JP2002113648A - 磁気ディスク表面加工装置 - Google Patents
磁気ディスク表面加工装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】研磨テープのテンションによる加圧ヘッドの荷
重の変動が生じなく、加工精度の向上が図れる。 【解決手段】加圧ヘッド３Ａの両側に配設され研磨テー
プ４５Ａをガイドするガイドローラ３８Ａ、３９Ａと、
ガイドローラ３８Ａ、３９Ａに対して磁気ディスク１よ
り離れかつガイドローラ３８Ａ、３９Ａより内側の位置
に配設され研磨テープ４５Ａをガイドするガイドローラ
３６Ａ、３６Ａとを備え、ガイドローラ３８Ａ、３９Ａ
は、磁気ディスク１表面に垂直な方向の位置が不動に設
けられ、加圧ヘッド３Ａは、磁気ディスク１表面に垂直
な方向に移動可能に設けられ、ガイドローラ３６Ａ、３
６Ａは、加圧ヘッド３Ａと共に移動可能に設けられてお
り、研磨テープ４５Ａが加圧ヘッド３Ａで磁気ディスク
１に圧接した時に、加圧ヘッド３Ａとガイドローラ３８
Ａ、３９Ａとの研磨テープ部分の角度θと、ガイドロー
ラ３８Ａ、３９Ａと第２のガイドローラ３６Ａ、３７Ａ
との研磨テープ部分の角度θは、逆向きで同じ角度にな
るように、ガイドローラ３８Ａ、３９Ａとガイドローラ
３６Ａ、３７Ａとを設けた。
重の変動が生じなく、加工精度の向上が図れる。 【解決手段】加圧ヘッド３Ａの両側に配設され研磨テー
プ４５Ａをガイドするガイドローラ３８Ａ、３９Ａと、
ガイドローラ３８Ａ、３９Ａに対して磁気ディスク１よ
り離れかつガイドローラ３８Ａ、３９Ａより内側の位置
に配設され研磨テープ４５Ａをガイドするガイドローラ
３６Ａ、３６Ａとを備え、ガイドローラ３８Ａ、３９Ａ
は、磁気ディスク１表面に垂直な方向の位置が不動に設
けられ、加圧ヘッド３Ａは、磁気ディスク１表面に垂直
な方向に移動可能に設けられ、ガイドローラ３６Ａ、３
６Ａは、加圧ヘッド３Ａと共に移動可能に設けられてお
り、研磨テープ４５Ａが加圧ヘッド３Ａで磁気ディスク
１に圧接した時に、加圧ヘッド３Ａとガイドローラ３８
Ａ、３９Ａとの研磨テープ部分の角度θと、ガイドロー
ラ３８Ａ、３９Ａと第２のガイドローラ３６Ａ、３７Ａ
との研磨テープ部分の角度θは、逆向きで同じ角度にな
るように、ガイドローラ３８Ａ、３９Ａとガイドローラ
３６Ａ、３７Ａとを設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は磁気ディスク表面加
工装置に関する。
工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスクの表面加工には、磁性膜を
所定の膜厚まで削ると共に、表面粗さを良くするための
ポリッシュ工程と、このポリッシュ工程後に表面の磁性
粉の凝集、磁性塗料の混錬中に混入するアルミナ粒、塵
埃等による微小な突起を除去するためのバーニッシュ工
程とがある。ポリッシュ工程及びバーニッシュ工程は、
一般に加圧ヘッドで研磨テープを磁気ディスクに加圧さ
せて行う表面加工装置によって行われる。
所定の膜厚まで削ると共に、表面粗さを良くするための
ポリッシュ工程と、このポリッシュ工程後に表面の磁性
粉の凝集、磁性塗料の混錬中に混入するアルミナ粒、塵
埃等による微小な突起を除去するためのバーニッシュ工
程とがある。ポリッシュ工程及びバーニッシュ工程は、
一般に加圧ヘッドで研磨テープを磁気ディスクに加圧さ
せて行う表面加工装置によって行われる。
【０００３】図７に示すように、図示しないスピンドル
にチャックされて回転する磁気ディスク１に加圧ローラ
（加圧ヘッド）６０によって研磨テープ６１を荷重Ｗで
圧接させて磁気ディスク１の表面加工を行っている。加
圧ローラ６０の両側にはガイドローラ６２、６３が配設
されており、研磨テープ６１は、図示しない供給リール
よりガイドローラ６２、加圧ローラ６０、ガイドローラ
６３を経て巻取りリールに巻き取られる。なお、この磁
気ディスク表面加工装置として、例えば特開昭６０−１
０６０２９号公報、特公平２−１０４８６号公報公報等
が挙げられる。
にチャックされて回転する磁気ディスク１に加圧ローラ
（加圧ヘッド）６０によって研磨テープ６１を荷重Ｗで
圧接させて磁気ディスク１の表面加工を行っている。加
圧ローラ６０の両側にはガイドローラ６２、６３が配設
されており、研磨テープ６１は、図示しない供給リール
よりガイドローラ６２、加圧ローラ６０、ガイドローラ
６３を経て巻取りリールに巻き取られる。なお、この磁
気ディスク表面加工装置として、例えば特開昭６０−１
０６０２９号公報、特公平２−１０４８６号公報公報等
が挙げられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】研磨テープ６１には、
巻取りリール側（ガイドローラ６３側）にテンションＴ
が掛けられ、供給リール側（ガイドローラ６２側）には
研磨テープ６１の弛みを取るためにバックテンションＴ
が掛けられている。これらのテンションＴにより、ガイ
ドローラ６２と加圧ローラ６０間及びガイドローラ６３
と加圧ローラ６０間の研磨テープ６１部分には、加圧ロ
ーラ６０に掛けられた荷重Ｗと逆方向のテンションＴ１
が生じる。このテンションＴ１によって荷重Ｗが変動
し、加工精度が低下するという問題があった。
巻取りリール側（ガイドローラ６３側）にテンションＴ
が掛けられ、供給リール側（ガイドローラ６２側）には
研磨テープ６１の弛みを取るためにバックテンションＴ
が掛けられている。これらのテンションＴにより、ガイ
ドローラ６２と加圧ローラ６０間及びガイドローラ６３
と加圧ローラ６０間の研磨テープ６１部分には、加圧ロ
ーラ６０に掛けられた荷重Ｗと逆方向のテンションＴ１
が生じる。このテンションＴ１によって荷重Ｗが変動
し、加工精度が低下するという問題があった。
【０００５】本発明の課題は、研磨テープのテンション
による加圧ヘッドの荷重の変動が生じなく、加工精度の
向上が図れる磁気ディスク表面加工装置を提供すること
にある。
による加圧ヘッドの荷重の変動が生じなく、加工精度の
向上が図れる磁気ディスク表面加工装置を提供すること
にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の手段は、加圧ヘッドで研磨テープを磁気ディ
スク表面に加圧して該磁気ディスク表面を加工する磁気
ディスク表面加工装置において、前記加圧ヘッドの両側
に配設され前記研磨テープをガイドする２個の第１のガ
イドローラと、この第１のガイドローラに対して前記磁
気ディスクより離れかつ前記第１のガイドローラより内
側の位置に配設され前記研磨テープをガイドする２個の
第２のガイドローラとを備え、前記第１のガイドローラ
は、前記磁気ディスク表面に垂直な方向の位置が不動に
設けられ、前記加圧ヘッドは、磁気ディスク表面に垂直
な方向に移動可能に設けられ、前記第２のガイドローラ
は、前記加圧ヘッドと共に移動可能に設けられており、
前記研磨テープが前記加圧ヘッドで前記磁気ディスクに
圧接した時に、加圧ヘッドと第１のガイドローラとの研
磨テープ部分の角度と、第１のガイドローラと第２のガ
イドローラとの研磨テープ部分の角度は、逆向きで同じ
角度になるように、第１のガイドローラと第２のガイド
ローラとを設けたことを特徴とする。
の本発明の手段は、加圧ヘッドで研磨テープを磁気ディ
スク表面に加圧して該磁気ディスク表面を加工する磁気
ディスク表面加工装置において、前記加圧ヘッドの両側
に配設され前記研磨テープをガイドする２個の第１のガ
イドローラと、この第１のガイドローラに対して前記磁
気ディスクより離れかつ前記第１のガイドローラより内
側の位置に配設され前記研磨テープをガイドする２個の
第２のガイドローラとを備え、前記第１のガイドローラ
は、前記磁気ディスク表面に垂直な方向の位置が不動に
設けられ、前記加圧ヘッドは、磁気ディスク表面に垂直
な方向に移動可能に設けられ、前記第２のガイドローラ
は、前記加圧ヘッドと共に移動可能に設けられており、
前記研磨テープが前記加圧ヘッドで前記磁気ディスクに
圧接した時に、加圧ヘッドと第１のガイドローラとの研
磨テープ部分の角度と、第１のガイドローラと第２のガ
イドローラとの研磨テープ部分の角度は、逆向きで同じ
角度になるように、第１のガイドローラと第２のガイド
ローラとを設けたことを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１乃至
図６により説明する。図１及び図２に示すように、本装
置は、磁気ディスク１の両面を同時に加工するようにな
っているので、磁気ディスク１の左右に加工装置２Ａと
２Ｂが配設されている。加工装置２Ａと２Ｂは同じ構造
よりなるので、加工装置２Ａの部材には番号の後に符号
Ａを付し、加工装置２Ｂの部材には番号の後に符号Ｂを
付して説明する。
図６により説明する。図１及び図２に示すように、本装
置は、磁気ディスク１の両面を同時に加工するようにな
っているので、磁気ディスク１の左右に加工装置２Ａと
２Ｂが配設されている。加工装置２Ａと２Ｂは同じ構造
よりなるので、加工装置２Ａの部材には番号の後に符号
Ａを付し、加工装置２Ｂの部材には番号の後に符号Ｂを
付して説明する。
【０００８】図１に示すように、磁気ディスク１は、図
示しないスピンドルにチャックされて回転する。磁気デ
ィスク１の両面には、ゴム等の弾性体よりなる中実の加
圧ヘッド３Ａ、３Ｂが相対向して配設されている。加圧
ヘッド３Ａ、３Ｂは、それぞれヘッド支持板４Ａ、４Ｂ
の上端部に固定されており、ヘッド支持板４Ａ、４Ｂの
下端は、それぞれ水平移動板５Ａ、５Ｂの上面に固定さ
れている。水平移動板５Ａ、５Ｂの下面には、磁気ディ
スク１の加工面に直角な方向（矢印Ｃ、Ｃ’方向）に伸
びたスライダ６Ａ、６Ｂがそれぞれ固定されており、ス
ライダ６Ａ、６Ｂはそれぞれガイド７Ａ、７Ｂにガイド
されて矢印Ｃ、Ｃ’方向に移動する。ガイド７Ａ、７Ｂ
は、それぞれガイド支持板８Ａ、８Ｂを介して上下移動
板９に固定されており、上下移動板９は図示しない上下
駆動手段により上下動（矢印Ｄ、Ｄ’方向に移動）させ
られる。
示しないスピンドルにチャックされて回転する。磁気デ
ィスク１の両面には、ゴム等の弾性体よりなる中実の加
圧ヘッド３Ａ、３Ｂが相対向して配設されている。加圧
ヘッド３Ａ、３Ｂは、それぞれヘッド支持板４Ａ、４Ｂ
の上端部に固定されており、ヘッド支持板４Ａ、４Ｂの
下端は、それぞれ水平移動板５Ａ、５Ｂの上面に固定さ
れている。水平移動板５Ａ、５Ｂの下面には、磁気ディ
スク１の加工面に直角な方向（矢印Ｃ、Ｃ’方向）に伸
びたスライダ６Ａ、６Ｂがそれぞれ固定されており、ス
ライダ６Ａ、６Ｂはそれぞれガイド７Ａ、７Ｂにガイド
されて矢印Ｃ、Ｃ’方向に移動する。ガイド７Ａ、７Ｂ
は、それぞれガイド支持板８Ａ、８Ｂを介して上下移動
板９に固定されており、上下移動板９は図示しない上下
駆動手段により上下動（矢印Ｄ、Ｄ’方向に移動）させ
られる。
【０００９】上下移動板９のガイド支持板８Ａ、８Ｂ間
の上面には、図１の紙面に垂直な方向に伸びたガイド１
０が固定されており、ガイド１０にはスライダ１１が摺
動自在に嵌挿されている。スライダ１１には、テーパ板
支持板１２が固定されており、テーパ板支持板１２には
クサビ形状に形成された両面テーパ板１３が固定されて
いる。即ち、両面テーパ板１３は、小径部１３ａと大径
部１３ｂ間がテーパ部１３ｃとなっている。前記水平移
動板５Ａ、５Ｂの下面には、両面テーパ板１３に対向し
てローラ１４Ａ、１４Ｂが回転自在に支承されている。
テーパ板支持板１２は、図示しないモータによって図１
の紙面に垂直な方向に移動させられる。
の上面には、図１の紙面に垂直な方向に伸びたガイド１
０が固定されており、ガイド１０にはスライダ１１が摺
動自在に嵌挿されている。スライダ１１には、テーパ板
支持板１２が固定されており、テーパ板支持板１２には
クサビ形状に形成された両面テーパ板１３が固定されて
いる。即ち、両面テーパ板１３は、小径部１３ａと大径
部１３ｂ間がテーパ部１３ｃとなっている。前記水平移
動板５Ａ、５Ｂの下面には、両面テーパ板１３に対向し
てローラ１４Ａ、１４Ｂが回転自在に支承されている。
テーパ板支持板１２は、図示しないモータによって図１
の紙面に垂直な方向に移動させられる。
【００１０】前記水平移動板５Ａ、５Ｂの上面には、そ
れぞれねじ支持板２０Ａ、２０Ｂが固定されており、ね
じ支持板２０Ａ、２０Ｂには調整ねじ２１Ａ、２１Ｂが
それぞれ回転自在に支承されている。調整ねじ２１Ａ、
２１Ｂのねじ部には雌ねじ２２Ａ、２２Ｂがそれぞれ螺
合しており、雌ねじ２２Ａ、２２Ｂはそれぞれねじ支持
板２０Ａ、２０Ｂに摺動可能でかつ回転しないように装
着されている。前記上下移動板９の上面には、雌ねじ２
２Ａ、２２Ｂにそれぞれ対向してばね受け２３Ａ、２３
Ｂが固定されており、ばね受け２３Ａ、２３Ｂと雌ねじ
２２Ａ、２２Ｂ間にはそれぞればね２４Ａ、２４Ｂが配
設されている。従って、ばね２４Ａ、２４Ｂの付勢力に
より、雌ねじ２２Ａ、２２Ｂ、調整ねじ２１Ａ、２１
Ｂ、ねじ支持板２０Ａ、２０Ｂ及び水平移動板５Ａ、５
Ｂを介してローラ１４Ａ、１４Ｂは両面テーパ板１３に
圧接している。
れぞれねじ支持板２０Ａ、２０Ｂが固定されており、ね
じ支持板２０Ａ、２０Ｂには調整ねじ２１Ａ、２１Ｂが
それぞれ回転自在に支承されている。調整ねじ２１Ａ、
２１Ｂのねじ部には雌ねじ２２Ａ、２２Ｂがそれぞれ螺
合しており、雌ねじ２２Ａ、２２Ｂはそれぞれねじ支持
板２０Ａ、２０Ｂに摺動可能でかつ回転しないように装
着されている。前記上下移動板９の上面には、雌ねじ２
２Ａ、２２Ｂにそれぞれ対向してばね受け２３Ａ、２３
Ｂが固定されており、ばね受け２３Ａ、２３Ｂと雌ねじ
２２Ａ、２２Ｂ間にはそれぞればね２４Ａ、２４Ｂが配
設されている。従って、ばね２４Ａ、２４Ｂの付勢力に
より、雌ねじ２２Ａ、２２Ｂ、調整ねじ２１Ａ、２１
Ｂ、ねじ支持板２０Ａ、２０Ｂ及び水平移動板５Ａ、５
Ｂを介してローラ１４Ａ、１４Ｂは両面テーパ板１３に
圧接している。
【００１１】図１及び図２に示すように、水平移動板５
Ａ、５Ｂには、ヘッド支持板４Ａ、４Ｂの両側にそれぞ
れローラ軸３０Ａ、３１Ａ及び３０Ｂ、３１Ｂが固定さ
れている。上下移動板９には、前記加圧ヘッド３Ａ、３
Ｂの両側でローラ軸３０Ａ、３１Ａ及び３０Ｂ、３１Ｂ
より外側に位置するようにローラ軸３２Ａ、３３Ａ及び
３２Ｂ、３３Ｂと、ローラ軸３０Ａ、３１Ａ及び３０
Ｂ、３１Ｂの外側部分にローラ軸３４Ａ、３５Ａ及び３
４Ｂ、３５Ｂとがそれぞれ固定されている。ローラ軸３
０Ａ乃至３５Ａ及び３０Ｂ乃至３５Ｂには、加圧ヘッド
３Ａ、３Ｂに対応した部分にガイドローラ３６Ａ乃至４
１Ａ及び３６Ｂ乃至４１Ｂがそれぞれ回転自在に支承さ
れている。
Ａ、５Ｂには、ヘッド支持板４Ａ、４Ｂの両側にそれぞ
れローラ軸３０Ａ、３１Ａ及び３０Ｂ、３１Ｂが固定さ
れている。上下移動板９には、前記加圧ヘッド３Ａ、３
Ｂの両側でローラ軸３０Ａ、３１Ａ及び３０Ｂ、３１Ｂ
より外側に位置するようにローラ軸３２Ａ、３３Ａ及び
３２Ｂ、３３Ｂと、ローラ軸３０Ａ、３１Ａ及び３０
Ｂ、３１Ｂの外側部分にローラ軸３４Ａ、３５Ａ及び３
４Ｂ、３５Ｂとがそれぞれ固定されている。ローラ軸３
０Ａ乃至３５Ａ及び３０Ｂ乃至３５Ｂには、加圧ヘッド
３Ａ、３Ｂに対応した部分にガイドローラ３６Ａ乃至４
１Ａ及び３６Ｂ乃至４１Ｂがそれぞれ回転自在に支承さ
れている。
【００１２】加工装置２Ａ、２Ｂには、研磨テープ４５
Ａ、４５Ｂ（なお、図１には研磨テープ４５Ａ、４５Ｂ
は図示せず）がそれぞれ巻回された図示しない供給リー
ルと、研磨テープ４５Ａ、４５Ｂを巻き取る図示しない
巻取りリールとが上下移動板９に配設されている。供給
リールに巻回された研磨テープ４５Ａは、ガイドローラ
４１Ａ、３７Ａ、３９Ａ、３８Ａ、３６Ａ、４０Ａを経
て巻取りリールで巻き取られる。供給リールに巻回され
た研磨テープ４５Ｂも同様に、ガイドローラ４１Ｂ、３
７Ｂ、３９Ｂ、３８Ｂ、３６Ｂ、４０Ｂを経て巻取りリ
ールで巻き取られる。
Ａ、４５Ｂ（なお、図１には研磨テープ４５Ａ、４５Ｂ
は図示せず）がそれぞれ巻回された図示しない供給リー
ルと、研磨テープ４５Ａ、４５Ｂを巻き取る図示しない
巻取りリールとが上下移動板９に配設されている。供給
リールに巻回された研磨テープ４５Ａは、ガイドローラ
４１Ａ、３７Ａ、３９Ａ、３８Ａ、３６Ａ、４０Ａを経
て巻取りリールで巻き取られる。供給リールに巻回され
た研磨テープ４５Ｂも同様に、ガイドローラ４１Ｂ、３
７Ｂ、３９Ｂ、３８Ｂ、３６Ｂ、４０Ｂを経て巻取りリ
ールで巻き取られる。
【００１３】次に作用について説明する。予め調整ねじ
２１Ａ、２１Ｂを回して加圧ヘッド３Ａ、３Ｂが研磨テ
ープ４５Ａ、４５Ｂを介して磁気ディスク１に圧接する
加圧力を調整しておく。調整ねじ２１Ａ、２１Ｂを回す
と、雌ねじ２２Ａ、２２Ｂがねじ支持板２０Ａ、２０Ｂ
に沿って移動し、ばね２４Ａ、２４Ｂの付勢力が変化す
る。ばね２４Ａ、２４Ｂの付勢力は、雌ねじ２２Ａ、２
２Ｂ、調整ねじ２１Ａ、２１Ｂ、ねじ支持板２０Ａ、２
０Ｂ、水平移動板５Ａ、５Ｂ、ヘッド支持板４Ａ、４Ｂ
を介して加圧ヘッド３Ａ、３Ｂに掛けられている。
２１Ａ、２１Ｂを回して加圧ヘッド３Ａ、３Ｂが研磨テ
ープ４５Ａ、４５Ｂを介して磁気ディスク１に圧接する
加圧力を調整しておく。調整ねじ２１Ａ、２１Ｂを回す
と、雌ねじ２２Ａ、２２Ｂがねじ支持板２０Ａ、２０Ｂ
に沿って移動し、ばね２４Ａ、２４Ｂの付勢力が変化す
る。ばね２４Ａ、２４Ｂの付勢力は、雌ねじ２２Ａ、２
２Ｂ、調整ねじ２１Ａ、２１Ｂ、ねじ支持板２０Ａ、２
０Ｂ、水平移動板５Ａ、５Ｂ、ヘッド支持板４Ａ、４Ｂ
を介して加圧ヘッド３Ａ、３Ｂに掛けられている。
【００１４】そこで、磁気ディスク１を回転させ、図１
及び図２の状態より、両面テーパ板１３を駆動させる図
示しないモータを作動させ、両面テーパ板１３を図１の
紙面に垂直で奥側に移動させる。これにより、ローラ１
４Ａ、１４Ｂがばね２４Ａ、２４Ｂの付勢力により両面
テーパ板１３のテーパ部１３ｃに追従して矢印Ｃ方向に
移動し、水平移動板５Ａ、５Ｂと共にヘッド支持板４
Ａ、４Ｂ及び加圧ヘッド３Ａ、３Ｂも矢印Ｃ方向に移動
する。そして、図３及び図４に示すように、加圧ヘッド
３Ａ、３Ｂによって研磨テープ４５Ａ、４５Ｂ（なお、
図３には研磨テープ４５Ａ、４５Ｂは図示せず）が磁気
ディスク１に加圧される。この状態で上下移動板９を矢
印Ｄ及びＤ’方向に複数回往復移動させると、磁気ディ
スク１の両面は研磨テープ４５Ａ、４５Ｂによってポリ
ッシュ又はバーニッシュされる。研磨テープ４５Ａ、４
５Ｂが磁気ディスク１に圧接していない時、研磨テープ
４５Ａ、４５Ｂの新しい部分に、図示しない巻取りリー
ルで磁気ディスク１を巻き取り、加圧ヘッド３Ａ、３Ｂ
の加圧面に研磨テープ４５Ａ、４５Ｂが接触しない状態
にて該研磨テープ４５Ａ、４５Ｂを矢印Ｅ方向に送る。
及び図２の状態より、両面テーパ板１３を駆動させる図
示しないモータを作動させ、両面テーパ板１３を図１の
紙面に垂直で奥側に移動させる。これにより、ローラ１
４Ａ、１４Ｂがばね２４Ａ、２４Ｂの付勢力により両面
テーパ板１３のテーパ部１３ｃに追従して矢印Ｃ方向に
移動し、水平移動板５Ａ、５Ｂと共にヘッド支持板４
Ａ、４Ｂ及び加圧ヘッド３Ａ、３Ｂも矢印Ｃ方向に移動
する。そして、図３及び図４に示すように、加圧ヘッド
３Ａ、３Ｂによって研磨テープ４５Ａ、４５Ｂ（なお、
図３には研磨テープ４５Ａ、４５Ｂは図示せず）が磁気
ディスク１に加圧される。この状態で上下移動板９を矢
印Ｄ及びＤ’方向に複数回往復移動させると、磁気ディ
スク１の両面は研磨テープ４５Ａ、４５Ｂによってポリ
ッシュ又はバーニッシュされる。研磨テープ４５Ａ、４
５Ｂが磁気ディスク１に圧接していない時、研磨テープ
４５Ａ、４５Ｂの新しい部分に、図示しない巻取りリー
ルで磁気ディスク１を巻き取り、加圧ヘッド３Ａ、３Ｂ
の加圧面に研磨テープ４５Ａ、４５Ｂが接触しない状態
にて該研磨テープ４５Ａ、４５Ｂを矢印Ｅ方向に送る。
【００１５】本実施の形態においては、前記したように
研磨テープ４５Ａ、４５Ｂが磁気ディスク１に圧接する
時、研磨テープ４５Ａ、４５Ｂに掛けられた巻取りリー
ル側のテンションと、弛みを防止するために研磨テープ
４５Ａ、４５Ｂに掛けられた供給リール側のテンション
によって加圧ヘッド３Ａ、３Ｂを矢印Ｃ’方向に押し戻
すことがない構造となっている。このことを一方の加工
装置２Ａについて図５により説明する。
研磨テープ４５Ａ、４５Ｂが磁気ディスク１に圧接する
時、研磨テープ４５Ａ、４５Ｂに掛けられた巻取りリー
ル側のテンションと、弛みを防止するために研磨テープ
４５Ａ、４５Ｂに掛けられた供給リール側のテンション
によって加圧ヘッド３Ａ、３Ｂを矢印Ｃ’方向に押し戻
すことがない構造となっている。このことを一方の加工
装置２Ａについて図５により説明する。
【００１６】前記したように、ローラ軸３０Ａ、３１Ａ
は水平移動板５Ａに固定されている。従って、加圧ヘッ
ド３Ａの加圧面とガイドローラ３６Ａ、３７Ａの中心軸
との距離Ｌは不変である。またローラ軸３２Ａ、３３Ａ
は上下移動板９に固定されている。従って、磁気ディス
ク１の加工面とガイドローラ３８Ａ、３９Ａの中心軸と
の距離Ｍは不変である。そこで、加圧ヘッド３Ａとガイ
ドローラ３８Ａ、３９Ａとの研磨テープ部分４５Ａ１、
４５Ａ２の傾きθと、ガイドローラ３６Ａ、３７Ａと３
８Ａ、３９Ａとの研磨テープ部分４５Ａ３、４５Ａ４の
傾きθが逆向きで同じになるように、ガイドローラ３６
Ａ、３７Ａと３８Ａ、３９Ａとを設ける。
は水平移動板５Ａに固定されている。従って、加圧ヘッ
ド３Ａの加圧面とガイドローラ３６Ａ、３７Ａの中心軸
との距離Ｌは不変である。またローラ軸３２Ａ、３３Ａ
は上下移動板９に固定されている。従って、磁気ディス
ク１の加工面とガイドローラ３８Ａ、３９Ａの中心軸と
の距離Ｍは不変である。そこで、加圧ヘッド３Ａとガイ
ドローラ３８Ａ、３９Ａとの研磨テープ部分４５Ａ１、
４５Ａ２の傾きθと、ガイドローラ３６Ａ、３７Ａと３
８Ａ、３９Ａとの研磨テープ部分４５Ａ３、４５Ａ４の
傾きθが逆向きで同じになるように、ガイドローラ３６
Ａ、３７Ａと３８Ａ、３９Ａとを設ける。
【００１７】そこで、研磨テープ部分４５Ａ１と４５Ａ
３について見ると、研磨テープ部分４５Ａ１には巻取り
リール側のテンションＴが掛けられ、研磨テープ部分４
５Ａ３には、弛みを防止するために供給リール側のバッ
クテンションＴが掛けられている。前記したように、加
圧ヘッド３Ａとガイドローラ３８Ａとの研磨テープ部分
４５Ａ１の傾きと、ガイドローラ３６Ａと３８Ａとの研
磨テープ部分４５Ａ３の傾きは、同じ傾きθであるの
で、加圧ヘッド３Ａには研磨テープ部分４５Ａ１による
矢印Ｃ’方向のテンションは生じない。研磨テープ部分
４５Ａ２と４５Ａ４においても同様に、研磨テープ部分
４５Ａ１により矢印Ｃ’方向のテンションは生じない。
従って、研磨テープ部分４５Ａ１、４５Ａ２のテンショ
ンによって加圧ヘッド３Ａが研磨テープ部分４５Ａを磁
気ディスク１に圧接させる加圧力は変動しない。加工装
置２Ｂについても同様であるので、その説明は省略す
る。
３について見ると、研磨テープ部分４５Ａ１には巻取り
リール側のテンションＴが掛けられ、研磨テープ部分４
５Ａ３には、弛みを防止するために供給リール側のバッ
クテンションＴが掛けられている。前記したように、加
圧ヘッド３Ａとガイドローラ３８Ａとの研磨テープ部分
４５Ａ１の傾きと、ガイドローラ３６Ａと３８Ａとの研
磨テープ部分４５Ａ３の傾きは、同じ傾きθであるの
で、加圧ヘッド３Ａには研磨テープ部分４５Ａ１による
矢印Ｃ’方向のテンションは生じない。研磨テープ部分
４５Ａ２と４５Ａ４においても同様に、研磨テープ部分
４５Ａ１により矢印Ｃ’方向のテンションは生じない。
従って、研磨テープ部分４５Ａ１、４５Ａ２のテンショ
ンによって加圧ヘッド３Ａが研磨テープ部分４５Ａを磁
気ディスク１に圧接させる加圧力は変動しない。加工装
置２Ｂについても同様であるので、その説明は省略す
る。
【００１８】図６は加圧ヘッドの他の実施の形態を示
す。前記実施の形態においては、加圧ヘッド３Ａ、３Ｂ
をゴム等の弾性体によって中実に形成した。本実施の形
態の加圧ヘッド５０は、図６（ａ）（ｂ）に示すように
ゴム等のなる弾性変形部５１と、この弾性変形部５１に
空気を導入する空気導入部５２とからなっており、空気
導入部５２はヘッド支持板４（４Ａ、４Ｂ）に固定され
ている。弾性変形部５１は、加圧部５１ａが変形し易い
ように薄肉に形成された中空部５１ｂを有し、加圧部５
１ａの反対側が開放し、この開放部が空気導入部５２に
固定されている。空気導入部５２には、中空部５１ｂに
連通するように空気路５２ａが形成され、空気路５２ａ
に連通するようにホース継手５３が取付けられている。
ホース継手５３には、図示しないホースの一端が接続さ
れ、ホースの他端は電磁弁、流量計等を介して空気供給
源に接続されている。
す。前記実施の形態においては、加圧ヘッド３Ａ、３Ｂ
をゴム等の弾性体によって中実に形成した。本実施の形
態の加圧ヘッド５０は、図６（ａ）（ｂ）に示すように
ゴム等のなる弾性変形部５１と、この弾性変形部５１に
空気を導入する空気導入部５２とからなっており、空気
導入部５２はヘッド支持板４（４Ａ、４Ｂ）に固定され
ている。弾性変形部５１は、加圧部５１ａが変形し易い
ように薄肉に形成された中空部５１ｂを有し、加圧部５
１ａの反対側が開放し、この開放部が空気導入部５２に
固定されている。空気導入部５２には、中空部５１ｂに
連通するように空気路５２ａが形成され、空気路５２ａ
に連通するようにホース継手５３が取付けられている。
ホース継手５３には、図示しないホースの一端が接続さ
れ、ホースの他端は電磁弁、流量計等を介して空気供給
源に接続されている。
【００１９】そこで、ホース継手５３より空気を供給す
ると、空気は空気路５２ａを通して中空部５１ｂに供給
され、図６（ｃ）（ｄ）に示すように加圧部５１ａが膨
らむ。従って、図３及び図４に示す磁気ディスク１に磁
気テープ４５Ａ、４５Ｂを圧接させる時、図６（ｃ）
（ｄ）に示すように加圧部５１ａを膨らませると、中空
部５１ｂに供給した空気量に応じた加圧力が得られる。
このように、加圧力を空気供給量によって容易に可変す
ることができる。
ると、空気は空気路５２ａを通して中空部５１ｂに供給
され、図６（ｃ）（ｄ）に示すように加圧部５１ａが膨
らむ。従って、図３及び図４に示す磁気ディスク１に磁
気テープ４５Ａ、４５Ｂを圧接させる時、図６（ｃ）
（ｄ）に示すように加圧部５１ａを膨らませると、中空
部５１ｂに供給した空気量に応じた加圧力が得られる。
このように、加圧力を空気供給量によって容易に可変す
ることができる。
【００２０】
【発明の効果】本発明は、加圧ヘッドの両側に配設され
研磨テープをガイドする２個の第１のガイドローラと、
この第１のガイドローラに対して前記磁気ディスクより
離れかつ前記第１のガイドローラより内側の位置に配設
され前記研磨テープをガイドする２個の第２のガイドロ
ーラとを備え、前記第１のガイドローラは、前記磁気デ
ィスク表面に垂直な方向の位置が不動に設けられ、前記
加圧ヘッドは、磁気ディスク表面に垂直な方向に移動可
能に設けられ、前記第２のガイドローラは、前記加圧ヘ
ッドと共に移動可能に設けられており、前記研磨テープ
が前記加圧ヘッドで前記磁気ディスクに圧接した時に、
加圧ヘッドと第１のガイドローラとの研磨テープ部分の
角度と、第１のガイドローラと第２のガイドローラとの
研磨テープ部分の角度は、逆向きで同じ角度になるよう
に、第１のガイドローラと第２のガイドローラとを設け
たので、研磨テープのテンションによる加圧ヘッドの荷
重の変動が生じなく、加工精度の向上が図れる。
研磨テープをガイドする２個の第１のガイドローラと、
この第１のガイドローラに対して前記磁気ディスクより
離れかつ前記第１のガイドローラより内側の位置に配設
され前記研磨テープをガイドする２個の第２のガイドロ
ーラとを備え、前記第１のガイドローラは、前記磁気デ
ィスク表面に垂直な方向の位置が不動に設けられ、前記
加圧ヘッドは、磁気ディスク表面に垂直な方向に移動可
能に設けられ、前記第２のガイドローラは、前記加圧ヘ
ッドと共に移動可能に設けられており、前記研磨テープ
が前記加圧ヘッドで前記磁気ディスクに圧接した時に、
加圧ヘッドと第１のガイドローラとの研磨テープ部分の
角度と、第１のガイドローラと第２のガイドローラとの
研磨テープ部分の角度は、逆向きで同じ角度になるよう
に、第１のガイドローラと第２のガイドローラとを設け
たので、研磨テープのテンションによる加圧ヘッドの荷
重の変動が生じなく、加工精度の向上が図れる。
【図１】本発明の磁気ディスク表面加工装置の一実施の
形態を示す側面図である。
形態を示す側面図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図１と同じ側面図である。
【図４】図３の平面図である。
【図５】図３の状態の要部平面図である。
【図６】加圧ヘッドの他の実施の形態を示し、（ａ）は
側面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図、（ｃ）
（ｄ）は空気を供給した状態で、（ｃ）は側面図、
（ｄ）は平面図である。
側面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図、（ｃ）
（ｄ）は空気を供給した状態で、（ｃ）は側面図、
（ｄ）は平面図である。
【図７】従来の一般的な磁気ディスク表面加工装置の概
略説明図である。
略説明図である。
１ 磁気ディスク ２Ａ、２Ｂ 加工装置 ３Ａ、３Ｂ 加圧ヘッド ４Ａ、４Ｂ ヘッド支持板 ５Ａ、５Ｂ 水平移動板 ９ 上下移動板 ２１Ａ、２１Ｂ 調整ねじ ２２Ａ、２２Ｂ 雌ねじ ２４Ａ、２４Ｂ ばね ３６Ａ乃至４１Ａ及び３６Ｂ乃至４１Ｂ ガイドロー
ラ ４５Ａ、４５Ｂ 研磨テープ ５０ 加圧ヘッド
ラ ４５Ａ、４５Ｂ 研磨テープ ５０ 加圧ヘッド
Claims (1)
- 【請求項１】 加圧ヘッドで研磨テープを磁気ディスク
表面に加圧して該磁気ディスク表面を加工する磁気ディ
スク表面加工装置において、前記加圧ヘッドの両側に配
設され前記研磨テープをガイドする２個の第１のガイド
ローラと、この第１のガイドローラに対して前記磁気デ
ィスクより離れかつ前記第１のガイドローラより内側の
位置に配設され前記研磨テープをガイドする２個の第２
のガイドローラとを備え、前記第１のガイドローラは、
前記磁気ディスク表面に垂直な方向の位置が不動に設け
られ、前記加圧ヘッドは、磁気ディスク表面に垂直な方
向に移動可能に設けられ、前記第２のガイドローラは、
前記加圧ヘッドと共に移動可能に設けられており、前記
研磨テープが前記加圧ヘッドで前記磁気ディスクに圧接
した時に、加圧ヘッドと第１のガイドローラとの研磨テ
ープ部分の角度と、第１のガイドローラと第２のガイド
ローラとの研磨テープ部分の角度は、逆向きで同じ角度
になるように、第１のガイドローラと第２のガイドロー
ラとを設けたことを特徴とする磁気ディスク表面加工装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000305277A JP3706538B2 (ja) | 2000-10-04 | 2000-10-04 | 磁気ディスク表面加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000305277A JP3706538B2 (ja) | 2000-10-04 | 2000-10-04 | 磁気ディスク表面加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002113648A true JP2002113648A (ja) | 2002-04-16 |
| JP3706538B2 JP3706538B2 (ja) | 2005-10-12 |
Family
ID=18786173
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000305277A Expired - Fee Related JP3706538B2 (ja) | 2000-10-04 | 2000-10-04 | 磁気ディスク表面加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3706538B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6908369B2 (en) | 2002-09-24 | 2005-06-21 | Nihon Microcoating Co., Ltd. | Apparatus for and method of smoothing substrate surface |
| JP2009095914A (ja) * | 2007-10-16 | 2009-05-07 | Yac Co Ltd | 基板表面加工装置 |
| JP2014237196A (ja) * | 2013-06-10 | 2014-12-18 | ワイエイシイ株式会社 | 基板表面加工装置 |
| JP2015000451A (ja) * | 2013-06-17 | 2015-01-05 | ワイエイシイ株式会社 | 基板表面加工装置 |
| CN116372756A (zh) * | 2023-04-04 | 2023-07-04 | 浙江富乐德石英科技有限公司 | 一种用于石英玻璃圆柱面抛光的加工装置 |
-
2000
- 2000-10-04 JP JP2000305277A patent/JP3706538B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6908369B2 (en) | 2002-09-24 | 2005-06-21 | Nihon Microcoating Co., Ltd. | Apparatus for and method of smoothing substrate surface |
| JP2009095914A (ja) * | 2007-10-16 | 2009-05-07 | Yac Co Ltd | 基板表面加工装置 |
| JP2014237196A (ja) * | 2013-06-10 | 2014-12-18 | ワイエイシイ株式会社 | 基板表面加工装置 |
| JP2015000451A (ja) * | 2013-06-17 | 2015-01-05 | ワイエイシイ株式会社 | 基板表面加工装置 |
| CN116372756A (zh) * | 2023-04-04 | 2023-07-04 | 浙江富乐德石英科技有限公司 | 一种用于石英玻璃圆柱面抛光的加工装置 |
| CN116372756B (zh) * | 2023-04-04 | 2024-02-09 | 浙江富乐德石英科技有限公司 | 一种用于石英玻璃圆柱面抛光的加工装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3706538B2 (ja) | 2005-10-12 |
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