する回転砥石を用
い、この回転砥石をウエハー材Ｗの縁端面Ｆに圧接させ
て研磨加工を行うように構成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら回転砥石
を用いる従来構造の場合、砥石のドレッシング加工が不
可欠となり、かつ砥石の回転作用のみによる研磨作用で
あるため満足し得る研磨面の状態にならないことがある
とともにチッピングが生じ易いという不都合を有してい
る。
を用いる従来構造の場合、砥石のドレッシング加工が不
可欠となり、かつ砥石の回転作用のみによる研磨作用で
あるため満足し得る研磨面の状態にならないことがある
とともにチッピングが生じ易いという不都合を有してい
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような課題
を解決することを目的とするもので、円周状縁端面及び
直線状縁端面からなる縁端面をもつ略半月板状のウエハ
ー材をその軸線廻りに支持回転又は停止保持させる回転
機構と、研磨テープをウエハー材の円周状縁端 面の接線
方向又は直線状縁端面の延長方向と直交する方向に連続
移送させるテープ移送機構と、該テープ移送機構をウエ
ハー材の円周状縁端面又は直線状縁端面に対向する方向
に進退移動させ、研磨テープを円周状縁端面又は直線状
縁端面に圧接させる移動機構と、該テープ移送機構をウ
エハー材の円周状縁端面の接線方向又は直線状縁端面の
延長方向に揺振運動させる揺振機構と、該研磨テープを
平坦状に案内可能なテープガイド部と、該研磨テープと
ウエハー材の縁端面との圧接力により該ウエハー材の縁
端面の形状に応じた該研磨テープの弧状の湾曲変形作用
と共にその平坦面が凹み自己弾性可能な弾性部材をもつ
受圧パッドと、該受圧パッドを該ウエハー材の縁端面の
形状に追従して首振揺動させる首振機構と、該テープ移
送機構をウエハー材の直線状縁端面の延長方向に送り運
動させて研磨テープを直線状縁端面に摺接送りさせる送
り機構とを具備し、上記ウエハー材の縁端面のうちの円
周状縁端面の研磨加工に際しては、上記回転機構により
ウエハー材を回転させ、上記テープ移送機構により研磨
テープを円周状縁端面の接線方向と直交する方向に連続
移送させ、上記揺振機構によりテープ移送機構を円周状
縁端面の接線方向に揺振運動させ、上記移動機構により
テープ移送機構を円周状縁端面に向けて前進移動させて
研磨テープを円周状縁端面に圧接させ、又、直線状縁端
面の研磨加工に際しては、上記回転機構によりウエハー
材の回転を停止保持して直線状縁端面と研磨テープのテ
ープ面とを相対峙させ、上記テープ移送機構により研磨
テープを直線状縁端面の延長方向と直交する方向に連続
移送させ、上記揺振機構によりテープ移送機構を直線状
縁端面の延長方向に揺振運動させ、上記移動機構により
テープ移送機構を直線状縁端面に向けて前進移動させて
研磨テープを直線状縁端面に圧接させると共に上記送り
機構によりテープ移送機構をウエハー材の直線状縁端面
の延長方向に送り運動させて研磨テープを直線状縁端面
に摺接送りさせることを特徴とするウエハー材縁端面研
磨装置にある。
を解決することを目的とするもので、円周状縁端面及び
直線状縁端面からなる縁端面をもつ略半月板状のウエハ
ー材をその軸線廻りに支持回転又は停止保持させる回転
機構と、研磨テープをウエハー材の円周状縁端 面の接線
方向又は直線状縁端面の延長方向と直交する方向に連続
移送させるテープ移送機構と、該テープ移送機構をウエ
ハー材の円周状縁端面又は直線状縁端面に対向する方向
に進退移動させ、研磨テープを円周状縁端面又は直線状
縁端面に圧接させる移動機構と、該テープ移送機構をウ
エハー材の円周状縁端面の接線方向又は直線状縁端面の
延長方向に揺振運動させる揺振機構と、該研磨テープを
平坦状に案内可能なテープガイド部と、該研磨テープと
ウエハー材の縁端面との圧接力により該ウエハー材の縁
端面の形状に応じた該研磨テープの弧状の湾曲変形作用
と共にその平坦面が凹み自己弾性可能な弾性部材をもつ
受圧パッドと、該受圧パッドを該ウエハー材の縁端面の
形状に追従して首振揺動させる首振機構と、該テープ移
送機構をウエハー材の直線状縁端面の延長方向に送り運
動させて研磨テープを直線状縁端面に摺接送りさせる送
り機構とを具備し、上記ウエハー材の縁端面のうちの円
周状縁端面の研磨加工に際しては、上記回転機構により
ウエハー材を回転させ、上記テープ移送機構により研磨
テープを円周状縁端面の接線方向と直交する方向に連続
移送させ、上記揺振機構によりテープ移送機構を円周状
縁端面の接線方向に揺振運動させ、上記移動機構により
テープ移送機構を円周状縁端面に向けて前進移動させて
研磨テープを円周状縁端面に圧接させ、又、直線状縁端
面の研磨加工に際しては、上記回転機構によりウエハー
材の回転を停止保持して直線状縁端面と研磨テープのテ
ープ面とを相対峙させ、上記テープ移送機構により研磨
テープを直線状縁端面の延長方向と直交する方向に連続
移送させ、上記揺振機構によりテープ移送機構を直線状
縁端面の延長方向に揺振運動させ、上記移動機構により
テープ移送機構を直線状縁端面に向けて前進移動させて
研磨テープを直線状縁端面に圧接させると共に上記送り
機構によりテープ移送機構をウエハー材の直線状縁端面
の延長方向に送り運動させて研磨テープを直線状縁端面
に摺接送りさせることを特徴とするウエハー材縁端面研
磨装置にある。
【０００７】
【作用】円周状縁端面及び直線状縁端面からなる縁端面
をもつ略半月板状のウエハー材のうちの、円周状縁端面
の研磨加工の場合は、テープ移送機構によりテープガイ
ド部によって平坦状に案内された研磨テープをウエハー
材の円周状縁端面の接線方向と直交する方向に連続移送
させ、かつテープ移送機構を揺振機構によりウエハー材
の円周状縁端面の接線方向に揺振運動させ、回転機構に
よりウエハー材をその軸線廻りに支持回転させ、この状
態でテープ移送機構を移動機構により前進移動させる
と、研磨テープはウエハー材の円周状縁端面に圧接さ
れ、首振機構により首振揺動可能な受圧パッドに設けら
れた弾性部材の平坦面は研磨テープとウエハー材の縁端
面との圧接力によりウエハー材の縁端面の形状に応じた
研磨テープの弧状の湾曲変形作用と共に弾性部材の平坦
面は自己弾性をもって凹み、この弾性部材の研磨テープ
と共になされる弾性凹みによりウエハー材の円周状縁端
面の表裏面が弧状に湾曲した研磨テープにより挟まれる
ことになってその両角縁を含めて研磨されることにな
り、受圧パッドはウエハー材の円周状縁端面の形状に追
従して首振揺動し、よって、ウエハー材の円周状縁端面
及びその表裏面に続く両角は、移動機構によるウエハー
材の円周状縁端面への研磨テープの圧接作用に加えて、
ウエハー材の回転作用、研磨テープの連続移送作用及び
研磨テープの揺振作用の三つの複合作用により圧接研磨
され、ウエハー材の一方方向の回転と研磨テープの交互
方向の揺振との摺接により良好に研磨されることにな
る。
をもつ略半月板状のウエハー材のうちの、円周状縁端面
の研磨加工の場合は、テープ移送機構によりテープガイ
ド部によって平坦状に案内された研磨テープをウエハー
材の円周状縁端面の接線方向と直交する方向に連続移送
させ、かつテープ移送機構を揺振機構によりウエハー材
の円周状縁端面の接線方向に揺振運動させ、回転機構に
よりウエハー材をその軸線廻りに支持回転させ、この状
態でテープ移送機構を移動機構により前進移動させる
と、研磨テープはウエハー材の円周状縁端面に圧接さ
れ、首振機構により首振揺動可能な受圧パッドに設けら
れた弾性部材の平坦面は研磨テープとウエハー材の縁端
面との圧接力によりウエハー材の縁端面の形状に応じた
研磨テープの弧状の湾曲変形作用と共に弾性部材の平坦
面は自己弾性をもって凹み、この弾性部材の研磨テープ
と共になされる弾性凹みによりウエハー材の円周状縁端
面の表裏面が弧状に湾曲した研磨テープにより挟まれる
ことになってその両角縁を含めて研磨されることにな
り、受圧パッドはウエハー材の円周状縁端面の形状に追
従して首振揺動し、よって、ウエハー材の円周状縁端面
及びその表裏面に続く両角は、移動機構によるウエハー
材の円周状縁端面への研磨テープの圧接作用に加えて、
ウエハー材の回転作用、研磨テープの連続移送作用及び
研磨テープの揺振作用の三つの複合作用により圧接研磨
され、ウエハー材の一方方向の回転と研磨テープの交互
方向の揺振との摺接により良好に研磨されることにな
る。
【０００８】又、円周状縁端面及び直線状縁端面からな
る縁端面をもつ略半月板状のウエハー材のうちの、直線
状縁端面の研磨加工の場合、テープ移送機構によりテー
プガイド部によって平坦状に案内された研磨テープをウ
エハー材の直線状縁端面の延長方向と直交する方向に連
続移送させ、かつテープ移送機構を揺振機構によりウエ
ハー材の直線状縁端面の延長方向に揺振運動させ、ウエ
ハー材の回転を停止させて直線状縁端面と研磨テープの
テープ面とが相対峙する状態とし、この状態でテープ移
送機構を移動機構により前進移動させて研磨テープを直
線状縁端面に圧接させるとともにテープ移送機構を送り
機構によりウエハー材の直線状縁端面の延長方向に送り
運動させて研磨テープを直線状縁端面に摺接送りさせ、
首振機構により首振揺動可能な受圧パッドに設けられた
弾性部材の平坦面は研磨テープとウエハー材の直線状の
縁端面との圧接力により受けてウエハー材の直線状縁端
面の形状に応じた研磨テープの弧状の湾曲変形作用と共
に弾性部材の平坦面は自己弾性をもって凹み、この弾性
部材の研磨テープと共になされる弾性凹みによりウエハ
ー材の直線状縁端面の表裏面が弧状に湾曲した研磨テー
プにより挟まれることになってその両角縁を含めて研磨
されることになり、受圧パッドはウエハー材の直線状縁
端面の形状に追従して首振揺動し、よって、ウエハー材
の直線状縁端面及びその表裏面に続く両角は、移動機構
によるウエハー材の直線状縁端面への研磨テープの圧接
作用に加えて、研磨テープの連続移送作用、研磨テープ
の揺振作用及び研磨テープの送り作用の三つ複合の作用
により圧接研磨され、送り機構による研磨テープの一方
方向の送りと研磨テープの交互方向の揺振との摺接によ
り良好に研磨されることになる。
る縁端面をもつ略半月板状のウエハー材のうちの、直線
状縁端面の研磨加工の場合、テープ移送機構によりテー
プガイド部によって平坦状に案内された研磨テープをウ
エハー材の直線状縁端面の延長方向と直交する方向に連
続移送させ、かつテープ移送機構を揺振機構によりウエ
ハー材の直線状縁端面の延長方向に揺振運動させ、ウエ
ハー材の回転を停止させて直線状縁端面と研磨テープの
テープ面とが相対峙する状態とし、この状態でテープ移
送機構を移動機構により前進移動させて研磨テープを直
線状縁端面に圧接させるとともにテープ移送機構を送り
機構によりウエハー材の直線状縁端面の延長方向に送り
運動させて研磨テープを直線状縁端面に摺接送りさせ、
首振機構により首振揺動可能な受圧パッドに設けられた
弾性部材の平坦面は研磨テープとウエハー材の直線状の
縁端面との圧接力により受けてウエハー材の直線状縁端
面の形状に応じた研磨テープの弧状の湾曲変形作用と共
に弾性部材の平坦面は自己弾性をもって凹み、この弾性
部材の研磨テープと共になされる弾性凹みによりウエハ
ー材の直線状縁端面の表裏面が弧状に湾曲した研磨テー
プにより挟まれることになってその両角縁を含めて研磨
されることになり、受圧パッドはウエハー材の直線状縁
端面の形状に追従して首振揺動し、よって、ウエハー材
の直線状縁端面及びその表裏面に続く両角は、移動機構
によるウエハー材の直線状縁端面への研磨テープの圧接
作用に加えて、研磨テープの連続移送作用、研磨テープ
の揺振作用及び研磨テープの送り作用の三つ複合の作用
により圧接研磨され、送り機構による研磨テープの一方
方向の送りと研磨テープの交互方向の揺振との摺接によ
り良好に研磨されることになる。
【０００９】
【実施例】図１乃至図８は本発明の実施例を示し、１は
回転機構であって、図外のモータ等により回転する回転
軸２の端部に負圧吸引作用を有する吸着パッド３を取付
け、この吸着パッド３によりウエハー材Ｗの板面を吸着
し、回転軸２によりウエハー材をその軸線Ｗ1の廻りに
支持回転させ、又は、回転軸２の回転を停止してウエハ
ー材Ｗを停止保持するように構成している。
回転機構であって、図外のモータ等により回転する回転
軸２の端部に負圧吸引作用を有する吸着パッド３を取付
け、この吸着パッド３によりウエハー材Ｗの板面を吸着
し、回転軸２によりウエハー材をその軸線Ｗ1の廻りに
支持回転させ、又は、回転軸２の回転を停止してウエハ
ー材Ｗを停止保持するように構成している。
【００１０】４はテープ移送機構、５は移動機構、６は
揺振機構、７は送り機構であって、この場合移動機構５
はテープ移送機構４のみを進退移動させる移動機構５ａ
とテープ移送機構４を含む全体を進退移動させる移動機
構５ｂからなり、この移動機構５ｂにあっては、機台８
上に基台９を固定し、基台９上に摺動部１０により前後
移動台１１を図１の左右方向である前後方向に移動可能
に設け、前後移動台１１を前後移動させる前後動用シリ
ンダ１２を設けてなり、また送り機構７は、この前後移
動台１１上に摺動部１３により送り移動台１４を図２の
左右方向である左右方向に移動可能に設け、送り移動台
１４を左右移動させる送り用シリンダ１５を設けて構成
されている。
揺振機構、７は送り機構であって、この場合移動機構５
はテープ移送機構４のみを進退移動させる移動機構５ａ
とテープ移送機構４を含む全体を進退移動させる移動機
構５ｂからなり、この移動機構５ｂにあっては、機台８
上に基台９を固定し、基台９上に摺動部１０により前後
移動台１１を図１の左右方向である前後方向に移動可能
に設け、前後移動台１１を前後移動させる前後動用シリ
ンダ１２を設けてなり、また送り機構７は、この前後移
動台１１上に摺動部１３により送り移動台１４を図２の
左右方向である左右方向に移動可能に設け、送り移動台
１４を左右移動させる送り用シリンダ１５を設けて構成
されている。
【００１１】また揺振機構６は、上記送り移動台１４上
に摺動部１６により揺振台１７を図２の左右方向である
左右方向に移動可能に設け、上記送り移動台１４上にブ
ラケット１８を取付け、ブラケット１８に揺振用モータ
１９を取付け、ブラケット１８に駆動軸２０を軸受け
し、駆動軸２０の上端部に揺振用モータ１９の主軸を連
結し、駆動軸２０の下端部に偏心軸部２０ａを形成し、
偏心軸部２０ａにカムフォロワー２１を取付け、揺振台
１７上に二個のガイド板２２をカムフォロワー２１を挟
装する状態に対向して取付け、揺振用モータ１９の駆動
により駆動軸２０を回転させ、偏心軸部２０ａに取り付
けたカムフォロワー２１とガイド板２２との作用で上記
摺動部１６によって揺振運動させるように構成してい
る。
に摺動部１６により揺振台１７を図２の左右方向である
左右方向に移動可能に設け、上記送り移動台１４上にブ
ラケット１８を取付け、ブラケット１８に揺振用モータ
１９を取付け、ブラケット１８に駆動軸２０を軸受け
し、駆動軸２０の上端部に揺振用モータ１９の主軸を連
結し、駆動軸２０の下端部に偏心軸部２０ａを形成し、
偏心軸部２０ａにカムフォロワー２１を取付け、揺振台
１７上に二個のガイド板２２をカムフォロワー２１を挟
装する状態に対向して取付け、揺振用モータ１９の駆動
により駆動軸２０を回転させ、偏心軸部２０ａに取り付
けたカムフォロワー２１とガイド板２２との作用で上記
摺動部１６によって揺振運動させるように構成してい
る。
【００１２】また移動機構５のうち、テープ移送機構４
のみを進退移動させる移動機構５ａは、上記揺振台１７
に取付板２３を立設し、取付板２３の側面に摺動部２４
を介してスライド台２５を前後動作可能に設け、取付板
２３にスライド台２５を前後動作させる作動用シリンダ
２６を設けて構成している。
のみを進退移動させる移動機構５ａは、上記揺振台１７
に取付板２３を立設し、取付板２３の側面に摺動部２４
を介してスライド台２５を前後動作可能に設け、取付板
２３にスライド台２５を前後動作させる作動用シリンダ
２６を設けて構成している。
【００１３】またテープ移送機構４は、この場合上記取
付板２３にポリエステルフィルム、メタル、クロス等の
基材に酸化アルミニュウム、酸化クロム、シリコンカー
バイド、ダイヤモンド等の所定粒度の研磨粒子をコーテ
ィング又は結合してなる研磨テープＴの実巻リール２７
及び巻取リール２８を軸着し、スライド台２５上に軸受
筒部２９を配設し、軸受筒部２９に回り止め状態で支持
筒３０を配設し、支持筒３０にテープガイド部３１を配
設し、実巻リール２７より引き出した研磨テープＴをロ
ーラー３２、テープガイド部３１、ローラー３３、一対
の挟装ローラー３４ａ・３４ｂの間、ローラー３５を介
して巻取リール２８に巻回し、実巻リール２７をサーボ
モータ３６により駆動すると共に挟装ローラー３４ａを
サーボモータ３７により駆動させ、かつ巻取リール２８
に挟装ローラー３４ａの回転を図外のベルト伝導機構に
より駆動し、研磨テープＴをバックテンションを付与し
つつ一方向に連続移送させるように構成している。
付板２３にポリエステルフィルム、メタル、クロス等の
基材に酸化アルミニュウム、酸化クロム、シリコンカー
バイド、ダイヤモンド等の所定粒度の研磨粒子をコーテ
ィング又は結合してなる研磨テープＴの実巻リール２７
及び巻取リール２８を軸着し、スライド台２５上に軸受
筒部２９を配設し、軸受筒部２９に回り止め状態で支持
筒３０を配設し、支持筒３０にテープガイド部３１を配
設し、実巻リール２７より引き出した研磨テープＴをロ
ーラー３２、テープガイド部３１、ローラー３３、一対
の挟装ローラー３４ａ・３４ｂの間、ローラー３５を介
して巻取リール２８に巻回し、実巻リール２７をサーボ
モータ３６により駆動すると共に挟装ローラー３４ａを
サーボモータ３７により駆動させ、かつ巻取リール２８
に挟装ローラー３４ａの回転を図外のベルト伝導機構に
より駆動し、研磨テープＴをバックテンションを付与し
つつ一方向に連続移送させるように構成している。
【００１４】また上記テープガイド部３１は、上記支持
筒３０に保持板３８を取付け、保持板３８の上下位置に
アーム３９・３９を取付け、アーム３９・３９に支持ア
ーム４０・４０を取付け、支持アーム４０・４０にガイ
ドローラー４１・４１を取付け、研磨テープＴを平坦状
に案内可能に構成している。
筒３０に保持板３８を取付け、保持板３８の上下位置に
アーム３９・３９を取付け、アーム３９・３９に支持ア
ーム４０・４０を取付け、支持アーム４０・４０にガイ
ドローラー４１・４１を取付け、研磨テープＴを平坦状
に案内可能に構成している。
【００１５】４２は受圧パッドと、４３は首振機構であ
って、この場合上記支持筒３０の中心上に取付軸４４を
回動盤４５の回転により進退調節可能に嵌挿配設し、取
付軸４４に支持駒４６を止めネジ４７により位置固定
し、支持駒４６に支点軸４８により受圧パッド４２を上
下首振揺動可能に枢着し、支点軸４８を境にした上下位
置にして支持駒４６と受圧パッド４２との間にそれぞれ
圧縮バネ４９・４９を介在配置し、受圧パッド４２にウ
レタンゴムからなる弾性部材５０を設け、弾性部材５０
の平坦面は研磨テープＴとウエハー材Ｗの縁端面Ｆとの
圧接力によりウエハー材Ｗの縁端面Ｆの形状に応じた研
磨テープＴの弧状の湾曲変形作用と共に自己弾性をもっ
て凹み得るように構成している。
って、この場合上記支持筒３０の中心上に取付軸４４を
回動盤４５の回転により進退調節可能に嵌挿配設し、取
付軸４４に支持駒４６を止めネジ４７により位置固定
し、支持駒４６に支点軸４８により受圧パッド４２を上
下首振揺動可能に枢着し、支点軸４８を境にした上下位
置にして支持駒４６と受圧パッド４２との間にそれぞれ
圧縮バネ４９・４９を介在配置し、受圧パッド４２にウ
レタンゴムからなる弾性部材５０を設け、弾性部材５０
の平坦面は研磨テープＴとウエハー材Ｗの縁端面Ｆとの
圧接力によりウエハー材Ｗの縁端面Ｆの形状に応じた研
磨テープＴの弧状の湾曲変形作用と共に自己弾性をもっ
て凹み得るように構成している。
【００１６】この実施例は上記構成であるから、図７の
如く、円周状縁端面Ｆ1及び直線状縁端面Ｆ2からなる縁
端面Ｆをもつ略半月板状のウエハー材Ｗのうちの、ウエ
ハー材Ｗの円周状縁端面Ｆ1を研磨加工する場合、テー
プ移送機構４によりテープガイド部３１によって平坦状
に案内された研磨テープＴをウエハー材Ｗの円周状縁端
面Ｆ 1 の接線方向と直交する方向に連続移送させ、かつ
テープ移送機構４を揺振機構６によりウエハー材Ｗの円
周状縁端面Ｆ 1 の接線方向に揺振運動させ、回転機構１
によりウエハーＷをその軸線Ｗ1廻りに支持回転させ、
この状態でテープ移送機構４を移動機構５の内、移動機
構５ａにより前進移動させると、研磨テープＴはウエハ
ー材Ｗの円周状縁端面Ｆ1に圧接され、首振機構４３に
より首振揺動可能な受圧パッド４２に設けられた弾性部
材５０の平坦面は、図６の如く、研磨テープＴとウエハ
ー材Ｗの円周状縁端面Ｆ1との圧接力によりウエハー材
Ｗの円周状縁端面Ｆ1の形状に応じた研磨テープＴの弧
状の湾曲変形作用と共に弾性部材５０の平坦面は自己弾
性をもって凹み、この弾性部材５０の研磨テープＴと共
になされる弾性凹みによりウエハー材Ｗの円周状縁端面
Ｆ1に続く表裏面も弧状に湾曲した研磨テープＴにより
挟まれることになってその両角を含めて研磨されること
になり、よって、ウエハー材Ｗの円周状縁端面Ｆ1及び
その表裏面に続く両角は、移動機構５によるウエハー材
Ｗの円周状縁端面Ｆ 1 への研磨テープＴの圧接作用に加
えて、ウエハー材の回転作用、研磨テープの連続移送作
用及び研磨テープの揺振作用の三つの複合作用により圧
接研磨され、ウエハー材の一方方向の回転と研磨テープ
の交互方向の揺振との摺接により良好に研磨されること
になる。
如く、円周状縁端面Ｆ1及び直線状縁端面Ｆ2からなる縁
端面Ｆをもつ略半月板状のウエハー材Ｗのうちの、ウエ
ハー材Ｗの円周状縁端面Ｆ1を研磨加工する場合、テー
プ移送機構４によりテープガイド部３１によって平坦状
に案内された研磨テープＴをウエハー材Ｗの円周状縁端
面Ｆ 1 の接線方向と直交する方向に連続移送させ、かつ
テープ移送機構４を揺振機構６によりウエハー材Ｗの円
周状縁端面Ｆ 1 の接線方向に揺振運動させ、回転機構１
によりウエハーＷをその軸線Ｗ1廻りに支持回転させ、
この状態でテープ移送機構４を移動機構５の内、移動機
構５ａにより前進移動させると、研磨テープＴはウエハ
ー材Ｗの円周状縁端面Ｆ1に圧接され、首振機構４３に
より首振揺動可能な受圧パッド４２に設けられた弾性部
材５０の平坦面は、図６の如く、研磨テープＴとウエハ
ー材Ｗの円周状縁端面Ｆ1との圧接力によりウエハー材
Ｗの円周状縁端面Ｆ1の形状に応じた研磨テープＴの弧
状の湾曲変形作用と共に弾性部材５０の平坦面は自己弾
性をもって凹み、この弾性部材５０の研磨テープＴと共
になされる弾性凹みによりウエハー材Ｗの円周状縁端面
Ｆ1に続く表裏面も弧状に湾曲した研磨テープＴにより
挟まれることになってその両角を含めて研磨されること
になり、よって、ウエハー材Ｗの円周状縁端面Ｆ1及び
その表裏面に続く両角は、移動機構５によるウエハー材
Ｗの円周状縁端面Ｆ 1 への研磨テープＴの圧接作用に加
えて、ウエハー材の回転作用、研磨テープの連続移送作
用及び研磨テープの揺振作用の三つの複合作用により圧
接研磨され、ウエハー材の一方方向の回転と研磨テープ
の交互方向の揺振との摺接により良好に研磨されること
になる。
【００１７】また、円周状縁端面Ｆ1及び直線状縁端面
Ｆ2からなる縁端面Ｆをもつ略半月板状のウエハー材Ｗ
のうちの、ウエハー材Ｗの直線状縁端面Ｆ2を研磨加工
する場合、図８の如く、テープ移送機構４により上記同
様に研磨テープＴをウエハー材Ｗの直線状縁端面Ｆ 2 の
接線方向と直交する方向に連続移送させ、かつテープ移
送機構４を揺振機構６によりウエハー材Ｗの直線状縁端
面Ｆ 2 の延長方向に揺振運動させ、ウエハー材Ｗの回転
を停止させて直線状縁端面Ｆ2と研磨テープＴのテープ
面とが相対峙する状態とし、この状態でテープ移送機構
４を移動機構５の内、移動機構５ｂにより直線状縁端面
Ｆ2と円周状縁端面Ｆ1との半径方向の差分だけ前進移動
させ、かつ移動機構５ａにより前進移動させて研磨テー
プＴを直線状縁端面Ｆ 2 に圧接させるとともにテープ移
送機構４を送り機構７によりウエハー材の直線状縁端面
Ｆ 2 の延長方向に送り運動させて研磨テープＴを直線状
縁端面Ｆ 2 に摺接送りさせ、首振機構４３により首振揺
動可能な受圧パッド４２に設けられた弾性部材５０の平
坦面は、図６の如く、研磨テープＴとウエハー材Ｗの直
線状縁端面Ｆ2との圧接力によりウエハー材Ｗの直線状
縁端面Ｆ2の形状に応じた研磨テープＴの弧状の湾曲変
形作用と共に弾性部材５０の平坦面は自己弾性をもって
凹み、この弾性部材５０の研磨テープＴと共になされる
弾性凹みによりウエハー材Ｗの直線状縁端面Ｆ2に続く
表裏面も弧状に湾曲した研磨テープＴにより挟まれるこ
とになってその両角を含めて研磨されることになり、よ
って、ウエハー材Ｗの直線状縁端面Ｆ2及びその表裏面
に続く両角は、移動機構５によるウエハー材Ｗの直線状
縁端面Ｆ 2 への研磨テープＴの圧接作用に加えて、研磨
テープＴの連続移送作用、研磨テープＴの揺振作用及び
研磨テープＴの送り作用の三つの複合作用により圧接研
磨され、送り機構による研磨テープの一方方向の送りと
研磨テープの交互方向の揺振との摺接により良好に研磨
されることになり、このため良好な研磨加工を得ること
ができる。
Ｆ2からなる縁端面Ｆをもつ略半月板状のウエハー材Ｗ
のうちの、ウエハー材Ｗの直線状縁端面Ｆ2を研磨加工
する場合、図８の如く、テープ移送機構４により上記同
様に研磨テープＴをウエハー材Ｗの直線状縁端面Ｆ 2 の
接線方向と直交する方向に連続移送させ、かつテープ移
送機構４を揺振機構６によりウエハー材Ｗの直線状縁端
面Ｆ 2 の延長方向に揺振運動させ、ウエハー材Ｗの回転
を停止させて直線状縁端面Ｆ2と研磨テープＴのテープ
面とが相対峙する状態とし、この状態でテープ移送機構
４を移動機構５の内、移動機構５ｂにより直線状縁端面
Ｆ2と円周状縁端面Ｆ1との半径方向の差分だけ前進移動
させ、かつ移動機構５ａにより前進移動させて研磨テー
プＴを直線状縁端面Ｆ 2 に圧接させるとともにテープ移
送機構４を送り機構７によりウエハー材の直線状縁端面
Ｆ 2 の延長方向に送り運動させて研磨テープＴを直線状
縁端面Ｆ 2 に摺接送りさせ、首振機構４３により首振揺
動可能な受圧パッド４２に設けられた弾性部材５０の平
坦面は、図６の如く、研磨テープＴとウエハー材Ｗの直
線状縁端面Ｆ2との圧接力によりウエハー材Ｗの直線状
縁端面Ｆ2の形状に応じた研磨テープＴの弧状の湾曲変
形作用と共に弾性部材５０の平坦面は自己弾性をもって
凹み、この弾性部材５０の研磨テープＴと共になされる
弾性凹みによりウエハー材Ｗの直線状縁端面Ｆ2に続く
表裏面も弧状に湾曲した研磨テープＴにより挟まれるこ
とになってその両角を含めて研磨されることになり、よ
って、ウエハー材Ｗの直線状縁端面Ｆ2及びその表裏面
に続く両角は、移動機構５によるウエハー材Ｗの直線状
縁端面Ｆ 2 への研磨テープＴの圧接作用に加えて、研磨
テープＴの連続移送作用、研磨テープＴの揺振作用及び
研磨テープＴの送り作用の三つの複合作用により圧接研
磨され、送り機構による研磨テープの一方方向の送りと
研磨テープの交互方向の揺振との摺接により良好に研磨
されることになり、このため良好な研磨加工を得ること
ができる。
【００１８】この研磨加工の際、受圧パッド４２は首振
機構４３の二個の圧縮バネ４９・４９の作用により支点
軸４８を中心として上下に首振揺動でき、このためウエ
ハー材Ｗの縁端面Ｆ1の形状に追従してウエハー材Ｗの
縁端面Ｆ2に続く表裏面も弧状に湾曲した研磨テープＴ
により挟みつつ揺動することができ、それだけ研磨テー
プＴを縁端面Ｆ1に良好に圧接させることができ、良好
な研磨加工を得ることができる。
機構４３の二個の圧縮バネ４９・４９の作用により支点
軸４８を中心として上下に首振揺動でき、このためウエ
ハー材Ｗの縁端面Ｆ1の形状に追従してウエハー材Ｗの
縁端面Ｆ2に続く表裏面も弧状に湾曲した研磨テープＴ
により挟みつつ揺動することができ、それだけ研磨テー
プＴを縁端面Ｆ1に良好に圧接させることができ、良好
な研磨加工を得ることができる。
【００１９】尚、本発明は上記実施例に限られるもので
はなく、例えば上記実施例では移動機構５としてシリン
ダ構造を採用しているが、ボールネジ機構とサーボモー
タとの組み合わせ構造を採用することもでき、また回転
機構として吸着パッドを採用しているが適宜支持回転構
造が採用され、また首振機構４３の構造は適宜変更して
設計されるものである。
はなく、例えば上記実施例では移動機構５としてシリン
ダ構造を採用しているが、ボールネジ機構とサーボモー
タとの組み合わせ構造を採用することもでき、また回転
機構として吸着パッドを採用しているが適宜支持回転構
造が採用され、また首振機構４３の構造は適宜変更して
設計されるものである。
【００２０】
【発明の効果】本発明は上述の如く、円周状縁端面及び
直線状縁端面からなる縁端面をもつ略半月板状のウエハ
ー材をその軸線廻りに支持回転又は停止保持させる回転
機構と、研磨テープをウエハー材の円周状縁端面の接線
方向又は直線状縁端面の延長方向と直交する方向に連続
移送させるテープ移送機構と、該テープ移送機構をウエ
ハー材の円周状縁端面又は直線状縁端面に対向する方向
に進退移動させ、研磨テープを円周状縁端面又は直線状
縁端面に圧接させる移動機構と、該テープ移送機構をウ
エハー材の円周状縁端面の接線方向又は直線状縁端面の
延長方向に揺振運動させる揺振機構と、該研磨テープを
平坦状に案内可能なテープガイド部と、該研磨テープと
ウエハー材の縁端面との圧接力により該ウエハー材の縁
端面の形状に応じた該研磨テープの弧状の湾曲変形作用
と共にその平坦面が凹み自己弾性可能な弾性部材をもつ
受圧パッドと、該受圧パッドを該ウエハー材の縁端面の
形状に追従して首振揺動させる首振機構と、該テープ移
送機構をウエハー材の直線状縁端面の延長方向に送り運
動させて研磨テープを直線状縁端面に摺接送りさせる送
り機構とを具備し、上記ウエハー材の縁端面のうちの円
周状縁端面の研磨加工に際しては、上記回転機構により
ウエハー材を回転させ、上記テープ移送機構に より研磨
テープを円周状縁端面の接線方向と直交する方向に連続
移送させ、上記揺振機構によりテープ移送機構を円周状
縁端面の接線方向に揺振運動させ、上記移動機構により
テープ移送機構を円周状縁端面に向けて前進移動させて
研磨テープを円周状縁端面に圧接させ、よって、ウエハ
ー材の円周状縁端面及びその表裏面に続く両角は、移動
機構によるウエハー材の円周状縁端面への研磨テープの
圧接作用に加えて、ウエハー材の回転作用、研磨テープ
の連続移送作用及び研磨テープの揺振作用の三つの複合
作用により圧接研磨され、ウエハー材の一方方向の回転
と研磨テープの交互方向の揺振との摺接により良好に研
磨され、又、直線状縁端面の研磨加工に際しては、上記
回転機構によりウエハー材の回転を停止保持して直線状
縁端面と研磨テープのテープ面とを相対峙させ、上記テ
ープ移送機構により研磨テープを直線状縁端面の延長方
向と直交する方向に連続移送させ、上記揺振機構により
テープ移送機構を直線状縁端面の延長方向に揺振運動さ
せ、上記移動機構によりテープ移送機構を直線状縁端面
に向けて前進移動させて研磨テープを直線状縁端面に圧
接させると共に上記送り機構によりテープ移送機構をウ
エハー材の直線状縁端面の延長方向に送り運動させて研
磨テープを直線状縁端面に摺接送りさせ、よって、ウエ
ハー材の直線状縁端面及びその表裏面に続く両角は、移
動機構によるウエハー材の直線状縁端面への研磨テープ
の圧接作用に加えて、研磨テープの連続移送作用、研磨
テープの揺振作用及び研磨テープの送り作用の三つ複合
の作用により圧接研磨され、送り機構による研磨テープ
の一方方向の送りと研磨テープの交互方向の揺振との摺
接により良好に研磨され、かつこの研磨加工の際に、首
振機構により首振揺動可能な受圧パッドに設けられた弾
性部材の平坦面は研磨テープとウエハー材の縁端面との
圧接力によりウエハー材の縁端面の形状に応じた研磨テ
ープの弧状の湾曲変形作用と共に弾性部材の平坦面は自
己弾性をもって凹み、この弾性部材の研磨テープと共に
なされる弾性凹みによりウエハー材の縁端面に続く表裏
面も弧状に湾曲した研磨テープにより挟まれることにな
ってその両角を含めて研磨されることになり、さらに、
この研磨加工の際、受圧パッドは首振機構によりウエハ
ー材の縁端面の形状に追従して首振揺動し、このためウ
エハー材の縁端面の形状に追従してウエハー材の縁端面
に続く表裏面も弧状に湾曲した研磨テープにより挟みつ
つ揺動することができ、一層良好な研磨加工を得ること
ができる。
直線状縁端面からなる縁端面をもつ略半月板状のウエハ
ー材をその軸線廻りに支持回転又は停止保持させる回転
機構と、研磨テープをウエハー材の円周状縁端面の接線
方向又は直線状縁端面の延長方向と直交する方向に連続
移送させるテープ移送機構と、該テープ移送機構をウエ
ハー材の円周状縁端面又は直線状縁端面に対向する方向
に進退移動させ、研磨テープを円周状縁端面又は直線状
縁端面に圧接させる移動機構と、該テープ移送機構をウ
エハー材の円周状縁端面の接線方向又は直線状縁端面の
延長方向に揺振運動させる揺振機構と、該研磨テープを
平坦状に案内可能なテープガイド部と、該研磨テープと
ウエハー材の縁端面との圧接力により該ウエハー材の縁
端面の形状に応じた該研磨テープの弧状の湾曲変形作用
と共にその平坦面が凹み自己弾性可能な弾性部材をもつ
受圧パッドと、該受圧パッドを該ウエハー材の縁端面の
形状に追従して首振揺動させる首振機構と、該テープ移
送機構をウエハー材の直線状縁端面の延長方向に送り運
動させて研磨テープを直線状縁端面に摺接送りさせる送
り機構とを具備し、上記ウエハー材の縁端面のうちの円
周状縁端面の研磨加工に際しては、上記回転機構により
ウエハー材を回転させ、上記テープ移送機構に より研磨
テープを円周状縁端面の接線方向と直交する方向に連続
移送させ、上記揺振機構によりテープ移送機構を円周状
縁端面の接線方向に揺振運動させ、上記移動機構により
テープ移送機構を円周状縁端面に向けて前進移動させて
研磨テープを円周状縁端面に圧接させ、よって、ウエハ
ー材の円周状縁端面及びその表裏面に続く両角は、移動
機構によるウエハー材の円周状縁端面への研磨テープの
圧接作用に加えて、ウエハー材の回転作用、研磨テープ
の連続移送作用及び研磨テープの揺振作用の三つの複合
作用により圧接研磨され、ウエハー材の一方方向の回転
と研磨テープの交互方向の揺振との摺接により良好に研
磨され、又、直線状縁端面の研磨加工に際しては、上記
回転機構によりウエハー材の回転を停止保持して直線状
縁端面と研磨テープのテープ面とを相対峙させ、上記テ
ープ移送機構により研磨テープを直線状縁端面の延長方
向と直交する方向に連続移送させ、上記揺振機構により
テープ移送機構を直線状縁端面の延長方向に揺振運動さ
せ、上記移動機構によりテープ移送機構を直線状縁端面
に向けて前進移動させて研磨テープを直線状縁端面に圧
接させると共に上記送り機構によりテープ移送機構をウ
エハー材の直線状縁端面の延長方向に送り運動させて研
磨テープを直線状縁端面に摺接送りさせ、よって、ウエ
ハー材の直線状縁端面及びその表裏面に続く両角は、移
動機構によるウエハー材の直線状縁端面への研磨テープ
の圧接作用に加えて、研磨テープの連続移送作用、研磨
テープの揺振作用及び研磨テープの送り作用の三つ複合
の作用により圧接研磨され、送り機構による研磨テープ
の一方方向の送りと研磨テープの交互方向の揺振との摺
接により良好に研磨され、かつこの研磨加工の際に、首
振機構により首振揺動可能な受圧パッドに設けられた弾
性部材の平坦面は研磨テープとウエハー材の縁端面との
圧接力によりウエハー材の縁端面の形状に応じた研磨テ
ープの弧状の湾曲変形作用と共に弾性部材の平坦面は自
己弾性をもって凹み、この弾性部材の研磨テープと共に
なされる弾性凹みによりウエハー材の縁端面に続く表裏
面も弧状に湾曲した研磨テープにより挟まれることにな
ってその両角を含めて研磨されることになり、さらに、
この研磨加工の際、受圧パッドは首振機構によりウエハ
ー材の縁端面の形状に追従して首振揺動し、このためウ
エハー材の縁端面の形状に追従してウエハー材の縁端面
に続く表裏面も弧状に湾曲した研磨テープにより挟みつ
つ揺動することができ、一層良好な研磨加工を得ること
ができる。
【００２１】以上、所期の目的を充分達成することがで
きる。
きる。
【図１】本発明の実施例の全体正面図である。
【図２】本発明の実施例の縦断面図である。
【図３】本発明の実施例の部分斜視図である。
【図４】本発明の実施例の部分断面図である。
【図５】本発明の実施例の部分側断面図である。
【図６】本発明の実施例の部分拡大側断面図である。
【図７】本発明の実施例の円周状縁端面を研磨加工する
状態の部分斜視図である。
状態の部分斜視図である。
【図８】本発明の実施例の直線状縁端面を研磨加工する
状態の部分斜視図である。
状態の部分斜視図である。
【図９】ウエハー材の斜視図である。
Ｗ ウエハー材 Ｔ 研磨テープ Ｆ 縁端面 Ｆ1 円周状縁端面 Ｆ2 直線状縁端面 １ 回転機構 ４ テープ移送機構 ５ 移動機構 ６ 揺振機構 ７ 送り機構 ３１ テープガイド部 ４２ 受圧パッド ４３ 首振機構 ５０ 弾性部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B24B 9/00 B24B 21/00
Claims (1)
- 【請求項１】 円周状縁端面及び直線状縁端面からなる
縁端面をもつ略半月板状のウエハー材をその軸線廻りに
支持回転又は停止保持させる回転機構と、研磨テープを
ウエハー材の円周状縁端面の接線方向又は直線状縁端面
の延長方向と直交する方向に連続移送させるテープ移送
機構と、該テープ移送機構をウエハー材の円周状縁端面
又は直線状縁端面に対向する方向に進退移動させ、研磨
テープを円周状縁端面又は直線状縁端面に圧接させる移
動機構と、該テープ移送機構をウエハー材の円周状縁端
面の接線方向又は直線状縁端面の延長方向に揺振運動さ
せる揺振機構と、該研磨テープを平坦状に案内可能なテ
ープガイド部と、該研磨テープとウエハー材の縁端面と
の圧接力により該ウエハー材の縁端面の形状に応じた該
研磨テープの弧状の湾曲変形作用と共にその平坦面が凹
み自己弾性可能な弾性部材をもつ受圧パッドと、該受圧
パッドを該ウエハー材の縁端面の形状に追従して首振揺
動させる首振機構と、該テープ移送機構をウエハー材の
直線状縁端面の延長方向に送り運動させて研磨テープを
直線状縁端面に摺接送りさせる送り機構とを具備し、上
記ウエハー材の縁端面のうちの円周状縁端面の研磨加工
に際しては、上記回転機構によりウエハー材を回転さ
せ、上記テープ移送機構により研磨テープを円周状縁端
面の接線方向と直交する方向に連続移送させ、上記揺振
機構によりテープ移送機構を円周状縁端面の接線方向に
揺振運動させ、上記移動機構によりテープ移送機構を円
周状縁端面に向けて前進移動させて研磨テープを円周状
縁端面に圧接させ、又、直線状縁端面の研磨加工に際し
ては、上記回転機構によりウエハー材の回転を停止保持
して直線状縁端面と研磨テープのテープ面とを相対峙さ
せ、上記テープ移送機構により研磨テープを直線状縁端
面の延長方向と直交する方向に連続移送させ、上記揺振
機構によりテープ移送機構を直線状縁端面の延長方向に
揺振運動させ、上記移動機構によりテープ移送機構を直
線状縁端面に向けて前進移動させて研磨テープを直線状
縁端面に圧接させると共に上記送り機構によりテープ移
送機構をウエハー材の直線状縁端面の延長方向に送り運
動させて研磨テープを直線状縁端面に摺接送りさせるこ
とを特徴とするウエハー材縁端面研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4163535A JP2857816B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | ウエハー材縁端面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4163535A JP2857816B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | ウエハー材縁端面研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05329759A JPH05329759A (ja) | 1993-12-14 |
| JP2857816B2 true JP2857816B2 (ja) | 1999-02-17 |
Family
ID=15775730
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4163535A Expired - Lifetime JP2857816B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | ウエハー材縁端面研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2857816B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3069000B2 (ja) * | 1994-04-13 | 2000-07-24 | 不二越機械工業株式会社 | 研磨装置 |
| JP2001345294A (ja) | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
| JP3949941B2 (ja) | 2001-11-26 | 2007-07-25 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法および研磨装置 |
| JP4090247B2 (ja) | 2002-02-12 | 2008-05-28 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置 |
| US7682225B2 (en) | 2004-02-25 | 2010-03-23 | Ebara Corporation | Polishing apparatus and substrate processing apparatus |
| US7744445B2 (en) * | 2004-10-15 | 2010-06-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Polishing apparatus and polishing method |
| JP4077439B2 (ja) | 2004-10-15 | 2008-04-16 | 株式会社東芝 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
| US7559825B2 (en) | 2006-12-21 | 2009-07-14 | Memc Electronic Materials, Inc. | Method of polishing a semiconductor wafer |
| JP4660494B2 (ja) * | 2007-02-15 | 2011-03-30 | 株式会社荏原製作所 | 研磨カートリッジ |
| TW200908122A (en) * | 2007-05-21 | 2009-02-16 | Applied Materials Inc | Methods and apparatus for using a rolling backing pad for substrate polishing |
| JP5886602B2 (ja) * | 2011-03-25 | 2016-03-16 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置および研磨方法 |
| JP5948199B2 (ja) * | 2012-09-25 | 2016-07-06 | 株式会社荏原製作所 | 研磨方法 |
| JP2017087305A (ja) * | 2015-11-02 | 2017-05-25 | 日本電気硝子株式会社 | 円板状ワークの研磨加工方法及び研磨加工装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57184662A (en) * | 1981-05-09 | 1982-11-13 | Hitachi Ltd | Chamfering method and device of wafer |
| JPS632286Y2 (ja) * | 1984-10-04 | 1988-01-20 | ||
| JPH03256660A (ja) * | 1990-03-02 | 1991-11-15 | Sanshin:Kk | ワーク研摩機 |
-
1992
- 1992-05-29 JP JP4163535A patent/JP2857816B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05329759A (ja) | 1993-12-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2857816B2 (ja) | ウエハー材縁端面研磨装置 | |
| TWI278926B (en) | Apparatus and method of polishing periphery of device wafer | |
| JP2716653B2 (ja) | ウェーハの研磨装置および研磨方法 | |
| JPH081494A (ja) | ウエハー材縁端部研磨装置 | |
| TW496811B (en) | Polishing apparatus and method with a refreshing polishing belt and loadable housing | |
| JP2001025953A (ja) | 金属体の研磨装置及び方法 | |
| JP6369649B1 (ja) | フィルムラップ加工装置 | |
| TW201208811A (en) | Substrate polishing method and device | |
| CN113492347B (zh) | 电动机用转子研磨方法及其装置 | |
| JPH1199458A (ja) | 板状部材角縁面取装置 | |
| JPH0775820B2 (ja) | ベルト材の研削装置 | |
| JP3404579B2 (ja) | 両端軸状部研磨装置 | |
| JPH0976148A (ja) | ウェーハのノッチ部研磨装置 | |
| JP2857817B2 (ja) | ガラス基板角縁面研磨装置 | |
| JP2002126981A (ja) | 円板状部材周縁部研磨装置 | |
| JP4701638B2 (ja) | ラッピング加工装置 | |
| JP2023044784A (ja) | 板状部材研磨方法及びその装置 | |
| JP2001328051A (ja) | 被研磨物のエッジ部の研磨方法及びその研磨装置 | |
| JPH058163A (ja) | 軸状部材研磨装置 | |
| JP4687285B2 (ja) | 研磨加工方法および研磨加工装置 | |
| JP3114126B2 (ja) | ベルト研磨装置 | |
| JP3888618B2 (ja) | ロッド端面加工装置 | |
| JPH11856A (ja) | ベルトサンダー | |
| JP2002066895A (ja) | 研磨機 | |
| JP7351871B2 (ja) | 研磨装置 |