JP2000024901A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
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- JP2000024901A JP2000024901A JP19866198A JP19866198A JP2000024901A JP 2000024901 A JP2000024901 A JP 2000024901A JP 19866198 A JP19866198 A JP 19866198A JP 19866198 A JP19866198 A JP 19866198A JP 2000024901 A JP2000024901 A JP 2000024901A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フィルム研磨材を使用した研磨装置に於い
て、研磨時に研磨材と研磨面との間に相対的な他方向振
動を付与して研磨精度を高める際に被加工物に振動を付
与せずに実現する。 【解決手段】 研磨材裏面に配置する研磨ロール５１
に、研磨ロールが被加工物Ａの研磨面と平行な面で、且
つ軸方向を平行な状態に維持して小さな回転円運動を行
う振動機構部６を付設した。
て、研磨時に研磨材と研磨面との間に相対的な他方向振
動を付与して研磨精度を高める際に被加工物に振動を付
与せずに実現する。 【解決手段】 研磨材裏面に配置する研磨ロール５１
に、研磨ロールが被加工物Ａの研磨面と平行な面で、且
つ軸方向を平行な状態に維持して小さな回転円運動を行
う振動機構部６を付設した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シリコンウェハーの枠
体とする金属リング板や、プリント基板の平面仕上げ等
の高度な研磨面が要求されるために採用されているフィ
ルム研磨材を使用した研磨装置に関するものである。
体とする金属リング板や、プリント基板の平面仕上げ等
の高度な研磨面が要求されるために採用されているフィ
ルム研磨材を使用した研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】フィルム研磨材は、フィルム状基材の表
面に砥粒を設けたもので、研磨ロール面上を移動するフ
ィルム研磨材に、被加工物を当接することで研磨を行う
もので、研磨仕上げを良好にするために、更に研磨ロー
ルを軸方向に往復振動させている。
面に砥粒を設けたもので、研磨ロール面上を移動するフ
ィルム研磨材に、被加工物を当接することで研磨を行う
もので、研磨仕上げを良好にするために、更に研磨ロー
ルを軸方向に往復振動させている。
【０００３】しかし前記の研磨ロールの軸方向振動のみ
ではその仕上げ程度に限界があり、前記の研磨ロール軸
方向振動に、更に直交軸方向振動を加えることで仕上げ
精度を向上させることができる。そこで被加工物自体を
研磨ロールの軸方向（振動方）に対して直交する方向
（研磨面と平行面上）で移動させる手法が提案されてい
る（特開平６−１７０７１３号）。
ではその仕上げ程度に限界があり、前記の研磨ロール軸
方向振動に、更に直交軸方向振動を加えることで仕上げ
精度を向上させることができる。そこで被加工物自体を
研磨ロールの軸方向（振動方）に対して直交する方向
（研磨面と平行面上）で移動させる手法が提案されてい
る（特開平６−１７０７１３号）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記のフィルム研磨材
による研磨作業において、研磨ロールの研磨面に添って
の振動で研磨仕上げを向上させることができ、更にその
振動方向が一方向でなく多方向であれば尚更向上するも
のである。この他方向振動の確保として、従前では前記
したとおり、研磨ロールの一方向振動に加工物の振動を
加え、相対的に他方向振動を確保している。しかし被加
工物自体並びに被加工物の保持部分（被加工物と一緒に
振動動作する部分）は、当然相応の重量を有しているた
め、被加工物への振動付与は当然慣性モーメントを発生
させる。このため、慣性モーメントの影響を受けると、
被加工物の振動動作が理想的な振動運動とならず、逆に
研磨精度を低下させてしまう。従って被加工物への振動
付与は、前記慣性モーメントの発生に対する適宜な処
置、例えば被加工物の確りとした保持、並びに慣性モー
メントの影響を受けない強い振動エネルギーの付与とい
う過剰品質にならざるを得ない。
による研磨作業において、研磨ロールの研磨面に添って
の振動で研磨仕上げを向上させることができ、更にその
振動方向が一方向でなく多方向であれば尚更向上するも
のである。この他方向振動の確保として、従前では前記
したとおり、研磨ロールの一方向振動に加工物の振動を
加え、相対的に他方向振動を確保している。しかし被加
工物自体並びに被加工物の保持部分（被加工物と一緒に
振動動作する部分）は、当然相応の重量を有しているた
め、被加工物への振動付与は当然慣性モーメントを発生
させる。このため、慣性モーメントの影響を受けると、
被加工物の振動動作が理想的な振動運動とならず、逆に
研磨精度を低下させてしまう。従って被加工物への振動
付与は、前記慣性モーメントの発生に対する適宜な処
置、例えば被加工物の確りとした保持、並びに慣性モー
メントの影響を受けない強い振動エネルギーの付与とい
う過剰品質にならざるを得ない。
【０００５】そこで本発明は、被加工物の振動動作付与
を必要としない、新規な研磨装置を提案したものであ
る。
を必要としない、新規な研磨装置を提案したものであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係る研磨装置
は、ベルト状のフィルム研磨材の送り機構部と、前記研
磨材の移動途中における研磨材の裏面に配置して、研磨
材を被加工物に当接する研磨ローラを有する研磨機構部
と、被加工物を保持して研磨ローラと対面して、被加工
物の位置制御を行う被加工物保持機構部とを備え、前記
研磨機構部に、研磨ロールが、被加工物の研磨面と平行
な面で、且つ軸方向を平行な状態に維持して、小さな回
転円運動を行う振動機構を付設してなることを特徴とす
るものである。
は、ベルト状のフィルム研磨材の送り機構部と、前記研
磨材の移動途中における研磨材の裏面に配置して、研磨
材を被加工物に当接する研磨ローラを有する研磨機構部
と、被加工物を保持して研磨ローラと対面して、被加工
物の位置制御を行う被加工物保持機構部とを備え、前記
研磨機構部に、研磨ロールが、被加工物の研磨面と平行
な面で、且つ軸方向を平行な状態に維持して、小さな回
転円運動を行う振動機構を付設してなることを特徴とす
るものである。
【０００７】従ってフィルム研磨材の背面に配置した研
磨ロールで、研磨材を被加工物に押しつけることで、ベ
ルト走行する研磨材で被加工物の表面を研磨し、特に研
磨ロールの回転円運動によって、研磨材の研磨面が被加
工物に対して平面回転研磨が加味されることになり、よ
り以上の研磨精度を実現できる。
磨ロールで、研磨材を被加工物に押しつけることで、ベ
ルト走行する研磨材で被加工物の表面を研磨し、特に研
磨ロールの回転円運動によって、研磨材の研磨面が被加
工物に対して平面回転研磨が加味されることになり、よ
り以上の研磨精度を実現できる。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施形態について説
明する。実施形態に示した研磨装置は、金属リング板
（被加工物）の表面を研磨するもので、ベース台１上
に、本体部２と、被加工物Ａの保持機構部３とを装着
し、本体部２に、フィルム研磨材Ｂの送り機構部４と、
研磨機構部５と研磨振動機構部６とを設けたものであ
る。
明する。実施形態に示した研磨装置は、金属リング板
（被加工物）の表面を研磨するもので、ベース台１上
に、本体部２と、被加工物Ａの保持機構部３とを装着
し、本体部２に、フィルム研磨材Ｂの送り機構部４と、
研磨機構部５と研磨振動機構部６とを設けたものであ
る。
【０００９】本体部２は、ベース台１上に固定して各機
構部４，５，６の装着基体となるもので、送り機構部４
は、前記本体部２の側面横方向へ突出させた軸部に軸装
した複数の捲回ローラを備え、その内の一つを本体部２
の内部に収納した駆動モータと接続した駆動ローラ４１
とし、またフィルム研磨材Ｂの張りを確保するために付
勢支持腕４２に軸支した付勢ローラ４３とし、他はフィ
ルム研磨材Ｂの適切な捲回を確保する支持ローラ４４と
したものである。
構部４，５，６の装着基体となるもので、送り機構部４
は、前記本体部２の側面横方向へ突出させた軸部に軸装
した複数の捲回ローラを備え、その内の一つを本体部２
の内部に収納した駆動モータと接続した駆動ローラ４１
とし、またフィルム研磨材Ｂの張りを確保するために付
勢支持腕４２に軸支した付勢ローラ４３とし、他はフィ
ルム研磨材Ｂの適切な捲回を確保する支持ローラ４４と
したものである。
【００１０】研磨機構部５は、本体部２の前方に突出状
態で設けたもので、フィルム研磨材Ｂの捲回コースの先
端となる位置に設けた研磨ロール５１と、前記研磨ロー
ル５１を回転自在に支持するローラ支持体５２と、フィ
ルム研磨材Ｂの捲回を確保するために、支持体５２の上
下に突出させて軸支したのガイドローラ５３とを備えて
なり、振動機構部６を介して本体部１に装着するもので
ある。
態で設けたもので、フィルム研磨材Ｂの捲回コースの先
端となる位置に設けた研磨ロール５１と、前記研磨ロー
ル５１を回転自在に支持するローラ支持体５２と、フィ
ルム研磨材Ｂの捲回を確保するために、支持体５２の上
下に突出させて軸支したのガイドローラ５３とを備えて
なり、振動機構部６を介して本体部１に装着するもので
ある。
【００１１】振動機構部６は、研磨機構部５の支持体５
２の動作を制するガイド杆部と、振動回転部から構成さ
れるもので、ガイド杆部は、研磨ロール軸と平行な横ガ
イド杆６１と、横ガイド杆６１と直交する縦ガイド杆６
２を備え、両ガイド杆６１，６２間に連結体６３を介設
したものである。具体的には、本体部２の前面側に突設
した固定部（固定部材）６４間に横ガイド杆６１を上下
２段に架設し、上下の横ガイド杆６１に各々横スライド
自在に連結体６３を装着し、上下連結体６３間に縦ガイ
ド杆６２を架設し、縦ガイド杆６２に研磨機構部５の支
持体５２を縦スライド自在に装着するものである。
２の動作を制するガイド杆部と、振動回転部から構成さ
れるもので、ガイド杆部は、研磨ロール軸と平行な横ガ
イド杆６１と、横ガイド杆６１と直交する縦ガイド杆６
２を備え、両ガイド杆６１，６２間に連結体６３を介設
したものである。具体的には、本体部２の前面側に突設
した固定部（固定部材）６４間に横ガイド杆６１を上下
２段に架設し、上下の横ガイド杆６１に各々横スライド
自在に連結体６３を装着し、上下連結体６３間に縦ガイ
ド杆６２を架設し、縦ガイド杆６２に研磨機構部５の支
持体５２を縦スライド自在に装着するものである。
【００１２】更に振動回転部は、振動駆動源となるモー
タ６５と接続した回転軸６６を、支持体５２の背面方向
に突設し、前記回転軸６６の先端に中心軸線を少しずら
した（偏心距離をａとする）偏心軸６７を連設し、支持
体５２の背面に、前記偏心軸６６と対応すると共に偏心
軸６７の回転がスムーズになされるようにベアリング体
を周設した軸受部６８を設け、前記偏心軸６７を前記軸
受部６８に挿嵌してなる。即ち前記振動機構部６は、往
復スライダ偏心輪機構を組み合わせたものである。
タ６５と接続した回転軸６６を、支持体５２の背面方向
に突設し、前記回転軸６６の先端に中心軸線を少しずら
した（偏心距離をａとする）偏心軸６７を連設し、支持
体５２の背面に、前記偏心軸６６と対応すると共に偏心
軸６７の回転がスムーズになされるようにベアリング体
を周設した軸受部６８を設け、前記偏心軸６７を前記軸
受部６８に挿嵌してなる。即ち前記振動機構部６は、往
復スライダ偏心輪機構を組み合わせたものである。
【００１３】実施形態に示した保持機構部３は、被加工
物（金属リング板）Ａを磁気吸着で保持する取付部３１
を、研磨ロール５１に対面して設け、この取付部３１の
回転制御機構を内蔵した移動部３２を、ベース台１上
に、所望位置へ自動的若しくは手動での移動を可能に設
置してなる。
物（金属リング板）Ａを磁気吸着で保持する取付部３１
を、研磨ロール５１に対面して設け、この取付部３１の
回転制御機構を内蔵した移動部３２を、ベース台１上
に、所望位置へ自動的若しくは手動での移動を可能に設
置してなる。
【００１４】而してフィルム研磨材Ｂを、送り機構部４
４の各捲回ローラ４１，４３，４４と研磨機構部５の研
磨ロール５１と支持ローラ５３に捲回し、駆動ローラ４
１の回転駆動によってフィルム研磨材Ｂは捲回動作をな
す。更に振動機構部６の回転６５を回転させると、偏心
軸６７が回転軸６６の回転に伴って変距離ａを半径とす
る偏心回転運動を行い、軸受部６８内で回転すると同時
に偏心回転は、支持体５２を移動させる。そして支持体
５２は縦横ガイド杆で６１，６２でスライド移動可能で
あるが捩じれ方向の移動は阻止されているので、研磨機
構部５全体は、研磨ロール５１及びガイドロール５３
が、送り機構３の各捲回ローラ４１，４３，４４の軸方
向と平行な軸方向を維持した状態（研磨面上での運動）
で、回転振動を行うことになる。
４の各捲回ローラ４１，４３，４４と研磨機構部５の研
磨ロール５１と支持ローラ５３に捲回し、駆動ローラ４
１の回転駆動によってフィルム研磨材Ｂは捲回動作をな
す。更に振動機構部６の回転６５を回転させると、偏心
軸６７が回転軸６６の回転に伴って変距離ａを半径とす
る偏心回転運動を行い、軸受部６８内で回転すると同時
に偏心回転は、支持体５２を移動させる。そして支持体
５２は縦横ガイド杆で６１，６２でスライド移動可能で
あるが捩じれ方向の移動は阻止されているので、研磨機
構部５全体は、研磨ロール５１及びガイドロール５３
が、送り機構３の各捲回ローラ４１，４３，４４の軸方
向と平行な軸方向を維持した状態（研磨面上での運動）
で、回転振動を行うことになる。
【００１５】一方被加工物Ａは、取付部３１の所定位置
に保持され、移動部３２の移動操作で研磨面を研磨ロー
ル５１側に移動させ、研磨ロール５１の表面を通過する
フィルム研磨材Ｂに当接させて研磨を行う、取付部３１
を金属リング板Ａのリング位置に添ってゆっくりとした
回転させ、リング板Ａの全面を研磨するものである。特
に前記の研磨は、フィルム研磨材Ｂの捲回方向への走行
と同時に、研磨ロール５１による回転振動運動が加わっ
て実施されるもの、研磨精度を著しく向上させるもので
ある。
に保持され、移動部３２の移動操作で研磨面を研磨ロー
ル５１側に移動させ、研磨ロール５１の表面を通過する
フィルム研磨材Ｂに当接させて研磨を行う、取付部３１
を金属リング板Ａのリング位置に添ってゆっくりとした
回転させ、リング板Ａの全面を研磨するものである。特
に前記の研磨は、フィルム研磨材Ｂの捲回方向への走行
と同時に、研磨ロール５１による回転振動運動が加わっ
て実施されるもの、研磨精度を著しく向上させるもので
ある。
【００１６】また前記実施形態において、被加工物の保
持機構部３は、被加工物の形状によって取付部構造並び
にその動作制御が定められるものであり、また送り出し
機構部は、フィルム研磨材Ｂが無端ベルト状以外の繰り
出しタイプであれば、当該タイプに対応して構成すれば
良いものである。
持機構部３は、被加工物の形状によって取付部構造並び
にその動作制御が定められるものであり、また送り出し
機構部は、フィルム研磨材Ｂが無端ベルト状以外の繰り
出しタイプであれば、当該タイプに対応して構成すれば
良いものである。
【００１７】更に振動機構部６の具体的構造も、研磨ロ
ールの研磨面上の回転運動を付与する構造であれば良
く、また回転運動の偏心半径も０．５〜数ミリ程度で充
分であるが、フィルム研磨材の砥粒の精度、研磨仕上げ
の程度等を考慮して定められる。
ールの研磨面上の回転運動を付与する構造であれば良
く、また回転運動の偏心半径も０．５〜数ミリ程度で充
分であるが、フィルム研磨材の砥粒の精度、研磨仕上げ
の程度等を考慮して定められる。
【００１８】
【発明の効果】以上のように本発明は、フィルム研磨材
を使用した研磨装置において、研磨材裏面に配置する研
磨ロールに、研磨ロールが被加工物の研磨面と平行な面
で、且つ軸方向を平行な状態に維持して小さな回転円運
動を行う振動機構部を付設したもので、被加工物を振動
動作させることなく研磨材に他方向振動を与え、超仕上
げを可能としたものである。
を使用した研磨装置において、研磨材裏面に配置する研
磨ロールに、研磨ロールが被加工物の研磨面と平行な面
で、且つ軸方向を平行な状態に維持して小さな回転円運
動を行う振動機構部を付設したもので、被加工物を振動
動作させることなく研磨材に他方向振動を与え、超仕上
げを可能としたものである。
【図１】本発明の実施形態の全体斜視図。
【図２】同本体部の正面図。
【図３】同平面図。
【図４】同偏心運動の説明図で（イ）は正面図で、
（ロ）は端面図。
（ロ）は端面図。
【図５】同偏心運動の説明図（研磨ロールの斜視図）。
１ ベース台 ２ 本体部 ３ 保持機構部 ３１ 取付部 ３２ 移動部 ４ 送り機構部 ４１ 駆動ローラ ４２ 付勢支持腕 ４３ 付勢ローラ ４４ 支持ローラ ５ 研磨機構部 ５１ 研磨ロール ５２ ローラ支持体 ５３ ガイドローラ ６ 振動機構部 ６１ 横ガイド杆 ６２ 縦ガイド杆 ６３ 連結体 ６４ 固定部 ６５ モータ ６６ 回転軸 ６７ 偏心軸 ６８ 軸受部
Claims (3)
- 【請求項１】 ベルト状のフィルム研磨材の送り機構部
と、前記研磨材の移動途中における研磨材の裏面に配置
して、研磨材を被加工物に当接する研磨ローラを有する
研磨機構部と、被加工物を保持して研磨ローラと対面し
て、被加工物の位置制御を行う被加工物保持機構部とを
備えたフィルム研磨材使用の研磨装置に於いて、研磨機
構部に、研磨ロールが、被加工物の研磨面と平行な面
で、且つ軸方向を平行な状態に維持して小さな回転円運
動を行う振動機構部を付設してなることを特徴とする研
磨装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の研磨装置に於いて、研磨
ロール軸と平行に配置した横ガイド杆又は直交して配置
した縦ガイド杆の何れか一方に、研磨機構部をスライド
移動可能に装着し、前記横ガイド杆又は縦ガイド杆の両
端に設けた連結体を、固定部材に架設した他方ガイド杆
にスライド移動可能に装着し、研磨機構部の背後に、前
記縦横両ガイド杆と直交する軸方向で回転する振動回転
部を配置し、前記振動回転部に回転中心軸から偏心して
設けた偏心体を、研磨機構部に連結してなることを特徴
とする研磨装置。 - 【請求項３】 請求項２記載の研磨装置に於いて、振動
回転部を回転軸とし回転軸先端に軸線が少し平行にずれ
た偏心軸（偏心体）を連設し、研磨機構部に、ベアリン
グを装備した前記偏芯軸の軸受部を設け、偏芯軸を前記
軸受部に回転自在に挿嵌してなることを特徴とする研磨
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19866198A JP2000024901A (ja) | 1998-07-14 | 1998-07-14 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19866198A JP2000024901A (ja) | 1998-07-14 | 1998-07-14 | 研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000024901A true JP2000024901A (ja) | 2000-01-25 |
Family
ID=16394951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19866198A Pending JP2000024901A (ja) | 1998-07-14 | 1998-07-14 | 研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000024901A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100862907B1 (ko) * | 2008-05-13 | 2008-10-14 | 주식회사 솔로몬메카닉스 | 요동수단 및 이를 구비한 연마장치 |
| CN100431791C (zh) * | 2006-07-05 | 2008-11-12 | 龙岩市山力工程液压有限公司 | 研磨抛光机 |
| KR200448836Y1 (ko) | 2009-09-29 | 2010-05-26 | 주식회사 솔로몬메카닉스 | 요동수단을 구비한 연마장치 |
| KR20170054288A (ko) * | 2015-11-09 | 2017-05-17 | 숩피나 그리에샤버 게엠베하 & 씨오. 케이쥐 | 피니싱 벨트 장치 및 공작물 피니싱 방법 |
| JP2017121689A (ja) * | 2016-01-08 | 2017-07-13 | 株式会社サンシン | ボールねじ研磨方法及びその装置 |
| JP2019042835A (ja) * | 2017-08-31 | 2019-03-22 | 株式会社荏原製作所 | 基板を研磨する方法および装置 |
| CN111843755A (zh) * | 2020-07-21 | 2020-10-30 | 扬州久耐建材有限公司 | 一种建筑板材打磨装置 |
-
1998
- 1998-07-14 JP JP19866198A patent/JP2000024901A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100431791C (zh) * | 2006-07-05 | 2008-11-12 | 龙岩市山力工程液压有限公司 | 研磨抛光机 |
| KR100862907B1 (ko) * | 2008-05-13 | 2008-10-14 | 주식회사 솔로몬메카닉스 | 요동수단 및 이를 구비한 연마장치 |
| KR200448836Y1 (ko) | 2009-09-29 | 2010-05-26 | 주식회사 솔로몬메카닉스 | 요동수단을 구비한 연마장치 |
| KR20170054288A (ko) * | 2015-11-09 | 2017-05-17 | 숩피나 그리에샤버 게엠베하 & 씨오. 케이쥐 | 피니싱 벨트 장치 및 공작물 피니싱 방법 |
| KR102419324B1 (ko) | 2015-11-09 | 2022-07-12 | 숩피나 그리에샤버 게엠베하 & 씨오. 케이쥐 | 피니싱 벨트 장치 및 공작물 피니싱 방법 |
| JP2017121689A (ja) * | 2016-01-08 | 2017-07-13 | 株式会社サンシン | ボールねじ研磨方法及びその装置 |
| JP2019042835A (ja) * | 2017-08-31 | 2019-03-22 | 株式会社荏原製作所 | 基板を研磨する方法および装置 |
| CN111843755A (zh) * | 2020-07-21 | 2020-10-30 | 扬州久耐建材有限公司 | 一种建筑板材打磨装置 |
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