JPH03256660A - ワーク研摩機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えば光デイスク用のスタンパ−などのワー
クの裏面を真平状に研摩するワーク研摩機に関するもの
である。

〔従来の技術〕

例えば光ディスクの基板となる光ディスク用スタンパ−
の裏面が平坦でなくわずかな凹凸があると表面に処理さ
れたデータ面がひずみ、データ検出を行う光が追従でき
ない問題を生じる。

そこで、このような光デイスク用のスタンパ−の裏面を
真平状に研摩する必要がある。

従来、このような平板状のワークを研摩する手段は種々
提案されている。

例えば、単にワークを移動させながらワークの研摩面に
パフなどの回転研摩体を当接せしめる研摩装置や、互い
に逆回転する回転盤の間にワークを液状研摩材を介して
挟着して研摩するいわゆるラップ盤装置などがある。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、従来の研摩装置では、平板状のワークの
研摩面を微少の凹凸も全くない完全な真平状には研摩が
できない欠点がある。

また、研摩材の消耗による取り替えなど研摩材の管理が
非常に厄介である。

また、例えばワークの研摩面の微少な凹凸をセンサなど
で検知した場合、その凹凸部のみを再び研摩し、より完
全な真平状となるように追従研摩する方式は採用できな
い構造である。

本発明は、このような欠点を解決したワーク研摩機を提
供するものである。

〔課題を解決するための手段〕

添付図面を参照して本発明の詳細な説明する。

平板状のワーク１をテープ状研摩材２で研摩するもので
あって、ワーク１を回転させる回転機構３と、テープ状
研摩材２を往復微動させる往復微動機構４と、テープ状
研摩材２を巻き取り移送させる巻取移送機構５とを備え
たことを特徴とするワーク研摩機に係るものである。

〔作用〕

回転機構３によりワーク１を回転させる。この回転して
いるワーク１の研摩面にテープ状研摩材２を当接し、巻
取移送機構５によりテープ状研摩材２を移送させながら
、且つ往復微動機構４によりテープ状研摩材２を往復微
動させて研摩する。

〔実施例〕 平板状のワーク１として円盤状の光デイスク用のスタン
バ−を用い、この裏面を研摩する場合の最も好適な実施
例について先ずその構成を説明する。

ワーク１を回転させる回転機構３と、テープ状研摩材２
を往復微動させる往復微動機構４と、テープ状研摩材２
を巻き取り移送させる巻取移送機構５とを備え、更にテ
ープ状研摩材２を支承する支承体６をワークｌの研摩面
上にスライド移動させる移動機構７を設け、支承体６を
昇降させ、テープ状研摩材２を研摩面に当接せしめる昇
降機構８を設け、このような各機構を備えｆコ主装置ａ
に加えて更に仕上げ機構９を設ける。

この仕上げ機構９は、往復微動機構４を有しないが、主
装置ａと同様にテープ状研摩材２°により回転機構３に
より回転するワーク１を研摩するものであって、巻取移
動機構５°、移動機構７°、昇降機構８°を備えたもの
である。

従って、前記の主装置ａのテープ状研摩材２によってワ
ーク１を研摩し、昇降機構８によりテープ状研摩材２を
上昇させ移動機構７によりスライド移動してワーク１の
上方からテープ状研摩材２が退避したら、仕上げ機構９
が作動するもので、テープ状研摩材２°を支承した支承
体６゛が移動機構７゛によりワーク１上方にスライド移
動し、昇降機構８°により支承体６゛を降下させてテー
プ状研摩材２′をワーク１の研摩面上に当接し、仕上げ
研摩するものである。

更に、本実施例の各構成（各機構）について先ず第１図
及び第２図に基づいて更に詳述する。

ワーク１は前述のように光ディスク用スタンパ−であり
、この裏面を真平状に研摩するため裏面を上面にして載
置するものである。

主装置ａのテープ状研摩材２は、市販されているラッピ
ングフィルムを使用し、その巾はワーク１の研摩中に対
応させたものを使用している。

従って、回転しているワーク１に当接すればテープ状研
摩材２を移動させることなく研摩面全面を研摩できるこ
ととなる。

また、仕上げ機構９に用いるテープ状研摩材２゜の巾は
テープ状研摩材２より狭く、移動機構７°により移動さ
せながらワーク１の研摩面全面を研摩する。

ワーク１を回転させる回転機構３について詳述する。

機台ｌＯに回転駆動モータ１１を設け、この機台Ｗ上に
上方を開口した回転テーブルケース丘を固定し、この回
転テーブルケース臆内に前記回転駆動モータ１１の駆動
軸１１　ａに連結されて回転する回転テーブル劇を設け
る。

この回転テーブルＢ上に固定装置１４により円盤状のワ
ークｌを研摩面を上にして載置固定する。

この固定装置１４は、ワーク１の中心部上面をボルト巧
により押圧当接する中心当接部材１４　ａとワーク１の
周辺側縁を押圧するスライド固定自在に設けた側縁当接
部材１４　ｂとからなる。

テープ状研摩材２を往復微動させる往復微動機構４につ
いて特に第２図に基づいて詳述する。

テープ状研摩材２は支承体６の下端に巻取移動機構５を
介して支承され、この支承体６を昇降させる昇降機構８
を介して取付体Ｗを付設する。

往復微動機構４はこの取付体正に設け、この取付体正を
往復微動させてこの主装置ａ全体を往復微動させテープ
状研摩材２を往復微動させる。

更に詳述すると、前記取付体比の支承体６及び昇降機構
８を設けた側と反対側に水平突設した載置部Ｉｆ３ａ上
に往復微動用モータ１７を設け、この駆動軸１７　ａを
載置ｆｆ１１８ａより垂下し、駆動軸１７　ａの下端に
偏心仮止を付設する。

この偏心仮止の偏心軸比を偏心度調節ネジ加によりスラ
イド自在に設け、この偏心軸Ｗを取付体用に前記載置部
１６　ａと平行にして水平突設した偏心軸取付部１６　
ｂに固定する。偏心度調節ネジ加により設定した偏心度
による偏心板部の回転により取付体止を往復微動させる
。

支承体６に支承したテープ状研摩材２の巻取機構５につ
いて詳述する。

支承体６の上部に巻取機構取付体虹を設ける。

この巻取機構取付体２１の前面上部左右に未使用のテー
プ状研摩材２を巻いたリール２２ａと、研摩して摩耗し
たテープ状研摩材２を巻き取るリール２２ｂを設ける。

更に夫々のテンションで移送巻き取りを行うモータ２３
ａ−２３ｂとこれにより駆動する駆動ローラ２４ｂと数
個のガイドローラ６を設け、テープ状研摩材２を支承体
６の下端に配設する。

この支承体６の下端に配設されたテープ状研摩材２をワ
ーク１の研摩面に当接する当接ローラ謳を支承体６に架
設する。

この巻取移動機構５によりテープ状研摩材２は移送され
、前記支承体６の下端の当接ローラ３によりワーク１の
研摩面に当接されて研摩されるが、この研摩により摩耗
したテープ状研摩材２は摩耗度合を考慮して設定された
移送速度で一方のり−ルＺ２ａから他方のリール２２ｂ
に自動的に巻き取られる。従って、研摩材の管理は単に
このリールｎａに巻き取り状態で市販されているテープ
状研摩材２をセットしたり、リール２２ｂに巻き取られ
たテープ状研摩材２を処分するたけで良いこととなる。

支承体６をスライド移動させる移動機構７について詳述
する。

前記支承体６及び昇降機構８を設けた偏心軸取付部ｍｂ
の下端部に可動ナツト部Ｉを設け、この可動ナツト部ｎ
を機台１０に設けた螺子杆Ｚに螺着し、この螺子杆Ｚを
回動させる移動用モータ９を設ける。

即し、この移動用モータ四により螺子杆あが回動するこ
とにより可動ナツト部Ｉが移動し、取付体Ｗがスライド
移動する。

この可動ナツト部τの移動を検知するリミットスイッチ
を設は移動用モータ器の駆動を制御する制御装置を設け
る　（図示していない）。

支承体６を昇降する昇降機ＩＩ８について詳述する。

前記取付体那にシリンダ受筒（資）を設け、このシリン
ダ受筒額の上部にロッド３１を下方に向けてシリンダに
を付設する。

このロッド３１の下端にロッド８１の上下動により昇降
するし板状の昇降体Ｕを前記シリンダ受筒父の開口部よ
り突出状態に設け、この昇降体Ｕに支承体６を設ける。

従って、シリンダ諺のロッド８１を下方へ押し出すこと
により昇降体Ｕが下方に押され、支承体６が下降する。

図中符号（はストッパーであり、昇降体調が下降し、支
承体６の下端のテープ状研摩材２がワ一り１に所定の押
圧力で当接した状態で下降が止まるようにしたものであ
る。

尚、図中符号あは支承体６の昇降度合を微調整してテー
プ状研摩材２の当接圧を調整し、研摩圧を調整する機構
で、田はこの調整ネジである。

また、本実施例においては第３図に示すような仕上げ機
構９を設けているが、前述のように主装置ａと同様の巻
取移動機構５”、移動機構７′、昇降機構８″を設けて
いる。

尚、これらの機構の構成は、主装置ａに説明したものと
同等のものには「゛」を備えた符号で図示している。

本実施例の作動の一例について説明すると、主装置ａが
先ず移動機構７によりスライド移動してワーク１の上方
に位置し、昇降機構８が作動して支承体６が下降し、テ
ープ状研摩材２が回転機構３により回転しているワーク
１の研摩面に当接されると共に、往復微動機構４が作動
してテープ状研摩材２が往復微動し、ワーク１の研摩面
を研摩する。

この主装置ａによる研摩が終了したら、往復微動機構４
が停止し、昇降機構８が作動してテープ状研摩材２が上
昇し、移動機構７によりスライド退避する。

これと同時に仕上げ機構９が作動する。即ち主波［ａの
ときと同様に移動機構７°、昇降機構８“が作動する。

但し、前述したように仕上げ機構９においては往復微動
機構４が設けられていない。また、テープ状研摩材２′
のテープ中が狭いため移動機構７によりテープ状研摩材
２′がスライド移動しながら研摩する。

尚、本実施例は、上述の実施例に限られるものでなく、
例えば仕上げ機構９などは特に設けなくとも良く、各機
構の構成、制御もワーク１に応じて適宜設計し得るもの
である。

また、本実施例に研摩したワーク１の研摩面の微少の凹
凸部を検知する検知装置を設け、この検知した凹凸部へ
再び移動機構７によりテープ状研摩材２を移動せしめて
昇降機構８により当接して追従研摩させ、その研摩圧も
前述の研摩圧調整機構Ｉにより調整制御する制御装置を
増設しても良い。

〔発明の効果〕

本発明は上述のように往復微動機構により往復微動する
テープ状研摩材によって回転機構により回転する平板状
のワークを研摩するから、ワークの研摩面をほぼ完全に
真平状に研摩することができるワーク研摩機となる。

また、ワークの研摩面の微少の凹凸部を検知する検知装
置並びにこの検知した凹凸部のみを再び追従研摩する制
御装置を設けより真平状に研摩するように構成すること
も可能な秀れたワーク研摩機となる。

また、テープ状研摩材を巻き取り移送させる巻取移動機
構を設けたから、研摩により摩耗した研摩材（テープ状
研摩材）の取り替えなどの管理が非常に便利となるなど
秀れた効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図は正面図
、第２図は要部の側面図、第３図は特に仕上げ機構を示
した要部の側面図である。 ｌ・・・ワーク、２・・・テープ状研摩材、３・・回転
機構、４・・・往復微動機構、５・巻取移動機構。 平成２年３月２日

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 平板状のワークをテープ状研摩材で研摩するものであっ
   て、ワークを回転させる回転機構と、テープ状研摩材を
   往復微動させる往復微動機構と、テープ状研摩材を巻き
   取り移送させる巻取移送機構とを備えたことを特徴とす
   るワーク研摩機。