JPS60106029A - 磁気デイスクの製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）発明の技術分野 本発明は磁気ディスクの製造装置に関し、特に磁気ディ
スク表面又は磁気ディスク基板表面の微小突起を除去す
るための製造装置に関するものである。

（ロ）技術の背景 磁気ディスクは、一般にアルミ合金等の非磁性基板に下
地処理（アルマイト処理、Ｎ１−Ｐメッキ処理等）を施
してから、その上に磁性膜を均一に伺漕させ、その後、
表面をポリッシュして平滑性の良い表面が形成されて作
製される。しかし、このようにして作製された磁性膜に
おいてもその表面には、磁性粉の凝集、磁性塗料中の気
泡、磁性塗料の混線中に混入するアルミナ粒、塵埃等種
々の要因によシ微小な突起が存在し、これらの突起は磁
気ヘッドの安定浮上に悪影響を与える。また、これらの
微小突起は上記袂因のみでなく、非磁性基板（磁気ディ
スク基板）自体に発生している微／Ｊ％突起に基因して
いるものが多くあることが確認されている。特に最近で
は、磁性膜の力菓厚が、例えば、０．５μｍ〜０．７μ
ｍ程度に薄膜化される傾向が強く、この場合は非磁性基
板自体の微小突起に基因して発生する磁性膜上の微小突
起の発生数が多くなる。また、最近の如く、磁気ディス
クの高密度化、高性能化に伴い、磁気ヘッドの浮上量が
磁性膜表面から、例えば、１μｍ以下に低浮上量化され
るに従って、ますますこれら微小突起の与える悪影響が
増大化されている。従って、磁性膜の膜面又は基板の表
面に損傷を与えることなくこれらの微小突起を効率良く
除去することが磁気ディスク製造工程上Ｍ要な課題とな
っている。

（ハ）従来技術と問題点 第１図はこの種の微小突起を除去するための従来の製造
装置の概略図であシ、第２図は第１図の矢印Ｒ方向から
みた部分側面図、第３図は第２図の突起除去工程後の部
分π（Ｕ面断面図である。これらの図において、符号１
０は非磁性基板上に磁性膜（記録媒体）１０ａが付着さ
れて形成された磁気ディスクを７］及し、１１はサファ
イアやアルミナ等の硬質材料で作製されたバーニッシー
ヘットト称されるヘッド（スライダー）、１２は弾性を
有する材料、例えば、ばね板から形成された支持部材、
１３はへラドアームをそれぞれ示している。

支持部材１２はその先端部１２ａにバーニッシュヘッド
１１が取着さノ１、その基端部１２ｂがへラドアーム１
３に固定支持されている。この従来例は磁気ディスク１
０上にバーニッシュヘッド１１を、通常使用される磁気
ヘッド（図示なし）の浮上量より低く浮上させ（例えは
、磁気ヘッドの浮上量が０．３μｍ程度の場合は０．１
５μｍ程度に低く浮上させる）、磁気ディスク１０を回
転（矢印Ａ方向）させると同時にバーニッシュヘッド１
１をディスク１０の半径方向（矢印Ｂ方向）にヘッドア
ーム１３によって往復移動させることによシ、ディスク
１０上の微小突起１４（第２図）をバーニッシュヘッド
１１に衝突させて微小突起１４を折損して除去するよう
に構成されたものである。しかし、この従来の装置では
、第２図に示すように、突起１４の残留突起部１４ａが
残留することになシ、また、ばらつきが大きく完全に突
起１４を除去することが困難であり、さらに、ツマ−ニ
ッシュへラド１１をディスク１０の半径方向（矢印Ｂ方
向）に複数回（例えば、１０回程度）往復移動させる必
要があるため突起１４の除去処理に手間がかかるという
問題がおる。さらには、第３図に示すように、微小突起
１４が根本から折損されて磁性膜の表面が損傷され、そ
のあとに凹ル［１５が発生する場合がある。このような
凹１′７ｒ１５は磁性膜１０ａの欠陥部として形成され
る場合が多い。

に）発明の目的 本発明の目的は、上記従来技術の問題点に鑑み、磁気デ
ィスク又は磁気ディスク基板（非磁性基板）の微小突起
を、磁気ディスク上の磁性膜又は基板の表面を損傷する
ことなく確実かつ完全にしかも短時間で除去することが
可能な磁気ディスクの製造装置を提供することにある。

（ホ）発明の構成 そして、上記目的を達成するために、本発明に依れば、
磁気デイメクｐ面又は磁気ディスク基板表面上の微小突
起を除去するための製造装置であって、磁気ディスク表
面上に接触配置されるラッピングテープと、該テープを
磁気ディスク表面の一部に圧着接触させるための加圧子
と、該加圧子を支持部羽荀介して支持しかつ前記ディス
クの半径方向に往復移動せしめる移動台と、該移動台に
配設され前記ラッピングテープを加圧子に対して相対移
動せしめるテープ移動手段とを共倒していることを特徴
とする磁気ディスクの製造装置が提供される。

（へ）発明の実／ｌｉ！ｉ例 以下、本発明の実施例をトロｊｊに基づいて詳細に説明
する。

第４図から第１０図は本発明の詳細な説明するための図
である。尚、これらの図において、肖口出の第１図から
第３図と同一部分又は相当名す分は同−符号をもって示
しである。従って、符号１０は磁気ディスク、１０ａは
磁性膜、１４は微小突起をそれぞれ示している。

第４図は本発明の第１実施例２０の基本構成を示す図で
アシ、第５図は第４図の矢印Ｓ方向からみた部分側面図
である。両図において、符号２０は磁気ディスクの製造
装置を示し、２１はラッピングテープ、２２はラッピン
グテープ線用しリール、２３はラッピングテープ巻取ｆ
ｉ　ＩＪ−ル、２４は加圧子、２５は加圧子支持部材、
２６は移動台をそれぞれ示す。ラッピングテープ２１は
、幅寸法Ｗが例えば１０叫程度に比較的せまく設定され
ディスク１０に接触する表面に研摩用微粒子（例えば、
１μｍ程度の微粒子）を均一に付着して形成されたもの
で、加圧子２４の下面に摺動可能に接触配置され、その
一端側が繰出しリール２２に巻着されておシ、その他端
側か巻取Ｊ　ＩＪ−ル２３に巻き取られることによシ、
加圧子２４に対して相対移動（矢印Ｃ方向）される。繰
出しリール２２はモータ２７の駆動軸２．７ａに、そし
て巻取シリール２３はモータ２８の駆動軸２８ａにそれ
ぞれ固定され、モータ２７．２８によって適宜に回転駆
動される。モータ２７，２８は共に移動台２６に固定さ
れている。このように、繰出しリール２２、巻取シリー
ル２３及びモータ２７　、’　２８によってテープ移動
手段が構成される。加圧子２４は加圧子支持部材２５の
先端部２５ａに固定されている。支持部材２５は、この
場合、弾性を有する材料、例えばはね板月から形成され
たもので、加圧子２４を介してラッピングテープ２１を
適宜な押圧力で磁気ディスク１０の表面上（この場合は
磁性膜１０ａ上）に弾性的に圧着接触させる役割を果し
ている。支持部側２５はその基端部２５ｂが調整ねじ２
９とコイルばね２９ａを介して移動台に取伺けられてい
る。この調整ねじ２９によって１加圧子２４の押圧力が
支持部材２５を介して調整される。移動台２６はディス
ク１００半径方向（矢印Ｂ方向）に往復移動可能にに４
成されている。従って、ラッピングテープ２１は加圧子
２４と共にディスク１０の半径方向に往復移動される。

さて、ディスク１０を回転（矢印Ａ方向、但し、これと
逆方向でもよい）させながら加圧子２４によってラッピ
ングテープ２１をディスク１０上に弾性的に圧着接触さ
せてディスク１０の半径方向に往復移動させると共に、
加圧子２４に対して相対移動させることにより、第５図
に示すように、微小突起１４はラッピングテ＝ｆ２１に
よって根本から効率良く確実に除去される。このように
、本実施例は微小突起１４を一種の仙摩作用によって除
去する製造装置であって、前出の従来例の如く微小突起
１４を折損作用によって除去する装置ではないので、デ
ィスク１０の表面に従来例の場合のような凹所や残留突
起部（共に、第３図符号１４ａと１５を参照）の発生を
防止しすることができ、第６図に示すように、良好な平
滑表面１０ｂを得ることができる。また、本実施例に依
れば、大抵の場合１ラツピングテープ２１をディスク１
０の半径方向（矢印Ｂ方向〕に１往復移動させるのみで
微小突起１４をほぼ完全に除去することが可能であシ、
突起除去処理時間を前出の従来例に比べて大幅に短縮す
ることができるという利点がある。尚、ラッピングテー
プ２１は予めラップ油に浸しておいてから使用される。

さらには、突起１４の除去処理中、ラッピングテープ２
１とディスク１０との接触面にラップ油を連続的に供給
することが好ましく、第４図において、このようなラッ
プ油の供給手段を配設することは容易に可能である。ま
た、本実施例は突起１４部分のみを一種の研摩作用によ
って除去するように構成されたものであシ、加圧子２４
の大きさがディスク１０表面の一部に接触するように小
さく形成され、これに伴い研摩テープ２１０幅寸法Ｗも
前述したように１０順程度に比較的せまく設定され１ま
た１加圧子２４の加圧荷車（押圧力）も、例えば−・列
として３５０ｇ程度に小さく設定されている。

第７図は第２実施例３０の側面図であシ、第８図は第７
図の矢印り方向からみたてこ部材４８の部分平面図、第
９図は第７図の加圧子４４の取付構造（ジンバル構造、
矢印Ｅ部分）の分解斜視図である。第７図に示すように
、本実施例３０は、基本的には前出の第１実施・例２０
（第４図）と同様に構成されたものであるが、加圧子４
４　、４５がヘッドアーム４０．４１の先端部にそれぞ
れジンバル構造で取付けられ、磁気ディスク１０の上下
面に対向して上下対称に配設され、かつラッピングテー
プ２１．２１’の加圧子４４．４５に対する相対移動方
向がディスク１００半径方向（矢印Ｂ方向）である点が
前出の第１実施例２０（第４図）と相違する主な点であ
る。尚、第７図に向かって左手側を装置（第２実施例）
３０の前方側、そして右手側を後方側と呼ぶことにする
。また、符号αはディスク１０の回転軸線を示している
。

さて、符号３１は各部品が装着される移動基板、３２は
林、動基板３１を直立状に固定支持している移動基台で
あり、これら両者によって移動体（移動台）３３が構成
される。符号３４は移動基台３２をディスク１０の半径
方向（矢印Ｂ方向）に摺動自在に案内するための案内台
を示している。

移動基台３２に送シ用ナツト３５が固設され、このナツ
ト３５に外ねじ付送りｊｌｌｌ１３６が螺合して配設さ
れている。送シ軸３６の後端側は軸受３７に回動自在に
支承され、かつその後端が軸継手３８を介して駆動モー
タ３９の駆動軸３９ａに接続されている。またモータ３
９はモータ固定部材３９ｂに固定されている。上述の構
成により、移動体３３はモータ３９によってディスク１
００半径方向（矢印Ｂ方向）に往復移動される。

さて、移動基板３１の前方中間部に、長方形の板状に形
成された一対のへラドアーム４０．４１がディスク１０
の上下面に対しその板面を平行状にして上下対称に配置
され、それぞれに−林状に形成された支持片４０ａ、４
１ａが、移動基板３１に植設された支持ビン４２．４３
にそれぞれ回動自在に支承されている。ヘッドアーム４
０゜４１の前ｇｉ、ｉ部に加圧子４４．４５が互に対向
して後述するように取付けられ、そして、後端部４０ｂ
。

４１ｂにスタッドポル）４６．４７がそれぞれ直立して
固定されている。ヘッドアーム４０　、４１の後端部４
０ｂ、４１ｂに対応して、直角状に折曲形成されたＬ字
状のてこ部拐４８．４９が上下対称に配置され、それぞ
れの折曲部４８ａ、４９ａが移動基板３１に直立植設さ
れた支持ピン５０゜５１にそれぞれ回動自在に支承され
ている。てこ部材４８　、（４９）の前端部４８ｄ　、
（４９ｄ）には、第８図に示すように、切込み港４８し
く４９ｂ）が形成され、この切込み溝４８ト（４９ｂ）
がスタットボルト４６（４７）と摺動可能に嵌合してい
る。一方、てこ部材４８．４９の後端部はその一部が互
に摺動可能に重合され、かつ切込み溝４８ｃ、４９ｃが
形成されている。

これら切込み溝４８ｃ、４９ｃ双方に支持ピン５２が摺
動可能に嵌合されている。支持ビン５２は連結部材５３
上に直立植設されている。連結部材５３は移動基板３１
に固定されたシリンダ５４のピストンロンド５４ａの先
端に固着されている。

前記スタットポル）４６．４７の自由端部（先端部）に
、加圧子（４４、４５）　：）ＪＯ正圧力調節ナラ）５
５．５６がそれぞれ螺合されている。これら調節ナツト
５５．５６と、てこ部月４８．４９間にスタッドポル）
４６．４７を取り巻く形態で加圧子（４４，’４５）加
圧ばね（圧縮コイルばね）５７．５８がそれぞれ装着さ
れている。さて、加圧子４４．４５は、前述したように
、ヘッドアーム４０．４１の前端部にそれぞれ互に対向
して取付けられておシ、取付基台５９，６０、リング状
板はね（ジンバルばね）６’ｌ、６２、スペーサ６３．
６４．６５．６６、及び取付ねじ（センタービ？ットね
じ）６７．６８によって構成されるジンバル構造７１（
第９図）によって取付けられている。

第９図はこの加圧子４４（４５）の取付構造、すなわち
ジンバル構造７１の分角；「斜視図を示している。但し
、第９図は代表として第７図の上側部分、すなわち矢印
Ｅ部分のみを示し、０内の参照番号は下側部分の省部品
を示している。さて、取付基台５９（６０）の下面前後
部にそれぞれスペーサ６３（６４）が固着されるＯこれ
らスペーサ６３（６４）の下面にリング状板はね（ジン
ノ々ルばね）６１（６２）の前後部が固着される。１ノ
ング状板ばね６１（６２）は、例えば、弾性を有するス
テンレス鋼等から形成される。そして、このリング状板
ばね６１（６２）の下面左右部にそれぞれスペーサ６５
（６６）が固着される。これらスペーサ６５（６６）の
下面に加圧子４４（４５）の上面左右部が固着される。

このようにしてジンバル構造７１が組立てられる。そし
て、取付基台５９（６０）が、第７図、に示すように、
ヘッドアーム４０（４１）の前端部に埋設嵌入され、取
伺ねじ６７（６８）によってねじ止め固定される。

この加圧子４４（４５）の取付状態において、取付ねじ
６７（６８）は、先端６７ａ（６８ａ）（第９図）が加
圧子４４（４５）の上面の中心点Ｐ（第９図）に尚接す
るように形成されておシ、センターピボットねじの役割
も兼有している。このように構成されたジンバル構造７
１によって、加圧子４４（４５）は、その下面全部が第
７図に示すように、ディスク１０の表面上に常にバラン
ス良く均一に圧着されるように調節される。

さて、第７図に示すように、このようにして取付けられ
た加圧子４４．４５の下面にラッピングテープ２１．２
１’がそれぞれ摺動可能に接触配置され、加圧子４４．
４５によってディスク１０の上下面上に圧着接触される
。ラッピングテープ２１゜２１′はへラドアーム４０．
４１上と移動基体３１上とに配設された複数個のガイド
ローラ６９．７０に依って導かれて、その一端側が繰出
しリール２２．２２’に装着されその他端側か巻取りリ
ール２３．２３’に巻取られる。巻取υリール２３　、
２３’は図示してない駆動装置、例えば、駆動モータに
よってそれぞれ矢印Ｆ、Ｇ方向に回転駆動される。この
巻取ｆｉ　ＩＪ−ル２３，２３’の回転によって、ラッ
ピングテープ２１．２１’はこれらのリール２３．２３
’に巻取られてそれぞれ矢印Ｈ，Ｉ方向に移動され、加
圧子４４．４５の下面に対して４４１対移動され、この
結果ディスク１０の上下面に対して新しい接触面が必吸
に応じて連続的又はｌ）’＋続的に現出される。

さて、第７図において、シリンダ５４のピストンロッド
５４ａが後方（矢印Ｊ方向）に引込められると、てこ部
材４８．４９は支持ピン５０゜５１を支点として回動さ
れ、その前端部４８ｄ。

４９ｄが互に内１１０（矢印り、、Ｌ２方向）に閉じ込
まれる。そして、前端部４８ｄ、４９ｄはそれぞれへラ
ドアーム４０．４１の後端部４０　ｂ　。

４１ｂを同じく内１１１１１（矢印”１　＋　Ｌ２方向
）に押し込む。これによシ、ヘッドアーム４０，４１７
ｄ支持ビン４２．４３を支点として回動され、加圧子４
４．４５を取付けた前端部が互に外側（矢印Ｎｌ　、Ｎ
２方向）に拡開され、これに伴って加圧子４４．４５が
ディスク１０の上下面から退行して離間される（アンロ
ードされる）。この状態において、加圧子４４．４５間
にディスク１０が挿入配置される。次に、上記の場合と
逆に、ピストンロッド５４ａが前方（矢印に方向）に押
し川されると、てこ部材４８．４９は支持ピン５０゜５
１を支点として回動され、その前端部４８ｄ。

４９ｄが互に外側（矢印Ｍ１　、Ｎ２方向）に拡開され
る。そして、前端部４８ｄ　、４９ｄは加圧ばね５７．
５８をそれぞれ外１１１！ｌ　（矢印Ｍｌ　、Ｍ２方向
駁調節ナツ）５５．５６に対して圧縮することになる。

この結果、これら加圧はね５７．５８のばね力によって
、ヘッドアーム４０．４１ｃＦＸ＆端部４０ｂ、４１ｂ
は調節ナツト５５．５６及びスタッドポル）４６．４７
を介して互に外側（矢印Ｍｌ　、Ｎ２方向）に拡Ｕ）１
される。これによシ、ヘッドアーム４０．４１は支持ピ
ン４２．４３を支点として回動さオし、加圧子４４．４
５を取伺けた前端部が互に内側（矢印Ｑｌ、Ｑ２方向）
に閉じ込まれ、これに伴って加圧子４４．４５がラッピ
ングテープ２１．２１’を介してディスク１０の上下面
上にそれぞれ加圧接触される（ロードされる）。

尚、この〃口圧力はｉ）・〕節ねじ５５．５６のねじ込
み程匿によってｄ４如できる。このようにしてラッピン
グテープ２１．２１’がディスク１ｏの上下両面上に加
圧接触状に配置され、前出の第１実施例の場合と同様に
してディスク１０の上下面上の微小突起１４（第５図参
照）が除去される。この第２実施例３０は、ディスク１
０の上下両面の微小突起１４を同時に除去でき、かつ加
圧子４４　、４５の当接面（下面）を全Ｗ１にわたって
均等に加圧できるという利点があるが、その他の作用、
効果は前出の第１実施例と同様である。

第１０図は第３実施例８０を概略的に示す斜視図である
。本実施例８０は、基本的には前出の第１実施例２０（
第４図）と同様に構成されたものであるが、加圧子８１
が円筒形に形成され、その外周部又は全体を弾性材料、
例えばゴム質材料で構成し、かつ支持部材２５に回動自
在に数句けられた点が前出の第１実施例と相違する点で
ある。

そして、微小突起１４（第５図）の除去処理操作は前出
の第１実施例と同様に行なわれる。本実施例８０は、こ
のように加圧子８１を形成することにより、ディスク１
０（第４図）の表面にラッピングテープ２１を好ましい
弾力性をもって圧着接触させることができ、またラッピ
ングテープ２１の繰シ田し及び巻取）操作を日南に行な
うことができるという利点があるが、その他の作用、効
果は前出の第１実施例と同様である。

尚、上配置各実施例は磁性膜が付着された磁気ディスク
に対する場合について述べたが、本発す」は、勿論・、
磁性膜が付着される前の磁気ディスク基板（非磁性基板
）に対しても適用す石ことが可能であシ、上記実施例の
場合と同様な作用、効果が得られる。また、本発明の主
旨を逸脱しない範囲において種々の変形例にも適用する
ことが可能である。

（ト）発明の効果 以上、詳細に説明したように、本発明に依る磁気ディス
クの製造装置は、磁気ディスク表面又は磁気ディスク基
板懺血上にラッピングテープを加圧子を介して圧シｈ接
触させて前記ディスク表面とラッピングテープとを相対
＃動させ、さらに前記ラッピングテープを加圧子に対し
て相対移動させるように構成することによυ、磁気ディ
スク表面又は磁気ディスク基板社面上の微小突起を、磁
気ディスクの磁性膜又は基板の表面を損傷することなく
　’ｑｌ＋−火かつ完全に、しかも短時間で除去するこ
とができるといった効果大なるものがあり、磁気ディス
クの裏造作菜性の向上２品質の向上、信頼性の向上等に
寄与するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の磁気ディスクの製造装置の概略的斜視図
、第２図は第１図の矢印Ｒ方向からみた部分１１１ｔ１
面図、第３図は第２図の微小突起除去工程修了後の磁気
ディスクの部分０１ｌ１面断面図、第４図は本発明の第
１実施例の基本構成を示す概略的斜視図、第５図は第４
図の朱印Ｓ方向からみた部分側面図、第６図は第５図の
微小突起除去工程修了後の磁気ディスクの部分側面断面
図、第７図は本発明の第２実施例の１４ｔ１面図、第８
図は第７図の矢印り方向からみたてこ部材（４８）の部
分平面図、第９図は第７図の加圧子（４４）の取付構造
（ジンバル構造、矢印Ｅ部分）の分解斜視図、泥１０図
は本発明の第３実施例の概略的斜視図である。 ２０．３０．８０・・・それぞれ本発明の第１．第２、
第３実施例、１０・・・磁気ディスク、１０ａ・・・磁
性Ｍ（記録媒体）、１０ｂ・・・平滑表面、１４・・・
微小突起、２１．２１’・・・ラッピングテープ、２２
゜２２′・・・ラッピングテープ繰出しリール、２３．
２３’・・・う１．ピンダテーデ躯ｌ１Ｖｔｌ１１−ル
、２ａ、４ａ−４５，８１・・・加圧子、２５・・・加
圧子支持部材、２６・・・移動台、２７．２８・・・モ
ータ、３１・・・移動基板、３２・・・移動基台、３３
・・・移動体（移動台）、３４・・・案内台、３５・・
・送シ用ナツト、３６・・・外ねじ付込シ軸、３９・・
・駆動モータ、４２　、４３　。 ５０．５１．５２・・・支持ピン、４６．４７・・・ス
タッドポル）、４．８．４９・・・Ｌ字状てこ部材、５
４・・・シリンダ、５５．５６・・・加圧力調節ナツト
、５７．５８・・・加圧はね、５９．６０・・・数個基
台、６１．６２・・・リング状板はね（ジンバルはね）
、６３．６４．６５．６６・・・スペーサ、６７．６８
・・・）＆＋Ｊねじ（センターピボットねじ）、６９゜
７０・・・ガイドローラ、７１・・・ジンバル構造。 第１図 １ｔＪ 第２図 第３゛Ｃン１ ０ 一ゝ−帆 第５１ｍ 第６０

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、磁気ディスク表面又は磁気ディスク基板表面上の微
   ノド突起を除去するための製造装置であって、磁気ディ
   スク表面上（接触配置されるラッピングテープと、該テ
   ープを磁気ディスク表面の一部に圧着接触させるだめの
   加圧子と、該加圧子を支持部材を介して支持しかつ前記
   ディスクの半径方向に往復移動せしめる移動台と、該移
   動台に配設され前記ラッピングテープを加圧子に対して
   相対移動せしめるテープ移動手段とを具備していること
   を特徴とする磁気ディスクの製造装置。 ２、前記加圧子がジンバル構造によって前記支持部材に
   取付けられた特許請求の範囲第１項に記載の磁気ディス
   クの製造装置・ ３、前記加圧子が弾性を有する円筒体でありかつ前記支
   持部材に回動自在に取付けられた特許請求の範囲第１項
   に記載の磁気ディスクの製造装置。 ４、前記加圧子が前記ラッピングテープと共に磁気ディ
   スクの表裏両表面に対向して配設された特許請求の範囲
   第１項から第３項のいずれかに記載の磁気ディスクの製
   造装置。