JP5360726B2 - 板状部材研磨装置 - Google Patents
板状部材研磨装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5360726B2 JP5360726B2 JP2010264351A JP2010264351A JP5360726B2 JP 5360726 B2 JP5360726 B2 JP 5360726B2 JP 2010264351 A JP2010264351 A JP 2010264351A JP 2010264351 A JP2010264351 A JP 2010264351A JP 5360726 B2 JP5360726 B2 JP 5360726B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tape
- polishing
- orthogonal
- plate
- transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
W 板状部材
T 研磨テープ
B テープ移送機構
C テープ案内機構
D テープ圧接機構
E 送り機構
G 移送機構
H 同方向
K 直交方向
R 円軌跡平面運動
F 平面研磨運動機構
M 反対方向
N 反対方向
1 保持台
2 テープリール
5 固定機体
6 移送方向移動台
7 直交方向移動台
8 偏心機構
8a 往復動用モータ
9 カウンターウエイト機構
10 カウンターウエイト部材
11 移送方向補助台
12 直交方向補助台
13 補助偏心機構
Claims (2)
- 装置機体と、板状部材を保持可能な保持台と、該板状部材の表面を研磨可能な研磨テープを一対のテープリール間に連続的又は間欠的に移送させるテープ移送機構と、該テープリール間を移送する研磨テープを板状部材の表面に対向案内するテープ案内機構と、該テープ案内機構により案内されている研磨テープを板状部材の表面に圧接するテープ圧接機構と、該保持台を送り運動させる送り機構とを設けてなり、上記装置機体に固定機体を配設し、該固定機体に上記テープ移送機構、テープ案内機構及びテープ圧接機構を設け、上記保持台を上記研磨テープの移送方向と同方向及び研磨テープの移送方向と直交する直交方向にそれぞれ同時に往復移動させて円軌跡平面運動させる平面研磨運動機構を設け、上記平面研磨運動機構として、上記研磨テープの移送方向と同方向に往復移動自在な移送方向移動台と、該研磨テープの移送方向と直交する直交方向に往復移動自在な直交方向移動台と、該移送方向移動台及び該直交方向移動台をそれぞれ同時に往復移動させる偏心機構を設け、上記移送方向移動台及び上記直交方向移動台の各往復移動方向に対して反対方向に往復移動するカウンターウエイト部材をもつカウンターウエイト機構を配設し、上記カウンターウエイト機構は、上記移送方向移動台と反対方向に往復移動する移送方向補助台と、上記直交方向移動台と反対方向に往復移動する直交方向補助台と、該移送方向補助台及び該直交方向補助台をそれぞれ同時に往復移動させる補助偏心機構からなることを特徴とする板状部材研磨装置。
- 上記偏心機構及び上記補助偏心機構は同一の往復動用モータにより駆動される構造となっていることを特徴とする請求項1記載の板状部材研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010264351A JP5360726B2 (ja) | 2010-11-26 | 2010-11-26 | 板状部材研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010264351A JP5360726B2 (ja) | 2010-11-26 | 2010-11-26 | 板状部材研磨装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012111023A JP2012111023A (ja) | 2012-06-14 |
JP5360726B2 true JP5360726B2 (ja) | 2013-12-04 |
Family
ID=46495786
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010264351A Active JP5360726B2 (ja) | 2010-11-26 | 2010-11-26 | 板状部材研磨装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5360726B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH074750B2 (ja) * | 1992-12-03 | 1995-01-25 | 株式会社松田精機 | フイルム研磨材を用いた平面研磨装置 |
JP2002066895A (ja) * | 2000-08-28 | 2002-03-05 | Canare Electric Co Ltd | 研磨機 |
JP2006326754A (ja) * | 2005-05-26 | 2006-12-07 | Tokki Corp | ポリシング装置 |
JP5025422B2 (ja) * | 2007-10-30 | 2012-09-12 | 川崎重工業株式会社 | 高圧水噴射洗浄装置 |
-
2010
- 2010-11-26 JP JP2010264351A patent/JP5360726B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012111023A (ja) | 2012-06-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7976361B2 (en) | Polishing apparatus and polishing method | |
US8393935B2 (en) | Polishing apparatus | |
US20150056893A1 (en) | Method for polishing ball screw and ball screw polishing apparatus | |
JP5678382B2 (ja) | テープ研磨装置 | |
JP6316854B2 (ja) | ボールねじ研磨方法及びその装置 | |
TW496811B (en) | Polishing apparatus and method with a refreshing polishing belt and loadable housing | |
JP7466029B2 (ja) | 板状部材研磨方法及びその装置 | |
JP2012040643A (ja) | 基板研磨方法及びその装置 | |
JP7284852B2 (ja) | 研磨ユニット | |
JPH081494A (ja) | ウエハー材縁端部研磨装置 | |
JP5066011B2 (ja) | 研磨装置 | |
JP5360726B2 (ja) | 板状部材研磨装置 | |
JP5379607B2 (ja) | 研磨方法及びその装置 | |
JP3997480B2 (ja) | 板状部材研磨方法及びその装置 | |
JP5364683B2 (ja) | 帯板材研磨装置 | |
JP3404579B2 (ja) | 両端軸状部研磨装置 | |
JP2005066783A (ja) | 板状部材研磨方法及びその装置 | |
JP3966030B2 (ja) | 板状部材研磨装置 | |
JP2000024901A (ja) | 研磨装置 | |
JP6673965B2 (ja) | 板状部材研磨装置 | |
JP6044905B2 (ja) | ボールねじ研磨方法及びその装置 | |
JP7066805B1 (ja) | 研磨ユニット | |
WO2009011408A1 (ja) | 研磨装置 | |
JP2008254109A (ja) | 研磨装置及び研磨方法 | |
JP2002346901A (ja) | 板状部材研磨装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130521 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130523 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130717 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130806 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130826 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5360726 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |