JP6316854B2 - ボールねじ研磨方法及びその装置 - Google Patents

Description

本発明はボールねじのねじ軸のボール溝を研磨テープで研磨する際に用いられるボールねじ研磨方法及びその装置に関するものである。

従来、この種のボールねじ研磨装置として、ボールねじのねじ軸を回転自在に保持する保持機構と、ねじ軸を該軸線を中心として回転させる回転機構と、研磨テープを連続的又は間欠的に移送させるテープ移送機構と、研磨テープを圧接ロールの外周面により折返移送案内して研磨テープを該圧接ロールの外周面で該ねじ軸のボール溝に圧接させるテープ圧接機構と、圧接ロールの回転軸線をボール溝のリード角に対応して傾斜配置させる傾斜機構と、圧接ロールを回転軸線方向に直線揺振動作させる直線揺振機構と、研磨テープを該ねじ軸の軸線方向に移動させるテープ移動機構と、ねじ軸の回転速度と研磨テープの移動速度とをボール溝のリードに対応して同期させる速度同期手段とを備えてなる構造のものが知られている。

しかして、ボールねじのねじ軸を保持機構により回転自在に保持し、ねじ軸を回転機構により軸線を中心として回転させ、研磨テープをテープ移送機構により連続的又は間欠的に移送し、研磨テープをテープ圧接機構により圧接ロールの外周面により折返移送案内して研磨テープを圧接ロールの外周面でねじ軸のボール溝に圧接し、圧接ロールの回転軸線は傾斜機構によりボール溝のリード角に対応して傾斜配置され、直線揺振機構により圧接ロールを回転軸線方向に直線揺振動作させ、テープ移動機構により研磨テープをねじ軸の軸線方向に移動させ、速度同期手段によりねじ軸の回転速度と研磨テープの移動速度とをボール溝のリードに対応して同期させ、ねじ軸の回転と、研磨テープの上記移送及び上記直線揺振動作と、ねじ軸の回転速度に同期した研磨テープの移動との複合動作によりボール溝を研磨テープで研磨することになる。

特開２０１５−６１７３４

しかしながらこの従来構造の場合、ボールねじのねじ軸のボール溝はボールが転走する溝であるにもかかわらず、必ずしも、良好な表面あらさを得ることができないことがあるという不都合を有している。

本発明はこのような不都合を解決することを目的とするもので、本発明のうち、請求項１記載の方法の発明は、ボールねじのねじ軸のボール溝を研磨テープで研磨するに際し、上記ねじ軸を回転自在に保持して該軸線を中心として回転させ、上記研磨テープを連続的又は間欠的に移送させ、該研磨テープを圧接ロールの外周面により折返移送案内して該研磨テープを該圧接ロールの外周面で該ねじ軸のボール溝に圧接させ、該圧接ロールの回転軸線は該ボール溝のリード角に対応して傾斜配置され、該圧接ロールを該回転軸線方向に直線揺振動作させ、かつ、該圧接ロールを該回転軸線方向と直交して該ボール溝の両内側面に向かう半径方向に直線揺振動作させ、該研磨テープを該ねじ軸の軸線方向に移動させ、該ねじ軸の回転速度と該研磨テープの移動速度とを該ボール溝のリードに対応して同期させ、該ねじ軸の回転と、該研磨テープの上記移送及び上記回転軸線方向並びに半径方向の二方向の直線揺振動作と、該ねじ軸の回転速度に同期した研磨テープの移動との複合動作により該ボール溝を該研磨テープで研磨することを特徴とするボールねじ研磨方法にある。

又、請求項２記載の装置の発明は、ボールねじのねじ軸を回転自在に保持する保持機構と、該ねじ軸を該軸線を中心として回転させる回転機構と、研磨テープを連続的又は間欠的に移送させるテープ移送機構と、該研磨テープを圧接ロールの外周面により折返移送案内して該研磨テープを該圧接ロールの外周面で該ねじ軸のボール溝に圧接させるテープ圧接機構と、該圧接ロールの回転軸線を該ボール溝のリード角に対応して傾斜配置させる傾斜機構と、該圧接ロールを該回転軸線方向に直線揺振動作させる縦揺振機構と、該研磨テープを該ねじ軸の軸線方向に移動させるテープ移動機構と、該ねじ軸の回転速度と該研磨テープの移動速度とを該ボール溝のリードに対応して同期させる速度同期手段とからなり、上記圧接ロールを該回転軸線と直交して上記ボール溝の両内側面に向かう半径方向に直線揺振動作させる横揺振機構を設けてなることを特徴とするボールねじ研磨装置にある。

又、請求項３記載の装置の発明は、上記縦揺振機構として、上記圧接ロールを該回転軸線方向に直線揺振動作させる縦偏心機構からなることを特徴とするものであり、又、請求項４記載の装置の発明は、上記横揺振機構として、上記圧接ロールを該回転軸線方向と直交して上記ボール溝の両内側面に向かう半径方向に直線揺振動作させる横偏心機構からなることを特徴とするものである。

又、請求項５記載の装置の発明は、上記速度同期手段として、上記ねじ軸を回転させる回転用制御モータ、上記研磨テープを移動させる移動用制御モータ、及び該回転用制御モータの回転速度と該移動用制御モータの回転速度とを同期制御する同期制御部からなることを特徴とするものである。

本発明は上述の如く、請求項１及び２記載の発明にあっては、ボールねじのねじ軸を保持機構により回転自在に保持し、ねじ軸を回転機構により軸線を中心として回転させ、研磨テープをテープ移送機構により連続的又は間欠的に移送させ、研磨テープをテープ圧接機構により圧接ロールの外周面により折返移送案内して研磨テープを圧接ロールの外周面でねじ軸のボール溝に圧接させ、圧接ロールの回転軸線は傾斜機構によりボール溝のリード角に対応して傾斜配置され、縦揺振機構により圧接ロールを回転軸線方向に直線揺振動作させ、かつ、横揺振機構により圧接ロールを回転軸線方向と直交して上記ボール溝の両内側面に向かう半径方向に直線揺振動作させ、テープ移動機構により研磨テープをねじ軸の軸線方向に移動させ、速度同期手段によりねじ軸の回転速度と研磨テープの移動速度とをボール溝のリードに対応して同期させ、ねじ軸の回転と、研磨テープの上記移送及び上記回転軸線方向と半径方向の二方向の直線揺振動作と、ねじ軸の回転速度に同期した研磨テープの移動との複合動作によりボール溝を研磨テープで研磨することができ、ねじ軸の回転速度に同期した研磨テープの移動により研磨テープはボール溝のリードに合致して移動してテープ圧接機構により研磨テープはボール溝に確実に圧接され、研磨テープの連続的又は間欠的な移送及び回転軸線方向と半径方向の二方向の直線揺振動作により研磨テープでボール溝を確実に研磨することができ、研磨精度を向上することができ、ボール溝の表面あらさを向上することができ、ボール溝の研磨作業性を向上することができる。

又、請求項３記載の発明にあっては、上記縦揺振機構として、上記圧接ロールを回転軸線方向に直線揺振動作させる縦偏心機構からなるので、構造を簡素化することができ、又、請求項４記載の発明にあっては、上記横揺振機構として、上記圧接ロールを回転軸線方向と直交して上記ボール溝の両内側面に向かう半径方向に直線揺振動作させる横偏心機構からなるので、構造を簡素化することができる。

又、請求項５記載の発明にあっては、上記速度同期手段として、上記ねじ軸を回転させる回転用制御モータ、上記研磨テープを移動させる移動用制御モータ、及び回転用制御モータの回転速度と移動用制御モータの回転速度とを同期制御する同期制御部からなるので、ねじ軸の回転速度と研磨テープの移動速度とをボール溝のリードに対応して同期させることができ、研磨テープをボール溝のリードに合致して確実に接触移動させることができ、構造を簡素化することができると共に研磨精度を向上することができる。

本発明の実施の形態例の全体平面図である。 本発明の実施の形態例の正断面図である。 本発明の実施の形態例の全体側断面図である。 本発明の実施の形態例の部分拡大側断面図である。 本発明の実施の形態例の部分拡大平断面図である。 本発明の実施の形態例の部分拡大側断面図である。 本発明の実施の形態例の部分拡大側断面図である。 本発明の実施の形態例の部分拡大正断面図である。 本発明の実施の形態例の部分拡大正断面図である。 本発明の実施の形態例の作動状態の正断面図である。 本発明の実施の形態例の説明部分側断面図である。 本発明の実施の形態例の説明部分正面図である。 本発明の実施の形態例の説明部分平断面図である。

図１乃至図１３は本発明の実施の形態例であって、この場合、大別して、図１、図２、図３、図４、図５、図１０の如く、ボールねじのねじ軸Ｗを回転自在に保持する保持機構１と、ねじ軸Ｗを軸線Ｗ_１を中心として回転させる回転機構２と、研磨テープＴを連続的又は間欠的に移送Ｔ_１させるテープ移送機構３と、研磨テープＴを圧接ロールＲの外周面により折返移送案内して研磨テープＴを圧接ロールＲの外周面でねじ軸Ｗのボール溝Ｂに圧接させるテープ圧接機構４と、圧接ロールＲの回転軸線Ｒ_１をボール溝Ｂのリード角θに対応して傾斜配置させる傾斜機構５と、圧接ロールＲをその回転軸線Ｒ_１方向に直線揺振動作Ｙさせる縦揺振機構６と、圧接ロールＲを回転軸線Ｒ_１と直交して上記ボール溝Ｂの両内側面Ｂ_１・Ｂ_１に向かう半径方向に直線揺振動作Ｘさせる横揺振機構７と、研磨テープＴをねじ軸Ｗの軸線Ｗ_１方向に移動させるテープ移動機構８と、ねじ軸Ｗの回転速度Ｑと研磨テープＴの移動速度Ｆとをボール溝ＢのリードＬ（ねじ軸Ｗが一回転したときに、ナットが軸方向に進む距離。）に対応して同期させる速度同期手段９とから構成されている。

この場合、上記保持機構１及び上記回転機構２にあっては、図１の如く、機体１ａに保持台１ｂを立設し、保持台１ｂにボールねじのねじ軸Ｗの一方端部を着脱保持可能なチャック１ｃを配設すると共にねじ軸Ｗの他方端部を回転保持可能な芯押し台１ｄを配設し、チャック１ｃを回転用制御モータ２ａにより回転させてねじ軸Ｗを回転させるように構成している。

この場合、上記テープ移送機構３にあっては、図１、図２、図３、図４、図５の如く、取付基台３ａ上に未使用の研磨テープＴを巻回した満巻リール３ｃ及び空リール３ｄを回転自在に配設し、満巻リール３ｃから解いた研磨テープＴをテープ圧接機構４の圧接ロールＲの外周面を経て空リール３ｄに巻き付け、この場合、圧接ロールＲは金属製の軸材Ｄの外周面にゴム等の弾性材Ｇを被覆してなり、満巻リール３ｃは巻解用モータ３ｅにより巻き解き回転すると共に空リール３ｄは巻取用モータ３ｆにより巻き取り回転し、かつ、上記満巻リール３ｃと圧接ロールＲ、及び圧接ロールＲと上記空リール３ｄとの間に移送用モータ３ｇ・３ｇの回転軸３ｂ・３ｂにより送り回転する移送ロール３ｈ・３ｈ及び挟圧ロール３ｉ・３ｉを配設し、巻解用モータ３ｅ、巻取用モータ３ｆ、移送用モータ３ｇ・３ｇの協動により研磨テープＴを満巻リール３ｃから圧接ロールＲを経て空リール３ｄへと比較的低速で連続的又は間欠的に移送Ｔ_１するように構成している。

又、この場合、上記テープ圧接機構４は、図４、図５の如く、上記取付基台３ａの前面に取付部材４ａを立設し、取付部材４ａに上記傾斜機構５、上記縦揺振機構６、上記横揺振機構７を介して圧接基体４ｂを配設し、圧接基体４ｂに左右一対のシリンダ機構４ｃ・４ｃ及びこれに直交状にガイド軸４ｄ・４ｄにより進退部材４ｅを配設し、圧接基体４ｂに左右一対のガイドロール４ｆ・４ｆを設けると共に進退部材４ｅに左右一対の案内ロール４ｇ・４ｇを設け、この左右一対の案内ロール４ｇ・４ｇの先方中間部分に上記圧接ロールＲを配設し、研磨テープＴをガイドロール４ｆ・４ｆ、案内ロール４ｇ・４ｇ及び圧接ロールＲにより折返移送案内すると共にシリンダ機構４ｃ・４ｃにより研磨テープＴを圧接ロールＲの外周面でねじ軸Ｗのボール溝Ｂに圧接させるように構成している。

この場合、上記研磨テープＴは、ポリエステルフィルム、メタル、クロス等の基材に酸化アルミニュウム、酸化クロム、シリコンカーバイド、ダイヤモンド等の所定粒度の研磨粒子をコーティング又は結合してなる構造となっている。

また、上記傾斜機構５にあっては、図４、図５、図８、図９の如く、上記取付部材４ａに旋回部材５ａを上記ねじ軸Ｗの軸線Ｗ_１に交差する回転軸線Ｏを中心としてガイド穴部Ｈの内周面と旋回部材５ａに形成されたガイド凸部５ｂの外周面との嵌合により旋回自在に配設し、旋回部材５ａに弧状穴５ｃ・５ｃを形成し、弧状穴５ｃ・５ｃを介して取付ボルト５ｄ・５ｄにより旋回部材５ａを上記取付部材４ａに位置固定し、旋回部材５ａに上記テープ圧接機構４、上記縦揺振機構６、上記横揺振機構７を介して圧接ロールＲを配設し、傾斜機構５の旋回部材５ａをボール溝Ｂのリード角θに対応して旋回調節し、これにより圧接ロールＲの回転軸線Ｒ_１をボール溝Ｂのリード角θに対応して傾斜配置させるように構成している。

又、この場合、上記縦揺振機構６及び横揺振機構７にあっては、図４、図５、図６、図７、図８、図９の如く、縦偏心機構６ａ及び横偏心機構７ａが用いられ、上記旋回部材５ａに摺動部６ｂ・６ｂにより縦偏心台６ｃを上記ねじ軸Ｗの軸線Ｗ_１方向に交差する上下方向に揺振摺動自在に配設し、縦偏心台６ｃに摺動部７ｂ・７ｂ・７ｂ・７ｂにより圧接基体４ｂを上記ねじ軸Ｗの軸線Ｗ_１方向に平行な水平方向に揺振摺動自在に配設し、旋回部材５ａのガイド凸部５ｂに嵌合穴５ｅを形成し、嵌合穴５ｅに直線揺振用モータＭを嵌合して直線揺振用モータＭをボルト５ｆにより旋回部材５ａに取り付け、旋回部材５ａに連結軸Ｓを上記回転軸線Ｏを中心として軸受５ｇにより回転自在に軸受けし、連結軸Ｓの内穴Ｓ_１に直線揺振用モータＭの主軸Ｍ_１を嵌合してボルトＳ_２により取り付け、連結軸Ｓに主軸Ｍ_１の回転軸線Ｏに対して偏心量Ｅの偏心軸線Ｏ_１をもつ偏心軸部６ｄを形成し、偏心軸部６ｄに玉軸受け状の偏心輪６ｅを回転自在に設け、縦偏心台６ｃに全体形状が溝形鋼状の縦駒部材６ｇを設け、縦駒部材６ｇのフランジ状部の内面に偏心輪６ｅが接する対向一対の接触面６ｆ・６ｆを形成し、かつ、連結軸Ｓに主軸Ｍ_１の回転軸線Ｏに対して偏心量εの偏心軸線Ｏ_２をもつ偏心軸部７ｃを形成し、偏心軸部７ｃに玉軸受け状の偏心輪７ｄを回転自在に設け、上記圧接基体４ｂに全体形状が溝形鋼状の横駒部材７ｆを設け、横駒部材７ｆのフランジ状部の内面に偏心輪７ｄが接する対向一対の接触面７ｅ・７ｅを形成し、直線揺振用モータＭの駆動により縦揺振機構６の偏心軸部６ｄ、偏心輪６ｅ、縦駒部材６ｇの接触面６ｆ・６ｆ及び摺動部６ｂ・６ｂで圧接ロールＲを回転軸線Ｒ_１方向に直線揺振動作Ｙさせると共に直線揺振用モータＭの駆動により横揺振機構７の偏心軸部７ｃ、偏心輪７ｄ、横駒部材７ｆの接触面７ｅ・７ｅ及び摺動部７ｂ・７ｂで圧接ロールＲを回転軸線Ｒ_１方向と直交して上記ボール溝Ｂの両内側面Ｂ_１・Ｂ_１に向かう半径方向に直線揺振動作Ｘさせるように構成している。すなわち、１個の直線揺振用モータＭと、縦偏心機構６ａの偏心軸部６ｄ及び横偏心機構７ａの偏心軸部７ｃの２個の偏心軸部６ｄ・７ｃが形成されて主軸Ｍ_１に嵌合可能な内穴Ｓ_１をもつ連結軸Ｓとにより、圧接ロールＲを回転軸線Ｒ_１方向に直線揺振動作Ｙさせると共に圧接ロールＲを回転軸線Ｒ_１方向と直交して上記ボール溝Ｂの両内側面Ｂ_１・Ｂ_１に向かう半径方向に直線揺振動作Ｘさせるように構成し、上記縦偏心機構６及び上記横偏心機構７の構造を簡素化している。

又、上記テープ移動機構８にあっては、図１、図２、図３の如く、上記機体１ａに移動基台８ａを配設し、この移動基台８ａに摺動部８ｂにより摺動台８ｃをねじ軸Ｗの軸線Ｗ_１方向に移動自在に配設し、摺動台８ｃに上記テープ移送機構３の取付基台３ａを配設し、摺動台８ｃをねじ軸８ｄ、ナット８ｅからなるボールねじ機構８ｆ及び移動用制御モータ８ｇにより摺動台８ｃを介して研磨テープＴをねじ軸Ｗの軸線Ｗ_１方向に移動させるように構成している。

又、上記速度同期手段９は、上記ねじ軸Ｗを回転させる回転用制御モータ２ａ、上記研磨テープＴを移動させる移動用制御モータ８ｇ、及び回転用制御モータ２ａの回転速度Ｑと移動用制御モータ８ｇの回転速度とを同期制御する同期制御部９ａからなり、同期制御部９ａは、具体的な回路構成等は省略しているが、例えばパソコン等が用いられ、ねじ軸Ｗの回転速度Ｑと研磨テープＴの移動速度Ｆとをボール溝ＢのリードＬに対応して同期させるように構成している。

この実施の形態例は上記構成であるから、図１、図２、図５、図１１、図１２、図１３の如く、ボールねじのねじ軸Ｗを保持機構１により回転自在に保持し、ねじ軸Ｗを回転機構２により軸線Ｗ_１を中心として回転させ、研磨テープＴをテープ移送機構３により移送Ｔ_１し、研磨テープＴをテープ圧接機構４により圧接ロールＲの外周面により折返移送案内して研磨テープＴを圧接ロールＲの外周面でねじ軸Ｗのボール溝Ｂに圧接し、圧接ロールＲの回転軸線Ｒ_１は傾斜機構５によりボール溝Ｂのリード角θに対応して傾斜配置され、縦揺振機構６により圧接ロールＲを回転軸線Ｒ_１方向に直線揺振動作Ｙさせ、かつ、横揺振機構７により圧接ロールＲを回転軸線Ｒ_１方向と直交して上記ボール溝Ｂの両内側面Ｂ_１・Ｂ_１に向かう半径方向に直線揺振動作Ｘさせ、この場合、各直線揺振動作Ｙ・Ｘの関係において、具体的にはＹ＝４ｍｍ（Ｅ＝２ｍｍ）、Ｘ＝０．２ｍｍ（ε＝０．１ｍｍ）であって、Ｙ＞Ｘとされ、テープ移動機構８により研磨テープＴをねじ軸Ｗの軸線Ｗ_１方向に移動させ、速度同期手段９によりねじ軸Ｗの回転速度Ｑと研磨テープＴの移動速度Ｆとをボール溝ＢのリードＬに対応して同期させ、ねじ軸Ｗの回転と、研磨テープＴの上記移送Ｔ_１及び上記回転軸線Ｒ_１方向と半径方向の二方向の直線揺振動作Ｘ・Ｙと、ねじ軸Ｗの回転速度Ｑに期した研磨テープＴの移動Ｆとの複合動作によりボール溝Ｂを研磨テープＴで研磨することができ、ねじ軸Ｗの回転速度Ｑに同期した研磨テープＴの移動により研磨テープＴはボール溝ＢのリードＬに合致して移動してテープ圧接機構４により研磨テープＴはボール溝Ｂに確実に圧接され、研磨テープＴの連続的又は間欠的な移送Ｔ_１及び回転軸線Ｒ_１方向と半径方向の二方向の直線揺振動作Ｘ・Ｙによる楕円軌跡運動によって研磨テープＴでボール溝Ｂを確実に研磨することができ、すなわち、楕円軌跡運動研磨精度を向上することができ、ボール溝Ｂの表面あらさを向上することができ、ボール溝Ｂの研磨作業性を向上することができる。

又、この場合、上記縦揺振機構６として、上記圧接ロールＲを回転軸線Ｒ_１方向に直線揺振動作Ｙさせる縦偏心機構６ａからなるので、構造を簡素化することができ、又、この場合、上記横揺振機構７として、上記圧接ロールＲを回転軸線Ｒ_１方向と直交して上記ボール溝Ｂの両内側面Ｂ_１・Ｂ_１に向かう半径方向に直線揺振動作Ｘさせる横偏心機構７ａからなるので、構造を簡素化することができ、又、この場合、上記速度同期手段９として、上記ねじ軸Ｗを回転させる回転用制御モータ２ａ、上記研磨テープＴを移動させる移動用制御モータ８ｇ、及び回転用制御モータ２ａの回転速度Ｑと移動用制御モータ８ｇの回転速度とを同期制御する同期制御部９ａからなるので、ねじ軸Ｗの回転速度Ｑと研磨テープＴの移動速度Ｆとをボール溝ＢのリードＬに対応して同期させることができ、研磨テープＴをボール溝ＢのリードＬに合致して確実に接触移動させることができ、構造を簡素化することができると共に研磨精度を向上することができる。

尚、本発明は上記実施の形態例に限られるものではなく、保持機構１、回転機構２、テープ移送機構３、テープ圧接機構４、傾斜機構５、縦揺振機構６、横揺振機構７、テープ移動機構８、速度同期手段９の構成等は適宜変更して設計されるものである。

又、例えば、上記実施の形態例においては、乾式研磨構造としているが、ねじ軸Ｗのボール溝Ｂと研磨テープＴとの間に各種材質の遊離砥粒や化学剤を含む加工液体や潤滑剤を供給する所謂湿式研磨構造とすることもあり、又、速度同期手段９として旋盤の親ねじ機構に採用されている替歯車機構と同様な機械的な同期回転機構を採用することもあり、その他、ねじ軸Ｗの種類や研磨条件により選択して設計される。

以上、所期の目的を充分達成することができる。

Ｗ ねじ軸
Ｗ_１ 軸線
Ｔ 研磨テープ
Ｔ_１ 移送
Ｒ 圧接ロール
Ｂ ボール溝
Ｂ_１ 内側面
Ｒ_１ 回転軸線
Ｌ リード
θ リード角
Ｙ 直線揺振動作
Ｘ 直線揺振動作
Ｑ 回転速度
Ｆ 移動速度
１ 保持機構
２ 回転機構
２ａ 回転用制御モータ
３ テープ移送機構
４ テープ圧接機構
５ 傾斜機構
６ 縦揺振機構
６ａ 縦偏心機構
７ 横揺振機構
７ａ 横偏心機構
８ テープ移動機構
８ｇ 移動用制御モータ
９ 速度同期手段
９ａ 同期制御部

Claims (5)

1. ボールねじのねじ軸のボール溝を研磨テープで研磨するに際し、上記ねじ軸を回転自在に保持して該軸線を中心として回転させ、上記研磨テープを連続的又は間欠的に移送させ、該研磨テープを圧接ロールの外周面により折返移送案内して該研磨テープを該圧接ロールの外周面で該ねじ軸のボール溝に圧接させ、該圧接ロールの回転軸線は該ボール溝のリード角に対応して傾斜配置され、該圧接ロールを該回転軸線方向に直線揺振動作させ、かつ、該圧接ロールを該回転軸線方向と直交して該ボール溝の両内側面に向かう半径方向に直線揺振動作させ、該研磨テープを該ねじ軸の軸線方向に移動させ、該ねじ軸の回転速度と該研磨テープの移動速度とを該ボール溝のリードに対応して同期させ、該ねじ軸の回転と、該研磨テープの上記移送及び上記回転軸線方向並びに半径方向の二方向の直線揺振動作と、該ねじ軸の回転速度に同期した研磨テープの移動との複合動作により該ボール溝を該研磨テープで研磨することを特徴とするボールねじ研磨方法。
2. ボールねじのねじ軸を回転自在に保持する保持機構と、該ねじ軸を該軸線を中心として回転させる回転機構と、研磨テープを連続的又は間欠的に移送させるテープ移送機構と、該研磨テープを圧接ロールの外周面により折返移送案内して該研磨テープを該圧接ロールの外周面で該ねじ軸のボール溝に圧接させるテープ圧接機構と、該圧接ロールの回転軸線を該ボール溝のリード角に対応して傾斜配置させる傾斜機構と、該圧接ロールを該回転軸線方向に直線揺振動作させる縦揺振機構と、該研磨テープを該ねじ軸の軸線方向に移動させるテープ移動機構と、該ねじ軸の回転速度と該研磨テープの移動速度とを該ボール溝のリードに対応して同期させる速度同期手段とからなり、上記圧接ロールを該回転軸線と直交して上記ボール溝の両内側面に向かう半径方向に直線揺振動作させる横揺振機構を設けてなることを特徴とするボールねじ研磨装置。
3. 上記縦揺振機構として、上記圧接ロールを該回転軸線方向に直線揺振動作させる縦偏心機構からなることを特徴とする請求項２記載のボールねじ研磨装置。
4. 上記横揺振機構として、上記圧接ロールを該回転軸線方向と直交して上記ボール溝の両内側面に向かう半径方向に直線揺振動作させる横偏心機構からなることを特徴とする請求項２又は３記載のボールねじ研磨装置。
5. 上記速度同期手段として、上記ねじ軸を回転させる回転用制御モータ、上記研磨テープを移動させる移動用制御モータ、及び該回転用制御モータの回転速度と該移動用制御モータの回転速度とを同期制御する同期制御部からなることを特徴とする請求項２〜４のいずれか１項に記載のボールねじ研磨装置。