JP2857817B2 - ガラス基板角縁面研磨装置 - Google Patents
ガラス基板角縁面研磨装置Info
- Publication number
- JP2857817B2 JP2857817B2 JP4163536A JP16353692A JP2857817B2 JP 2857817 B2 JP2857817 B2 JP 2857817B2 JP 4163536 A JP4163536 A JP 4163536A JP 16353692 A JP16353692 A JP 16353692A JP 2857817 B2 JP2857817 B2 JP 2857817B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- tape
- polishing
- polishing tape
- transfer mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は液晶パネルの構成要素と
してのガラス基板の角縁面の研磨加工に用いられるガラ
ス基板角縁面研磨装置に関するものである。
してのガラス基板の角縁面の研磨加工に用いられるガラ
ス基板角縁面研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図８に示すように、液晶パネルＷは概略
青板ガラスや白板ガラス等からなる二枚のガラス基板Ｇ
間に液晶を封止して構成されている。
青板ガラスや白板ガラス等からなる二枚のガラス基板Ｇ
間に液晶を封止して構成されている。
【０００３】このガラス基板にはＩＴＯ膜に電圧を印加
するための接続部分が形成され、この接続部分に角縁面
Ｆが形成されている。
するための接続部分が形成され、この接続部分に角縁面
Ｆが形成されている。
【０００４】従来この種のガラス基板Ｇの角縁面Ｆを研
磨する構造として、回転砥石を用い、この回転砥石をガ
ラス基板Ｇの角縁面Ｆに圧接させて研磨加工を行うよう
に構成したものが知られている。
磨する構造として、回転砥石を用い、この回転砥石をガ
ラス基板Ｇの角縁面Ｆに圧接させて研磨加工を行うよう
に構成したものが知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記回転
砥石を用いる従来構造の場合、砥石のドレッシング加工
が不可欠となり、かつ砥石の回転作用のみによる研磨作
用であるため満足し得る研磨面の状態にならないことが
あるという不都合を有している。
砥石を用いる従来構造の場合、砥石のドレッシング加工
が不可欠となり、かつ砥石の回転作用のみによる研磨作
用であるため満足し得る研磨面の状態にならないことが
あるという不都合を有している。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような課題
を解決することを目的とするもので、ガラス基板をもつ
液晶パネルを保持する保持機構と、研磨テープを電気的
接続部分が形成されたガラス基板の角縁面長手方向と直
交する方向に連続移送させるテープ移送機構と、該テー
プ移送機構を進退移動させる移動機構と、該テープ移送
機構をガラス基板の角縁面長手方向に揺振運動させる揺
振機構と、該研磨テープを平坦状に案内可能なテープガ
イド部と、該研磨テープとガラス基板との圧接力を受け
ると共に研磨テープを平坦状に案内可能な弾性部材をも
つ受圧パッドと、該受圧パッドをガラス基板の角縁面の
形状に追従して首振揺動させる首振機構とを具備したこ
とを特徴とするガラス基板角縁面研磨装置にある。
を解決することを目的とするもので、ガラス基板をもつ
液晶パネルを保持する保持機構と、研磨テープを電気的
接続部分が形成されたガラス基板の角縁面長手方向と直
交する方向に連続移送させるテープ移送機構と、該テー
プ移送機構を進退移動させる移動機構と、該テープ移送
機構をガラス基板の角縁面長手方向に揺振運動させる揺
振機構と、該研磨テープを平坦状に案内可能なテープガ
イド部と、該研磨テープとガラス基板との圧接力を受け
ると共に研磨テープを平坦状に案内可能な弾性部材をも
つ受圧パッドと、該受圧パッドをガラス基板の角縁面の
形状に追従して首振揺動させる首振機構とを具備したこ
とを特徴とするガラス基板角縁面研磨装置にある。
【０００７】
【作用】保持機構によりガラス基板をもつ液晶パネルを
保持し、テープ移送機構によりテープガイド部によって
平坦状に案内された研磨テープを電気的接続部分が形成
されたガラス基板の角縁面長手方向と直交する方向に連
続移送させ、かつテープ移送機構を揺振機構によりガラ
ス基板の角縁面長手方向に揺振運動させ、この状態でテ
ープ移送機構を移動機構により前進移動させると、研磨
テープはガラス基板の電気的接続部分が形成された角縁
面に圧接され、首振機構により首振揺動可能な受圧パッ
ドに設けられた弾性部材は研磨テープを平坦状に案内す
ると共に研磨テープとガラス基板の角縁面との圧接力を
受け、受圧パッドはガラス基板の角縁面の形状に追従し
て首振揺動し、ガラス基板の角縁面は研磨テープの移送
作用、研磨テープの揺振作用の二つの複合作用により圧
接研磨されることになる。
保持し、テープ移送機構によりテープガイド部によって
平坦状に案内された研磨テープを電気的接続部分が形成
されたガラス基板の角縁面長手方向と直交する方向に連
続移送させ、かつテープ移送機構を揺振機構によりガラ
ス基板の角縁面長手方向に揺振運動させ、この状態でテ
ープ移送機構を移動機構により前進移動させると、研磨
テープはガラス基板の電気的接続部分が形成された角縁
面に圧接され、首振機構により首振揺動可能な受圧パッ
ドに設けられた弾性部材は研磨テープを平坦状に案内す
ると共に研磨テープとガラス基板の角縁面との圧接力を
受け、受圧パッドはガラス基板の角縁面の形状に追従し
て首振揺動し、ガラス基板の角縁面は研磨テープの移送
作用、研磨テープの揺振作用の二つの複合作用により圧
接研磨されることになる。
【０００８】
【実施例】図１乃至図７は本発明の実施例を示し、１は
保持機構であって、簡略図示しているが電気的接続部分
が形成された角縁面Ｆが垂直面内に位置する状態で液晶
パネルＷを傾斜保持する載置台２及び液晶パネルＷを位
置固定するクランプ部材３から構成されている。
保持機構であって、簡略図示しているが電気的接続部分
が形成された角縁面Ｆが垂直面内に位置する状態で液晶
パネルＷを傾斜保持する載置台２及び液晶パネルＷを位
置固定するクランプ部材３から構成されている。
【０００９】４はテープ移送機構、５は移動機構、６は
揺振機構、７は送り機構であって、この場合送り機構７
は機台Ｍ上に基台８を取付け、この基台８に送り移動台
９を図２の左右方向である左右方向に摺動部１０により
移動可能に設け、送り移動台９を左右移動させる送り用
シリンダ１１を設けて構成されている。
揺振機構、７は送り機構であって、この場合送り機構７
は機台Ｍ上に基台８を取付け、この基台８に送り移動台
９を図２の左右方向である左右方向に摺動部１０により
移動可能に設け、送り移動台９を左右移動させる送り用
シリンダ１１を設けて構成されている。
【００１０】また揺振機構６は、上記送り移動台９上に
摺動部１２により揺振台１３を図２の左右方向である左
右方向に移動可能に設け、上記送り移動台９上にブラケ
ット１４を取付け、ブラケット１４に揺振用モータ１５
を取付け、ブラケット１４に駆動軸１６を軸受けし、駆
動軸１６の上端部に揺振用モータ１５の主軸を連結し、
駆動軸１６の下端部に偏心軸部１６ａを形成し、偏心軸
部１６ａにカムフォロワー１７を取付け、揺振台１３上
に二個のガイド板１８をカムフォロワー１７を挟装する
状態に対向して取付け、揺振用モータ１５の駆動により
駆動軸１６を回転させ、偏心軸部１６ａに取り付けたカ
ムフォロワー１７とガイド板１８との作用で上記摺動部
１２によって揺振運動させるように構成している。
摺動部１２により揺振台１３を図２の左右方向である左
右方向に移動可能に設け、上記送り移動台９上にブラケ
ット１４を取付け、ブラケット１４に揺振用モータ１５
を取付け、ブラケット１４に駆動軸１６を軸受けし、駆
動軸１６の上端部に揺振用モータ１５の主軸を連結し、
駆動軸１６の下端部に偏心軸部１６ａを形成し、偏心軸
部１６ａにカムフォロワー１７を取付け、揺振台１３上
に二個のガイド板１８をカムフォロワー１７を挟装する
状態に対向して取付け、揺振用モータ１５の駆動により
駆動軸１６を回転させ、偏心軸部１６ａに取り付けたカ
ムフォロワー１７とガイド板１８との作用で上記摺動部
１２によって揺振運動させるように構成している。
【００１１】また移動機構５は、上記揺振台１３に取付
板１９を立設し、取付板１９の側面に摺動部２０を介し
てスライド台２１を前後動作可能に設け、取付板１９に
スライド台２１を前後動作させる作動用シリンダ２２を
設けて構成している。
板１９を立設し、取付板１９の側面に摺動部２０を介し
てスライド台２１を前後動作可能に設け、取付板１９に
スライド台２１を前後動作させる作動用シリンダ２２を
設けて構成している。
【００１２】またテープ移送機構４は、この場合上記取
付板１９にポリエステルフィルム、メタル、クロス等の
基材に酸化アルミニュウム、酸化クロム、シリコンカー
バイド、ダイヤモンド等の所定粒度の研磨粒子をコーテ
ィング又は結合してなる研磨テープＴの実巻リール２３
及び巻取リール２４を軸着し、スライド台２１上に軸受
筒部２５を配設し、軸受筒部２５に回り止め状態で支持
筒２６を配設し、支持筒２６にテープガイド部２７を配
設し、実巻リール２３より引き出した研磨テープＴをロ
ーラー２８、テープガイド部２７、ローラー２９、一対
の挟装ローラー３０ａ・３０ｂの間、ローラー３１を介
して巻取リール２４に巻回し、実巻リール２３をサーボ
モータ３２により駆動すると共に挟装ローラー３０ａを
サーボモータ３３により駆動させ、かつ巻取リール２４
に挟装ローラー３０ａの回転を図外のベルト伝導機構に
より駆動し、研磨テープＴをバックテンションを付与し
つつ一方向に連続移送させるように構成している。
付板１９にポリエステルフィルム、メタル、クロス等の
基材に酸化アルミニュウム、酸化クロム、シリコンカー
バイド、ダイヤモンド等の所定粒度の研磨粒子をコーテ
ィング又は結合してなる研磨テープＴの実巻リール２３
及び巻取リール２４を軸着し、スライド台２１上に軸受
筒部２５を配設し、軸受筒部２５に回り止め状態で支持
筒２６を配設し、支持筒２６にテープガイド部２７を配
設し、実巻リール２３より引き出した研磨テープＴをロ
ーラー２８、テープガイド部２７、ローラー２９、一対
の挟装ローラー３０ａ・３０ｂの間、ローラー３１を介
して巻取リール２４に巻回し、実巻リール２３をサーボ
モータ３２により駆動すると共に挟装ローラー３０ａを
サーボモータ３３により駆動させ、かつ巻取リール２４
に挟装ローラー３０ａの回転を図外のベルト伝導機構に
より駆動し、研磨テープＴをバックテンションを付与し
つつ一方向に連続移送させるように構成している。
【００１３】また上記テープガイド部２７は、上記支持
筒２６に保持板３４を取付け、保持板３４の上下位置に
アーム３５・３５を取付け、アーム３５・３５に支持ア
ーム３６・３６を取付け、支持アーム３６・３６にガイ
ドローラー３７・３７を取付け、研磨テープＴを平坦状
に案内可能に構成している。
筒２６に保持板３４を取付け、保持板３４の上下位置に
アーム３５・３５を取付け、アーム３５・３５に支持ア
ーム３６・３６を取付け、支持アーム３６・３６にガイ
ドローラー３７・３７を取付け、研磨テープＴを平坦状
に案内可能に構成している。
【００１４】３８は受圧パッドと、３９は首振機構であ
って、この場合上記支持筒２６の中心上に取付軸４０を
回動盤４１の回転により進退調節可能に嵌挿配設し、取
付軸４０に支持駒４２を止めネジ４３により位置固定
し、支持駒４２に支点軸４４により受圧パッド３９を水
平首振揺動可能に枢着し、支点軸４４を境にした左右位
置にして支持駒４２と受圧パッド３８との間にそれぞれ
圧縮バネ４５・４５を介在配置し、受圧パッド３８にウ
レタンゴムからなる弾性部材４６を設け、弾性部材４６
の外面は研磨テープＴを平坦状に案内可能な平坦面に形
成されている。
って、この場合上記支持筒２６の中心上に取付軸４０を
回動盤４１の回転により進退調節可能に嵌挿配設し、取
付軸４０に支持駒４２を止めネジ４３により位置固定
し、支持駒４２に支点軸４４により受圧パッド３９を水
平首振揺動可能に枢着し、支点軸４４を境にした左右位
置にして支持駒４２と受圧パッド３８との間にそれぞれ
圧縮バネ４５・４５を介在配置し、受圧パッド３８にウ
レタンゴムからなる弾性部材４６を設け、弾性部材４６
の外面は研磨テープＴを平坦状に案内可能な平坦面に形
成されている。
【００１５】この実施例は上記構成であるから、図７の
如く、保持機構１によりガラス基板Ｇをもつ液晶パネル
Ｗを保持し、テープ移送機構４によりテープガイド部２
７によって平坦状に案内された研磨テープＴを電気的接
続部分が形成されたガラス基板Ｗの角縁面長手方向と直
交する方向に連続移送させ、かつテープ移送機構４を揺
振機構６によりガラス基板Ｗの長手方向に揺振運動さ
せ、この状態でテープ移送機構４を移動機構５により前
進移動させると、研磨テープＴは電気的接続部分が形成
されたガラス基板Ｗの角縁面Ｆに圧接され、首振機構３
９により首振揺動可能な受圧パッド３８に設けられた弾
性部材４６は研磨テープＴを平坦状に案内すると共に研
磨テープＴとガラス基板Ｗの角縁面Ｆとの圧接力を受
け、テープ移送機構４を送り機構７によりガラス基板Ｗ
の長手方向に送り運動させると、ガラス基板Ｗの角縁面
Ｆは研磨テープＴの移送作用、研磨テープＴの揺振作用
及び研磨テープＴの送り作用の三つの複合作用により圧
接研磨されることになり、このため良好な研磨加工を得
ることができる。
如く、保持機構１によりガラス基板Ｇをもつ液晶パネル
Ｗを保持し、テープ移送機構４によりテープガイド部２
７によって平坦状に案内された研磨テープＴを電気的接
続部分が形成されたガラス基板Ｗの角縁面長手方向と直
交する方向に連続移送させ、かつテープ移送機構４を揺
振機構６によりガラス基板Ｗの長手方向に揺振運動さ
せ、この状態でテープ移送機構４を移動機構５により前
進移動させると、研磨テープＴは電気的接続部分が形成
されたガラス基板Ｗの角縁面Ｆに圧接され、首振機構３
９により首振揺動可能な受圧パッド３８に設けられた弾
性部材４６は研磨テープＴを平坦状に案内すると共に研
磨テープＴとガラス基板Ｗの角縁面Ｆとの圧接力を受
け、テープ移送機構４を送り機構７によりガラス基板Ｗ
の長手方向に送り運動させると、ガラス基板Ｗの角縁面
Ｆは研磨テープＴの移送作用、研磨テープＴの揺振作用
及び研磨テープＴの送り作用の三つの複合作用により圧
接研磨されることになり、このため良好な研磨加工を得
ることができる。
【００１６】この研磨加工の際、受圧パッド３８は首振
機構３９の二個の圧縮バネ４５・４５の作用により支点
軸４４を中心として水平首振揺動でき、このためガラス
基板Ｗの角縁面Ｆの形状に追従して揺動することがで
き、それだけ研磨テープＴを角縁面Ｆに良好に圧接させ
ることができ、良好な研磨加工を得ることができる。
機構３９の二個の圧縮バネ４５・４５の作用により支点
軸４４を中心として水平首振揺動でき、このためガラス
基板Ｗの角縁面Ｆの形状に追従して揺動することがで
き、それだけ研磨テープＴを角縁面Ｆに良好に圧接させ
ることができ、良好な研磨加工を得ることができる。
【００１７】尚、本発明は上記実施例に限られるもので
はなく、例えば上記実施例では移動機構５としてシリン
ダ構造を採用しているが、ボールネジ機構とサーボモー
タとの組み合わせ構造を採用することもでき、また首振
機構３９の構造は適宜変更して設計されるものである。
はなく、例えば上記実施例では移動機構５としてシリン
ダ構造を採用しているが、ボールネジ機構とサーボモー
タとの組み合わせ構造を採用することもでき、また首振
機構３９の構造は適宜変更して設計されるものである。
【００１８】また上記実施例では送り機構７を設けてい
るが、幅広の研磨テープＴを用いた構成にした場合に
は、必ずしも送り機構を必要としない場合もある。
るが、幅広の研磨テープＴを用いた構成にした場合に
は、必ずしも送り機構を必要としない場合もある。
【００１９】
【発明の効果】本発明は上述の如く、ガラス基板をもつ
液晶パネルを保持する保持機構と、研磨テープを電気的
接続部分が形成されたガラス基板の角縁面長手方向と直
交する方向に連続移送させるテープ移送機構と、該テー
プ移送機構を進退移動させる移動機構と、該テープ移送
機構をガラス基板の角縁面長手方向に揺振運動させる揺
振機構と、該研磨テープを平坦状に案内可能なテープガ
イド部と、該研磨テープとガラス基板との圧接力を受け
ると共に研磨テープを平坦状に案内可能な弾性部材をも
つ受圧パッドと、該受圧パッドをガラス基板の角縁面の
形状に追従して首振揺動させる首振機構とを具備してい
るから、テープ移送機構によりテープガイド部によって
平坦状に案内された研磨テープを電気的接続部分が形成
されたガラス基板の角縁面長手方向と直交する方向に連
続移送させ、かつテープ移送機構を揺振機構によりガラ
ス基板の長手方向に揺振運動させ、この状態でテープ移
送機構を移動機構により前進移動させると、研磨テープ
はガラス基板の電気的接続部分が形成された角縁面に圧
接され、首振機構により首振揺動可能な受圧パッドに設
けられた弾性部材４６は研磨テープＴを平坦状に案内す
ると共に研磨テープとガラス基板の角縁面との圧接力を
受け、受圧パッドはガラス基板の角縁面の形状に追従し
て首振揺動し、ガラス基板の角縁面は研磨テープの移送
作用及び研磨テープの揺振作用の複合作用により圧接研
磨されることになり、良好な研磨加工を得ることができ
る。
液晶パネルを保持する保持機構と、研磨テープを電気的
接続部分が形成されたガラス基板の角縁面長手方向と直
交する方向に連続移送させるテープ移送機構と、該テー
プ移送機構を進退移動させる移動機構と、該テープ移送
機構をガラス基板の角縁面長手方向に揺振運動させる揺
振機構と、該研磨テープを平坦状に案内可能なテープガ
イド部と、該研磨テープとガラス基板との圧接力を受け
ると共に研磨テープを平坦状に案内可能な弾性部材をも
つ受圧パッドと、該受圧パッドをガラス基板の角縁面の
形状に追従して首振揺動させる首振機構とを具備してい
るから、テープ移送機構によりテープガイド部によって
平坦状に案内された研磨テープを電気的接続部分が形成
されたガラス基板の角縁面長手方向と直交する方向に連
続移送させ、かつテープ移送機構を揺振機構によりガラ
ス基板の長手方向に揺振運動させ、この状態でテープ移
送機構を移動機構により前進移動させると、研磨テープ
はガラス基板の電気的接続部分が形成された角縁面に圧
接され、首振機構により首振揺動可能な受圧パッドに設
けられた弾性部材４６は研磨テープＴを平坦状に案内す
ると共に研磨テープとガラス基板の角縁面との圧接力を
受け、受圧パッドはガラス基板の角縁面の形状に追従し
て首振揺動し、ガラス基板の角縁面は研磨テープの移送
作用及び研磨テープの揺振作用の複合作用により圧接研
磨されることになり、良好な研磨加工を得ることができ
る。
【００２０】以上、所期の目的を充分達成することがで
きる。
きる。
【図１】本発明の実施例の全体正面図である。
【図２】本発明の実施例の縦断面図である。
【図３】本発明の実施例の部分斜視図である。
【図４】本発明の実施例の部分断面図である。
【図５】本発明の実施例の部分側断面図である。
【図６】本発明の実施例の部分拡大側断面図である。
【図７】本発明の実施例の研磨加工状態の部分斜視図で
ある。
ある。
【図８】液晶パネルの説明斜視図である。
Ｗ 液晶パネル Ｇ ガラス基板 Ｔ 研磨テープ Ｆ 角縁面 １ 保持機構 ４ テープ移送機構 ５ 移動機構 ６ 揺振機構 ２７ テープガイド部 ３８ 受圧パッド ３９ 首振機構 ４６ 弾性部材
Claims (1)
- 【請求項１】 ガラス基板をもつ液晶パネルを保持する
保持機構と、研磨テープを電気的接続部分が形成された
ガラス基板の角縁面長手方向と直交する方向に連続移送
させるテープ移送機構と、該テープ移送機構を進退移動
させる移動機構と、該テープ移送機構をガラス基板の角
縁面長手方向に揺振運動させる揺振機構と、該研磨テー
プを平坦状に案内可能なテープガイド部と、該研磨テー
プとガラス基板との圧接力を受けると共に研磨テープを
平坦状に案内可能な弾性部材をもつ受圧パッドと、該受
圧パッドをガラス基板の角縁面の形状に追従して首振揺
動させる首振機構とを具備したことを特徴とするガラス
基板角縁面研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4163536A JP2857817B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | ガラス基板角縁面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4163536A JP2857817B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | ガラス基板角縁面研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05329760A JPH05329760A (ja) | 1993-12-14 |
| JP2857817B2 true JP2857817B2 (ja) | 1999-02-17 |
Family
ID=15775750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4163536A Expired - Lifetime JP2857817B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | ガラス基板角縁面研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2857817B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015151846A1 (ja) * | 2014-04-04 | 2015-10-08 | 日本電気硝子 株式会社 | ガラス板研磨装置及びガラス板研磨方法 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100840413B1 (ko) * | 2008-03-25 | 2008-06-23 | 최영국 | 원통형 가공물의 소형 표면 연마장치 |
| JP5555865B2 (ja) * | 2010-02-05 | 2014-07-23 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 研磨装置 |
| EP2537633B1 (fr) * | 2011-06-24 | 2014-05-07 | Comadur S.A. | Système d'usinage d'un biseau |
| KR101695679B1 (ko) | 2016-03-25 | 2017-01-12 | 이문섭 | 근접 센서와 전자클러치와 타이머를 이용한 원통 연마기 자동 제어 시스템 및 그 방법 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57184662A (en) * | 1981-05-09 | 1982-11-13 | Hitachi Ltd | Chamfering method and device of wafer |
| JPS632286Y2 (ja) * | 1984-10-04 | 1988-01-20 | ||
| JPH03256660A (ja) * | 1990-03-02 | 1991-11-15 | Sanshin:Kk | ワーク研摩機 |
-
1992
- 1992-05-29 JP JP4163536A patent/JP2857817B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015151846A1 (ja) * | 2014-04-04 | 2015-10-08 | 日本電気硝子 株式会社 | ガラス板研磨装置及びガラス板研磨方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05329760A (ja) | 1993-12-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI278926B (en) | Apparatus and method of polishing periphery of device wafer | |
| US8393935B2 (en) | Polishing apparatus | |
| US20030022605A1 (en) | Polishing apparatus and method with belt drive system adapted to extend the lifetime of a refreshing polishing belt provided therein | |
| JP2857817B2 (ja) | ガラス基板角縁面研磨装置 | |
| JP2857816B2 (ja) | ウエハー材縁端面研磨装置 | |
| JPH081494A (ja) | ウエハー材縁端部研磨装置 | |
| JPH1199458A (ja) | 板状部材角縁面取装置 | |
| JP7466029B2 (ja) | 板状部材研磨方法及びその装置 | |
| JP7284852B2 (ja) | 研磨ユニット | |
| JP3404579B2 (ja) | 両端軸状部研磨装置 | |
| CN114178949B (zh) | 研磨机器人装置 | |
| JP3997480B2 (ja) | 板状部材研磨方法及びその装置 | |
| JPH06304855A (ja) | ガラス板角縁面取装置 | |
| JP3966030B2 (ja) | 板状部材研磨装置 | |
| JP2767351B2 (ja) | フィルタ基板異物除去装置 | |
| JP2000024901A (ja) | 研磨装置 | |
| JPH058163A (ja) | 軸状部材研磨装置 | |
| JPH11856A (ja) | ベルトサンダー | |
| JP2009004579A (ja) | 半導体ウェーハノッチ端面の研磨装置及びこれに使用する研磨ヘッド | |
| JPH07205012A (ja) | フィルタ基板異物除去装置 | |
| JP2929227B2 (ja) | ワーク研摩機 | |
| JP3584058B2 (ja) | ウェーハノッチ部の鏡面研摩方法およびその装置 | |
| JP7066805B1 (ja) | 研磨ユニット | |
| JP2995367B2 (ja) | フィルタ基板研磨装置 | |
| JPH1199459A (ja) | 板状部材角縁面取装置 |