JP2659252B2 - 磁気ヘッドの製造装置および製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造装置および製造方法Info
- Publication number
- JP2659252B2 JP2659252B2 JP1323791A JP32379189A JP2659252B2 JP 2659252 B2 JP2659252 B2 JP 2659252B2 JP 1323791 A JP1323791 A JP 1323791A JP 32379189 A JP32379189 A JP 32379189A JP 2659252 B2 JP2659252 B2 JP 2659252B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- tape
- polishing
- head support
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は磁気記録用の磁気ヘッドに関わり、特にVTR
用の磁気ヘッドの製造装置および製造方法に関する。
用の磁気ヘッドの製造装置および製造方法に関する。
[従来技術] 従来の磁気ヘッドの研磨装置は例えば特公昭58−1397
2号公報に記載のように、磁気ヘッドを取り付けたヘッ
ドホルダシリンダを研磨テープに押しつけ、これを回転
させて研磨するようになっていた。
2号公報に記載のように、磁気ヘッドを取り付けたヘッ
ドホルダシリンダを研磨テープに押しつけ、これを回転
させて研磨するようになっていた。
VTR(ビデオテープレコーダ)用の磁気ヘッドを研磨
する場合、VTRのロータリ磁気ヘッドシリンダ装置と同
様に、上記ヘッドホルダシリンダを上下のテープガイド
シリンダ間の間隙部に上記ヘッドホルダシリンダを設
け、これを回転させるようにし、一方、研磨テープをテ
ープガイドシリンダに巻きつけ、上記磁気ヘッドホルダ
シリンダに取付けた磁気ヘッドを所定量突出させて研磨
テープに接触させ、磁気ヘッドを例えば第8図に示すよ
うな形状に研磨するようにしていた。
する場合、VTRのロータリ磁気ヘッドシリンダ装置と同
様に、上記ヘッドホルダシリンダを上下のテープガイド
シリンダ間の間隙部に上記ヘッドホルダシリンダを設
け、これを回転させるようにし、一方、研磨テープをテ
ープガイドシリンダに巻きつけ、上記磁気ヘッドホルダ
シリンダに取付けた磁気ヘッドを所定量突出させて研磨
テープに接触させ、磁気ヘッドを例えば第8図に示すよ
うな形状に研磨するようにしていた。
[発明が解決しようとする課題] 上記従来の研磨法では、第8図に示した磁気ヘッドの
磁気テープ走行方向の半径Rxと幅方向の半径Ryは、第13
図に示すように上記磁気ヘッドの突出量δに影響される
ので、所定の形状を得るためには、上記突出量を高精度
に設定する必要があった。
磁気テープ走行方向の半径Rxと幅方向の半径Ryは、第13
図に示すように上記磁気ヘッドの突出量δに影響される
ので、所定の形状を得るためには、上記突出量を高精度
に設定する必要があった。
また、第14図に示すように、磁気ヘッド41を取付けた
ヘッドベース40を研磨テープ1に接触させる場合、研磨
テープ1と上記ヘッドホルダシリンダ間の接触抵抗、テ
ープ張力、磁気ヘッド41と研磨テープ1間の接触抵抗等
の変動により、研磨テープ1は上下に移動するので、幅
Wを研磨テープ1の中心と磁気ヘッド41の中心間にΔh
だけのずれを生じ、これにより、研磨テープ1が下側に
移動した場合には第15図に示すように磁気ヘッド41の下
側が多く研磨され、研磨テープ1が上側に移動した場合
には第16図に示すように磁気ヘッド41の上側が多く研磨
されるようになり、第17図に示すように上下対称な形状
が得られなくなるという問題があった。
ヘッドベース40を研磨テープ1に接触させる場合、研磨
テープ1と上記ヘッドホルダシリンダ間の接触抵抗、テ
ープ張力、磁気ヘッド41と研磨テープ1間の接触抵抗等
の変動により、研磨テープ1は上下に移動するので、幅
Wを研磨テープ1の中心と磁気ヘッド41の中心間にΔh
だけのずれを生じ、これにより、研磨テープ1が下側に
移動した場合には第15図に示すように磁気ヘッド41の下
側が多く研磨され、研磨テープ1が上側に移動した場合
には第16図に示すように磁気ヘッド41の上側が多く研磨
されるようになり、第17図に示すように上下対称な形状
が得られなくなるという問題があった。
本発明の目的は、上記形状誤差を低減した高精度の磁
気ヘッドの製造装置および製造方法を提供することにあ
る。
気ヘッドの製造装置および製造方法を提供することにあ
る。
また、上記従来の形状誤差を修正するための再研磨工
程を省略し、加工時間を短縮することにある。
程を省略し、加工時間を短縮することにある。
[課題を解決するための手段] 本発明では上記課題を解決するために、上記研磨テー
プの非研磨面上の上記ヘッドホルダシリンダ外周部の両
側を二つのテープフォーミングガイドにより押圧するよ
うにする。
プの非研磨面上の上記ヘッドホルダシリンダ外周部の両
側を二つのテープフォーミングガイドにより押圧するよ
うにする。
さらに、上記テープフォーミングガイドのそれぞれに
上記上部及び下部のシリンダの外周部と接する円周面を
備えるようにする。
上記上部及び下部のシリンダの外周部と接する円周面を
備えるようにする。
さらに、上記各テープフォーミングガイドの上記円周
面内に研磨テープを吸着するための溝を備えるようにす
る。
面内に研磨テープを吸着するための溝を備えるようにす
る。
さらに、上記各テープフォーミングガイドの突出量
と、間隔と、各押圧力と、上記ヘッドホルダシリンダの
回転軸方向位置を調整できるようにする。
と、間隔と、各押圧力と、上記ヘッドホルダシリンダの
回転軸方向位置を調整できるようにする。
[作用] 以上のように構成した本発明の磁気ヘッド製造装置
は、研磨テープを上記磁気ヘッドホルダに所定の形状な
らびに所定の押圧力で押圧して研磨テープのずれによっ
て生ずる磁気ヘッド研磨力の変動を抑圧し、さらに上記
押圧力の大きさ、位置等を調整して磁気ヘッドを所定の
形状精度に研磨する。
は、研磨テープを上記磁気ヘッドホルダに所定の形状な
らびに所定の押圧力で押圧して研磨テープのずれによっ
て生ずる磁気ヘッド研磨力の変動を抑圧し、さらに上記
押圧力の大きさ、位置等を調整して磁気ヘッドを所定の
形状精度に研磨する。
[実施例] 第1図は本発明の原理的機構を示す図である。第1図
を第12図に示した従来装置と比較すると、研磨テープ1
の両側に上テープフォーミングガイド20aと下テープフ
ォーミングガイド20bが設けられている点が異なってい
る。
を第12図に示した従来装置と比較すると、研磨テープ1
の両側に上テープフォーミングガイド20aと下テープフ
ォーミングガイド20bが設けられている点が異なってい
る。
第1図において、磁気ヘッド41と上テープフォーミン
グガイド20aの下縁間の間隔Wb、および下テープフォー
ミングガイド20bの上縁間との間隔Waと、磁気ヘッド41
の突出し量を所定の値に設定することにより、所定の精
度の磁気ヘッドをばらつき少なく研磨加工することがで
きる。
グガイド20aの下縁間の間隔Wb、および下テープフォー
ミングガイド20bの上縁間との間隔Waと、磁気ヘッド41
の突出し量を所定の値に設定することにより、所定の精
度の磁気ヘッドをばらつき少なく研磨加工することがで
きる。
第2図は第1に示した本発明装置の詳細な断面図であ
る。
る。
下シリンダ11b内にベアリング34bにより支持されるヘ
ッドホルダシリンダ30が装着され、ヘッドホルダ軸を介
してヘッドホルダ用モータにより回転される。ヘッドホ
ルダシリンダ30の上部には軸受34aに支持され、ガイド
シリンダ保持軸33に嵌合された上ガイドシリンダ11aが
設置される。ガイドシリンダ保持軸33は第6図に示す上
下機構ホルダ35により案内され、上シリンダ11aが下シ
リンダ11bから所定の間隔だけ離れるように保持され
る。ヘッドホルダシリンダ30には複数の磁気ヘッドが取
付けられ、これは回転することによって上下のシリンダ
11aと11bにまたがって巻き付けられた研磨テープ1と摺
動して研磨される。
ッドホルダシリンダ30が装着され、ヘッドホルダ軸を介
してヘッドホルダ用モータにより回転される。ヘッドホ
ルダシリンダ30の上部には軸受34aに支持され、ガイド
シリンダ保持軸33に嵌合された上ガイドシリンダ11aが
設置される。ガイドシリンダ保持軸33は第6図に示す上
下機構ホルダ35により案内され、上シリンダ11aが下シ
リンダ11bから所定の間隔だけ離れるように保持され
る。ヘッドホルダシリンダ30には複数の磁気ヘッドが取
付けられ、これは回転することによって上下のシリンダ
11aと11bにまたがって巻き付けられた研磨テープ1と摺
動して研磨される。
このとき、上下のシリンダ11aと11bはブレーキローラ
9により、その表面速度が研磨テープ1の送り速度と一
致するように駆動される。このため、研磨テープ1が上
下のシリンダ11aと11bの表面を研磨することが無いので
上下のシリンダ11aと11bの表面は摩耗しない。これによ
り、上記研磨加工の繰返しに応じて各磁気ヘッド41の上
記突出し量を調整する必要が無くなる。
9により、その表面速度が研磨テープ1の送り速度と一
致するように駆動される。このため、研磨テープ1が上
下のシリンダ11aと11bの表面を研磨することが無いので
上下のシリンダ11aと11bの表面は摩耗しない。これによ
り、上記研磨加工の繰返しに応じて各磁気ヘッド41の上
記突出し量を調整する必要が無くなる。
研磨テープ1の両側には2個のテープフォーミングガ
イド20aと20bが当てがわれ、各磁気ヘッドの研磨面の形
状を制御する。
イド20aと20bが当てがわれ、各磁気ヘッドの研磨面の形
状を制御する。
テープフォーミングガイド20aと20bは間隔微調ステー
ジ21に取付けられ、間隔微調ステージ21はZテーブル26
に取付けられ、Zテーブル26はXテーブル27上に設置さ
れる。
ジ21に取付けられ、間隔微調ステージ21はZテーブル26
に取付けられ、Zテーブル26はXテーブル27上に設置さ
れる。
第1図に示したテープフォーミングガイド20aと20b間
の間隔WaとWbはそれぞれ間隔微調ツマミ21aと21bとによ
り設定される。また、調整ツマミ22aと22bとにより、各
テープフォーミングガイド20aと20bの押し当て量が微調
される。以上の様に位置合わせされた2個のテープフォ
ーミングガイド20aと20bは、調整ツマミ23によりZテー
ブルを上下方向に移動して高さを調整され、加圧機構29
によってXテーブル上を移動して研磨テープ1に押し当
てられる。また、上記2個のテープフォーミングガイド
の傾斜角は研磨条件に応じてゴニオステージ25の調整ツ
マミ28により調整することができる。
の間隔WaとWbはそれぞれ間隔微調ツマミ21aと21bとによ
り設定される。また、調整ツマミ22aと22bとにより、各
テープフォーミングガイド20aと20bの押し当て量が微調
される。以上の様に位置合わせされた2個のテープフォ
ーミングガイド20aと20bは、調整ツマミ23によりZテー
ブルを上下方向に移動して高さを調整され、加圧機構29
によってXテーブル上を移動して研磨テープ1に押し当
てられる。また、上記2個のテープフォーミングガイド
の傾斜角は研磨条件に応じてゴニオステージ25の調整ツ
マミ28により調整することができる。
第3図は上記第1図に示した装置の上面図である。同
図に示すように、研磨テープ1は上下のシリンダ11aと1
1bの外周の略半円近く巻き付けられ、同様に上下のテー
プフォーミングガイド20aと20bも略半周にわたって押し
当てられる。
図に示すように、研磨テープ1は上下のシリンダ11aと1
1bの外周の略半円近く巻き付けられ、同様に上下のテー
プフォーミングガイド20aと20bも略半周にわたって押し
当てられる。
テープフォーミングガイド20aと20bをシリンダ11aと1
1bに押し当てる際は、第4図に示すように、ガイドロー
ラ8aと8bを上下のシリンダ11aと11b側に移動させて研磨
テープ1を押し当て、次いでテープフォーミングガイド
20aと20bを同様に移動させるようにする。
1bに押し当てる際は、第4図に示すように、ガイドロー
ラ8aと8bを上下のシリンダ11aと11b側に移動させて研磨
テープ1を押し当て、次いでテープフォーミングガイド
20aと20bを同様に移動させるようにする。
第5図は上記テープフォーミングガイド20aと20bの斜
視図である。テープフォーミングガイド20aと20bのそれ
ぞれにテープ吸着用の溝43aと43bが設けられている。
視図である。テープフォーミングガイド20aと20bのそれ
ぞれにテープ吸着用の溝43aと43bが設けられている。
第6図は上記第1図および第2図に示した装置の斜視
図である。上シリンダ11aのシリンダ保持軸33は上下機
構ホルダ35により支持され、ヘッドベース40上の未加工
磁気ヘッドを所定の押出し量で固定したヘッドホルダシ
リンダ30をヘッドホルダ駆動軸32に装着するときは上方
に持ち上げられ、装着後は下降されてシリンダ保持軸33
をヘッドホルダシリンダ30に嵌合される。
図である。上シリンダ11aのシリンダ保持軸33は上下機
構ホルダ35により支持され、ヘッドベース40上の未加工
磁気ヘッドを所定の押出し量で固定したヘッドホルダシ
リンダ30をヘッドホルダ駆動軸32に装着するときは上方
に持ち上げられ、装着後は下降されてシリンダ保持軸33
をヘッドホルダシリンダ30に嵌合される。
第7図は上下のシリンダ11aと11bに研磨テープ1を着
脱する機構の斜視図である。供給リール2内の研磨テー
プ1はピンチローラ3aに圧着されたキャプスタンローラ
4aにより繰り出され、インピーダンスローラ7a,7bおよ
びガイドローラ8a、8bに案内されて上下のシリンダ11
a、11bに装着される。その後、キャプスタンローラ4bと
ピンチローラ3bの間を通って巻取りリール10に巻取られ
る。研磨テープ1が全部巻取られた後は、一旦、供給リ
ール2に巻き戻してから上記の研磨工程を繰り返す。ま
た、研磨テープ1が全部巻取られた後は、研磨テープ1
の走行方向を逆転させ、巻取りリール10を供給リールと
し、供給リール2に巻き取らせるようにしてもよい。各
キャプスタンローラ4a、4b等はキャプスタンモータ5に
より駆動される。なお、上記研磨において、研磨テープ
1をVTRの場合と同様に、上下のシリンダ11a、11bの回
転軸に対し傾斜させて装着するようにしてもよい。ま
た、研磨テープ1の駆動装置は第7図に示したものとは
異なることになるが、研磨テープ1を上下のシリンダ11
a、11bの回転軸に並行に走行させようにしてもよい。
脱する機構の斜視図である。供給リール2内の研磨テー
プ1はピンチローラ3aに圧着されたキャプスタンローラ
4aにより繰り出され、インピーダンスローラ7a,7bおよ
びガイドローラ8a、8bに案内されて上下のシリンダ11
a、11bに装着される。その後、キャプスタンローラ4bと
ピンチローラ3bの間を通って巻取りリール10に巻取られ
る。研磨テープ1が全部巻取られた後は、一旦、供給リ
ール2に巻き戻してから上記の研磨工程を繰り返す。ま
た、研磨テープ1が全部巻取られた後は、研磨テープ1
の走行方向を逆転させ、巻取りリール10を供給リールと
し、供給リール2に巻き取らせるようにしてもよい。各
キャプスタンローラ4a、4b等はキャプスタンモータ5に
より駆動される。なお、上記研磨において、研磨テープ
1をVTRの場合と同様に、上下のシリンダ11a、11bの回
転軸に対し傾斜させて装着するようにしてもよい。ま
た、研磨テープ1の駆動装置は第7図に示したものとは
異なることになるが、研磨テープ1を上下のシリンダ11
a、11bの回転軸に並行に走行させようにしてもよい。
なお、第7図において、シリンダ11a,11b等を駆動す
るブレーキローラ9はタイミングベルト6a、6b等を介し
てキャプスタンモータ5により駆動される。
るブレーキローラ9はタイミングベルト6a、6b等を介し
てキャプスタンモータ5により駆動される。
第7図において、研磨テープ1の同じ部分を繰返し使
用すると、砥粒の脱落や切粉の付着等により磁気ヘッド
の研磨面にスクラッチ等の傷が発生するので、常に研磨
テープ1の新しい面を用いて研磨するようにする。第7
図に示した装置では、研磨テープ1が1回巻取られる毎
に、上記研磨テープ走行系の搭載する支持台15の位置を
磁気ヘッドの研磨幅程度、上または下側に移動させるよ
うにしている。
用すると、砥粒の脱落や切粉の付着等により磁気ヘッド
の研磨面にスクラッチ等の傷が発生するので、常に研磨
テープ1の新しい面を用いて研磨するようにする。第7
図に示した装置では、研磨テープ1が1回巻取られる毎
に、上記研磨テープ走行系の搭載する支持台15の位置を
磁気ヘッドの研磨幅程度、上または下側に移動させるよ
うにしている。
上記の研磨テープの装着後はヘッドホルダシリンダ30
が回転して各磁気ヘッドを研磨する。この時、ヘッドホ
ルダシリンダ30を一方向に回転させると、磁気ヘッドの
回転方向側の研磨テープ接触圧力が相対的に高くなり、
加工形状が不揃いになるので、通常、上記回転方向を定
期的に逆転させるようにしている。
が回転して各磁気ヘッドを研磨する。この時、ヘッドホ
ルダシリンダ30を一方向に回転させると、磁気ヘッドの
回転方向側の研磨テープ接触圧力が相対的に高くなり、
加工形状が不揃いになるので、通常、上記回転方向を定
期的に逆転させるようにしている。
また、通常、加工効率を上げるために、研磨テープを
目の粗い物から細かいものへ順次交換するようにしてい
る。このような場合、本発明の装置においても、例えば
#4000の粗加工テープを用いる装置と、#8000の中仕上
げ用テープを用いる装置と、#10000の仕上げ用テープ
を用いる装置等を用い、例えば、下シリンダ11bとヘッ
ドホルダシリンダ30よりなる部分を上記装置間に順次搬
送して研磨加工するようにする。
目の粗い物から細かいものへ順次交換するようにしてい
る。このような場合、本発明の装置においても、例えば
#4000の粗加工テープを用いる装置と、#8000の中仕上
げ用テープを用いる装置と、#10000の仕上げ用テープ
を用いる装置等を用い、例えば、下シリンダ11bとヘッ
ドホルダシリンダ30よりなる部分を上記装置間に順次搬
送して研磨加工するようにする。
第9図は上記本発明装置によって加工した磁気ヘッド
41の形状精度とテープフォーミングガイド20a、20b間の
間隔との関係を示す図である。これにより、上記間隔を
5〜7mm程度にすると、第8図に示した磁気ヘッドのテ
ープ走行方向の半径Rxおよび幅方向の半径Ryは略一定値
になることがわかる。また、同図左側に示したRyの従来
値に比較するとそのばらつきが著しく減少していること
がわかる。
41の形状精度とテープフォーミングガイド20a、20b間の
間隔との関係を示す図である。これにより、上記間隔を
5〜7mm程度にすると、第8図に示した磁気ヘッドのテ
ープ走行方向の半径Rxおよび幅方向の半径Ryは略一定値
になることがわかる。また、同図左側に示したRyの従来
値に比較するとそのばらつきが著しく減少していること
がわかる。
また、同図は上記間隔を2〜3mm以下にすると、上記R
x,Ryを減少させることができを示している。
x,Ryを減少させることができを示している。
第10図は上記本発明装置によって加工した磁気ヘッド
41の形状精度と、テープフォーミングガイド20a、20bの
間隔を3.2mmとし、磁気ヘッド41を上記二つのテープフ
ォーミングガイドの中心から距離δをずらせた場合に生
じる上記Ryの中心点の移動量との関係を示す図である。
これにより、上記δを減少することにより上記Ryの中心
点を磁気ヘッドの幅中心に正しく設定できることがわか
る。これに対して従来の加工方法では同図左側に示すよ
うに、上記Ryの中心位置のばらつきが大きく、このばら
つきを縮小することができなかった。
41の形状精度と、テープフォーミングガイド20a、20bの
間隔を3.2mmとし、磁気ヘッド41を上記二つのテープフ
ォーミングガイドの中心から距離δをずらせた場合に生
じる上記Ryの中心点の移動量との関係を示す図である。
これにより、上記δを減少することにより上記Ryの中心
点を磁気ヘッドの幅中心に正しく設定できることがわか
る。これに対して従来の加工方法では同図左側に示すよ
うに、上記Ryの中心位置のばらつきが大きく、このばら
つきを縮小することができなかった。
上記Ryの中心位置のばらつきにより、磁気ヘッドの幅
方向断面の形状はは第11図に示すように非対称となる。
この非対称の程度は同図に示すaとbの差p=|a−b|で
表すことができる。第8図において、磁気ヘッドの磁気
ギャップの位置からテープ走行方向に前後0.2mmの範囲
を想定し、この範囲内の上記pと磁気ヘッドの再生出力
レベルとの関係を測定すると第12図が得られる。これに
より上記再生出力レベルは上記pの値が0.1μmを超え
ると急激に低下することがわかる。本発明では第10図に
示したように、テープフォーミングガイド20a,20bの位
置を正しく設定することにより、上記pの値を0.1μm
以下に設定することは極めて容易なのである。
方向断面の形状はは第11図に示すように非対称となる。
この非対称の程度は同図に示すaとbの差p=|a−b|で
表すことができる。第8図において、磁気ヘッドの磁気
ギャップの位置からテープ走行方向に前後0.2mmの範囲
を想定し、この範囲内の上記pと磁気ヘッドの再生出力
レベルとの関係を測定すると第12図が得られる。これに
より上記再生出力レベルは上記pの値が0.1μmを超え
ると急激に低下することがわかる。本発明では第10図に
示したように、テープフォーミングガイド20a,20bの位
置を正しく設定することにより、上記pの値を0.1μm
以下に設定することは極めて容易なのである。
[発明の効果] 本発明によれば、テープフォーミングガイドにより研
磨テープを磁気ヘッドに常に正しく押し当てることがで
きるので、磁気ヘッドの研磨加工精度を向上させ、形状
のばらつきを減少することができる。
磨テープを磁気ヘッドに常に正しく押し当てることがで
きるので、磁気ヘッドの研磨加工精度を向上させ、形状
のばらつきを減少することができる。
さらに、上記テープフォーミングガイドの押し当て量
や位置等を調整することにより、磁気ヘッドの上記研磨
形状を略任意に設定することができる。
や位置等を調整することにより、磁気ヘッドの上記研磨
形状を略任意に設定することができる。
第1図は本発明の原理的構成図、第2図は本発明装置の
ヘッドホルダシリンダ部とテープフォーミングガイド部
の主要部の実施例断面図、第3図は本発明実施例装置に
おいてテープフォーミングガイドが上下のシリンダに押
し当てられた状態を示す図、第4図は本発明実施例装置
においてテープフォーミングガイドが上下のシリンダか
ら離れた状態を示す図、第5図は本発明実施例のテープ
フォーミングガイドの斜視図、第6図は本発明実施例に
よるフォーミングガイド部とシリンダ部の主要部を示す
斜視図、第7図は本発明実施例による研磨テープ駆動系
主要部の斜視図、第8図は磁気ヘッドの形状説明図、第
9図、第10図は本発明により加工された磁気ヘッドの形
状パラメータの特性図、第11図は磁気ヘッド形状の歪み
を説明する断面図、第12図は磁気ヘッド形状の歪みに対
する性能の関係を示す特性図、第13図は従来の加工法に
おける磁気ヘッドの形状パラメータの特性図、第14図は
従来の加工法の説明図、第15図、第16図は従来の加工法
における磁気ヘッドの形状不良を説明する図、第17図は
良好な磁気ヘッドの形状を説明する図である。1……研
磨テープ、2……供給リール、3……ピンチローラ、4
……キャプスタンローラ、5……キャプスタンモータ、
6……タイミングベルト、7……インピーダンスロー
ラ、8……ガイドローラ、9……ブレーキローラ、10…
…巻取リール、11……シリンダ、13……プーリ、15……
支持台、20……テープフォーミングガイド、21……微調
ツマミ、30……ヘッドホルダシリンダ、31……ヘッドホ
ルダ用モータ、40……ヘッドベース、41……磁気ヘッ
ド、43……テープ吸着用みぞ、45……磁気ギャップ。
ヘッドホルダシリンダ部とテープフォーミングガイド部
の主要部の実施例断面図、第3図は本発明実施例装置に
おいてテープフォーミングガイドが上下のシリンダに押
し当てられた状態を示す図、第4図は本発明実施例装置
においてテープフォーミングガイドが上下のシリンダか
ら離れた状態を示す図、第5図は本発明実施例のテープ
フォーミングガイドの斜視図、第6図は本発明実施例に
よるフォーミングガイド部とシリンダ部の主要部を示す
斜視図、第7図は本発明実施例による研磨テープ駆動系
主要部の斜視図、第8図は磁気ヘッドの形状説明図、第
9図、第10図は本発明により加工された磁気ヘッドの形
状パラメータの特性図、第11図は磁気ヘッド形状の歪み
を説明する断面図、第12図は磁気ヘッド形状の歪みに対
する性能の関係を示す特性図、第13図は従来の加工法に
おける磁気ヘッドの形状パラメータの特性図、第14図は
従来の加工法の説明図、第15図、第16図は従来の加工法
における磁気ヘッドの形状不良を説明する図、第17図は
良好な磁気ヘッドの形状を説明する図である。1……研
磨テープ、2……供給リール、3……ピンチローラ、4
……キャプスタンローラ、5……キャプスタンモータ、
6……タイミングベルト、7……インピーダンスロー
ラ、8……ガイドローラ、9……ブレーキローラ、10…
…巻取リール、11……シリンダ、13……プーリ、15……
支持台、20……テープフォーミングガイド、21……微調
ツマミ、30……ヘッドホルダシリンダ、31……ヘッドホ
ルダ用モータ、40……ヘッドベース、41……磁気ヘッ
ド、43……テープ吸着用みぞ、45……磁気ギャップ。
Claims (4)
- 【請求項1】上部および下部のシリンダ間に同軸に介在
する磁気ヘッド支持体の外周部に1個、または複数の磁
気ヘッドを取付け、上記上部および下部のシリンダの外
周面に研磨テープを押し付け、上記磁気ヘッド支持体を
回転して上記磁気ヘッドの研磨加工を行なう磁気ヘッド
の製造装置において、上記研磨テープの非研磨面を押圧
する少なくとも二つの成型部材を備え、上記二つの成型
部材のそれぞれを上記磁気ヘッド支持体の外周部の両側
に配置することを特徴とする磁気ヘッドの製造装置。 - 【請求項2】請求項1において、上記成型部材のそれぞ
れを支持する成型部材支持装置を備え、上記成型部材支
持装置は少なくとも、上記成型部材間の間隙を調整する
間隙調整装置と、上記成型部材についての上記磁気ヘッ
ド支持体の回転軸方向位置を調整する軸方向調整装置と
を備えたことを特徴とする磁気ヘッドの製造装置。 - 【請求項3】上部および下部のシリンダ間に同軸に介在
する磁気ヘッド支持体の外周部に1個、または複数の磁
気ヘッドを取付け、上記上部および下部のシリンダの外
周面に研磨テープを押し付け、上記磁気ヘッド支持体を
回転して上記磁気ヘッドの研磨加工を行なう磁気ヘッド
の製造方法において、上記研磨テープの非研磨面を二つ
の成型部材により押圧し、上記二つの成型部材の中心位
置を上記磁気ヘッド支持体が支持する磁気ヘッドの中心
位置より0.5mm以内に設定することを特徴とする磁気ヘ
ッドの製造方法。 - 【請求項4】上部および下部のシリンダ間に同軸に介在
する磁気ヘッド支持体の外周部に1個、または複数の磁
気ヘッドを取付け、上記上部および下部のシリンダの外
周面に研磨テープを押し付け、上記磁気ヘッド支持体を
回転して上記磁気ヘッドの研磨加工を行なう磁気ヘッド
の製造装置において、上記研磨テープの非研磨面を二つ
の成型部材により押圧し、上記二つの成型部材の間隔を
5mmないし7mmに設定することを特徴とする磁気ヘッドの
製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1323791A JP2659252B2 (ja) | 1989-12-15 | 1989-12-15 | 磁気ヘッドの製造装置および製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1323791A JP2659252B2 (ja) | 1989-12-15 | 1989-12-15 | 磁気ヘッドの製造装置および製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03185609A JPH03185609A (ja) | 1991-08-13 |
JP2659252B2 true JP2659252B2 (ja) | 1997-09-30 |
Family
ID=18158656
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1323791A Expired - Lifetime JP2659252B2 (ja) | 1989-12-15 | 1989-12-15 | 磁気ヘッドの製造装置および製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2659252B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2537262A1 (de) * | 1975-08-05 | 1977-02-17 | Ciba Geigy Ag | Rotationsimpraegnier- bzw. -giessvorrichtung |
JPS56156918A (en) * | 1980-05-09 | 1981-12-03 | Hitachi Ltd | Working method for multiple forming cylinder surface of magnetic head |
JPS60164910A (ja) * | 1984-02-08 | 1985-08-28 | Alps Electric Co Ltd | Vtr用磁気ヘツドの製造方法 |
ATE41072T1 (de) * | 1984-09-13 | 1989-03-15 | Philips Nv | Magnetkopf. |
-
1989
- 1989-12-15 JP JP1323791A patent/JP2659252B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH03185609A (ja) | 1991-08-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7198551B2 (en) | Substrate polishing apparatus | |
US4930259A (en) | Magnetic disk substrate polishing assembly | |
US4514937A (en) | Method for the surface treatment of magnetic recording media | |
US4736475A (en) | Abrading machine for disk shaped surfaces | |
US6458021B1 (en) | Polishing apparatus with a balance adjusting unit | |
JPH0823936B2 (ja) | 磁気記録装置に用いられるハードデイスク基板の表面と裏面をテクスチヤリングする装置 | |
JP2659252B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造装置および製造方法 | |
JP2568276B2 (ja) | 磁気ヘッドテープ摺動面の研磨方法及び装置 | |
JPH0334605B2 (ja) | ||
JPS62203749A (ja) | 磁気ヘツドの研磨装置 | |
JP2002113648A (ja) | 磁気ディスク表面加工装置 | |
JPH0790457B2 (ja) | 磁気ヘッドラッピング装置 | |
JP4289764B2 (ja) | テープ研磨装置 | |
JPH01140958A (ja) | 円板仕上方法およびその装置 | |
JPH06282817A (ja) | 磁気ヘッド製造装置 | |
JP2664282B2 (ja) | 磁気ヘッドの研磨方法 | |
JPH06150305A (ja) | 磁気ディスク基板の表面加工方法、磁気ディスク基板、および磁気ディスク基板の表面加工装置 | |
JPH0434719A (ja) | 磁気ディスク基板及びテクスチャー加工方法 | |
JPH0340532Y2 (ja) | ||
JPH0754583B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び装置 | |
JPH06301916A (ja) | マルチヘッドの前面研磨方法およびマルチヘッド | |
JPS62125538A (ja) | 磁気デイスクのラツピングヘツド | |
JPS58160053A (ja) | 研磨装置 | |
JPH046623A (ja) | 磁気ディスクの加工方法および装置 | |
JPH0697496B2 (ja) | 磁気ヘッドの流入斜面の加工装置 |