JP5678382B2 - テープ研磨装置 - Google Patents
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Description
本発明は研磨テープにより被加工物の被研磨面を研磨加工する際に用いられるテープ研磨装置に関するものである。
従来、この種のテープ研磨装置として、テープ移送機構によりテープリールから研磨テープを移送し、研磨テープの研磨面を回転する被加工物の被研磨面に圧接機構により圧接して研磨する構造のものが知られている。
しかしながらこれら従来構造の場合、研磨テープの研磨面を被加工物の被研磨面に圧接移動させる圧接移動機構及び研磨テープを揺振運動させるテープ揺振機構の構造が比較的複雑化すると共に大型化し易く、使用の融通性が低下することがあるという不都合を有している。
本発明はこのような不都合を解決することを目的とするもので、本発明のうち、請求項１記載の発明は、支持機体と、研磨テープをテープリールから移送させるテープ移送機構と、該研磨テープの研磨面を被加工物の被研磨面に圧接させるテープ圧接機構と、該研磨テープをテープ移送方向と直交するテープ幅方向に揺振運動させるテープ揺振機構とを備えてなり、上記テープ圧接機構は、上記研磨テープの研磨面を被加工物の被研磨面に圧接可能な圧接部材と、上記支持機体に設けられ、該圧接部材を圧接移動自在に保持可能な保持部材と、該圧接部材を圧接移動させる圧接移動機構とからなり、かつ、上記テープ揺振機構として、上記支持機体に上記保持部材をテープ移送方向と直交するテープ幅方向に揺振運動自在に設けると共に該支持機体に揺振用モータを設け、該支持機体に継合軸を該揺振用モータの主軸と該保持部材との間に位置して回転自在に設け、該継合軸の基端部に該揺振用モータの主軸を挿入固定し、該継合軸の先端部と該保持部材との間に偏心輪機構を設け、該偏心輪機構として、上記継合軸の先端部に偏心軸部を形成し、該偏心軸部に偏心輪を回転自在に設け、上記保持部材に該偏心輪の外周面に接する対向一対の接触面を有して該偏心輪の偏心回転により該保持部材を上記テープ幅方向に揺振運動させる駒部材を設け、該継合軸の基端部に嵌合孔を形成し、該嵌合孔に上記揺振用モータの主軸を挿入固定してなることを特徴とするテープ研磨装置にある。
本発明は上述の如く、請求項１記載の発明にあっては、テープ移送機構により研磨テープは移送され、テープ圧接機構により研磨テープの研磨面は被加工物の被研磨面に圧接されると共に研磨テープはテープ移送方向と直交するテープ幅方向に揺振運動し、この研磨テープの移送及び揺振運動により被加工物を研磨することになり、この際、上記テープ圧接機構は、上記研磨テープの研磨面を被加工物の被研磨面に圧接可能な圧接部材と、上記支持機体に設けられ、圧接部材を圧接移動自在に保持可能な保持部材と、圧接部材を圧接移動させる圧接移動機構とからなるので、テープ圧接機構の構造を簡素化することができると共に圧接移動機構により保持部材を介して圧接部材を確実に圧接移動することができ、かつ、上記テープ揺振機構として、上記支持機体に上記保持部材をテープ移送方向と直交するテープ幅方向に揺振運動自在に設けると共に支持機体に揺振用モータを設け、支持機体に継合軸を揺振用モータの主軸と保持部材との間に位置して回転自在に設け、継合軸の基端部に揺振用モータの主軸を挿入固定し、継合軸の先端部と保持部材との間に偏心輪機構を設けて構成しているから、テープ揺振機構の構造を簡素化することができると共にコンパクト化することができ、使用の融通性を高めることができ、かつ、上記偏心輪機構として、上記継合軸の先端部に偏心軸部を形成し、偏心軸部に偏心輪を回転自在に設け、上記保持部材に偏心輪の外周面に接する対向一対の接触面を有して偏心輪の偏心回転により保持部材を上記テープ幅方向に揺振運動させる駒部材を設け、継合軸の基端部に嵌合孔を形成し、嵌合孔に上記揺振用モータの主軸を挿入固定して構成しているから、偏心輪機構の構造を簡素化することができる。
図１乃至図６は本発明の実施の形態例であって、この場合、大別して、図１、図２の如く、支持機体Ａと、研磨テープＴをテープリール１から移送させるテープ移送機構Ｂと、この研磨テープＴの研磨面Ｔ１を被加工物Ｗの被研磨面Ｗ１に圧接させるテープ圧接機構Ｃと、研磨テープＴをテープ移送方向Ｎと直交するテープ幅方向Ｍに揺振運動させるテープ揺振機構Ｄとから構成されている。
この場合、上記テープ圧接機構Ｃは、図３、図４の如く、上記研磨テープＴの研磨面Ｔ１を被加工物Ｗの被研磨面Ｗ１に圧接可能な圧接部材２と、上記支持機体Ａに設けられ、圧接部材２を圧接移動自在に保持可能な保持部材３と、圧接部材２を圧接移動させる圧接移動機構Ｃ１とからなり、上記テープ揺振機構Ｄとして、上記支持機体Ａに上記保持部材３をテープ移送方向Ｎと直交するテープ幅方向Ｍに揺振運動自在に設けると共に支持機体Ａに揺振用モータ４を設け、支持機体Ａに継合軸５を揺振用モータ４の主軸４ａと保持部材３との間に位置して回転自在に設け、継合軸５の基端部に揺振用モータ４の主軸４ａを挿入固定し、継合軸５の先端部と保持部材３との間に偏心輪機構Ｄ１を設け構成している。
この場合、上記偏心輪機構Ｄ１として、図３、図４の如く、上記継合軸５の先端部に偏心軸部５ａを形成し、偏心軸部５ａに偏心輪６を回転自在に設け、上記保持部材３に偏心輪６の外周面に接する対向一対の接触面７ａ・７ａを有して偏心輪６の偏心回転により保持部材３を上記テープ幅方向Ｍに揺振運動させる駒部材７を設けて構成している。
このうち、上記支持機体Ａは、図１、図２の如く、機台Ｅ上に立設され、支持機体Ａの側方位置に保持回転機構Ｆにより被加工物Ｗとしての円柱状部材が回転軸線Ｋを中心として駆動回転自在に横設されている。
又、上記テープ移送機構Ｂは、図１、図２の如く、テープリール１を支持機体Ａの側面に支持軸８により回転自在に配設し、テープリール１に巻回された未使用の研磨テープＴをガイドロール９を介して移送ロール１０で折り返し、折り返された研磨テープＴをガイドロール１１からロール状の上記圧接部材２へと案内した後、ガイドロール１２を介して移送ロール１３により折り返し、上記移送ロール１０は駆動用モータ１０ａにより回転駆動され、移送ロール１３は駆動用モータ１３ａにより回転駆動され、かつ、支持機体Ａの側面に上記移送ロール１０に対向して弾圧用バネ１０ｂにより研磨テープＴを弾圧する弾圧ロール１０ｃをもつ揺動アーム１０ｄを支持ピン１０ｅにより取り付けると共に上記移送ロール１３に対向して弾圧用バネ１３ｂにより研磨テープＴを弾圧する弾圧ロール１３ｃをもつ揺動アーム１３ｄを支持ピン１３ｅにより取り付け、移送ロール１０及び移送ロール１３を回転制御してテープリール１に巻回された未使用の研磨テープＴを移送ロール１０により巻き解いてテープ圧接機構Ｃに移送し、テープ圧接機構Ｃに移送されて被加工物Ｗの被研磨面Ｗ１の研磨に使用した使用済みの研磨テープＴを移送ロール１３により排送するように構成している。
この場合、上記研磨テープＴは、ポリエステルフィルム、メタル、クロス等の基材に酸化アルミニュウム、酸化クロム、シリコンカーバイド、ダイヤモンド等の所定粒度の研磨粒子をコーティング又は結合してなる構造となっている。
この場合、上記テープ圧接機構Ｃは、図３、図４、図５の如く、支持機体Ａの側面に取付部材１４をボルト１４ａにより取付け、取付部材１４にガイドレール１５・１５を上下二段状に取り付け、上記保持部材３にガイドレール１５・１５に摺動自在に案内される案内部１６・１６を取付け、ガイドレール１５・１５と案内部１６・１６との摺動案内により保持部材３をテープ移送方向Ｎと直交するテープ幅方向Ｍに往復揺振動作自在に設け、保持部材３の上下位置に研磨テープＴを上記圧接部材２の外周面に案内するガイドロール１７ａ・１７ａをもつガイドアーム１７・１７を取付け、保持部材３に左右一対の軸受筒１８・１８を取付け、左右一対の軸受筒１８・１８にガイド軸１９・１９を直線摺動自在に軸受し、この左右一対のガイド軸１９・１９間に進退部材２０を進退自在に架設し、保持部材３の上下位置に上下一対のシリンダ部２１・２１を設け、シリンダ部２１・２１のプランジャ２１ａ・２１ａを進退部材２０に取付けた連結片２０ａに連結し、進退部材２０にロール軸２ａにより圧接部材２を回転自在に軸受けして構成している。
又、上記テープ揺振機構Ｄは、図３、図４、図５の如く、支持機体Ａ側面に取り付けられた上記取付部材１４に揺振用モータ４を横設し、取付部材１４に継合軸５を揺振用モータ４の主軸４ａと保持部材３との間に位置して軸受２２により回転自在に設け、継合軸５の基端部に嵌合孔５ｂを形成し、嵌合孔５ｂに揺振用モータ４の主軸４ａを挿入してビス５ｃにより固定し、継合軸５の先端部と保持部材３との間に偏心輪機構Ｄ１を設け、偏心輪機構Ｄ１として、図３、図４、図５の如く、上記継合軸５の先端部に継合軸５の回転軸線Ｏに対して偏心量εの回転軸線Ｏ１を有する偏心軸部５ａを形成し、図５の如く、偏心軸部５ａに玉軸受状の偏心輪６を回転自在に設け、上記保持部材３に嵌合凹部３ａを形成し、嵌合凹部３ａに偏心輪６の外周面に接する対向一対の接触面７ａ・７ａを有して偏心輪６の偏心回転により保持部材３を上記テープ幅方向Ｍに揺振運動させる下駄状の駒部材７を嵌合固定して構成している。
しかして、上記テープ圧接機構Ｃのシリンダ部２１により進退部材２０を前進させることにより研磨テープＴの研磨面Ｔ１を被加工物Ｗの被研磨面Ｗ１に圧接することになり、また、上記テープ揺振機構Ｄの揺振用モータ４の駆動により継合軸５を回転させることにより偏心輪機構Ｄ１の偏心軸部５ａと駒部材７との協動及び案内部１６とガイドレール１５との案内により保持部材３を介して圧接部材２及び研磨テープＴはテープ幅方向Ｍに揺振運動することになる。
この実施の形態例は上記構成であるから、テープ移送機構Ｂにより研磨テープＴは移送され、テープ圧接機構Ｃにより研磨テープＴの研磨面Ｔ１は被加工物Ｗの被研磨面Ｗ１に圧接されると共に研磨テープＴはテープ移送方向Ｎと直交するテープ幅方向Ｍに揺振運動し、この研磨テープＴの移送及び揺振運動により被加工物Ｗを研磨することになり、この際、上記テープ圧接機構Ｃは、上記研磨テープＴの研磨面Ｔ１を被加工物Ｗの被研磨面Ｗ１に圧接可能な圧接部材２と、上記支持機体Ａに設けられ、圧接部材２を圧接移動自在に保持可能な保持部材３と、圧接部材２を圧接移動させる圧接移動機構Ｃ１とからなるので、テープ圧接機構Ｃの構造を簡素化することができると共に圧接移動機構Ｃ１により保持部材３を介して圧接部材２を確実に圧接移動することができ、かつ、上記テープ揺振機構Ｄとして、上記支持機体Ａに上記保持部材３をテープ移送方向Ｎと直交するテープ幅方向Ｍに揺振運動自在に設けると共に支持機体Ａに揺振用モータ４を設け、支持機体Ａに継合軸５を揺振用モータ４の主軸４ａと保持部材３との間に位置して回転自在に設け、継合軸５の基端部に嵌合孔５ｂを形成し、該嵌合孔５ｂに揺振用モータ４の主軸４ａを挿入固定し、継合軸５の先端部と保持部材３との間に偏心輪機構Ｄ１を設けて構成しているから、テープ揺振機構Ｄの構造を簡素化することができると共にコンパクト化することができ、使用の融通性を高めることができる。
この場合、上記偏心輪機構Ｄ１として、上記継合軸５の先端部に偏心軸部５ａを形成し、偏心軸部５ａに偏心輪６を回転自在に設け、上記保持部材３に偏心輪６の外周面に接する対向一対の接触面７ａ・７ａを有して偏心輪６の偏心回転により保持部材３を上記テープ幅方向Ｍに揺振運動させる駒部材７を設け、継合軸５の基端部に嵌合孔５ｂを形成し、この嵌合孔５ｂに揺振用モータ４の主軸４ａを挿入固定して構成しているから、偏心輪機構Ｄ１の構造を簡素化することができる。
尚、本発明は上記実施の形態例に限られるものではなく、テープ移送機構Ｂ、テープ圧接機構Ｃ、テープ揺振機構Ｄ、圧接移動機構Ｃ１、偏心輪機構Ｄ１の構成等は適宜変更して設計される。
又、例えば、上記実施の形態例においては、被加工物Ｗが円柱状部材となっているが、板状部材に適用することもでき、また、上記実施の形態例においては、乾式研磨構造としているが、板状部材と研磨テープＴとの間に各種材質の遊離砥粒や化学剤を含む加工液体や潤滑剤を供給する所謂湿式研磨構造とすることもあり、被加工物Ｗの種類や研磨条件により選択して設計される。
以上、所期の目的を充分達成することができる。
Ａ 支持機体
Ｔ 研磨テープ
Ｂ テープ移送機構
Ｔ１ 研磨面
Ｗ 被加工物
Ｗ１ 被研磨面
Ｃ テープ圧接機構
Ｎ テープ移送方向
Ｍ テープ幅方向
Ｄ テープ揺振機構
Ｃ１ 圧接移動機構
Ｄ１ 偏心輪機構
１ テープリール
２ 圧接部材
３ 保持部材
４ 揺振用モータ
４ａ 主軸
５ 継合軸
５ａ 偏心軸部
５ｂ 嵌合孔
６ 偏心輪
７ 駒部材
７ａ 接触面
Ｔ 研磨テープ
Ｂ テープ移送機構
Ｔ１ 研磨面
Ｗ 被加工物
Ｗ１ 被研磨面
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Ｎ テープ移送方向
Ｍ テープ幅方向
Ｄ テープ揺振機構
Ｃ１ 圧接移動機構
Ｄ１ 偏心輪機構
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４ 揺振用モータ
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５ｂ 嵌合孔
６ 偏心輪
７ 駒部材
７ａ 接触面
Claims (1)
- 支持機体と、研磨テープをテープリールから移送させるテープ移送機構と、該研磨テープの研磨面を被加工物の被研磨面に圧接させるテープ圧接機構と、該研磨テープをテープ移送方向と直交するテープ幅方向に揺振運動させるテープ揺振機構とを備えてなり、上記テープ圧接機構は、上記研磨テープの研磨面を被加工物の被研磨面に圧接可能な圧接部材と、上記支持機体に設けられ、該圧接部材を圧接移動自在に保持可能な保持部材と、該圧接部材を圧接移動させる圧接移動機構とからなり、かつ、上記テープ揺振機構として、上記支持機体に上記保持部材をテープ移送方向と直交するテープ幅方向に揺振運動自在に設けると共に該支持機体に揺振用モータを設け、該支持機体に継合軸を該揺振用モータの主軸と該保持部材との間に位置して回転自在に設け、該継合軸の基端部に該揺振用モータの主軸を挿入固定し、該継合軸の先端部と該保持部材との間に偏心輪機構を設け、該偏心輪機構として、上記継合軸の先端部に偏心軸部を形成し、該偏心軸部に偏心輪を回転自在に設け、上記保持部材に該偏心輪の外周面に接する対向一対の接触面を有して該偏心輪の偏心回転により該保持部材を上記テープ幅方向に揺振運動させる駒部材を設け、該継合軸の基端部に嵌合孔を形成し、該嵌合孔に上記揺振用モータの主軸を挿入固定してなることを特徴とするテープ研磨装置。
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