JP5364683B2 - 帯板材研磨装置 - Google Patents

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Description

本発明は、例えば、金属、ステンレス、Ni合金等の帯板材の表面を連続的に研磨する際に用いられる帯板材研磨装置に関するものである。
従来、この種の帯板材研磨装置として、水平搬送される帯板材の表面を回転砥石により連続して研磨する構造のものが知られている。
特開2010−158746
しかしながらこれら従来構造の場合、回転砥石を用いた研磨構造であるから、帯板材の研磨面の表面粗さを高めることに一定の制約を有することがあるという不都合を有している。
本発明はこのような不都合を解決することを目的とするもので、本発明のうち、請求項1記載の発明は、装置機体と、帯板材を連続的又は間欠的に水平搬送させる帯板材搬送機構と、一対のテープリール間に研磨テープを連続的又は間欠的に移送自在に架設してなるテープ移送機構と、該テープリール間を移送する研磨テープを該帯板材の表面に対向して帯板材の移送方向に案内するテープ案内機構と、該テープ案内機構により案内されている該研磨テープを該帯板材の表面に圧接するテープ圧接機構とを備えてなり、上記装置機体上に上記研磨テープの移送方向と直交する幅方向に往復移動自在な幅方向移動台を配設し、該幅方向移動台を往復移動させる幅方向移動機構を設け、該幅方向移動台上に該研磨テープの移送方向と同方向に往復移動自在な移送方向移動台を配設し、該移送方向移動台を往復移動させる移送方向移動機構を設け、該幅方向移動台に上記テープ移送機構を設け、該移送方向移動台に上記テープ案内機構及び上記テープ圧接機構を設け、上記移送方向移動機構として、上記幅方向移動台に移送方向移動用モータを設けると共に該移送方向移動用モータにより回転駆動されるクランク部材を設け、該クランク部材の半径上と上記移送方向移動台との間に連結ロッドを枢着架設し、上記移送方向移動台に連動して該移送方向移動台の往復移動方向に対して反対方向に往復移動するカウンターウエイト部材をもつカウンターウエイト機構を配設し、上記幅方向移動台上に上記移送方向移動台の往復移動方向に対して反対方向に往復移動する移送方向補助台を設け、該移送方向補助台に上記カウンターウエイト機構のカウンターウエイト部材を設け、上記移送方向移動機構として、上記幅方向移動台に移送方向移動用モータを設けると共に移送幅方向移動用モータにより回転駆動されるクランク部材及び補助クランク部材を設け、該クランク部材の半径上と上記移送方向移動台との間に連結ロッドを枢着架設すると共に該補助クランク部材の半径上と上記カウンターウエイト部材との間に補助連結ロッドを枢着架設してなることを特徴とする帯板材研磨装置にある。
本発明は上述の如く、請求項1記載の発明にあっては、上記装置機体上に上記研磨テープの移送方向と直交する幅方向に往復移動自在な幅方向移動台を配設し、幅方向移動台を往復移動させる幅方向移動機構を設け、幅方向移動台上に研磨テープの移送方向と同方向に往復移動自在な移送方向移動台を配設し、移送方向移動台を往復移動させる移送方向移動機構を設け、幅方向移動台に上記テープ移送機構を設け、移送方向移動台に上記テープ案内機構及び上記テープ圧接機構を設けているから、上記テープ移送機構、上記テープ案内機構及び上記テープ圧接機構は、幅方向移動台と一緒に研磨テープの移送方向と直交する幅方向に往復移動すると共に、上記テープ案内機構及び上記テープ圧接機構は、移送方向移動台と一緒に研磨テープの移送方向と同方向に往復移動することになり、このため、上記帯板材搬送機構により移送される帯板材を研磨テープの移送方向と直交する幅方向の往復移動及び研磨テープの移送方向と同方向の往復移動の複合運動により研磨することができ、研磨テープの移送による新たな研磨面の顕出も相俟って、帯板材の表面粗さを向上することができると共に帯板材搬送機構による帯板材の移送により研磨作業性を向上することができ、かつ、上記テープ移送機構、上記テープ案内機構及び上記テープ圧接機構のうち、上記テープ案内機構及び上記テープ圧接機構のみが移送方向移動台と一緒に研磨テープの移送方向と同方向に往復移動することになり、移送方向移動台の慣性モーメントを小さくすることができ、それだけ、研磨テープの移送方向と同方向の研磨テープ往復移動を円滑に行うことができ、上記移送方向移動機構として、上記幅方向移動台に移送方向移動用モータを設けると共に移送方向移動用モータにより回転駆動されるクランク部材を設け、クランク部材の半径上と上記移送方向移動台との間に連結ロッドを枢着架設してなるから、移送方向移動台を円滑に往復運動させることができると共に構造を簡素化することができ、上記移送方向移動台に連動して移送方向移動台の往復移動方向に対して反対方向に往復移動するカウンターウエイト部材をもつカウンターウエイト機構を配設してなるから、移送方向移動台の往復移動の反転時に発生する反力により生ずる移送方向移動台及び研磨テープの振動現象を反対方向に往復移動するカウンターウエイト部材により抑制することができ、それだけ、研磨テープによる帯板材の研磨性能を向上することができ、上記幅方向移動台上に上記移送方向移動台の往復移動方向に対して反対方向に往復移動する移送方向補助台を設け、移送方向補助台に上記カウンターウエイト機構のカウンターウエイト部材を設けているから、カウンターウエイト機構の構造を簡素化することができ、上記移送方向移動機構として、上記幅方向移動台に移送方向移動用モータを設けると共に移送幅方向移動用モータにより回転駆動されるクランク部材及び補助クランク部材を設け、クランク部材の半径上と上記移送方向移動台との間に連結ロッドを枢着架設すると共に補助クランク部材の半径上と上記カウンターウエイト部材との間に補助連結ロッドを枢着架設してなるから、移送方向移動台及びカウンターウエイト部材をそれぞれ円滑に往復運動させることができると共に構造を簡素化することができる。
本発明の実施の形態例の全体正面図である。 本発明の実施の形態例の全体平面図である。 本発明の実施の形態例の部分正面拡大図である。 本発明の実施の形態例の拡大正面図である。 本発明の実施の形態例の全体側面図である。 本発明の実施の形態例の部分拡大側断面図である。 本発明の実施の形態例の部分拡大側断面図である。 本発明の実施の形態例の部分拡大斜視図である。 本発明の実施の形態例の研磨加工説明図である。
図1乃至図9は本発明の実施の形態例であって、この場合、図1の如く、大別して、装置機体A、帯板材Wを連続的又は間欠的に水平搬送させる帯板材搬送機構B、一対のテープリール1・1間に研磨テープTを連続的又は間欠的に一方向Pに移送自在に架設してなるテープ移送機構C、テープリール1・1間を移送する研磨テープTを帯板材Wの表面に対向して帯板材Wの移送方向Gに案内するテープ案内機構Dと、テープ案内機構Dにより案内されている研磨テープTを帯板材Wの表面に圧接するテープ圧接機構Eを備えて構成されている。
この場合、上記帯板材搬送機構Bは、例えば、装置機体Aの両側部には図示省略の繰出ロール及び巻取ロールが配設され、この繰出ロールには長さ1,000m程度、幅10mm程度、厚さ80μmの帯板材Wが巻回され、装置機体Aに上下一対の支持ロール2・2、ガイド部材3及び上下一対の搬送ロール4・4を設け、搬送ロール4を搬送用モータ5により連続的又は間欠的に回転させて繰出ロールから巻取ロールへと帯板材Wを連続的又は間欠的に水平搬送させる構造となっている。
さらに、この場合、図1、図3、図5の如く、上記装置機体A上に幅方向摺動部11aにより幅方向移動台11を上記研磨テープTの移送方向Gと直交する幅方向Hに往復移動自在に設け、幅方向移動台11を往復移動させるモータ12a、ボールネジ12b及びナット部12cからなる幅方向移動機構12を設け、この場合、帯板材Wの幅が10mm、研磨テープTのテープ幅が30mmであることを考慮し、幅方向の往復ストロークHは20mmに設定され、この幅方向移動台11上に移送方向摺動部13aにより移送方向移動台13を研磨テープTの移送方向Gと同方向Nに往復移動自在を設け、移送方向移動台13を往復移動させる移送方向移動機構14を設け、この場合、移送方向の往復ストロークNは60mmに設定され、この移送方向移動機構14として、上記幅方向移動台11上に駆動機体Kを立設し、駆動機体Kに移送方向移動用モータ14aを設けると共に移送方向移動用モータ14aにより回転駆動されるクランク部材14bを設け、クランク部材14bの半径上と上記移送方向移動台13との間に連結ロッド14cを枢着架設し、幅方向移動台11に上記テープ移送機構Cを設け、移送方向移動台13に上記テープ案内機構D及び上記テープ圧接機構Eを設けて構成している。
又、上記テープ移送機構Cは、この場合、図1、図2の如く、上記幅方向移動台11に支持枠体6を立設し、支持枠体6に左右一対のリール軸1a・1aを設け、リール軸1a・1aにテープリール1・1を回転自在に取り付け、一方のテープリール1を解き用モータ1bにより解き回転させると共に他方のテープリール1を巻取用モータ1cにより巻取回転させ、未使用の研磨テープTを巻回した図中左側のテープリール1から図中右側の他方のテープリール1へと、左右一対のガイドロール6a・6a、左右一対の支点軸6b・6bにより上下揺動自在であってバネ6c・6cにより弾引されたアーム6d・6dの先端に設けられたダンサーロール6e・6eを経て巻取移送する構造となっており、しかして、一対のテープリール1・1間に研磨テープTを解き用モータ1b及び巻取用モータ1cの回転及び停止の制御により連続的又は間欠的に移送自在に架設して構成している。
この場合、上記研磨テープTは、幅30mm程度のものが用いられ、例えば、ポリエステルフィルム、メタル、クロス、発泡体フィルム、植毛布等の基材に酸化アルミニュウム、酸化クロム、シリコンカーバイド、ダイヤモンド等の所定粒度の固定砥粒をコーティング又は結合してなるものが用いられている。尚、このような基材に固定砥粒を固着した構造の研磨テープを用いて潤滑剤を用いない乾式研磨構造や基材に固定砥粒を固着した構造の研磨テープを用いて潤滑剤を供給しつつ研磨する湿式研磨構造、或いは、固定砥粒を固着していない織布、不織布、発泡体フィルム、植毛布を研磨テープとして用いて遊離砥粒を含む研磨剤を供給する湿式研磨構造を採用することがあり、よって、ここでいう研磨テープTは、固定砥粒を固着した構造の研磨テープや固定砥粒を固着していない構造の研磨テープをも含むものである。
又、この場合、上記テープ案内機構Dは、図3、図4の如く、上記幅方向移動台11に保持枠体7を突設し、保持枠体7の上部に左右一対のガイドロール7a・7aを回転自在に設け、上記保持枠体7の下部に左右一対の案内ロール7b・7bを設け、図中右側部に送り用モータ8a、送り用モータ8aにより回転する送りロール8b、送りロール8bとで研磨テープTを挟装する挟装ロール8c及び迂回ロール8dからなるテープ送り機構8を設け、しかして、テープ送り機構8により図中左側の一方のテープリール1から解かれて図中右側の他方のテープリール1へと移送される一対のテープリール1・1間の研磨テープTを左右一対の案内ロール7b・7bにより帯板材Wの表面に対向して帯板材Wの移送方向Gに案内するように構成している。
この場合、テープ圧接機構Eは、図3、図4、図5、図6、図7の如く、上記保持枠体7に上記テープ案内機構Dにより案内されている研磨テープTを帯板材Wの表面に圧接する左右一対の圧接部材9・9を備えており、保持枠体7に左右一対の上下台9a・9aを摺動部9b・9bにより上下摺動自在に設けると共に保持枠体7に左右一対の圧接用シリンダ9c・9cを設け、各上下台9a・9aに左右一対の圧接部材9・9を取付けて構成され、しかして、装置機体Aにテープ受部材10を立設し、このテープ受部材10上で上記テープ案内機構Dにより案内されて研磨テープTで支持し、圧接用シリンダ9c・9cにより圧接部材9・9を下方に弾圧し、テープ受部材10により支持されている研磨テープTを帯板材Wの表面に圧接するように構成している。
15はカウンターウエイト機構であって、この場合、図4の如く、上記移送方向移動台13に連動して移送方向移動台13の往復移動方向に対して反対方向に往復移動するカウンターウエイト部材16を備えており、この場合、上記幅方向移動台11上に移送方向補助台17を上記移送方向摺動部13aと同構造の補助摺動部15aにより上記移送方向移動台13の往復移動方向に対して反対方向に往復移動自在に設け、移送方向補助台17にカウンターウエイト機構15のカウンターウエイト部材16を設け、この場合、上記移送方向移動機構14として、上記幅方向移動台11に駆動機体Kを立設し、駆動機体Kに移送方向移動用モータ14aを設けると共に移送方向移動用モータ14aにより回転駆動されるクランク部材14b及び補助クランク部材15bを設け、この移送方向移動用モータ14aの主軸、クランク部材14b及び補助クランク部材15bの主軸に、それぞれプーリーS・S・Sを設け、プーリーS・S・SにベルトQを三角環状に掛回し、このクランク部材14bの半径上と上記移送方向移動台13との間に連結ロッド14cを枢着架設すると共に補助クランク部材15bの半径上と上記カウンターウエイト部材16との間に上記クランク部材14bの半径上と上記移送方向移動台13との間に枢着架設された連結ロッド14cに対して180度の位相差をもって補助連結ロッド15cを枢着架設し、移送方向移動用モータ14aによりプーリーS・S・S及びベルトQからなる回転伝動機構Mによってクランク部材14b及び補助クランク部材15bを回転位相差をもって回転させ、連結ロッド14c及び補助連結ロッド15cにより移送方向移動台13とカウンターウエイト部材16とを移送方向移動台13の往復移動方向に対して反対方向にカウンターウエイト部材16を往復移動させる構造としている。
なお、図示を省略しているが、パソコンなどの制御回路を備えた上記制御手段が設けられており、この制御手段により帯板材搬送機構B、テープ移送機構C、テープ案内機構D、テープ圧接機構E、幅方向移動機構12、移送方向移動機構14等の各駆動要素を制御するように構成している。
この実施の形態例は上記構成であるから、図1の如く、帯板材Wは帯板材搬送機構Bにより連続的又は間欠的に水平搬送され、テープ移送機構Cにより研磨テープTは一対のテープリール1・1間を一方向Pに連続的又は間欠的に移送され、このテープリール1・1間を移送する研磨テープTはテープ案内機構Dにより帯板材Wの表面に対向して帯板材Wの移送方向Gに案内し、このテープ案内機構Dにより案内されている研磨テープTはテープ圧接機構Eにより帯板材Wの表面に圧接され、移送される帯板材Wは研磨テープTにより研磨されることになる。
この際、上記装置機体A上に上記研磨テープTの移送方向Gと直交する幅方向Hに往復移動自在な幅方向移動台11を配設し、幅方向移動台11を往復移動させる幅方向移動機構12を設け、幅方向移動台11上に研磨テープTの移送方向Gと同方向Nに往復移動自在な移送方向移動台13を配設し、移送方向移動台13を往復移動させる移送方向移動機構14を設け、幅方向移動台11に上記テープ移送機構Cを設け、移送方向移動台13に上記テープ案内機構D及び上記テープ圧接機構Eを設けているから、上記テープ移送機構C、上記テープ案内機構D及び上記テープ圧接機構Eは、幅方向移動台11と一緒に研磨テープTの移送方向Gと直交する幅方向Hに往復移動すると共に、上記テープ案内機構D及び上記テープ圧接機構Eは、移送方向移動台13と一緒に研磨テープTの移送方向Gと同方向Nに往復移動することになり、このため、図8、図9の如く、上記帯板材搬送機構Bにより移送される帯板材Wを研磨テープTの移送方向Gと直交する幅方向Hの往復移動及び研磨テープTの移送方向Gと同方向Nの往復移動の複合運動により研磨することができ、研磨テープTの一方向Pの移送による新たな研磨面の現顕出も相俟って、帯板材Wの表面粗さを向上することができると共に帯板材搬送機構Bによる帯板材Wの移送により研磨作業性を向上することができ、かつ、上記テープ移送機構C、上記テープ案内機構D及び上記テープ圧接機構Eのうち、上記テープ案内機構D及び上記テープ圧接機構Eのみが移送方向移動台13と一緒に研磨テープTの移送方向Gと同方向Nに往復移動することになり、移送方向移動台13の慣性モーメントを小さくすることができ、それだけ、研磨テープTの移送方向と同方向Nの研磨テープT往復移動を円滑に行うことができる。
この場合、上記移送方向移動機構14として、上記幅方向移動台11に移送方向移動用モータ14aを設けると共に移送方向移動用モータ14aにより回転駆動されるクランク部材14bを設け、クランク部材14bの半径上と上記移送方向移動台13との間に連結ロッド14Cを枢着架設してなるから、移送方向移動台13を円滑に往復運動させることができると共に構造を簡素化することができる。
又、この場合、上記移送方向移動台13に連動して移送方向移動台13の往復移動方向に対して反対方向に往復移動するカウンターウエイト部材16をもつカウンターウエイト機構15を配設してなるから、移送方向移動台13の往復移動の反転時に発生する反力により生ずる移送方向移動台13及び研磨テープTの振動現象を反対方向に往復移動するカウンターウエイト部材16により抑制することができ、それだけ、研磨テープTによる帯板材Wの研磨性能を向上することができ、又、この場合、上記幅方向移動台11上に上記移送方向移動台13の往復移動方向に対して反対方向に往復移動する移送方向補助台17を設け、移送方向補助台17に上記カウンターウエイト機構15のカウンターウエイト部材16を設けているから、カウンターウエイト機構15の構造を簡素化することができ、又、この場合、上記移送方向移動機構14として、上記幅方向移動台11に移送方向移動用モータ14aを設けると共に移送幅方向移動用モータ14aにより回転駆動されるクランク部材14b及び補助クランク部材15bを設け、クランク部材14bの半径上と上記移送方向移動台13との間に連結ロッド14cを枢着架設すると共に補助クランク部材15bの半径上と上記カウンターウエイト部材16との間に補助連結ロッド15cを枢着架設してなるから、移送方向移動台13及びカウンターウエイト部材16をそれぞれ円滑に往復運動させることができると共に構造を簡素化することができる。
尚、本発明は上記実施の形態例に限られるものではなく、上記帯板材搬送機構B、テープ移送機構C、テープ案内機構D、テープ圧接機構E、幅方向移動機構12、移送方向移動機構14等の構造は適宜変更して設計される。
又、例えば、上記実施の形態例においては、乾式研磨構造となっているが、帯板材Wと研磨テープTとの間に各種材質の遊離砥粒や化学剤を含む加工液体や潤滑剤を供給する所謂湿式研磨構造とすることもあり、帯板材Wの種類や研磨条件により選択して設計される。
以上、所期の目的を充分達成することができる。
A 装置機体
W 帯板材
B 帯板材搬送機構
T 研磨テープ
C テープ移送機構
G 移送方向
D テープ案内機構
E テープ圧接機構
H 幅方向
1 テープリール
11 幅方向移動台
12 幅方向移動機構
13 移送方向移動台
14 移送方向移動機構
14a 移送方向移動用モータ
14b クランク部材
14c 連結ロッド
15 カウンターウエイト機構
15b 補助クランク部材
15c 補助連結ロッド
16 カウンターウエイト部材
17 移送方向補助台

Claims (1)

  1. 装置機体と、帯板材を連続的又は間欠的に水平搬送させる帯板材搬送機構と、一対のテープリール間に研磨テープを連続的又は間欠的に移送自在に架設してなるテープ移送機構と、該テープリール間を移送する研磨テープを該帯板材の表面に対向して帯板材の移送方向に案内するテープ案内機構と、該テープ案内機構により案内されている該研磨テープを該帯板材の表面に圧接するテープ圧接機構とを備えてなり、上記装置機体上に上記研磨テープの移送方向と直交する幅方向に往復移動自在な幅方向移動台を配設し、該幅方向移動台を往復移動させる幅方向移動機構を設け、該幅方向移動台上に該研磨テープの移送方向と同方向に往復移動自在な移送方向移動台を配設し、該移送方向移動台を往復移動させる移送方向移動機構を設け、該幅方向移動台に上記テープ移送機構を設け、該移送方向移動台に上記テープ案内機構及び上記テープ圧接機構を設け、上記移送方向移動機構として、上記幅方向移動台に移送方向移動用モータを設けると共に該移送方向移動用モータにより回転駆動されるクランク部材を設け、該クランク部材の半径上と上記移送方向移動台との間に連結ロッドを枢着架設し、上記移送方向移動台に連動して該移送方向移動台の往復移動方向に対して反対方向に往復移動するカウンターウエイト部材をもつカウンターウエイト機構を配設し、上記幅方向移動台上に上記移送方向移動台の往復移動方向に対して反対方向に往復移動する移送方向補助台を設け、該移送方向補助台に上記カウンターウエイト機構のカウンターウエイト部材を設け、上記移送方向移動機構として、上記幅方向移動台に移送方向移動用モータを設けると共に移送幅方向移動用モータにより回転駆動されるクランク部材及び補助クランク部材を設け、該クランク部材の半径上と上記移送方向移動台との間に連結ロッドを枢着架設すると共に該補助クランク部材の半径上と上記カウンターウエイト部材との間に補助連結ロッドを枢着架設してなることを特徴とする帯板材研磨装置。
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Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56107876A (en) * 1980-01-24 1981-08-27 Hitachi Ltd Grinder
JPH07276214A (ja) * 1994-04-04 1995-10-24 Nippon Steel Corp 板状体のベルト研削装置
JP2001071251A (ja) * 1999-09-01 2001-03-21 Sanshin:Kk 薄板状部材研磨加工方法及びその装置
JP2002120146A (ja) * 2000-10-16 2002-04-23 Nagase Integrex Co Ltd 研削盤
JP4339732B2 (ja) * 2004-03-31 2009-10-07 株式会社タムラ製作所 精密研削装置および精密研削方法
JP4450393B2 (ja) * 2006-02-08 2010-04-14 創研工業株式会社 ベルト式研磨装置

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