JPS6014669B2 - 金属円板の仕上加工方法及びその装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ボリシングテーブを用いて円板の両面を同時
に仕上加工する方法及びその装置に関する。

まず、従来のポリシングテープを用いた円板の仕上加工
法を第１図及び第２図により説明する。

第１図の方法は、円板１の内周部を回転軸７に装着し、
円板１を水平に回転させ、円板１の半径方向の幅とほぼ
同−幅を有するゴムコンタクトロ−ラ４を円板１の半径
全面にかつ上下両面に当て、ゴムコンタクトローラ４と
円板１との間に介在させたポリシングテープ３を従動リ
ール６から駆動リール５に巻き取ることにより円板１の
両面を同時に研磨する方法である。しかし、この方法に
おいては、円板１の半径方向の大きな表面うねりや、ゴ
ムコンタクトローラ４の形状精度、及びゴムコンタクト
ローラを円板１に押しつける保持具２の精度が研磨むら
に大きく影響し、研磨むらを０．触れ以下にすることは
非常に困難であった。また、円板１を水平に設置し、か
つゴムコンタクトローラ４を半径全面に当てるので、研
磨屑の排除が難しく、このため、円板上にスクラツチが
生じやすいという欠点があった。第２図の方法は、円板
１を垂直にしてその内周部を回転軸７に固定し、円板１
を回転させながら垂直方向に上下させ、ゴムコンタクト
ローラ４の中心軸が円板１の接線方向となるようにゴム
コンタクトローラ４を円板上に当て、ゴムコンタクトロ
ーラ４の接点でポリシングテープ３により円板１の表面
を研磨する方法である。

しかしこの方法においては、ゴムコンタクトローラ４と
円板１とが円板の半径方向に点接触に近い状態で接触し
研磨することとなるので、研磨する幅が狭く、円板全面
を均一に研磨することが困難であった。また、円板１の
内周部の研磨可能な領域は、円板のチャック治具形状及
びゴムコンタクト。ーラ４の外径の大きさ、ポリシング
テープ３の巻き揚げ角度によって決まるが、内周部に禾
研磨の部分が残るという欠点があった。本発明は、上記
した従来技術の欠点をなくし、アルミ等の金属円板の表
面加工精度を向上させ、金属円板の内周部の未研磨部分
を可及的に少なくしうる金属円板仕上加工方法及びその
装置を提供することを目的とする。

この目的を達成するため、本発明は、各々が金属円板の
半径方向に軸心を向けて配置された軸に回転自在に装着
され、互いに対向して配置された断面がクラウニング形
状を有する対なる弾性体コンタクトローラにより上記金
属円板の両面を挟み付けて圧接し、対なるポリシングテ
ープの各々を上記金属円板と各弾性体コンタクトローラ
との間に介在させて対なる供給及び巻取手段の各々によ
り走行させ、上記金属円板を回転させた状態で上記弾性
体コンタクトローラと供給及び巻取手段と共にポリシン
グテープを上記金属円板の半径方向に往復移動させて上
記回転した金属円板に対するポリシングテープの摺動に
より金属円板の両面を研磨仕上加工することを特徴とす
る金属円板の仕上加工方法及びその加工方法を実施する
ための装置である。

次に本発明の一実施例を第３図ないし第６図により説明
する。

第３図及び第４図は本発明による円板仕上加工装置の平
面図及び正面図である。１は円板であり該円板は水平に
設置される回転軸７に保持臭２によってチャックされる
。

回転軸７は、モータ９からなる回転機構２０により駆動
される。１川ま駆動装置２２により案内レール２１上を
第３図の矢印方向に往復動する送り台であり、この送り
台１０には２枚の枠板２３を立設し、該枠板間に回転軸
７に平行に２本のスライドバー１２を取付け、該スライ
ドバー１２に対して直角に２本のアーム１１をスライド
バー１２に対して移動可能に取付け、これらのアーム１
１の先端にテープ仕上治具８を装着している。

両アーム１１間には引張ばね１３が取付けられている。
テープ仕上拾具８は第５図及び第６図に示すように構成
されている。テープ仕上治具８の一方の板面にはポリシ
ングテープ３を巻取る駆動リール１５と、従動リール１
４と、ガイドローラ１７と、ゴムコンタクトローラ４と
が取付けられ、テープ仕上拾具８の他方の板面に取付け
られたモータ１６を駆動することにより、ポリシングテ
ープ３は、従動リール１４より、円板１とゴムコンタク
トローラ４との間を通り、かつガイドローラ１７により
ガイドされつつ駆動リール１５に巻取られることにより
、円板１の表面を研磨する。ゴムコンタクトローラ４は
、第１図の場合と異なり、円板１の半径方向の幅より狭
幅であり、かつクラゥニング形状を有しており、第３図
及び第４図に示した引張ばね１３の引張力によってアー
ム１１が互いに近援する方向に引張られることから、コ
ムコンタクトローラ４は円板１を挟むようにその表面に
圧接される。この構成において、円板１の表面を研磨す
る場合は、送り台１０を第３図の矢印方向に往復させ、
かつ回転軸７を回転させることによって円板１を回転さ
せ、さらに駆動リール１５を回転させることによってポ
リシングテープ３をゴムコンタクト４と円板１間を摺動
させる。

従って、本発明においては、ゴムコンタクトローラ４は
引張ぱね１３により円板１に圧接された状態で円板１の
半径方向に往復敷しながら研磨作業が行われることにな
る。なお、図では示さなかったが、研磨の際には加工液
を研磨部分に供給する。次に、第３図ないし第６図に示
した構造の装置、あるいはこれらと基本的には構造は同
じ（ゴムコンタクトローラの移動方向が同一）で、ロー
ラ４の寸法、形状あるいはその支持構造を変えて円板の
研磨を行った結果について説明する。

例１外径３５６肌のアルミ円板を、アルミナ砥粒３山肌
のポリシングテープを用い、ゴムコンタクトローラとし
て、ゴム硬度６０外径３仇舷、幅２５柵の円筒形状のも
のであってかつ両端支持構造で取付けたものを用い、テ
ープ荷重を２ｋ９として研磨した。

その結果、表面粗さ０．１仏仇Ｒｍａｘの加工面精度が
得られた。しかしながら、円板の半径方向に研磨むらが
生じ、また、円板の内周部で保持具から約１仇舷の禾研
磨部分が残った。例２ ゴムコンタクトローラの幅を上記例１の約半分である１
２柳とし、かつ円筒形状でなく１球のクラゥニング形状
（第５図の実施例の形状）として例１と同様に研磨した
結果、円板の半径方向の研磨むらは発生せず、表面粗さ
０．１〆肌Ｒｍａｘ以下の加工面を得た。

例３ ゴムコンタクトローラの支持構造を第３図及び第５図に
示した片持支持構造とし、上記例２と同様のゴムコンタ
クトローラの形状寸法として研磨した結果、表面粗さ０
．１一触Ｒｍａ×以下で、研磨むらは無く、かつ円板の
内周部の未研磨部分は円板保持臭から約５柵である加工
面を得た。

上記例１なし、し例３から判るように、本発明のように
、ゴムコンタクトローラを円板の半径方向に往復敷させ
ることによって、０．１ｒ肌Ｒｍａｘ以下の表面粗さの
ものを得ることができる。

そして、ゴムコンタクトローラの形状としては円筒形状
よりもクラウニング形状とし、かつ幅の比較的小さいも
ので、片持支持構造のものが未研磨部分を少なくし、半
径方向に研磨むらを生じさせない意味で望ましい。以上
述べたように、本発明においては、中心藤が円板の半径
方向になるようにクラウニング形状のゴムコンタクトロ
ーラを設置し、円板の半径方向に往復沼動させながら円
板を研磨するようにしたので、従来のような円板の研磨
むらやスクラッチなどの加工面精度の劣化が改良された
。

より具体的にいえば次のとおりである。【１１研磨量の
ばらつきは、従釆技術においては半径方向に０．１ム仇
以上であったが、本発明によればこれを０．１仏の以下
にすることができる。

‘２１ 従来技術においては、０．１仏肌Ｒｍ舷ｘ以上
のスクラツチが多数発生したが、本発明によれば、スク
ラッチなどの表面欠陥が少なくなり、表面組さ０．１山
仇Ｒｍａｘ以下の加工面積度を得た。‘３１ さらに、
実施例で説明したようにゴムコンタクトローラを片持支
持構造とすることにより、ゴムコンタクトローラが円板
保持具に接するまで研磨可能となり、従来約１仇岬の未
研磨部分が残っていたものが約５柳以下にすることがで
きた。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は従来の円板仕上装置を示す斜視図、
第３図は本発明による円板仕上装置の一実施例を示す平
面図、第４図はその正面図、第５図は本発明によるテー
プ仕上洛臭の一例を示す平面図、第６図はその正面図で
ある。 １・・・・・・円板、２・・・・・・保持具、３・・・
・・・ポリシングテープ、４”“”ゴムコンタクトロー
ラ、８……ブープ仕上治具、９・・・・・・円板回転用
モータ、１０・・・…送り台、１１……アーム、１２…
…スライドバー、１３・・・・・・引張ばね、１４・・
・・・・従動リール、１５．．．．．・駆動リール。 オー図 オ２図 ガ・３ 図 才４図 がＳ四 才る ８９

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 各々が金属円板の半径方向に軸心を向けて配置され
   た軸に回転自在に装着され、互いに対向して配置された
   断面がクラウニング形状を有する対なる弾性体コンタク
   トローラにより上記金属円板の両面を挟み付けて圧接し
   、対なるポリシングテープの各々を上記金属円板と各弾
   性体コンタクトローラとの間に介在させて対なる供給及
   び巻取手段の各々により走行させ、上記金属円板を回転
   させた状態で上記弾性体コンタクトローラと供給及び巻
   取手段と共にポリシングテープを上記金属円板の半径方
   向に往復移動させて上記回転した金属円板に対するポリ
   シングテープの摺動により金属円板の両面を研磨仕上加
   工することを特徴とする金属円板の仕上加工方法。 ２ 金属円板がアルミ円板であり、ポリシングテープが
   アルミナ砥粒であることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の金属円板の仕上加工方法。 ３ 回転駆動源に接続されて軸心を水平方向を向けて回
   転自在に支持されて金属円板を保持する保持具を備えた
   円板取付用回転軸を設け、中心軸を円板の半径方向に向
   けて片持支持でもつて回転自在に取付けたクラウニング
   形状のコンタクトローラ、並びに該コンタクトローラと
   円板との間にポリシングテープを走行摺動させるための
   供給手段、巻取手段、及びガイドローラからなるポリシ
   ングテープ駆動手段を備えた対なるテープ仕上加工治具
   を上記金属円板の両側に対向するように第１のガイドロ
   ーラに摺動自在に設置し、上記各コンタクトローラを金
   属円板に同じ力でもつて押し付けるために上記対なるテ
   ープ仕上加工治具に力付与手段を設置し、上記コンタク
   トローラが金属円板の半径方向に移動するように上記第
   １のガイドレールをこのガイドレールに直角な第２のガ
   イドレールに案内させて移動させる駆動手段を設けたこ
   とを特徴とする金属円板の仕上加工装置。