JPH1148107A - 両面研削方法およびその装置 - Google Patents
両面研削方法およびその装置Info
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- JPH1148107A JPH1148107A JP20775097A JP20775097A JPH1148107A JP H1148107 A JPH1148107 A JP H1148107A JP 20775097 A JP20775097 A JP 20775097A JP 20775097 A JP20775097 A JP 20775097A JP H1148107 A JPH1148107 A JP H1148107A
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- roller
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体ウエハのようなディスク状のワークの
両面を高速、高精度で効率よく一度に研削する。 【解決手段】 互いに対向して配置された回転可能な２
本の砥石ローラ５と１５の間にウエハ２８を挿入し、上
部砥石ローラ１５に対し下部砥石ローラ５を傾けること
により、ウエハ２８を水平面内で自転させながら高速回
転する砥石ローラ５、１５間を通過させてその両面を研
削する。
両面を高速、高精度で効率よく一度に研削する。 【解決手段】 互いに対向して配置された回転可能な２
本の砥石ローラ５と１５の間にウエハ２８を挿入し、上
部砥石ローラ１５に対し下部砥石ローラ５を傾けること
により、ウエハ２８を水平面内で自転させながら高速回
転する砥石ローラ５、１５間を通過させてその両面を研
削する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハや磁
気ディスク、光ディスク等のディスク状のワークの両面
を研削する両面研削方法およびその装置に関する。
気ディスク、光ディスク等のディスク状のワークの両面
を研削する両面研削方法およびその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体ウエハの研削は、回転テー
ブル上にウエハを真空吸着して、このウエハに、回転テ
ーブルとは逆方向に回転するカップ状のダイヤモンド砥
石を押し当てることにより行われる。ウエハの研削は、
高精度な平坦度と表面粗さが要求され、ウエハの両面は
鏡面に仕上げられる。従来の両面研削は、ウエハの片方
の面を研削した後、ウエハを回転テーブルから取り外
し、裏返してから再び真空吸着してもう片方の面を研削
していた。
ブル上にウエハを真空吸着して、このウエハに、回転テ
ーブルとは逆方向に回転するカップ状のダイヤモンド砥
石を押し当てることにより行われる。ウエハの研削は、
高精度な平坦度と表面粗さが要求され、ウエハの両面は
鏡面に仕上げられる。従来の両面研削は、ウエハの片方
の面を研削した後、ウエハを回転テーブルから取り外
し、裏返してから再び真空吸着してもう片方の面を研削
していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、他のす
べての機械加工と同様に、研削加工においても高速性が
求められており、従来の両面研削方法では、能率が悪
く、時間も多く掛かっていた。そこで、一度に両面を研
削する装置の開発が望まれており、例えば特開平６−２
４６６２１号公報には、ディスク状のワークの外周縁を
３個の保持ローラで水平軸心回りで回転自在に保持し、
ワークの表裏面に研磨具を押し当てて一度に研磨する技
術が開示されている。しかしながら、このような技術を
研削装置に応用した場合、研削中にウエハが割れること
が多く、実用的でない問題があった。
べての機械加工と同様に、研削加工においても高速性が
求められており、従来の両面研削方法では、能率が悪
く、時間も多く掛かっていた。そこで、一度に両面を研
削する装置の開発が望まれており、例えば特開平６−２
４６６２１号公報には、ディスク状のワークの外周縁を
３個の保持ローラで水平軸心回りで回転自在に保持し、
ワークの表裏面に研磨具を押し当てて一度に研磨する技
術が開示されている。しかしながら、このような技術を
研削装置に応用した場合、研削中にウエハが割れること
が多く、実用的でない問題があった。
【０００４】本発明は、このような従来の問題を解決す
るものであり、ディスク状のワークの両面を高速、高精
度に効率よく一度に研削することのできる両面研削方法
およびその装置を提供することを目的とする。
るものであり、ディスク状のワークの両面を高速、高精
度に効率よく一度に研削することのできる両面研削方法
およびその装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、互いに対向して配置された回転可能な２
本の砥石ローラの間にディスク状のワークを挿入し、こ
のワークを水平面内で回転させながら砥石ローラ間を通
過させることにより、ワークの両面研削を行うようにし
たものであり、ワークの両面を高速、高精度に効率よく
研削することができる。
成するために、互いに対向して配置された回転可能な２
本の砥石ローラの間にディスク状のワークを挿入し、こ
のワークを水平面内で回転させながら砥石ローラ間を通
過させることにより、ワークの両面研削を行うようにし
たものであり、ワークの両面を高速、高精度に効率よく
研削することができる。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明による両面研削装置は、下
側の砥石ローラを回転可能に支持する下部支持台と、上
側の砥石ローラを回転可能に支持する上部支持台と、下
側の砥石ローラと上側の砥石ローラを両者の近接部にお
いて同方向に回転させる駆動手段と、下部または上部支
持台を上下方向に移動させて両砥石ローラ間の隙間を調
整する手段と、ディスク状のワークを両砥石ローラ間に
送り込むとともに両砥石ローラ間から送り出すワーク搬
送手段とを備えたものであり、ワークの両面を高速、高
精度に効率よく研削することができる。
側の砥石ローラを回転可能に支持する下部支持台と、上
側の砥石ローラを回転可能に支持する上部支持台と、下
側の砥石ローラと上側の砥石ローラを両者の近接部にお
いて同方向に回転させる駆動手段と、下部または上部支
持台を上下方向に移動させて両砥石ローラ間の隙間を調
整する手段と、ディスク状のワークを両砥石ローラ間に
送り込むとともに両砥石ローラ間から送り出すワーク搬
送手段とを備えたものであり、ワークの両面を高速、高
精度に効率よく研削することができる。
【０００７】本発明はまた、一方の砥石ローラをワーク
搬送方向に対し直角かつ水平に配置するとともに、他方
の砥石ローラを前記一方の砥石ローラに対し角度を設け
て水平に配置したことを特徴とするものであり、ワーク
を両砥石ローラ間で水平面内で回転させながら研削する
ことができるので、ワークの両面を高速に効率よく研削
することができる。ワークを両砥石ローラ間で水平面内
で回転させながら研削する別の方法として、両砥石ロー
ラをワーク搬送方向に対し直角かつ水平に配置するとと
もに、両砥石ローラの砥石部の一方の端部をワーク搬送
方向に平行なワーク中心線の近傍から片側に位置するよ
うに配置してもよい。
搬送方向に対し直角かつ水平に配置するとともに、他方
の砥石ローラを前記一方の砥石ローラに対し角度を設け
て水平に配置したことを特徴とするものであり、ワーク
を両砥石ローラ間で水平面内で回転させながら研削する
ことができるので、ワークの両面を高速に効率よく研削
することができる。ワークを両砥石ローラ間で水平面内
で回転させながら研削する別の方法として、両砥石ロー
ラをワーク搬送方向に対し直角かつ水平に配置するとと
もに、両砥石ローラの砥石部の一方の端部をワーク搬送
方向に平行なワーク中心線の近傍から片側に位置するよ
うに配置してもよい。
【０００８】両砥石ローラは、１０ｒｐｍ〜５０００ｒ
ｐｍの範囲で回転駆動され、また、両砥石ローラ間の隙
間を０．１μｍ以下で微調整することにより、高速で高
精度の研削が可能になる。また、ワークは、下側から支
えて回転する複数の送りローラで搬送されるか、または
ワークを上下に挟んで回転する複数の送りローラで搬送
することにより、ワークの搬送をスムーズに行うことが
できる。
ｐｍの範囲で回転駆動され、また、両砥石ローラ間の隙
間を０．１μｍ以下で微調整することにより、高速で高
精度の研削が可能になる。また、ワークは、下側から支
えて回転する複数の送りローラで搬送されるか、または
ワークを上下に挟んで回転する複数の送りローラで搬送
することにより、ワークの搬送をスムーズに行うことが
できる。
【０００９】
【実施例】図１は本発明における両面研削装置の概略正
面図、図２はその概略側面図を示している。１は門型フ
レームであり、下部はベース２に固定されている。ベー
ス２の上には、下部支持台４がその中心部の垂直軸３の
回りに回動可能に支持されている。垂直軸３は、図示さ
れない軸受および位置決め手段を介してベース２に設け
られている。下部支持台４は、水平部と両側部とからな
るコ字形に形成され、その上側に向けた両側部にかけ
て、下部砥石ローラ５が、回転可能かつ水平に設けられ
ている。下部砥石ローラ５は、ローラ本体５ａにダイヤ
モンド砥粒を焼成した砥石部５ｂを備え、その両側の軸
部が、それぞれ軸受を介して下部支持台４の両側部に回
転可能に支持されている。下部砥石ローラ５の一方の軸
には、従動歯車６が固定され、この従動歯車６には、モ
ータ８に固定された駆動歯車７が噛み合っている。
面図、図２はその概略側面図を示している。１は門型フ
レームであり、下部はベース２に固定されている。ベー
ス２の上には、下部支持台４がその中心部の垂直軸３の
回りに回動可能に支持されている。垂直軸３は、図示さ
れない軸受および位置決め手段を介してベース２に設け
られている。下部支持台４は、水平部と両側部とからな
るコ字形に形成され、その上側に向けた両側部にかけ
て、下部砥石ローラ５が、回転可能かつ水平に設けられ
ている。下部砥石ローラ５は、ローラ本体５ａにダイヤ
モンド砥粒を焼成した砥石部５ｂを備え、その両側の軸
部が、それぞれ軸受を介して下部支持台４の両側部に回
転可能に支持されている。下部砥石ローラ５の一方の軸
には、従動歯車６が固定され、この従動歯車６には、モ
ータ８に固定された駆動歯車７が噛み合っている。
【００１０】門型フレーム１の上部内側には、２本のス
ライドガイド９が縦方向に並設され、これにスライダ１
０の溝が摺動可能に係合しており、スライダ１０には上
部支持台１１が固定されている。門型フレーム１の頂部
には、モータ１２が固定され、このモータ１２にはボー
ルねじ１３が取り付けられ、ボールねじ１３のナット部
が連結部材１４を介してスライダ１０に固定されてい
る。したがって、モータ１２を回転させることにより、
ボールねじ１３を通じてスライダ１０および上部支持台
１１をスライドガイド９に沿って上下に移動させること
ができる。
ライドガイド９が縦方向に並設され、これにスライダ１
０の溝が摺動可能に係合しており、スライダ１０には上
部支持台１１が固定されている。門型フレーム１の頂部
には、モータ１２が固定され、このモータ１２にはボー
ルねじ１３が取り付けられ、ボールねじ１３のナット部
が連結部材１４を介してスライダ１０に固定されてい
る。したがって、モータ１２を回転させることにより、
ボールねじ１３を通じてスライダ１０および上部支持台
１１をスライドガイド９に沿って上下に移動させること
ができる。
【００１１】上部支持台１１は、下部支持台４と同様
に、水平部と両側部とからなるコ字形に形成され、その
下側に向けた両側部にかけて、上部砥石ローラ１５が、
回転可能かつ水平に設けられている。上部砥石ローラ１
５は、下部砥石ローラ５と同様に、ローラ本体１５ａに
ダイヤモンド砥粒を焼成した砥石部１５ｂを備え、その
両側の軸部が、それぞれ軸受を介して上部支持台１１の
両側部に回転可能に支持されている。上部砥石ローラ１
５の一方の軸には、従動歯車１６が固定され、この従動
歯車１６には、モータ１８に固定された駆動歯車１７が
噛み合っている。
に、水平部と両側部とからなるコ字形に形成され、その
下側に向けた両側部にかけて、上部砥石ローラ１５が、
回転可能かつ水平に設けられている。上部砥石ローラ１
５は、下部砥石ローラ５と同様に、ローラ本体１５ａに
ダイヤモンド砥粒を焼成した砥石部１５ｂを備え、その
両側の軸部が、それぞれ軸受を介して上部支持台１１の
両側部に回転可能に支持されている。上部砥石ローラ１
５の一方の軸には、従動歯車１６が固定され、この従動
歯車１６には、モータ１８に固定された駆動歯車１７が
噛み合っている。
【００１２】下部砥石ローラ５と上部砥石ローラ１５と
は同じ仕様であり、それぞれ直径が１０ｍｍから２００
ｍｍの範囲で使用目的に合わせて設定され、モータ８、
１８により１０ｒｐｍから５０００ｒｐｍの範囲、例え
ば１０００ｒｐｍで互いの近接部において同方向に回転
駆動される。下部砥石ローラ５と上部砥石ローラ１５の
それぞれの砥石部５ｂ、１５ｂの長さは、研削対象とな
るウエハ２８の直径よりも小さいが、ウエハ２８の直径
と同じでも大きくてもよく、ウエハ２８の直径の１／３
よりも大きいことが望ましい。また、下部砥石ローラ５
と上部砥石ローラ１５の間の隙間Ｇは、ウエハ２８の仕
上げ寸法と一致している。この隙間Ｇは、下部支持台４
と上部支持台１１の一方の側部の互いの対向面に設けら
れた隙間ゲージ１９により測定され、隙間Ｇの調整は、
門型フレーム１の頂部に設けられたモータ１２とボール
ねじ１３により、上部支持台１１を下部支持台４に対し
て移動させることにより行われる。隙間Ｇの調整量は
０．１μｍ以下が望ましい。
は同じ仕様であり、それぞれ直径が１０ｍｍから２００
ｍｍの範囲で使用目的に合わせて設定され、モータ８、
１８により１０ｒｐｍから５０００ｒｐｍの範囲、例え
ば１０００ｒｐｍで互いの近接部において同方向に回転
駆動される。下部砥石ローラ５と上部砥石ローラ１５の
それぞれの砥石部５ｂ、１５ｂの長さは、研削対象とな
るウエハ２８の直径よりも小さいが、ウエハ２８の直径
と同じでも大きくてもよく、ウエハ２８の直径の１／３
よりも大きいことが望ましい。また、下部砥石ローラ５
と上部砥石ローラ１５の間の隙間Ｇは、ウエハ２８の仕
上げ寸法と一致している。この隙間Ｇは、下部支持台４
と上部支持台１１の一方の側部の互いの対向面に設けら
れた隙間ゲージ１９により測定され、隙間Ｇの調整は、
門型フレーム１の頂部に設けられたモータ１２とボール
ねじ１３により、上部支持台１１を下部支持台４に対し
て移動させることにより行われる。隙間Ｇの調整量は
０．１μｍ以下が望ましい。
【００１３】下部砥石ローラ５と上部砥石ローラ１５の
隙間Ｇに対向する左右両側に位置には、それぞれ水平方
向に配置された複数の送りローラ２０、２１と、その両
側に垂直方向に配置された複数のガイドローラ２２、２
３からなるローラコンベア２４、２５が、図示されない
支持機構に支持されて設けられている。各送りローラ２
０、２１は、その上面が隙間Ｇに対向するように配置さ
れ、それぞれモータ２６、２７およびチェーンおよびス
プロケットによりウエハ送り方向に回転駆動される。別
の構成として、各送りモータ２０、２１にそれぞれモー
タを直結して、独立に回転駆動するようにしてもよい。
また、ウエハ２８の落下を防止するための各ガイドロー
ラ２２、２３は、回転自在にフリーな状態で保持されて
いるが、別の構成として、各送りローラ２０、２１の両
側の同軸上に、各送りローラ２０、２１よりも大径の鍔
を回転自在にフリーな状態で設けてもよい。
隙間Ｇに対向する左右両側に位置には、それぞれ水平方
向に配置された複数の送りローラ２０、２１と、その両
側に垂直方向に配置された複数のガイドローラ２２、２
３からなるローラコンベア２４、２５が、図示されない
支持機構に支持されて設けられている。各送りローラ２
０、２１は、その上面が隙間Ｇに対向するように配置さ
れ、それぞれモータ２６、２７およびチェーンおよびス
プロケットによりウエハ送り方向に回転駆動される。別
の構成として、各送りモータ２０、２１にそれぞれモー
タを直結して、独立に回転駆動するようにしてもよい。
また、ウエハ２８の落下を防止するための各ガイドロー
ラ２２、２３は、回転自在にフリーな状態で保持されて
いるが、別の構成として、各送りローラ２０、２１の両
側の同軸上に、各送りローラ２０、２１よりも大径の鍔
を回転自在にフリーな状態で設けてもよい。
【００１４】次に、本実施例における研削動作について
説明する。まず、下部砥石ローラ５と上部砥石ローラ１
５として、粗研削用の１００番から４００番の砥石が使
用され、また隙間ゲージ１９により測定された粗研削用
の隙間Ｇが、モータ１２およびボールねじ１３により設
定される。この際、モータ１２をサーボモータとし、隙
間ゲージ１９の値によりモータ１２をフィードバック制
御するようにしてもよい。次に、下部支持台４を垂直軸
３の回りに回転させて、図３に示すように、下部砥石ロ
ーラ５を上部砥石ローラ１５に対して角度０＜θ≧３度
の範囲で傾ける。垂直軸３は下部支持台４の中心に設け
られているので、上部砥石ローラ１５と下部砥石ローラ
５の軸心は、ウエハ２８の搬送方向の中心で交わること
になる。この角度θは、研削量をどの程度にするかによ
って実験的に定められる。この位置が決まると、図示さ
れない位置決め手段により、その位置が固定される。
説明する。まず、下部砥石ローラ５と上部砥石ローラ１
５として、粗研削用の１００番から４００番の砥石が使
用され、また隙間ゲージ１９により測定された粗研削用
の隙間Ｇが、モータ１２およびボールねじ１３により設
定される。この際、モータ１２をサーボモータとし、隙
間ゲージ１９の値によりモータ１２をフィードバック制
御するようにしてもよい。次に、下部支持台４を垂直軸
３の回りに回転させて、図３に示すように、下部砥石ロ
ーラ５を上部砥石ローラ１５に対して角度０＜θ≧３度
の範囲で傾ける。垂直軸３は下部支持台４の中心に設け
られているので、上部砥石ローラ１５と下部砥石ローラ
５の軸心は、ウエハ２８の搬送方向の中心で交わること
になる。この角度θは、研削量をどの程度にするかによ
って実験的に定められる。この位置が決まると、図示さ
れない位置決め手段により、その位置が固定される。
【００１５】次に、モータ８、１８を回転させて下部砥
石ローラ５および上部砥石ローラ１５を回転させるとと
もに、各ローラコンベア２４、２５を回転させ、ローラ
コンベア２４の上に研削対象のウエハ２８を乗せる。ロ
ーラコンベア２４により搬送されたウエハ２８は、図３
に示すように、上下の砥石ローラ１５、５間の隙間Ｇに
挟まれると、その接触点Ｐにおいて、搬送方向の力Ｆ１
が角度θのためにＦ２の方向の力を受け、この力Ｆ２に
よりウエハ２８は水平面内において回転力Ｆｒを受ける
ことになる。そしてウエハ２８は、自身で回転しなが
ら、高速回転する上下の砥石ローラ１５、５により研削
されると同時に搬送され、反対側のローラコンベア２５
上に放出され、搬出されることになる。
石ローラ５および上部砥石ローラ１５を回転させるとと
もに、各ローラコンベア２４、２５を回転させ、ローラ
コンベア２４の上に研削対象のウエハ２８を乗せる。ロ
ーラコンベア２４により搬送されたウエハ２８は、図３
に示すように、上下の砥石ローラ１５、５間の隙間Ｇに
挟まれると、その接触点Ｐにおいて、搬送方向の力Ｆ１
が角度θのためにＦ２の方向の力を受け、この力Ｆ２に
よりウエハ２８は水平面内において回転力Ｆｒを受ける
ことになる。そしてウエハ２８は、自身で回転しなが
ら、高速回転する上下の砥石ローラ１５、５により研削
されると同時に搬送され、反対側のローラコンベア２５
上に放出され、搬出されることになる。
【００１６】角度θが０度の場合は、このようなウエハ
の自転作用が望めないため、図４に示すように、ウエハ
２８の中心Ｏｗを通るウエハ搬送方向に平行な中心線の
近傍に、上下の砥石ローラ１５、５の砥石部１５ａ、５
ａの一方の端面が位置するように、上下の砥石ローラ１
５、５を配置する。これにより、ウエハ２８が両ローラ
１５、５間の隙間Ｇに挟まれると、その接触点Ｐにおい
て、砥石部１５ａ、５ａのない方向がフリーになってい
るため、ウエハ２８の円周上に接触点Ｐに向かう力Ｆが
発生し、ウエハ２８は同方向の回転力Ｆｒを受けて自転
しながら両ローラ１５、５間を進み、研削されることに
なる。なお、図４のように上下の砥石ローラ１５、５を
配置し、かつ図３のように下部砥石ローラ５を上部砥石
ローラ１５に対して角度０＜θ≧３度の範囲で傾けるよ
うにしてもよい。
の自転作用が望めないため、図４に示すように、ウエハ
２８の中心Ｏｗを通るウエハ搬送方向に平行な中心線の
近傍に、上下の砥石ローラ１５、５の砥石部１５ａ、５
ａの一方の端面が位置するように、上下の砥石ローラ１
５、５を配置する。これにより、ウエハ２８が両ローラ
１５、５間の隙間Ｇに挟まれると、その接触点Ｐにおい
て、砥石部１５ａ、５ａのない方向がフリーになってい
るため、ウエハ２８の円周上に接触点Ｐに向かう力Ｆが
発生し、ウエハ２８は同方向の回転力Ｆｒを受けて自転
しながら両ローラ１５、５間を進み、研削されることに
なる。なお、図４のように上下の砥石ローラ１５、５を
配置し、かつ図３のように下部砥石ローラ５を上部砥石
ローラ１５に対して角度０＜θ≧３度の範囲で傾けるよ
うにしてもよい。
【００１７】ウエハ２８に対する粗研削が所定枚数だけ
終了すると、今度は１０００番から３０００番の砥石ロ
ーラを使用して仕上げ研削を行う。これは、同じ研削装
置を使用して砥石ローラの交換と切り込み量の再設定を
してもよく（砥石ローラを交換できるように構成してお
く。）、または仕上げ用砥石ローラを取り付けた同様な
研削装置をウエハ搬送方向に並べて、粗研削と仕上げ研
削とを連続して行ってもよい。
終了すると、今度は１０００番から３０００番の砥石ロ
ーラを使用して仕上げ研削を行う。これは、同じ研削装
置を使用して砥石ローラの交換と切り込み量の再設定を
してもよく（砥石ローラを交換できるように構成してお
く。）、または仕上げ用砥石ローラを取り付けた同様な
研削装置をウエハ搬送方向に並べて、粗研削と仕上げ研
削とを連続して行ってもよい。
【００１８】このように、本実施例における両面研削装
置は、上下の砥石ローラ１５、５間にウエハ２８を自転
させながら送り込むので、高速、高精度で効率のよい研
削を行うことができる。なお、ウエハ２８の搬送を正確
に制御しようとする場合は、図５に示すように、ローラ
コンベアとして、ウエハ２８を上下の送りローラ２９、
３０により挟んで送るタイプのものを使用してもよい。
この場合は、ウエハ２８の落下を防止するためのガイド
ローラは不要である。また、上下の砥石ローラ１５、５
に挟まれたウエハ２８が自転しながら進行する作用を妨
げないように、上下の送りローラ２９、３０間の圧接力
を５００ｇ〜５ｋｇの間に設定するとよい。なお、ロー
ラコンベアの代わりにベルトコンベアを使用してもよ
い。
置は、上下の砥石ローラ１５、５間にウエハ２８を自転
させながら送り込むので、高速、高精度で効率のよい研
削を行うことができる。なお、ウエハ２８の搬送を正確
に制御しようとする場合は、図５に示すように、ローラ
コンベアとして、ウエハ２８を上下の送りローラ２９、
３０により挟んで送るタイプのものを使用してもよい。
この場合は、ウエハ２８の落下を防止するためのガイド
ローラは不要である。また、上下の砥石ローラ１５、５
に挟まれたウエハ２８が自転しながら進行する作用を妨
げないように、上下の送りローラ２９、３０間の圧接力
を５００ｇ〜５ｋｇの間に設定するとよい。なお、ロー
ラコンベアの代わりにベルトコンベアを使用してもよ
い。
【００１９】また、上記実施例では、ワークとしてウエ
ハを例に説明したが、ウエハ以外の磁気ディスクや光デ
ィスク等のワークに対しても同様に実施することができ
る。また、砥石ローラを傾ける場合、下部砥石ローラに
対して上部砥石ローラを傾けてもよく、またこの傾きを
エアシリンダ等を利用して自動的に行ってもよい。さら
に、上部支持台を上下方向に移動させる代わりに、上部
支持台を固定とし、下部支持台を上下方向に移動させて
もよい。また、砥石ローラとしてダイヤモンド砥石を使
用したが、他の砥石も実施可能である。
ハを例に説明したが、ウエハ以外の磁気ディスクや光デ
ィスク等のワークに対しても同様に実施することができ
る。また、砥石ローラを傾ける場合、下部砥石ローラに
対して上部砥石ローラを傾けてもよく、またこの傾きを
エアシリンダ等を利用して自動的に行ってもよい。さら
に、上部支持台を上下方向に移動させる代わりに、上部
支持台を固定とし、下部支持台を上下方向に移動させて
もよい。また、砥石ローラとしてダイヤモンド砥石を使
用したが、他の砥石も実施可能である。
【００２０】
【発明の効果】本発明は、上記実施例から明らかなよう
に、互いに対向して配置された回転可能な２本の砥石ロ
ーラの間にディスク状のワークを挿入し、このワークを
水平面内で回転させながら砥石ローラ間を通過させるよ
うにしたので、ワークの両面を高速、高精度に効率よく
研削することができる。
に、互いに対向して配置された回転可能な２本の砥石ロ
ーラの間にディスク状のワークを挿入し、このワークを
水平面内で回転させながら砥石ローラ間を通過させるよ
うにしたので、ワークの両面を高速、高精度に効率よく
研削することができる。
【図１】本発明の実施例における両面研削装置の概略正
面図。
面図。
【図２】同両面研削装置のワーク搬送手段を除いた概略
側面図。
側面図。
【図３】同両面研削装置のウエハの自転作用を説明する
模式図。
模式図。
【図４】同両面研削装置のウエハの別の自転作用を説明
する模式図。
する模式図。
【図５】別のワーク搬送手段を備えた両面研削装置の概
略正面図。
略正面図。
１ 門型フレーム ２ ベース ３ 垂直軸 ４ 下部支持台 ５ 下部砥石ローラ ６ 従動歯車 ７ 駆動歯車 ８ モータ ９ スライドガイド １０ スライダ １１ 上部支持台 １２ モータ １３ ボールねじ １４ 連結部材 １５ 上部砥石ローラ １６ 従動歯車 １７ 駆動歯車 １８ モータ １９ 隙間ゲージ ２０、２１ 送りローラ ２２、２３ ガイドローラ ２４、２５ ローラコンベア ２６、２７ モータ ２８ ウエハ ２９、３０ 送りローラ
Claims (8)
- 【請求項１】 互いに対向して配置された回転可能な２
本の砥石ローラの間にディスク状のワークを挿入し、前
記ワークを水平面内で回転させながら前記砥石ローラ間
を通過させることにより前記ワークの両面研削を行う両
面研削方法。 - 【請求項２】 下側の砥石ローラを回転可能に支持する
下部支持台と、上側の砥石ローラを回転可能に支持する
上部支持台と、下側の砥石ローラと上側の砥石ローラを
両者の近接部において同方向に回転させる駆動手段と、
下部または上部支持台を上下方向に移動させて両砥石ロ
ーラ間の隙間を調整する手段と、ディスク状のワークを
両砥石ローラ間に送り込むとともに両砥石ローラ間から
送り出すワーク搬送手段とを備えた両面研削装置。 - 【請求項３】 一方の砥石ローラをワーク搬送方向に対
し直角かつ水平に配置するとともに、他方の砥石ローラ
を前記一方の砥石ローラに対し角度を設けて水平に配置
したことを特徴とする請求項２記載の両面研削装置。 - 【請求項４】 両砥石ローラをワーク搬送方向に対し直
角かつ水平に配置するとともに、両砥石ローラの砥石部
の一方の端部をワーク搬送方向に平行なワーク中心線の
近傍から片側に位置するように配置したことを特徴とす
る請求項２記載の両面研削装置。 - 【請求項５】 両砥石ローラを１０ｒｐｍ〜５０００ｒ
ｐｍで回転させることを特徴とする請求項２から４のい
ずれかに記載の両面研削装置。 - 【請求項６】 両砥石ローラ間の隙間を調整する手段
が、０．１μｍ以下の微調整が可能である請求項２から
５のいずれかに記載の両面研削装置。 - 【請求項７】 ワーク搬送手段が、ワークを下側から支
えて回転する複数の送りローラからなる請求項２から６
のいずれかに記載の両面研削装置。 - 【請求項８】 ワーク搬送手段が、ワークを上下に挟ん
で回転する複数の送りローラからなる請求項２から６の
いずれかに記載の両面研削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20775097A JPH1148107A (ja) | 1997-08-01 | 1997-08-01 | 両面研削方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20775097A JPH1148107A (ja) | 1997-08-01 | 1997-08-01 | 両面研削方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1148107A true JPH1148107A (ja) | 1999-02-23 |
Family
ID=16544930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20775097A Pending JPH1148107A (ja) | 1997-08-01 | 1997-08-01 | 両面研削方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1148107A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010234496A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Hitachi Metals Ltd | 両頭平面加工装置 |
| CN108115521A (zh) * | 2017-12-21 | 2018-06-05 | 重庆创赢清洗有限公司 | 一种工件加工打磨系统 |
| CN108581677A (zh) * | 2018-04-17 | 2018-09-28 | 浙江工贸职业技术学院 | 一种双砂轮结构的磨床 |
| CN110860981A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-03-06 | 湖南恒瑞管桩科技有限公司 | 一种管道原料表面处理系统 |
| CN111266951A (zh) * | 2020-01-19 | 2020-06-12 | 盐城斯柯达机械科技有限公司 | 一种可调节三砂架金属砂光机 |
| CN112792636A (zh) * | 2021-01-13 | 2021-05-14 | 广州初色科技有限公司 | 一种智能家居床生产用床板磨平装置 |
| CN115700167A (zh) * | 2022-11-15 | 2023-02-07 | 苏州东标金属制品有限公司 | 一种数控刀片磨削装置 |
-
1997
- 1997-08-01 JP JP20775097A patent/JPH1148107A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010234496A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Hitachi Metals Ltd | 両頭平面加工装置 |
| CN108115521A (zh) * | 2017-12-21 | 2018-06-05 | 重庆创赢清洗有限公司 | 一种工件加工打磨系统 |
| CN108581677A (zh) * | 2018-04-17 | 2018-09-28 | 浙江工贸职业技术学院 | 一种双砂轮结构的磨床 |
| CN110860981A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-03-06 | 湖南恒瑞管桩科技有限公司 | 一种管道原料表面处理系统 |
| CN111266951A (zh) * | 2020-01-19 | 2020-06-12 | 盐城斯柯达机械科技有限公司 | 一种可调节三砂架金属砂光机 |
| CN112792636A (zh) * | 2021-01-13 | 2021-05-14 | 广州初色科技有限公司 | 一种智能家居床生产用床板磨平装置 |
| CN112792636B (zh) * | 2021-01-13 | 2022-03-01 | 广州初色科技有限公司 | 一种智能家居床生产用床板磨平装置 |
| CN115700167A (zh) * | 2022-11-15 | 2023-02-07 | 苏州东标金属制品有限公司 | 一种数控刀片磨削装置 |
| CN115700167B (zh) * | 2022-11-15 | 2023-09-08 | 苏州东标金属制品有限公司 | 一种数控刀片磨削装置 |
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