JPH074750B2 - フイルム研磨材を用いた平面研磨装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、液晶用ガラスやプリ
ント基板等の平面仕上げ、または面粗度を高度に効率的
に仕上げるための、フイルム研磨材を用いた平面研磨装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶用ガラスやプリント基板等は、その
面の平面度が高いことや面のクリーンなことが要求され
る。又、その仕上げ面粗さについても要求が厳しくなっ
てきている。そのため、これらの製造工程において平面
研磨をおこなっていたが、この用途に対しては、従来、
平面ブラシや弾性砥石等の研磨材を用いるもの、あるい
はフイルム研磨材を用いた平面研磨装置等がある。

【０００３】フイルム研磨材を用いる平面研磨装置の研
磨原理は、フイルム研磨材を裏面より研磨ロールにより
被研磨物に押し当て、この研磨ロールにロール軸方向の
振動を与えながらフイルム研磨材を順次送り、加工面の
超仕上げを行なうというものであった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、超仕上げ研
磨は研磨面上で砥粒をクロスハッチ状に研磨運動させる
ことで最も効率的な研磨が可能となる。従って、フイル
ム研磨材を用いる平面の超仕上げ研磨において最も適切
で効果的な研磨を行なうには、研磨フイルムの研磨ロー
ルに軸方向振動を与えると共に、この振動方向に直交す
る揺動振動を加工物に加え、これらの振動を適切に組み
合わせる必要がある。

【０００５】しかし、加工物へ振動を与えることは、加
工物取付台の質量が重いため、その振動衝撃が強くな
り、研磨の精度に悪影響を及ぼしてしまう。そのため、
通常は加工物を研磨ロールの振動方向に直交して送り移
動させるのみの効率の低い方式を取らざるをえなかっ
た。

【０００６】又、加工物を振動させようとする場合、加
工物取付台の振動スライドは送り台スライドとは別々に
設けられる。しかし、送りスライド上に振動スライドを
設けることはベース部よりの高さが高くつき振動の慣性
モーメントが大きくなる。更に、それぞれのスライドの
もつ摺動隙間のがたつきも振動の影響を大きくするた
め、スライドの振動対策が求められることになる。

【０００７】そこで、本願発明は、液晶用ガラス板、プ
リント基板の高能率な平滑加工法、または面の不純物除
去加工法において、弾性に富み、安定した加工能力と加
工精度を得るために、研磨フイルムを用いてそれに完全
なクロスハッチ状の超仕上げ振動を付加することのでき
る平面研磨装置を提供しようとするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、この発明は、フイルム研磨材を用いた平面研磨に
おいて、加工物にフイルムの揺動振動に直交する揺動振
動を与えて超仕上げを行なうために、同一案内スライド
上に同一重量の二つの加工物取付台を設けて一本のクラ
ンク軸で相対方向に揺動させ、振動衝撃を相殺して超仕
上げに対する揺動振動の影響を少なくし、加工物の超仕
上げに効率的な往復運動を行なわせる構造を持った平面
研磨装置である。

【０００９】液晶用ガラス板やまたプリント基板等は、
その厚さ、幅、長さにおいて企画寸法のものが多く、二
つの加工物取付台にそれぞれ同一規格の加工物（特に厚
さ）を積載し加工することが多く、一つの研磨ヘッドに
対し二つの加工物取付台は有効である。又、同一規格の
ものであれば、二つの加工物間の重量バランスを考慮す
る必要はない。

【００１０】又、加工物取付台往復振動の振動を案内す
るスライドと、ベース部に設けられ加工物に加工長さを
与える加工物送り台の案内スライドとを共通のものと
し、ベース部、即ち固定部よりの振動のモーメントアー
ムを短くし、また、通常二重に重なるスライドを一段と
して、スライド隙間によるがたつきの振動への悪影響を
少なくする構造とした。

【００１１】尚、この発明の平面研磨装置の片方の加工
物取付台のみを使用する場合や、両加工物に重量差があ
る場合には、永久磁石を加工物取付台端面部に取り付
け、加工品の重量差の振動の動的バランスを調整するウ
エイトを着脱し、バランスのとれた振動を行なわせる動
的バランス調整機構を採用することもできる。

【００１２】

【作用】加工物取付台に対して垂直に取り付けられたフ
イルム研磨装置は、研磨ロールに研磨フイルム供給リー
ルから研磨フイルムを供給し、研磨ずみ研磨フイルムは
その収納リールに巻き取られる。研磨ロールはその軸方
向に研磨のための揺動振動が与えられ、また、研磨フイ
ルムは研磨に適切なスピードで送られる。

【００１３】研磨ロールの揺動振動方向と直角で水平方
向に設置されたスライドに、加工物取付台は二個対称形
に取り付けられ、送り台上に取り付けられた振動原動装
置のクランク軸と個々に連接捍でつながれている。尚、
送り台は加工物取付台と同一のスライド上に揺動振動を
行なう加工物取付台とは別個独立に取り付けられてい
る。

【００１４】今、加工物取付台に加工物を取り付け、フ
イルム研磨装置の研磨ロールにその軸方向の研磨揺動振
動を与えると同時に、送り台上の振動原動装置よりクラ
ンク軸連接捍を通じて研磨揺動振動を与え、フイルム研
磨装置の研磨ロールを加工物の研磨面に接触させると、
加工物には、フイルム研磨装置の研磨ロールの揺動振動
とそれに直交する加工物取付台の揺動振動が加えられ、
それぞれの振動速度を調整して合成することで、求める
超仕上げの研磨面クロスハッチ状研磨が行なわれる。

【００１５】更に、送り台を送り移動することによっ
て、連接捍とクランク軸で送り台と連結されている加工
物取付台は、送り台の振動原動装置より揺動振動を与え
られると共に、送り台の送り移動に従って送られ、被研
磨面の超仕上げ加工を加工物長手方向にわたって効率的
に行なうことが可能となる。

【００１６】

【実施例】以下、この発明の平面研磨装置の実施例を添
付の図１乃至図４に基づいて説明する。

【００１７】図１は本発明の正面図である。フイルム研
磨装置１は本体ベース３２上の垂直に設けられたコラム
３３に上下スライド３４で取り付けられている。フイル
ム研磨材２はフイルム収納リール２６に収納され、その
一端はガイドロール２７、研磨ロール３、ガイドロール
２８、フイルム送りロール２９を経てフイルム巻き取り
リール３０に巻かれる。

【００１８】今、フイルム送りロール２９でフイルム研
磨材２を定められた送り速度で巻き取り送りを行なう
と、フイルム研磨材２はフイルム収納リール２６より研
磨ロール３の研磨面に送られ、研磨後のフイルム研磨材
２はフイルム送りロール２９で巻き取り送りをされフイ
ルム巻き取りリール３０に巻き取り収容される。又、研
磨ロール３はその軸方向に揺動振動装置３１によって定
められた振動数（ 500〜750 c.p.m.）の揺動振動を行な
い、フイルム研磨材２を研磨ロール３の軸方向に研磨砥
粒を振動で走らせ研磨を行なう。

【００１９】又、ベース３２には直線スライド４が水平
に設けられ、その上を送り台５及び加工物取付台６と７
がそれぞれの直動ベアリングによって個々に独立して直
動するようになっている。送り台５には振動モータ８と
クランク軸９とその軸受けが固定され、クランク軸９は
連接捍１０と１１により加工物取付台６と７にそれぞれ
連結され、振動モータ８が回転すると加工物取付台６及
び７は直線スライド４上で水平方向のそれぞれ反対方向
の揺動振動（ 500〜750 c.p.m.）を行なう。

【００２０】送り台５には、雌ネジが設けらて雄ネジ１
９と噛み合わせられており、雄ネジ１９はベース３２に
取り付けられた送りモータ１８に連結され、送り台５は
直線スライド４上を左右のいずれかの方向に送られる。
加工物取付台６及び７に取り付けられた加工物に対し、
フイルム研磨装置１の研磨ロール３を加工物加工面に上
下スライド３４で接触させ、研磨ロール３にその軸方向
往復振動を与え、同時に加工物取付台６及び７を往復振
動させ、送りモータ１８で雄ネジ１９により送り台５を
加工物取付台全長に送ることによって、加工物取付台上
の加工物は超仕上げ研磨される。

【００２１】図２は加工物送り装置の加工物取付台付近
の詳細を示す一部切欠平面図、図３はその中央横断面
図、図４はそのＡ−Ａ線断面図である。まず、図２に示
すように、加工物取付台６はベースに取り付けられた直
線ガイド４の上に一対づつの直動ベアリング１２，１２
と１３，１３で摺動可能に取り付けられている。又、加
工物取付台７も同様に一対づつの直動ベアリング１４，
１４と１５，１５で摺動可能に取り付けられている。更
に、送り台５は、加工物取付台６及び７とは別個独立し
て、直線ガイド４上に一対づつの直動ベアリング１６，
１６及び１７，１７で送り移動ができるように取り付け
られている。

【００２２】図２及び図３に示すように、加工物取付台
６及び７は、それぞれ受け台２０又は２１から連接捍１
０又は１１を通じて送り台５に軸受けで支えられたクラ
ンク軸９に連結されている。更に図４でも明らかなよう
に、送り台５は、それに取り付けられた雌ネジ２２で雄
ネジ１９と噛み合わせられており、送りモータ１８によ
る雄ネジ１９の回転で直線ガイド４上を送り移動できる
ようにしてある。

【００２３】尚、加工物取付台６及び７のそれぞれの端
面には、永久磁石２４及び２５が取り付けられ、バラン
サーを吸着することで加工物重量差による二つの加工物
取付台間の動的バランスの調整を行なうことができるよ
うにしてある。

【００２４】振動クランク軸９が、送り台５に取り付け
られた振動モータ８とカップリング２３で回転を与えら
れると、連接捍１０及び１１を介して加工物取付台６及
び７はそれぞれ相対する方向の往復振動を行なう。更に
送り台５が送りモータ１８の回転により送り移動を行な
えば、連接軸１０と１１及びクランク軸９で送り台５と
つながっている加工物取付台６及び７は同じ等距離を送
り移動し、送り移動の間、研磨のための揺動振動を行な
う。この揺動振動の方向は研磨ロール３の軸方向の揺動
振動の方向とは直交している。従って、両者の振動数を
制御すると共に送り速度を制御して、加工物取付台６及
び７上に取り付けられた加工物全長に対し、クロスハッ
チの超仕上げを均一に行なうことができる。

【００２５】

【発明の効果】以上のように、この発明の平面研磨装置
によると、フイルム研磨材への揺動振動と、加工物への
研磨材の揺動振動に直交する揺動振動を与えることがで
き、かつ、加工物の揺動振動による超仕上げに対する悪
影響を除くことができるので、フイルム研磨材と加工物
の間で超仕上げに最も適切で効果的なクロスハッチ状の
超仕上げを、高精度、高能率で安定して行なうことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のフイルム研磨材を用いた平面研磨装
置の正面図である。

【図２】この発明の加工物送り装置の一部切欠平面図で
ある。

【図３】この発明の加工物送り装置の中央横断面図であ
る。

【図４】この発明の加工物送り装置の図３Ａ−Ａ線の断
面図である。

【符号の説明】

１ 研磨装置 ２ 研磨フイルム ３ 研磨ロール ４ スライド ５ 送り台 ６，７ 加工物取付台 ８ 振動モータ ９ クランク軸 １０，１１ 連接捍 １２，１３，１４，１５，１６，１７ 直動ベアリング ２４，２５ 永久磁石

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フイルム研磨材送り機構及びフイルム研
   磨材振動部を有する研磨装置と、加工物送り装置を備え
   た平面研磨装置において、二つの加工物取付台を水平方
   向に伸びるスライド上に移動自在に取り付け、加工物取
   付台振動装置によりこの二つの加工物取付台に同時に相
   反する方向でかつ研磨装置のフイルム研磨材の振動方向
   と直角方向の往復振動を与えることにより、加工物取付
   台の振動衝撃を緩和しながら平面超仕上げを行なうこと
   を特徴とするフイルム研磨材を用いた平面研磨装置。
2. 【請求項２】 加工物送り装置において、加工物取付台
   を振動させる振動原動部を送り台に固定し、送り台が設
   けられたスライドと同一のスライド上に送り台と連動し
   ない直動ベアリングで加工物取付台を取り付け、送り台
   と加工物取付台との間を振動原動部からの振動を伝える
   連接捍でつないで、送り台より加工物取付台へ往復振動
   を与えると共に、送り台の送り移動に従い加工物取付台
   の送り移動も行なわせることのできる加工物取付台送り
   装置を有する請求項１記載のフイルム研磨材を用いた平
   面研磨装置。
3. 【請求項３】 加工物取付台に永久磁石を取り付け、二
   つの加工物取付台に加工物を載置したときに重量バラン
   スの相違で動的バランスが破れぬように調整する調整バ
   ランサーを吸着できるようにした請求項１又は請求項２
   記載のフイルム研磨材を用いた平面研磨装置。