JP7466029B2 - 板状部材研磨方法及びその装置 - Google Patents

Description

本発明は、例えば、銅板、プリント基板、フィルター、ステンレス板等の板状部材の表面を研磨する際に用いられる板状部材研磨方法及びその装置に関するものである。

従来、この種の板状部材研磨方法及びその装置として、板状部材を保持可能な保持台と、保持台に対向配置され、保持台を送り運動させる送り機構と、板状部材の研磨面を移送する研磨テープにより研磨可能な研磨機構をもつ研磨ヘッドと、研磨ヘッドを保持可能な保持部と、上記保持台を研磨運動させる研磨運動機構とを備えた構造のものが知られている。

特許第５３６０７２６号

しかしながら上記従来構造の場合、上記板状部材を保持可能な保持台を研磨運動機構により研磨運動させ、研磨運動機構による保持台の研磨運動と送り機構による保持台の送り運動との協動により板状部材を研磨する構造とされており、このため、保持台の構造が複雑化して保持台の研磨運動及び送り運動が不円滑となり易く、板状部材の研磨精度や研磨作業性に影響を与えることがあるという不都合を有している。

本発明はこのような不都合を解決することを目的とするもので、本発明のうちで、請求項１記載の発明は、板状部材は保持台に保持され、該保持台に対向配置された研磨機構をもつ研磨ヘッドは保持部に保持され、該研磨ヘッドを研磨運動機構により研磨運動させ、該研磨ヘッドの研磨運動及び研磨テープの移送の協働により該板状部材の研磨面を研磨するに際し、上記研磨ヘッドをＸ－Ｙ移動案内機構のＸ移動台及びＹ移動台により上記研磨テープの移送方向と同方向のＸ軸方向及びこれと交差するＹ軸方向に移動案内し、該研磨ヘッドを偏心輪機構により該研磨テープの移送方向と同方向のＸ軸方向及びこれと交差するＹ軸方向に往復移動可能とし、上記偏心輪機構として、上記保持部に回転主軸及び該回転主軸を回転させる回転用モータが配設され、該回転主軸に偏心輪部が設けられ、上記研磨ヘッドに偏心輪部が嵌合可能な嵌合穴部をもつホルダ部材を配設し、上記回転主軸に切欠部を形成し、切欠部に偏心軸を有する取付部を取り付け、該偏心軸に上記偏心輪部を設け、上記研磨ヘッドのＸ軸方向及びＹ軸方向の往復移動による研磨運動を行うことを特徴とする板状部材研磨方法にある。

又、請求項２記載の発明は、板状部材を保持可能な保持台と、該保持台に対向配置され、該板状部材の研磨面を移送する研磨テープにより研磨可能な研磨機構をもつ研磨ヘッドと、該研磨ヘッドを保持可能な保持部と、該研磨ヘッドを研磨運動させる研磨運動機構とを備えてなり、上記研磨運動機構は、上記研磨ヘッドを上記研磨テープの移送方向と同方向のＸ軸方向に移動案内可能なＸ移動台及びこれと交差するＹ軸方向に移動案内可能なＹ移動台からなるＸ－Ｙ移動案内機構と、該研磨ヘッドを該研磨テープの移送方向と同方向のＸ軸方向及びこれと交差するＹ軸方向に往復移動可能な偏心輪機構とからなり、上記偏心輪機構として、上記保持部に回転主軸及び該回転主軸を回転させる回転用モータが配設され、該回転主軸に偏心輪部が設けられ、上記研磨ヘッドに偏心輪部が嵌合可能な嵌合穴部をもつホルダ部材を配設し、上記回転主軸に切欠部を形成し、切欠部に偏心軸を有する取付部を取り付け、該偏心軸に上記偏心輪部を設け、上記研磨ヘッドのＸ軸方向及びＹ軸方向の往復移動による研磨運動を行うように構成したことを特徴とする板状部材研磨装置にある。

又、請求項３記載の発明は、上記保持台を送り運動させる保持台送り機構を設けてなることを特徴とするものであり、又、請求項４記載の発明は、上記研磨ヘッドを上下移動させる上下動機構を設けてなることを特徴とするものであり、又、請求項５記載の発明は、上記研磨機構は、上記研磨テープを連続的又は間接的に移送させるテープ移送機構、該研磨テープを上記板状部材の研磨面に対向案内するテープ案内機構、及び、該研磨テープを該板状部材の研磨面に圧接させるテープ圧接機構からなることを特徴とするものであり、又、請求項６記載の発明は、上記嵌合穴部は上記偏心輪部の外径の中心と略同心上の真円穴部に形成されていることを特徴とするものである。

又、請求項７記載の発明は、上記嵌合穴部は上記偏心輪部の外径の中心と略同心上を上記Ｘ方向に延びる楕円穴部に形成され、上記Ｘ－Ｙ移動案内機構の上記Ｘ移動台のＸ軸方向の移動案内を制限可能な制限機構が配設されていることを特徴とするものである。

又、請求項８記載の発明は、上記研磨ヘッドを送り運動させるヘッド送り機構を設けてなることを特徴とするものである。

本発明は上述の如く、請求項１又は請求項２記載の発明にあっては、板状部材は保持台に保持され、保持台に対向配置された研磨機構をもつ研磨ヘッドは保持部に保持され、研磨ヘッドを研磨運動機構により研磨運動させ、研磨ヘッドの研磨運動及び研磨テープの移送の協働により板状部材の研磨面を研磨することになり、この際、上記研磨ヘッドはＸ－Ｙ移動案内機構のＸ移動台及びＹ移動台により上記研磨テープの移送方向と同方向のＸ軸方向及びこれと交差するＹ軸方向に移動案内され、研磨ヘッドは偏心輪機構により研磨テープの移送方向と同方向のＸ軸方向及びこれと交差するＹ軸方向に往復移動することができ、したがって、上記Ｘ－Ｙ移動案内機構及び偏心輪機構により上記研磨ヘッドはＸ軸方向及びＹ軸方向に往復移動可能となり、研磨ヘッドの研磨運動及び研磨テープの移送の協働により板状部材の研磨面を研磨することができ、研磨運動機構の構造を簡素化することができ、研磨ヘッドの研磨運動を円滑に行うことができ、それだけ、板状部材の研磨精度及び研磨作業性を向上することができ、さらに、上記偏心輪機構として、上記保持部に回転主軸及び回転主軸を回転させる回転用モータが配設され、回転主軸に偏心輪部が設けられ、上記研磨ヘッドに偏心輪部が嵌合可能な嵌合穴部をもつホルダ部材を配設し、上記回転主軸に切欠部を形成し、切欠部に偏心軸を有する取付部を取り付け、偏心軸に上記偏心輪部を設けてなるから、偏心輪機構の構造を簡素化することができ、研磨ヘッドのＸ軸方向及びＹ軸方向の往復移動を円滑に行うことができ、板状部材の研磨精度及び研磨作業性を向上することができ、上記研磨ヘッドのＸ軸方向及びＹ軸方向の往復移動による研磨運動を行うことができる。

又、請求項３記載の発明にあっては、上記保持台を送り運動させる保持台送り機構を設けてなるから、上記研磨ヘッドの研磨運動、研磨テープの移送及び保持台の送り運動の協働により板状部材の研磨面を研磨することができ、板状部材の研磨精度及び研磨作業性を向上することができ、又、請求項４記載の発明にあっては、上記研磨ヘッドを上下移動させる上下動機構を設けてなるから、上記保持台に対する板状部材の供給及び取出を容易に行うことができ、板状部材の研磨作業性を向上することができ、又、請求項５記載の発明にあっては、上記研磨機構は、上記研磨テープを連続的又は間接的に移送させるテープ移送機構、研磨テープを上記板状部材の研磨面に対向案内するテープ案内機構、及び、研磨テープを板状部材の研磨面に圧接させるテープ圧接機構からなるので、上記研磨テープの移送及び板状部材の研磨面に対する研磨テープの圧接により板状部材の研磨面を研磨することができ、板状部材の研磨精度及び研磨作業性を向上することができ、又、請求項６記載の発明にあっては、上記嵌合穴部は上記偏心輪部の外径の中心と略同心上の真円穴部に形成されているから、上記Ｘ移動台及びＹ移動台は研磨テープの移送方向と同方向のＸ軸方向及びこれと交差するＹ軸方向に同時に往復移動して円軌跡の研磨運動を行うことになり、板状部材の研磨精度及び研磨作業性を向上することができる。

又、請求項７記載の発明にあっては、上記嵌合穴部は上記偏心輪部の外径の中心と略同心上を上記Ｘ方向に延びる楕円穴部に形成され、さらに、上記Ｘ－Ｙ移動案内機構の上記Ｘ移動台のＸ軸方向の移動案内を制限可能な制限機構が配設されているから、上記Ｙ移動台は研磨テープの移送方向と交差するＹ軸方向にのみ往復移動して研磨ヘッドは直線の研磨運動を行うことができ、板状部材の研磨の融通性を高めることができる。

又、請求項８記載の発明にあっては、上記研磨ヘッドを送り運動させるヘッド送り機構を設けているから、上記研磨ヘッドの研磨運動、研磨テープの移送及び研磨ヘッドの送り運動の協働により板状部材の研磨面を研磨することができ、板状部材の研磨精度及び研磨作業性を向上することができる。

本発明の実施の第一形態例の全体正断面図である。 本発明の実施の第一形態例の全体側断面図である。 本発明の実施の第一形態例の全体平断面図である。 本発明の実施の第一形態例の部分拡大正断面図である。 本発明の実施の第一形態例の部分拡大側断面図である。 本発明の実施の第一形態例の部分拡大側断面図である。 本発明の実施の第一形態例の部分拡大側断面図である。 本発明の実施の第一形態例の部分拡大平断面図である。 本発明の実施の第一形態例の部分分解斜視図である。 本発明の実施の第一形態例の部分平断面図である。 本発明の実施の第一形態例の加工状態の説明斜視図である。 本発明の実施の第二形態例の部分平断面図である。 本発明の実施の第二形態例の部分側面図である。 本発明の実施の第二形態例の部分平面図である。 本発明の実施の第二形態例の加工状態の説明斜視図である。

図１乃至図１５は本発明の実施の形態例を示し、図１乃至図１１は第一形態例、図１２乃至図１５は第二形態例である。

図１乃至図１１の第一形態例において、この場合、大別して、図１、図２、図３の如く、板状部材Ｗを保持可能な保持台Ａと、保持台Ａに対向配置され、板状部材Ｗの研磨面Ｗ_１を移送する研磨テープＴにより研磨可能な研磨機構Ｂ_１をもつ研磨ヘッドＢと、研磨ヘッドＢを保持可能な保持部Ｃと、研磨ヘッドＢを研磨運動Ｋさせる研磨運動機構Ｄとを備えてなり、上記研磨運動機構Ｄは、上記研磨ヘッドＢを上記研磨テープＴの移送方向Ｔ_１と同方向のＸ軸方向に移動案内可能なＸ移動台Ｅ_Ｘ及びこれと交差するＹ軸方向に移動案内可能なＹ移動台Ｅ_ＹからなるＸ－Ｙ移動案内機構Ｅと、研磨ヘッドＢを研磨テープＴの移送方向Ｔ_１と同方向のＸ軸方向及びこれと交差するＹ軸方向に往復移動可能な偏心輪機構Ｆとから構成されている。

又、この場合、図１、図２、図３の如く、上記保持台Ａを送り運動させる保持台送り機構Ｇ及び上記研磨ヘッドＢを上下移動させる上下動機構Ｈが設けられている。

この場合、上記保持台送り機構Ｇにあっては、図１、図２、図３の如く、装置機台１上に送り台２を摺動機構３の摺動部３ａ及びガイド３ｂにより往復移動案内自在に設け、送り台２をボールねじ機構４の送り用モータ４ａ、ボールねじ４ｂ及びナット部４ｃにより送り方向Ｐに往復移動可能に設け、送り台２上に上記保持台Ａを配設し、保持台Ａに板状部材Ｗを固定保持可能な図示省略の吸着機構や掴持機構を設けて構成され、又、上記上下動機構Ｈにあっては、上記装置機体１に保持機体５を立設し、保持機体５に上下移動台６を摺動機構７の摺動部７ａ及びガイド７ｂにより上下移動案内自在に設け、上下移動台６をボールねじ機構８の送り用モータ８ａ、ボールねじ８ｂ及びナット部８ｃにより上下移動可能に設け、上記保持部Ｃとしての上下移動台６の水平板状の支持部材６ａに上記Ｘ－Ｙ移動案内機構Ｅを介して上記研磨ヘッドＢを吊下状に配設して構成している。

なお、図示省略しているが、上記保持台送り機構Ｇに代えて、上記研磨ヘッドＢを送り運動させるヘッド送り機構を設けることもあり、例えば、上記装置機台１上に上記保持機体５を上記摺動機構３と同様な構造の摺動部及びガイドにより上記送り台２の送り方向Ｐと同方向に往復移動案内自在に設け、上記ボールねじ機構４と同様な送り用モータ、ボールねじ及びナット部により往復移動可能に設けることもある。

又、この場合、上記Ｘ－Ｙ移動案内機構Ｅは、図４、図５の如く、上記保持部Ｃとしての上下移動台６の水平板状の支持部材６ａの下部に逃げ穴部Ｅ_ＸＨをもつ四角枠板状のＸ移動台Ｅ_ＸをＸ案内機構Ｅ_ＸＧの摺動部Ｓ及びガイドＮにより上記研磨テープＴの移送方向Ｔ_１と同方向のＸ軸方向に吊下状で移動自在に設け、Ｘ移動台Ｅ_Ｘの下部にヘッド機体９としてのＹ移動台Ｅ_ＹをＹ案内機構Ｅ_ＹＧの摺動部Ｓ及びガイドＮにより上記研磨テープＴの移送方向Ｔ_１と交差するＹ軸方向に吊下状で移動自在に設け、Ｙ移動台Ｅ_Ｙに上記研磨ヘッドＢを吊下状に配設して構成している。

又、この場合、上記研磨ヘッドＢは、図４、図５の如く、上記Ｙ移動台Ｅ_Ｙとしてのヘッド機体９に上記研磨機構Ｂ_１が配設され、この場合、研磨機構Ｂ_１にあっては、図４、図５の如く、上記研磨テープＴを連続的又は間接的に移送させるテープ移送機構Ｂ_２、研磨テープＴを上記板状部材Ｗの研磨面Ｗ_１に対向案内するテープ案内機構Ｂ_３、及び、研磨テープＴを板状部材Ｗの研磨面Ｗ_１に圧接させるテープ圧接機構Ｂ_４から構成されている。

すなわち、この場合、上記テープ移送機構Ｂ_２、上記テープ案内機構Ｂ_３及び上記テープ圧接機構Ｂ_４は、図４、図５、図６の如く、ヘッド機体９に実巻リール１０ａ及び空リール１０ｂをリール軸１０ｃ・１０ｄにより回転自在に軸架し、ヘッド機体９に巻解ロール１１ａ及び巻取ロール１１ｂをロール軸１１ｃ・１１ｄにより回転自在に軸着し、巻解ロール１１ａ及び巻取ロール１１ｂに挟持ロール１１ｅ・１１ｆをバネ１１ｇ・１１ｈにより弾接し、かつ、上記巻取ロール１１ｂのロール軸１１ｄと空リール１０ｂのリール軸１０ｄとの間に伝動ベルト１２ａからなるベルト伝動機構１２を介装し、上記ヘッド機体９に巻解ロール１１ａを巻解回転させる巻解用モータ１３ａを設け、かつ、ヘッド機体９に巻取ロール１１ｂを巻取回転させる巻取用モータ１３ｂを設け、ベルト伝動機構１２を介して空リール１０ｂを巻取回転可能に設け、かつ、ヘッド機体９に取付部材１４を配設し、取付部材１４に一対のガイド軸１４ａ・１４ａを軸受１４ｂ・１４ｂにより上下動自在に設け、ガイド軸１４ａ・１４ａの下端部間に支持枠１４ｃを架設し、支持枠１４ｃに圧接ロール１５を回転自在に架設し、取付部材１４に支持枠１４ｃを介して圧接ロール１５を圧接動作させる圧接用シリンダ１５ａを取り付け、しかして、巻解用モータ１３ａ及び巻取用モータ１３ｂの回転及び停止制御により実巻リール１０ａから巻解いた未使用の研磨テープＴを、巻解ロール１１ａと挟持ロール１１ｅとの間、ガイドロール１６ａ、圧接ロール１５、ガイドロール１６ｂ、及び、巻取ロール１１ｂと挟持ロール１１ｆとの間を介して空リール１０ｂへと移送方向Ｔ_１に連続的又は間欠的に移送自在に掛架し、上記ガイドロール１６ａと上記ガイドロール１６ｂとの間を移送する研磨テープＴを圧接ロール１５により板状部材Ｗの研磨面Ｗ_１に圧接するように構成している。

この場合、上記偏心輪機構Ｆは、図１、図２、図５の如く、上記保持部Ｃとしての上下移動台６の支持部材６ａに軸受筒部１７を縦設し、軸受筒部１７に回転主軸１８を回転自在に縦設し、上下移動台６のブラケット６ｂに回転主軸１８を回転させる回転用モータ１９を取り付け、回転用モータ１９の主軸と回転主軸１８とを継手１９ａにより連結し、図７、図９の如く、回転主軸１８に切欠部１８ａを形成し、切欠部１８ａに偏心軸２０を有する取付部２０ｂをボルト２０ａ・２０ａにより取り付け、偏心軸２０に偏心輪部２１を設け、上記回転主軸１８と上記偏心輪部２１との間に偏心量調節機構２２が設けられ、この場合、図７、図８、図９の如く、偏心量調節機構２２にあっては、上記回転主軸１８の切欠部１８ａと偏心軸２０を有する取付部２０ｂとの間に回転主軸１８の回転軸線Ｏと偏心軸２０の中心軸線Ｏ_１との偏心度合いを偏心量εとする調節スペーサ２３が介装され、すなわち、回転主軸１８に偏心輪部２１が偏心量εをもって取り付けられ、上記研磨ヘッドＢのヘッド機体９に上記偏心輪部２１が嵌合可能な嵌合穴部２４ａをもつホルダ部材２４を配設し、嵌合穴部２４ａは上記偏心軸２０の中心軸線Ｏ_１としての上記偏心輪部２１の外径の中心Ｏ_１と略同心上の真円穴部２５に形成されている。

しかして、図５、図１０、図１１の如く、上記回転主軸１８の回転軸線Ｏと偏心軸２０の中心軸線Ｏ_１との偏心量εにより上記Ｘ移動台Ｅ_Ｘ及びＹ移動台Ｅ_Ｙは研磨テープＴの移送方向Ｔ_１と同方向のＸ軸方向及びこれと交差するＹ軸方向に同時に往復移動して偏心量εを半径とする円軌跡Ｒ（直径＝ε×２）の研磨運動Ｋを行うことになり、偏心量調節機構２２としての調節スペーサ２３の厚さにより偏心量εを可変調節し、研磨ヘッドＢの研磨運動Ｋを可変することができる。

この場合、上記研磨テープＴは、例えば、ポリエステルフィルム、メタル、クロス、発泡体フィルム、植毛布等の基材に酸化アルミニュウム、酸化クロム、シリコンカーバイド、ダイヤモンド等の所定粒度の固定砥粒をコーティング又は結合してなるものが用いられている。尚、このような基材に固定砥粒を固着した構造の研磨テープを用いて潤滑剤を用いない乾式研磨構造や基材に固定砥粒を固着した構造の研磨テープを用いて潤滑剤を供給しつつ研磨する湿式研磨構造、或いは、固定砥粒を固着していない織布、不織布、発泡体フィルム、植毛布を研磨テープとして用いて遊離砥粒を含む研磨剤を供給する湿式研磨構造を採用することがあり、よって、ここでいう研磨テープＴは、固定砥粒を固着した構造の研磨テープや固定砥粒を固着していない構造の研磨テープをも含むものである。

この実施の第一形態例は上記構成であるから、図１、図２、図３の如く、板状部材Ｗは保持台Ａに保持され、保持台Ａに対向配置された研磨機構Ｂ_１をもつ研磨ヘッドＢは保持部Ｃに保持され、研磨ヘッドＢを研磨運動機構Ｄにより研磨運動Ｋさせ、研磨ヘッドＢの研磨運動Ｋ及び研磨テープＴの移送の協働により板状部材Ｗの研磨面Ｗ_１を研磨することになり、この際、上記研磨ヘッドＢはＸ－Ｙ移動案内機構ＥのＸ移動台Ｅ_Ｘ及びＹ移動台Ｅ_Ｙにより上記研磨テープＴの移送方向Ｔ_１と同方向のＸ軸方向及びこれと交差するＹ軸方向に移動案内され、研磨ヘッドＢは偏心輪機構Ｆにより研磨テープＴの移送方向Ｔ_１と同方向のＸ軸方向及びこれと交差するＹ軸方向に往復移動することができ、したがって、上記Ｘ－Ｙ移動案内機構Ｅ及び偏心輪機構Ｆにより上記研磨ヘッドＢはＸ軸方向及びＹ軸方向に往復移動可能となり、図１１の如く、研磨ヘッドＢの研磨運動Ｋ及び研磨テープＴの移送の協働により板状部材Ｗの研磨面Ｗ_１を研磨することができ、研磨運動機構Ｄの構造を簡素化することができ、研磨ヘッドＢの研磨運動Ｋを円滑に行うことができ、それだけ、板状部材Ｗの研磨精度及び研磨作業性を向上することができる。

この場合、図１、図２、図３の如く、上記保持台Ａを送り運動させる保持台送り機構Ｇを設けてなるから、上記研磨ヘッドＢの研磨運動Ｋ、研磨テープＴの移送及び保持台Ａの送り運動の協働により板状部材Ｗの研磨面Ｗ_１を研磨することができ、板状部材Ｗの研磨精度及び研磨作業性を向上することができ、又、この場合、図１、図２、図３の如く、上記研磨ヘッドＢを上下移動させる上下動機構Ｈを設けてなるから、上記保持台Ａに対する板状部材Ｗの供給及び取出を容易に行うことができ、板状部材Ｗの研磨作業性を向上することができ、又、この場合、図４、図５の如く、上記研磨機構Ｂ_１は、上記研磨テープＴを連続的又は間接的に移送させるテープ移送機構Ｂ_２、研磨テープＴを上記板状部材Ｗの研磨面Ｗ_１に対向案内するテープ案内機構Ｂ_３、及び、研磨テープＴを板状部材Ｗの研磨面Ｗ_１に圧接させるテープ圧接機構Ｂ_４からなるので、上記研磨テープＴの移送及び板状部材Ｗの研磨面Ｗ_１に対する研磨テープＴの圧接により板状部材Ｗの研磨面Ｗ_１を研磨することができ、板状部材Ｗの研磨精度及び研磨作業性を向上することができ、又、この場合、図１、図２、図５、図７、図８の如く、上記偏心輪機構Ｆとして、上記保持部Ｃに回転主軸１８及び回転主軸１８を回転させる回転用モータ１９が配設され、回転主軸１８に偏心輪部２１が設けられ、上記研磨ヘッドＢに偏心輪部２１が嵌合可能な嵌合穴部２４ａをもつホルダ部材２４を配設してなるから、偏心輪機構Ｆの構造を簡素化することができ、研磨ヘッドＢのＸ軸方向及びＹ軸方向の往復移動を円滑に行うことができ、板状部材Ｗの研磨精度及び研磨作業性を向上することができ、又、この場合、図７、図９の如く、上記回転主軸１８と上記偏心輪部２１との間に偏心量調節機構Ｆを設けているから、回転主軸１８の回転軸線Ｏと偏心輪部２１の中心軸線Ｏ_１との偏心量εを可変調節することができ、研磨ヘッドＢのＸ軸方向及びＹ軸方向の往復移動による研磨運動Ｋを可変することができ、研磨運動Ｋの融通性を向上することができ、又、この場合、図１０、図１１の如く、上記嵌合穴部２４ａは上記偏心輪部２１の外径の中心Ｏ_１と略同心上の真円穴部２５に形成されているから、上記回転主軸１８の回転軸線Ｏと偏心軸２０の中心軸線Ｏ_１との偏心量εにより上記Ｘ移動台Ｅ_Ｘ及びＹ移動台Ｅ_Ｙは研磨テープＴの移送方向Ｔ_１と同方向のＸ軸方向及びこれと交差するＹ軸方向に同時に往復移動して偏心量εを半径とする円軌跡Ｒの研磨運動Ｋを行うことになり、板状部材Ｗの研磨精度及び研磨作業性を向上することができる。

図１２乃至図１５の第二形態例は別例構造を示し、上記第一形態例の偏心輪機構Ｆにあっては、上記ホルダ部材２４の嵌合穴部２４ａは上記偏心軸２０の中心軸線Ｏ_１としての上記偏心輪部２１の外径の中心Ｏ_１と略同心上の真円穴部２５に形成されているが、この場合、図１２の如く、上記嵌合穴部２４ａは上記偏心輪部２１の外径の中心Ｏ_１と略同心上を上記Ｘ方向に延びる楕円穴部２６に形成され、さらに、上記Ｘ－Ｙ移動案内機構Ｅの上記Ｘ移動台Ｅ_ＸのＸ軸方向の移動案内を制限可能な制限機構Ｉが配設され、この場合、制限機構Ｉとして、上記第一形態例の図２、図３に対応する図１３、図１４の如く、上下移動台６の支持部材６ａに突片６ｃを形成し、上記Ｘ移動台Ｅ_Ｘに突片Ｅ_ＸＴを形成し、支持部材６ａの突片６ｃとＸ移動台Ｅ_Ｘの突片Ｅ_ＸＴとの間に連結ボルトＩ_１を螺着連結し、支持部材６ａと上記Ｘ移動台Ｅ_Ｘとの連結により上位Ｘ移動台Ｅ_ＸのＸ軸方向の移動案内を不可に制限し、しかして、上記ホルダ部材２４の嵌合穴部２４ａは上記偏心輪部２１の外径の中心Ｏ_１と略同心上を上記Ｘ方向に延びる楕円穴部２６に形成されているから、図１２、図１３、図１５の如く、上記回転主軸１８の回転軸線Ｏと偏心軸２０の中心軸線Ｏ_１との偏心量εにより上記Ｙ移動台Ｅ_Ｙは研磨テープＴの移送方向Ｔ_１と交差するＹ軸方向にのみ偏心量εの２倍の移動量（ε×２）の直線往復運動を行い、研磨ヘッドＢは直線Ｌの研磨運動Ｋを行うことになり、この移動量は調節スペーサ２３の厚さにより偏心量εを可変して調節することができる。なお、上記制限機構Ｉの連結ボルトＩ_１を取り外して上記支持部材６ａと上記Ｘ移動台Ｅ_Ｘとの連結を解除することにより研磨ヘッドＢは上記第一形態例と同様な円軌跡Ｒの研磨運動Ｋを行うことになる。

この第二形態例は上記構成であるから、図１２、図１５の如く、上記嵌合穴部２４ａは上記偏心輪部２１の外径の中心Ｏ_１と略同心上を上記Ｘ方向に延びる楕円穴部２６に形成され、さらに、図１３、図１４の如く、上記Ｘ－Ｙ移動案内機構Ｅの上記Ｘ移動台Ｅ_ＸのＸ軸方向の移動案内を制限可能な制限機構Ｉが配設されているから、図１２、図１５の如く、上記回転主軸１８の回転軸線Ｏと偏心軸２０の中心軸線Ｏ_１との偏心量εにより上記Ｙ移動台Ｅ_Ｙは研磨テープＴの移送方向Ｔ_１と交差するＹ軸方向にのみ偏心量εの２倍の移動量の直線往復運動を行い、研磨ヘッドＢは直線Ｌの研磨運動Ｋを行うことができ、上記第一形態例と略同様な作用効果を得ることができ、板状部材Ｗの研磨の融通性を高めることができる。

尚、本発明は上記実施の形態例に限られるものではなく、上記板状部材Ｗ、研磨面Ｗ_１、研磨テープＴ、保持台Ａ、研磨ヘッドＢ、研磨機構Ｂ_１、テープ移送機構Ｂ_２、テープ案内機構Ｂ_３、テープ圧接機構Ｂ_４、保持部Ｃ、研磨運動機構Ｄ、Ｘ－Ｙ移動案内機構Ｅ、Ｘ移動台Ｅ_Ｘ、Ｙ移動台Ｅ_Ｙ、偏心輪機構Ｆ、保持台送り機構Ｇ、上下動機構Ｈ、制限機構Ｉ、偏心量調節機構２２等の構造は適宜変更して設計される。

例えば、図示を省略しているが、上記保持台送り機構Ｇに代えて、上記研磨ヘッドＢを送り運動させるヘッド送り機構を設けることにより上記研磨ヘッドＢの研磨運動Ｋ、研磨テープＴの移送及び研磨ヘッドＢの送り運動の協働により板状部材Ｗの研磨面Ｗ_１を研磨することができ、板状部材Ｗの研磨精度及び研磨作業性を向上することができる。

又、例えば、上記実施の形態例においては、乾式研磨構造となっているが、板状部材Ｗと研磨テープＴとの間に各種材質の遊離砥粒や化学剤を含む加工液体や潤滑剤を供給する所謂湿式研磨構造とすることもあり、板状部材Ｗの種類や研磨条件により選択して設計される。

以上、所期の目的を充分達成することができる。

Ｗ 板状部材
Ｗ_１ 研磨面
Ｔ 研磨テープ
Ｔ_１ 移送方向
Ａ 保持台
Ｂ 研磨ヘッド
Ｂ_１ 研磨機構
Ｂ_２ テープ移送機構
Ｂ_３ テープ案内機構
Ｂ_４ テープ圧接機構
Ｃ 保持部
Ｄ 研磨運動機構
Ｅ Ｘ－Ｙ移動案内機構
Ｅ_Ｘ Ｘ移動台
Ｅ_Ｙ Ｙ移動台
Ｆ 偏心輪機構
Ｇ 保持台送り機構
Ｈ 上下動機構
Ｏ 回転軸線
Ｉ 制限機構
Ｋ 研磨運動
１８ 回転主軸
１８ａ 切欠部
１９ 回転用モータ
２０ 偏心軸
２０ｂ 取付部
２１ 偏心輪部
２４ ホルダ部材
２４ａ 嵌合穴部
２５ 真円穴部
２６ 楕円穴部

Claims (8)

1. 板状部材は保持台に保持され、該保持台に対向配置された研磨機構をもつ研磨ヘッドは保持部に保持され、該研磨ヘッドを研磨運動機構により研磨運動させ、該研磨ヘッドの研磨運動及び研磨テープの移送の協働により該板状部材の研磨面を研磨するに際し、上記研磨ヘッドをＸ－Ｙ移動案内機構のＸ移動台及びＹ移動台により上記研磨テープの移送方向と同方向のＸ軸方向及びこれと交差するＹ軸方向に移動案内し、該研磨ヘッドを偏心輪機構により該研磨テープの移送方向と同方向のＸ軸方向及びこれと交差するＹ軸方向に往復移動可能とし、上記偏心輪機構として、上記保持部に回転主軸及び該回転主軸を回転させる回転用モータが配設され、該回転主軸に偏心輪部が設けられ、上記研磨ヘッドに偏心輪部が嵌合可能な嵌合穴部をもつホルダ部材を配設し、上記回転主軸に切欠部を形成し、切欠部に偏心軸を有する取付部を取り付け、該偏心軸に上記偏心輪部を設け、上記研磨ヘッドのＸ軸方向及びＹ軸方向の往復移動による研磨運動を行うことを特徴とする板状部材研磨方法。
2. 板状部材を保持可能な保持台と、該保持台に対向配置され、該板状部材の研磨面を移送する研磨テープにより研磨可能な研磨機構をもつ研磨ヘッドと、該研磨ヘッドを保持可能な保持部と、該研磨ヘッドを研磨運動させる研磨運動機構とを備えてなり、上記研磨運動機構は、上記研磨ヘッドを上記研磨テープの移送方向と同方向のＸ軸方向に移動案内可能なＸ移動台及びこれと交差するＹ軸方向に移動案内可能なＹ移動台からなるＸ－Ｙ移動案内機構と、該研磨ヘッドを該研磨テープの移送方向と同方向のＸ軸方向及びこれと交差するＹ軸方向に往復移動可能な偏心輪機構とからなり、上記偏心輪機構として、上記保持部に回転主軸及び該回転主軸を回転させる回転用モータが配設され、該回転主軸に偏心輪部が設けられ、上記研磨ヘッドに偏心輪部が嵌合可能な嵌合穴部をもつホルダ部材を配設し、上記回転主軸に切欠部を形成し、切欠部に偏心軸を有する取付部を取り付け、該偏心軸に上記偏心輪部を設け、上記研磨ヘッドのＸ軸方向及びＹ軸方向の往復移動による研磨運動を行うように構成したことを特徴とする板状部材研磨装置。
3. 上記保持台を送り運動させる保持台送り機構を設けてなることを特徴とする請求項２記載の板状部材研磨装置。
4. 上記研磨ヘッドを上下移動させる上下動機構を設けてなることを特徴とする請求項２記載の板状部材研磨装置。
5. 上記研磨機構は、上記研磨テープを連続的又は間接的に移送させるテープ移送機構、該研磨テープを上記板状部材の研磨面に対向案内するテープ案内機構、及び、該研磨テープを該板状部材の研磨面に圧接させるテープ圧接機構からなることを特徴とする請求項２記載の板状部材研磨装置。
6. 上記嵌合穴部は上記偏心輪部の外径の中心と略同心上の真円穴部に形成されていることを特徴とする請求項２記載の板状部材研磨装置。
7. 上記嵌合穴部は上記偏心輪部の外径の中心と略同心上を上記Ｘ方向に延びる楕円穴部に形成され、上記Ｘ－Ｙ移動案内機構の上記Ｘ移動台のＸ軸方向の移動案内を制限可能な制限機構が配設されていることを特徴とする請求項２記載の板状部材研磨装置。
8. 上記研磨ヘッドを送り運動させるヘッド送り機構を設けてなることを特徴とする請求項２記載の板状部材研磨装置。