本発明は、例えば、銅板、プリント基板、フィルター、ステンレス板等の板状部材の表面を研磨する際に用いられる板状部材研磨方法及びその装置に関するものである。
従来、この種の板状部材研磨方法及びその装置として、板状部材を保持可能な保持台と、保持台に対向配置され、保持台を送り運動させる送り機構と、板状部材の研磨面を移送する研磨テープにより研磨可能な研磨機構をもつ研磨ヘッドと、研磨ヘッドを保持可能な保持部と、上記保持台を研磨運動させる研磨運動機構とを備えた構造のものが知られている。
しかしながら上記従来構造の場合、上記板状部材を保持可能な保持台を研磨運動機構により研磨運動させ、研磨運動機構による保持台の研磨運動と送り機構による保持台の送り運動との協動により板状部材を研磨する構造とされており、このため、保持台の構造が複雑化して保持台の研磨運動及び送り運動が不円滑となり易く、板状部材の研磨精度や研磨作業性に影響を与えることがあるという不都合を有している。
本発明はこのような不都合を解決することを目的とするもので、本発明のうちで、請求項1記載の発明は、板状部材は保持台に保持され、該保持台に対向配置された研磨機構をもつ研磨ヘッドは保持部に保持され、該研磨ヘッドを研磨運動機構により研磨運動させ、該研磨ヘッドの研磨運動及び研磨テープの移送の協働により該板状部材の研磨面を研磨するに際し、上記研磨ヘッドをX-Y移動案内機構のX移動台及びY移動台により上記研磨テープの移送方向と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に移動案内し、該研磨ヘッドを偏心輪機構により該研磨テープの移送方向と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に往復移動可能としたことを特徴とする板状部材研磨方法にある。
又、請求項2記載の発明は、板状部材を保持可能な保持台と、該保持台に対向配置され、該板状部材の研磨面を移送する研磨テープにより研磨可能な研磨機構をもつ研磨ヘッドと、該研磨ヘッドを保持可能な保持部と、該研磨ヘッドを研磨運動させる研磨運動機構とを備えてなり、上記研磨運動機構は、上記研磨ヘッドを上記研磨テープの移送方向と同方向のX軸方向に移動案内可能なX移動台及びこれと交差するY軸方向に移動案内可能なY移動台からなるX-Y移動案内機構と、該研磨ヘッドを該研磨テープの移送方向と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に往復移動可能な偏心輪機構とからなることを特徴とする板状部材研磨装置にある。
又、請求項3記載の発明は、上記保持台を送り運動させる保持台送り機構を設けてなることを特徴とするものであり、又、請求項4記載の発明は、上記研磨ヘッドを上下移動させる上下動機構を設けてなることを特徴とするものであり、又、請求項5記載の発明は、上記研磨機構は、上記研磨テープを連続的又は間接的に移送させるテープ移送機構、該研磨テープを上記板状部材の研磨面に対向案内するテープ案内機構、及び、該研磨テープを該板状部材の研磨面に圧接させるテープ圧接機構からなることを特徴とするものであり、又、請求項6記載の発明は、上記偏心輪機構として、上記保持部に回転主軸及び該回転主軸を回転させる回転用モータが配設され、該回転主軸に偏心輪部が設けられ、上記研磨ヘッドに偏心輪部が嵌合可能な嵌合穴部をもつホルダ部材を配設してなることを特徴とするものであり、又、請求項7記載の発明は、上記回転主軸と上記偏心輪部との間に偏心量調節機構を設けてなることを特徴とするものである。又、請求項8記載の発明は、上記嵌合穴部は上記偏心輪部の外径の中心と略同心上の真円穴部に形成されていることを特徴とするものである。
又、請求項9記載の発明は、上記嵌合穴部は上記偏心輪部の外径の中心と略同心上を上記X方向に延びる楕円穴部に形成され、上記X-Y移動案内機構の上記X移動台のX軸方向の移動案内を制限可能な制限機構が配設されていることを特徴とするものである。
又、請求項10記載の発明は、上記研磨ヘッドを送り運動させるヘッド送り機構を設けてなることを特徴とするものである。
本発明は上述の如く、請求項1又は請求項2記載の発明にあっては、板状部材は保持台に保持され、保持台に対向配置された研磨機構をもつ研磨ヘッドは保持部に保持され、研磨ヘッドを研磨運動機構により研磨運動させ、研磨ヘッドの研磨運動及び研磨テープの移送の協働により板状部材の研磨面を研磨することになり、この際、上記研磨ヘッドはX-Y移動案内機構のX移動台及びY移動台により上記研磨テープの移送方向と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に移動案内され、研磨ヘッドは偏心輪機構により研磨テープの移送方向と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に往復移動することができ、したがって、上記X-Y移動案内機構及び偏心輪機構により上記研磨ヘッドはX軸方向及びY軸方向に往復移動可能となり、研磨ヘッドの研磨運動及び研磨テープの移送の協働により板状部材の研磨面を研磨することができ、研磨運動機構の構造を簡素化することができ、研磨ヘッドの研磨運動を円滑に行うことができ、それだけ、板状部材の研磨精度及び研磨作業性を向上することができる。
又、請求項3記載の発明にあっては、上記保持台を送り運動させる保持台送り機構を設けてなるから、上記研磨ヘッドの研磨運動、研磨テープの移送及び保持台の送り運動の協働により板状部材の研磨面を研磨することができ、板状部材の研磨精度及び研磨作業性を向上することができ、又、請求項4記載の発明にあっては、上記研磨ヘッドを上下移動させる上下動機構を設けてなるから、上記保持台に対する板状部材の供給及び取出を容易に行うことができ、板状部材の研磨作業性を向上することができ、又、請求項5記載の発明にあっては、上記研磨機構は、上記研磨テープを連続的又は間接的に移送させるテープ移送機構、研磨テープを上記板状部材の研磨面に対向案内するテープ案内機構、及び、研磨テープを板状部材の研磨面に圧接させるテープ圧接機構からなるので、上記研磨テープの移送及び板状部材の研磨面に対する研磨テープの圧接により板状部材の研磨面を研磨することができ、板状部材の研磨精度及び研磨作業性を向上することができ、又、請求項6記載の発明にあっては、上記偏心輪機構として、上記保持部に回転主軸及び回転主軸を回転させる回転用モータが配設され、回転主軸に偏心輪部が設けられ、上記研磨ヘッドに偏心輪部が嵌合可能な嵌合穴部をもつホルダ部材を配設してなるから、偏心輪機構の構造を簡素化することができ、研磨ヘッドのX軸方向及びY軸方向の往復移動を円滑に行うことができ、板状部材の研磨精度及び研磨作業性を向上することができ、又、請求項7記載の発明にあっては、上記回転主軸と上記偏心輪部との間に偏心量調節機構を設けているから、研磨ヘッドのX軸方向及びY軸方向の往復移動による研磨運動を可変することができ、研磨運動の融通性を向上することができ、又、請求項8記載の発明にあっては、上記嵌合穴部は上記偏心輪部の外径の中心と略同心上の真円穴部に形成されているから、上記X移動台及びY移動台は研磨テープの移送方向と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に同時に往復移動して円軌跡の研磨運動を行うことになり、板状部材の研磨精度及び研磨作業性を向上することができる。
又、請求項9記載の発明にあっては、上記嵌合穴部は上記偏心輪部の外径の中心と略同心上を上記X方向に延びる楕円穴部に形成され、さらに、上記X-Y移動案内機構の上記X移動台のX軸方向の移動案内を制限可能な制限機構が配設されているから、上記Y移動台は研磨テープの移送方向と交差するY軸方向にのみ往復移動して研磨ヘッドは直線の研磨運動を行うことができ、板状部材の研磨の融通性を高めることができる。
又、請求項10記載の発明にあっては、上記研磨ヘッドを送り運動させるヘッド送り機構を設けているから、上記研磨ヘッドの研磨運動、研磨テープの移送及び研磨ヘッドの送り運動の協働により板状部材の研磨面を研磨することができ、板状部材の研磨精度及び研磨作業性を向上することができる。
本発明の実施の第一形態例の全体正断面図である。
本発明の実施の第一形態例の全体側断面図である。
本発明の実施の第一形態例の全体平断面図である。
本発明の実施の第一形態例の部分拡大正断面図である。
本発明の実施の第一形態例の部分拡大側断面図である。
本発明の実施の第一形態例の部分拡大側断面図である。
本発明の実施の第一形態例の部分拡大側断面図である。
本発明の実施の第一形態例の部分拡大平断面図である。
本発明の実施の第一形態例の部分分解斜視図である。
本発明の実施の第一形態例の部分平断面図である。
本発明の実施の第一形態例の加工状態の説明斜視図である。
本発明の実施の第二形態例の部分平断面図である。
本発明の実施の第二形態例の部分側面図である。
本発明の実施の第二形態例の部分平面図である。
本発明の実施の第二形態例の加工状態の説明斜視図である。
図1乃至図15は本発明の実施の形態例を示し、図1乃至図11は第一形態例、図12乃至図15は第二形態例である。
図1乃至図11の第一形態例において、この場合、大別して、図1、図2、図3の如く、板状部材Wを保持可能な保持台Aと、保持台Aに対向配置され、板状部材Wの研磨面W1を移送する研磨テープTにより研磨可能な研磨機構B1をもつ研磨ヘッドBと、研磨ヘッドBを保持可能な保持部Cと、研磨ヘッドBを研磨運動Kさせる研磨運動機構Dとを備えてなり、上記研磨運動機構Dは、上記研磨ヘッドBを上記研磨テープTの移送方向T1と同方向のX軸方向に移動案内可能なX移動台EX及びこれと交差するY軸方向に移動案内可能なY移動台EYからなるX-Y移動案内機構Eと、研磨ヘッドBを研磨テープTの移送方向T1と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に往復移動可能な偏心輪機構Fとから構成されている。
又、この場合、図1、図2、図3の如く、上記保持台Aを送り運動させる保持台送り機構G及び上記研磨ヘッドBを上下移動させる上下動機構Hが設けられている。
この場合、上記保持台送り機構Gにあっては、図1、図2、図3の如く、装置機台1上に送り台2を摺動機構3の摺動部3a及びガイド3bにより往復移動案内自在に設け、送り台2をボールねじ機構4の送り用モータ4a、ボールねじ4b及びナット部4cにより送り方向Pに往復移動可能に設け、送り台2上に上記保持台Aを配設し、保持台Aに板状部材Wを固定保持可能な図示省略の吸着機構や掴持機構を設けて構成され、又、上記上下動機構Hにあっては、上記装置機体1に保持機体5を立設し、保持機体5に上下移動台6を摺動機構7の摺動部7a及びガイド7bにより上下移動案内自在に設け、上下移動台6をボールねじ機構8の送り用モータ8a、ボールねじ8b及びナット部8cにより上下移動可能に設け、上記保持部Cとしての上下移動台6の水平板状の支持部材6aに上記X-Y移動案内機構Eを介して上記研磨ヘッドBを吊下状に配設して構成している。
なお、図示省略しているが、上記保持台送り機構Gに代えて、上記研磨ヘッドBを送り運動させるヘッド送り機構を設けることもあり、例えば、上記装置機台1上に上記保持機体5を上記摺動機構3と同様な構造の摺動部及びガイドにより上記送り台2の送り方向Pと同方向に往復移動案内自在に設け、上記ボールねじ機構4と同様な送り用モータ、ボールねじ及びナット部により往復移動可能に設けることもある。
又、この場合、上記X-Y移動案内機構Eは、図4、図5の如く、上記保持部Cとしての上下移動台6の水平板状の支持部材6aの下部に逃げ穴部EXHをもつ四角枠板状のX移動台EXをX案内機構EXGの摺動部S及びガイドNにより上記研磨テープTの移送方向T1と同方向のX軸方向に吊下状で移動自在に設け、X移動台EXの下部にヘッド機体9としてのY移動台EYをY案内機構EYGの摺動部S及びガイドNにより上記研磨テープTの移送方向T1と交差するY軸方向に吊下状で移動自在に設け、Y移動台EYに上記研磨ヘッドBを吊下状に配設して構成している。
又、この場合、上記研磨ヘッドBは、図4、図5の如く、上記Y移動台EYとしてのヘッド機体9に上記研磨機構B1が配設され、この場合、研磨機構B1にあっては、図4、図5の如く、上記研磨テープTを連続的又は間接的に移送させるテープ移送機構B2、研磨テープTを上記板状部材Wの研磨面W1に対向案内するテープ案内機構B3、及び、研磨テープTを板状部材Wの研磨面W1に圧接させるテープ圧接機構B4から構成されている。
すなわち、この場合、上記テープ移送機構B2、上記テープ案内機構B3及び上記テープ圧接機構B4は、図4、図5、図6の如く、ヘッド機体9に実巻リール10a及び空リール10bをリール軸10c・10dにより回転自在に軸架し、ヘッド機体9に巻解ロール11a及び巻取ロール11bをロール軸11c・11dにより回転自在に軸着し、巻解ロール11a及び巻取ロール11bに挟持ロール11e・11fをバネ11g・11hにより弾接し、かつ、上記巻取ロール11bのロール軸11dと空リール10bのリール軸10dとの間に伝動ベルト12aからなるベルト伝動機構12を介装し、上記ヘッド機体9に巻解ロール11aを巻解回転させる巻解用モータ13aを設け、かつ、ヘッド機体9に巻取ロール11bを巻取回転させる巻取用モータ13bを設け、ベルト伝動機構12を介して空リール10bを巻取回転可能に設け、かつ、ヘッド機体9に取付部材14を配設し、取付部材14に一対のガイド軸14a・14aを軸受14b・14bにより上下動自在に設け、ガイド軸14a・14aの下端部間に支持枠14cを架設し、支持枠14cに圧接ロール15を回転自在に架設し、取付部材14に支持枠14cを介して圧接ロール15を圧接動作させる圧接用シリンダ15aを取り付け、しかして、巻解用モータ13a及び巻取用モータ13bの回転及び停止制御により実巻リール10aから巻解いた未使用の研磨テープTを、巻解ロール11aと挟持ロール11eとの間、ガイドロール16a、圧接ロール15、ガイドロール16b、及び、巻取ロール11bと挟持ロール11fとの間を介して空リール10bへと移送方向T1に連続的又は間欠的に移送自在に掛架し、上記ガイドロール16aと上記ガイドロール16bとの間を移送する研磨テープTを圧接ロール15により板状部材Wの研磨面W1に圧接するように構成している。
この場合、上記偏心輪機構Fは、図1、図2、図5の如く、上記保持部Cとしての上下移動台6の支持部材6aに軸受筒部17を縦設し、軸受筒部17に回転主軸18を回転自在に縦設し、上下移動台6のブラケット6bに回転主軸18を回転させる回転用モータ19を取り付け、回転用モータ19の主軸と回転主軸18とを継手19aにより連結し、図7、図9の如く、回転主軸18に切欠部18aを形成し、切欠部18aに偏心軸20を有する取付部20bをボルト20a・20aにより取り付け、偏心軸20に偏心輪部21を設け、上記回転主軸18と上記偏心輪部21との間に偏心量調節機構22が設けられ、この場合、図7、図8、図9の如く、偏心量調節機構22にあっては、上記回転主軸18の切欠部18aと偏心軸20を有する取付部20bとの間に回転主軸18の回転軸線Oと偏心軸20の中心軸線O1との偏心度合いを偏心量εとする調節スペーサ23が介装され、すなわち、回転主軸18に偏心輪部21が偏心量εをもって取り付けられ、上記研磨ヘッドBのヘッド機体9に上記偏心輪部21が嵌合可能な嵌合穴部24aをもつホルダ部材24を配設し、嵌合穴部24aは上記偏心軸20の中心軸線O1としての上記偏心輪部21の外径の中心O1と略同心上の真円穴部25に形成されている。
しかして、図5、図10、図11の如く、上記回転主軸18の回転軸線Oと偏心軸20の中心軸線O1との偏心量εにより上記X移動台EX及びY移動台EYは研磨テープTの移送方向T1と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に同時に往復移動して偏心量εを半径とする円軌跡R(直径=ε×2)の研磨運動Kを行うことになり、偏心量調節機構22としての調節スペーサ23の厚さにより偏心量εを可変調節し、研磨ヘッドBの研磨運動Kを可変することができる。
この場合、上記研磨テープTは、例えば、ポリエステルフィルム、メタル、クロス、発泡体フィルム、植毛布等の基材に酸化アルミニュウム、酸化クロム、シリコンカーバイド、ダイヤモンド等の所定粒度の固定砥粒をコーティング又は結合してなるものが用いられている。尚、このような基材に固定砥粒を固着した構造の研磨テープを用いて潤滑剤を用いない乾式研磨構造や基材に固定砥粒を固着した構造の研磨テープを用いて潤滑剤を供給しつつ研磨する湿式研磨構造、或いは、固定砥粒を固着していない織布、不織布、発泡体フィルム、植毛布を研磨テープとして用いて遊離砥粒を含む研磨剤を供給する湿式研磨構造を採用することがあり、よって、ここでいう研磨テープTは、固定砥粒を固着した構造の研磨テープや固定砥粒を固着していない構造の研磨テープをも含むものである。
この実施の第一形態例は上記構成であるから、図1、図2、図3の如く、板状部材Wは保持台Aに保持され、保持台Aに対向配置された研磨機構B1をもつ研磨ヘッドBは保持部Cに保持され、研磨ヘッドBを研磨運動機構Dにより研磨運動Kさせ、研磨ヘッドBの研磨運動K及び研磨テープTの移送の協働により板状部材Wの研磨面W1を研磨することになり、この際、上記研磨ヘッドBはX-Y移動案内機構EのX移動台EX及びY移動台EYにより上記研磨テープTの移送方向T1と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に移動案内され、研磨ヘッドBは偏心輪機構Fにより研磨テープTの移送方向T1と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に往復移動することができ、したがって、上記X-Y移動案内機構E及び偏心輪機構Fにより上記研磨ヘッドBはX軸方向及びY軸方向に往復移動可能となり、図11の如く、研磨ヘッドBの研磨運動K及び研磨テープTの移送の協働により板状部材Wの研磨面W1を研磨することができ、研磨運動機構Dの構造を簡素化することができ、研磨ヘッドBの研磨運動Kを円滑に行うことができ、それだけ、板状部材Wの研磨精度及び研磨作業性を向上することができる。
この場合、図1、図2、図3の如く、上記保持台Aを送り運動させる保持台送り機構Gを設けてなるから、上記研磨ヘッドBの研磨運動K、研磨テープTの移送及び保持台Aの送り運動の協働により板状部材Wの研磨面W1を研磨することができ、板状部材Wの研磨精度及び研磨作業性を向上することができ、又、この場合、図1、図2、図3の如く、上記研磨ヘッドBを上下移動させる上下動機構Hを設けてなるから、上記保持台Aに対する板状部材Wの供給及び取出を容易に行うことができ、板状部材Wの研磨作業性を向上することができ、又、この場合、図4、図5の如く、上記研磨機構B1は、上記研磨テープTを連続的又は間接的に移送させるテープ移送機構B2、研磨テープTを上記板状部材Wの研磨面W1に対向案内するテープ案内機構B3、及び、研磨テープTを板状部材Wの研磨面W1に圧接させるテープ圧接機構B4からなるので、上記研磨テープTの移送及び板状部材Wの研磨面W1に対する研磨テープTの圧接により板状部材Wの研磨面W1を研磨することができ、板状部材Wの研磨精度及び研磨作業性を向上することができ、又、この場合、図1、図2、図5、図7、図8の如く、上記偏心輪機構Fとして、上記保持部Cに回転主軸18及び回転主軸18を回転させる回転用モータ19が配設され、回転主軸18に偏心輪部21が設けられ、上記研磨ヘッドBに偏心輪部21が嵌合可能な嵌合穴部24aをもつホルダ部材24を配設してなるから、偏心輪機構Fの構造を簡素化することができ、研磨ヘッドBのX軸方向及びY軸方向の往復移動を円滑に行うことができ、板状部材Wの研磨精度及び研磨作業性を向上することができ、又、この場合、図7、図9の如く、上記回転主軸18と上記偏心輪部21との間に偏心量調節機構Fを設けているから、回転主軸18の回転軸線Oと偏心輪部21の中心軸線O1との偏心量εを可変調節することができ、研磨ヘッドBのX軸方向及びY軸方向の往復移動による研磨運動Kを可変することができ、研磨運動Kの融通性を向上することができ、又、この場合、図10、図11の如く、上記嵌合穴部24aは上記偏心輪部21の外径の中心O1と略同心上の真円穴部25に形成されているから、上記回転主軸18の回転軸線Oと偏心軸20の中心軸線O1との偏心量εにより上記X移動台EX及びY移動台EYは研磨テープTの移送方向T1と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に同時に往復移動して偏心量εを半径とする円軌跡Rの研磨運動Kを行うことになり、板状部材Wの研磨精度及び研磨作業性を向上することができる。
図12乃至図15の第二形態例は別例構造を示し、上記第一形態例の偏心輪機構Fにあっては、上記ホルダ部材24の嵌合穴部24aは上記偏心軸20の中心軸線O1としての上記偏心輪部21の外径の中心O1と略同心上の真円穴部25に形成されているが、この場合、図12の如く、上記嵌合穴部24aは上記偏心輪部21の外径の中心O1と略同心上を上記X方向に延びる楕円穴部26に形成され、さらに、上記X-Y移動案内機構Eの上記X移動台EXのX軸方向の移動案内を制限可能な制限機構Iが配設され、この場合、制限機構Iとして、上記第一形態例の図2、図3に対応する図13、図14の如く、上下移動台6の支持部材6aに突片6cを形成し、上記X移動台EXに突片EXTを形成し、支持部材6aの突片6cとX移動台EXの突片EXTとの間に連結ボルトI1を螺着連結し、支持部材6aと上記X移動台EXとの連結により上位X移動台EXのX軸方向の移動案内を不可に制限し、しかして、上記ホルダ部材24の嵌合穴部24aは上記偏心輪部21の外径の中心O1と略同心上を上記X方向に延びる楕円穴部26に形成されているから、図12、図13、図15の如く、上記回転主軸18の回転軸線Oと偏心軸20の中心軸線O1との偏心量εにより上記Y移動台EYは研磨テープTの移送方向T1と交差するY軸方向にのみ偏心量εの2倍の移動量(ε×2)の直線往復運動を行い、研磨ヘッドBは直線Lの研磨運動Kを行うことになり、この移動量は調節スペーサ23の厚さにより偏心量εを可変して調節することができる。なお、上記制限機構Iの連結ボルトI1を取り外して上記支持部材6aと上記X移動台EXとの連結を解除することにより研磨ヘッドBは上記第一形態例と同様な円軌跡Rの研磨運動Kを行うことになる。
この第二形態例は上記構成であるから、図12、図15の如く、上記嵌合穴部24aは上記偏心輪部21の外径の中心O1と略同心上を上記X方向に延びる楕円穴部26に形成され、さらに、図13、図14の如く、上記X-Y移動案内機構Eの上記X移動台EXのX軸方向の移動案内を制限可能な制限機構Iが配設されているから、図12、図15の如く、上記回転主軸18の回転軸線Oと偏心軸20の中心軸線O1との偏心量εにより上記Y移動台EYは研磨テープTの移送方向T1と交差するY軸方向にのみ偏心量εの2倍の移動量の直線往復運動を行い、研磨ヘッドBは直線Lの研磨運動Kを行うことができ、上記第一形態例と略同様な作用効果を得ることができ、板状部材Wの研磨の融通性を高めることができる。
尚、本発明は上記実施の形態例に限られるものではなく、上記板状部材W、研磨面W1、研磨テープT、保持台A、研磨ヘッドB、研磨機構B1、テープ移送機構B2、テープ案内機構B3、テープ圧接機構B4、保持部C、研磨運動機構D、X-Y移動案内機構E、X移動台EX、Y移動台EY、偏心輪機構F、保持台送り機構G、上下動機構H、制限機構I、偏心量調節機構22等の構造は適宜変更して設計される。
例えば、図示を省略しているが、上記保持台送り機構Gに代えて、上記研磨ヘッドBを送り運動させるヘッド送り機構を設けることにより上記研磨ヘッドBの研磨運動K、研磨テープTの移送及び研磨ヘッドBの送り運動の協働により板状部材Wの研磨面W1を研磨することができ、板状部材Wの研磨精度及び研磨作業性を向上することができる。
又、例えば、上記実施の形態例においては、乾式研磨構造となっているが、板状部材Wと研磨テープTとの間に各種材質の遊離砥粒や化学剤を含む加工液体や潤滑剤を供給する所謂湿式研磨構造とすることもあり、板状部材Wの種類や研磨条件により選択して設計される。
以上、所期の目的を充分達成することができる。
W 板状部材
W1 研磨面
T 研磨テープ
T1 移送方向
A 保持台
B 研磨ヘッド
B1 研磨機構
B2 テープ移送機構
B3 テープ案内機構
B4 テープ圧接機構
C 保持部
D 研磨運動機構
E X-Y移動案内機構
EX X移動台
EY Y移動台
F 偏心輪機構
G 保持台送り機構
H 上下動機構
O1 中心軸線
I 制限機構
K 研磨運動
18 回転主軸
19 回転用モータ
21 偏心輪部
22 偏心量調節機構
24 ホルダ部材
24a 嵌合穴部
25 真円穴部
26 楕円穴部
本発明は、例えば、銅板、プリント基板、フィルター、ステンレス板等の板状部材の表面を研磨する際に用いられる板状部材研磨方法及びその装置に関するものである。
従来、この種の板状部材研磨方法及びその装置として、板状部材を保持可能な保持台と、保持台に対向配置され、保持台を送り運動させる送り機構と、板状部材の研磨面を移送する研磨テープにより研磨可能な研磨機構をもつ研磨ヘッドと、研磨ヘッドを保持可能な保持部と、上記保持台を研磨運動させる研磨運動機構とを備えた構造のものが知られている。
しかしながら上記従来構造の場合、上記板状部材を保持可能な保持台を研磨運動機構により研磨運動させ、研磨運動機構による保持台の研磨運動と送り機構による保持台の送り運動との協動により板状部材を研磨する構造とされており、このため、保持台の構造が複雑化して保持台の研磨運動及び送り運動が不円滑となり易く、板状部材の研磨精度や研磨作業性に影響を与えることがあるという不都合を有している。
本発明はこのような不都合を解決することを目的とするもので、本発明のうちで、請求項1記載の発明は、板状部材は保持台に保持され、該保持台に対向配置された研磨機構をもつ研磨ヘッドは保持部に保持され、該研磨ヘッドを研磨運動機構により研磨運動させ、該研磨ヘッドの研磨運動及び研磨テープの移送の協働により該板状部材の研磨面を研磨するに際し、上記研磨ヘッドをX-Y移動案内機構のX移動台及びY移動台により上記研磨テープの移送方向と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に移動案内し、該研磨ヘッドを偏心輪機構により該研磨テープの移送方向と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に往復移動可能とし、上記偏心輪機構として、上記保持部に回転主軸及び該回転主軸を回転させる回転用モータが配設され、該回転主軸に偏心輪部が設けられ、上記研磨ヘッドに偏心輪部が嵌合可能な嵌合穴部をもつホルダ部材を配設し、上記回転主軸に切欠部を形成し、切欠部に偏心軸を有する取付部を取り付け、該偏心軸に上記偏心輪部を設け、さらに、上記回転主軸と上記偏心輪部との間に偏心量調節機構が設けられ、該偏心量調節機構として、上記回転主軸の切欠部と該偏心軸を有する取付部との間に上記回転主軸の回転軸線と該偏心軸の中心軸線との偏心度合いを偏心量とする調節スペーサが介装され、該調節スペーサの厚さにより偏心量を可変調節して研磨ヘッドのX軸方向及びY軸方向の往復移動による研磨運動を可変することを特徴とする板状部材研磨方法にある。
又、請求項2記載の発明は、板状部材を保持可能な保持台と、該保持台に対向配置され、該板状部材の研磨面を移送する研磨テープにより研磨可能な研磨機構をもつ研磨ヘッドと、該研磨ヘッドを保持可能な保持部と、該研磨ヘッドを研磨運動させる研磨運動機構とを備えてなり、上記研磨運動機構は、上記研磨ヘッドを上記研磨テープの移送方向と同方向のX軸方向に移動案内可能なX移動台及びこれと交差するY軸方向に移動案内可能なY移動台からなるX-Y移動案内機構と、該研磨ヘッドを該研磨テープの移送方向と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に往復移動可能な偏心輪機構とからなり、上記偏心輪機構として、上記保持部に回転主軸及び該回転主軸を回転させる回転用モータが配設され、該回転主軸に偏心輪部が設けられ、上記研磨ヘッドに偏心輪部が嵌合可能な嵌合穴部をもつホルダ部材を配設し、上記回転主軸に切欠部を形成し、切欠部に偏心軸を有する取付部を取り付け、該偏心軸に上記偏心輪部を設け、さらに、上記回転主軸と上記偏心輪部との間に偏心量調節機構が設けられ、該偏心量調節機構として、上記回転主軸の切欠部と該偏心軸を有する取付部との間に上記回転主軸の回転軸線と該偏心軸の中心軸線との偏心度合いを偏心量とする調節スペーサが介装され、該調節スペーサの厚さにより偏心量を可変調節して研磨ヘッドのX軸方向及びY軸方向の往復移動による研磨運動を可変するように構成したことを特徴とする板状部材研磨装置にある。
又、請求項3記載の発明は、上記保持台を送り運動させる保持台送り機構を設けてなることを特徴とするものであり、又、請求項4記載の発明は、上記研磨ヘッドを上下移動させる上下動機構を設けてなることを特徴とするものであり、又、請求項5記載の発明は、上記研磨機構は、上記研磨テープを連続的又は間接的に移送させるテープ移送機構、該研磨テープを上記板状部材の研磨面に対向案内するテープ案内機構、及び、該研磨テープを該板状部材の研磨面に圧接させるテープ圧接機構からなることを特徴とするものであり、又、請求項6記載の発明は、上記嵌合穴部は上記偏心輪部の外径の中心と略同心上の真円穴部に形成されていることを特徴とするものである。
又、請求項7記載の発明は、上記嵌合穴部は上記偏心輪部の外径の中心と略同心上を上記X方向に延びる楕円穴部に形成され、上記X-Y移動案内機構の上記X移動台のX軸方向の移動案内を制限可能な制限機構が配設されていることを特徴とするものである。
又、請求項8記載の発明は、上記研磨ヘッドを送り運動させるヘッド送り機構を設けてなることを特徴とするものである。
本発明は上述の如く、請求項1又は請求項2記載の発明にあっては、板状部材は保持台に保持され、保持台に対向配置された研磨機構をもつ研磨ヘッドは保持部に保持され、研磨ヘッドを研磨運動機構により研磨運動させ、研磨ヘッドの研磨運動及び研磨テープの移送の協働により板状部材の研磨面を研磨することになり、この際、上記研磨ヘッドはX-Y移動案内機構のX移動台及びY移動台により上記研磨テープの移送方向と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に移動案内され、研磨ヘッドは偏心輪機構により研磨テープの移送方向と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に往復移動することができ、したがって、上記X-Y移動案内機構及び偏心輪機構により上記研磨ヘッドはX軸方向及びY軸方向に往復移動可能となり、研磨ヘッドの研磨運動及び研磨テープの移送の協働により板状部材の研磨面を研磨することができ、研磨運動機構の構造を簡素化することができ、研磨ヘッドの研磨運動を円滑に行うことができ、それだけ、板状部材の研磨精度及び研磨作業性を向上することができ、さらに、上記偏心輪機構として、上記保持部に回転主軸及び回転主軸を回転させる回転用モータが配設され、回転主軸に偏心輪部が設けられ、上記研磨ヘッドに偏心輪部が嵌合可能な嵌合穴部をもつホルダ部材を配設し、上記回転主軸に切欠部を形成し、切欠部に偏心軸を有する取付部を取り付け、偏心軸に上記偏心輪部を設けてなるから、偏心輪機構の構造を簡素化することができ、研磨ヘッドのX軸方向及びY軸方向の往復移動を円滑に行うことができ、板状部材の研磨精度及び研磨作業性を向上することができ、さらに、上記回転主軸と上記偏心輪部との間に偏心量調節機構が設けられ、偏心量調節機構として、上記回転主軸の切欠部と偏心軸を有する取付部との間に上記回転主軸の回転軸線と偏心軸の中心軸線との偏心度合いを偏心量とする調節スペーサが介装されているから、調節スペーサの厚さにより偏心量を可変調節して研磨ヘッドのX軸方向及びY軸方向の往復移動による研磨運動を可変することができ、研磨運動の融通性を向上することができる。
又、請求項3記載の発明にあっては、上記保持台を送り運動させる保持台送り機構を設けてなるから、上記研磨ヘッドの研磨運動、研磨テープの移送及び保持台の送り運動の協働により板状部材の研磨面を研磨することができ、板状部材の研磨精度及び研磨作業性を向上することができ、又、請求項4記載の発明にあっては、上記研磨ヘッドを上下移動させる上下動機構を設けてなるから、上記保持台に対する板状部材の供給及び取出を容易に行うことができ、板状部材の研磨作業性を向上することができ、又、請求項5記載の発明にあっては、上記研磨機構は、上記研磨テープを連続的又は間接的に移送させるテープ移送機構、研磨テープを上記板状部材の研磨面に対向案内するテープ案内機構、及び、研磨テープを板状部材の研磨面に圧接させるテープ圧接機構からなるので、上記研磨テープの移送及び板状部材の研磨面に対する研磨テープの圧接により板状部材の研磨面を研磨することができ、板状部材の研磨精度及び研磨作業性を向上することができ、又、請求項6記載の発明にあっては、上記嵌合穴部は上記偏心輪部の外径の中心と略同心上の真円穴部に形成されているから、上記X移動台及びY移動台は研磨テープの移送方向と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に同時に往復移動して円軌跡の研磨運動を行うことになり、板状部材の研磨精度及び研磨作業性を向上することができる。
又、請求項7記載の発明にあっては、上記嵌合穴部は上記偏心輪部の外径の中心と略同心上を上記X方向に延びる楕円穴部に形成され、さらに、上記X-Y移動案内機構の上記X移動台のX軸方向の移動案内を制限可能な制限機構が配設されているから、上記Y移動台は研磨テープの移送方向と交差するY軸方向にのみ往復移動して研磨ヘッドは直線の研磨運動を行うことができ、板状部材の研磨の融通性を高めることができる。
又、請求項8記載の発明にあっては、上記研磨ヘッドを送り運動させるヘッド送り機構を設けているから、上記研磨ヘッドの研磨運動、研磨テープの移送及び研磨ヘッドの送り運動の協働により板状部材の研磨面を研磨することができ、板状部材の研磨精度及び研磨作業性を向上することができる。
本発明の実施の第一形態例の全体正断面図である。
本発明の実施の第一形態例の全体側断面図である。
本発明の実施の第一形態例の全体平断面図である。
本発明の実施の第一形態例の部分拡大正断面図である。
本発明の実施の第一形態例の部分拡大側断面図である。
本発明の実施の第一形態例の部分拡大側断面図である。
本発明の実施の第一形態例の部分拡大側断面図である。
本発明の実施の第一形態例の部分拡大平断面図である。
本発明の実施の第一形態例の部分分解斜視図である。
本発明の実施の第一形態例の部分平断面図である。
本発明の実施の第一形態例の加工状態の説明斜視図である。
本発明の実施の第二形態例の部分平断面図である。
本発明の実施の第二形態例の部分側面図である。
本発明の実施の第二形態例の部分平面図である。
本発明の実施の第二形態例の加工状態の説明斜視図である。
図1乃至図15は本発明の実施の形態例を示し、図1乃至図11は第一形態例、図12乃至図15は第二形態例である。
図1乃至図11の第一形態例において、この場合、大別して、図1、図2、図3の如く、板状部材Wを保持可能な保持台Aと、保持台Aに対向配置され、板状部材Wの研磨面W1を移送する研磨テープTにより研磨可能な研磨機構B1をもつ研磨ヘッドBと、研磨ヘッドBを保持可能な保持部Cと、研磨ヘッドBを研磨運動Kさせる研磨運動機構Dとを備えてなり、上記研磨運動機構Dは、上記研磨ヘッドBを上記研磨テープTの移送方向T1と同方向のX軸方向に移動案内可能なX移動台EX及びこれと交差するY軸方向に移動案内可能なY移動台EYからなるX-Y移動案内機構Eと、研磨ヘッドBを研磨テープTの移送方向T1と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に往復移動可能な偏心輪機構Fとから構成されている。
又、この場合、図1、図2、図3の如く、上記保持台Aを送り運動させる保持台送り機構G及び上記研磨ヘッドBを上下移動させる上下動機構Hが設けられている。
この場合、上記保持台送り機構Gにあっては、図1、図2、図3の如く、装置機台1上に送り台2を摺動機構3の摺動部3a及びガイド3bにより往復移動案内自在に設け、送り台2をボールねじ機構4の送り用モータ4a、ボールねじ4b及びナット部4cにより送り方向Pに往復移動可能に設け、送り台2上に上記保持台Aを配設し、保持台Aに板状部材Wを固定保持可能な図示省略の吸着機構や掴持機構を設けて構成され、又、上記上下動機構Hにあっては、上記装置機体1に保持機体5を立設し、保持機体5に上下移動台6を摺動機構7の摺動部7a及びガイド7bにより上下移動案内自在に設け、上下移動台6をボールねじ機構8の送り用モータ8a、ボールねじ8b及びナット部8cにより上下移動可能に設け、上記保持部Cとしての上下移動台6の水平板状の支持部材6aに上記X-Y移動案内機構Eを介して上記研磨ヘッドBを吊下状に配設して構成している。
なお、図示省略しているが、上記保持台送り機構Gに代えて、上記研磨ヘッドBを送り運動させるヘッド送り機構を設けることもあり、例えば、上記装置機台1上に上記保持機体5を上記摺動機構3と同様な構造の摺動部及びガイドにより上記送り台2の送り方向Pと同方向に往復移動案内自在に設け、上記ボールねじ機構4と同様な送り用モータ、ボールねじ及びナット部により往復移動可能に設けることもある。
又、この場合、上記X-Y移動案内機構Eは、図4、図5の如く、上記保持部Cとしての上下移動台6の水平板状の支持部材6aの下部に逃げ穴部EXHをもつ四角枠板状のX移動台EXをX案内機構EXGの摺動部S及びガイドNにより上記研磨テープTの移送方向T1と同方向のX軸方向に吊下状で移動自在に設け、X移動台EXの下部にヘッド機体9としてのY移動台EYをY案内機構EYGの摺動部S及びガイドNにより上記研磨テープTの移送方向T1と交差するY軸方向に吊下状で移動自在に設け、Y移動台EYに上記研磨ヘッドBを吊下状に配設して構成している。
又、この場合、上記研磨ヘッドBは、図4、図5の如く、上記Y移動台EYとしてのヘッド機体9に上記研磨機構B1が配設され、この場合、研磨機構B1にあっては、図4、図5の如く、上記研磨テープTを連続的又は間接的に移送させるテープ移送機構B2、研磨テープTを上記板状部材Wの研磨面W1に対向案内するテープ案内機構B3、及び、研磨テープTを板状部材Wの研磨面W1に圧接させるテープ圧接機構B4から構成されている。
すなわち、この場合、上記テープ移送機構B2、上記テープ案内機構B3及び上記テープ圧接機構B4は、図4、図5、図6の如く、ヘッド機体9に実巻リール10a及び空リール10bをリール軸10c・10dにより回転自在に軸架し、ヘッド機体9に巻解ロール11a及び巻取ロール11bをロール軸11c・11dにより回転自在に軸着し、巻解ロール11a及び巻取ロール11bに挟持ロール11e・11fをバネ11g・11hにより弾接し、かつ、上記巻取ロール11bのロール軸11dと空リール10bのリール軸10dとの間に伝動ベルト12aからなるベルト伝動機構12を介装し、上記ヘッド機体9に巻解ロール11aを巻解回転させる巻解用モータ13aを設け、かつ、ヘッド機体9に巻取ロール11bを巻取回転させる巻取用モータ13bを設け、ベルト伝動機構12を介して空リール10bを巻取回転可能に設け、かつ、ヘッド機体9に取付部材14を配設し、取付部材14に一対のガイド軸14a・14aを軸受14b・14bにより上下動自在に設け、ガイド軸14a・14aの下端部間に支持枠14cを架設し、支持枠14cに圧接ロール15を回転自在に架設し、取付部材14に支持枠14cを介して圧接ロール15を圧接動作させる圧接用シリンダ15aを取り付け、しかして、巻解用モータ13a及び巻取用モータ13bの回転及び停止制御により実巻リール10aから巻解いた未使用の研磨テープTを、巻解ロール11aと挟持ロール11eとの間、ガイドロール16a、圧接ロール15、ガイドロール16b、及び、巻取ロール11bと挟持ロール11fとの間を介して空リール10bへと移送方向T1に連続的又は間欠的に移送自在に掛架し、上記ガイドロール16aと上記ガイドロール16bとの間を移送する研磨テープTを圧接ロール15により板状部材Wの研磨面W1に圧接するように構成している。
この場合、上記偏心輪機構Fは、図1、図2、図5の如く、上記保持部Cとしての上下移動台6の支持部材6aに軸受筒部17を縦設し、軸受筒部17に回転主軸18を回転自在に縦設し、上下移動台6のブラケット6bに回転主軸18を回転させる回転用モータ19を取り付け、回転用モータ19の主軸と回転主軸18とを継手19aにより連結し、図7、図9の如く、回転主軸18に切欠部18aを形成し、切欠部18aに偏心軸20を有する取付部20bをボルト20a・20aにより取り付け、偏心軸20に偏心輪部21を設け、上記回転主軸18と上記偏心輪部21との間に偏心量調節機構22が設けられ、この場合、図7、図8、図9の如く、偏心量調節機構22にあっては、上記回転主軸18の切欠部18aと偏心軸20を有する取付部20bとの間に回転主軸18の回転軸線Oと偏心軸20の中心軸線O1との偏心度合いを偏心量εとする調節スペーサ23が介装され、すなわち、回転主軸18に偏心輪部21が偏心量εをもって取り付けられ、上記研磨ヘッドBのヘッド機体9に上記偏心輪部21が嵌合可能な嵌合穴部24aをもつホルダ部材24を配設し、嵌合穴部24aは上記偏心軸20の中心軸線O1としての上記偏心輪部21の外径の中心O1と略同心上の真円穴部25に形成されている。
しかして、図5、図10、図11の如く、上記回転主軸18の回転軸線Oと偏心軸20の中心軸線O1との偏心量εにより上記X移動台EX及びY移動台EYは研磨テープTの移送方向T1と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に同時に往復移動して偏心量εを半径とする円軌跡R(直径=ε×2)の研磨運動Kを行うことになり、偏心量調節機構22としての調節スペーサ23の厚さにより偏心量εを可変調節し、研磨ヘッドBの研磨運動Kを可変することができる。
この場合、上記研磨テープTは、例えば、ポリエステルフィルム、メタル、クロス、発泡体フィルム、植毛布等の基材に酸化アルミニュウム、酸化クロム、シリコンカーバイド、ダイヤモンド等の所定粒度の固定砥粒をコーティング又は結合してなるものが用いられている。尚、このような基材に固定砥粒を固着した構造の研磨テープを用いて潤滑剤を用いない乾式研磨構造や基材に固定砥粒を固着した構造の研磨テープを用いて潤滑剤を供給しつつ研磨する湿式研磨構造、或いは、固定砥粒を固着していない織布、不織布、発泡体フィルム、植毛布を研磨テープとして用いて遊離砥粒を含む研磨剤を供給する湿式研磨構造を採用することがあり、よって、ここでいう研磨テープTは、固定砥粒を固着した構造の研磨テープや固定砥粒を固着していない構造の研磨テープをも含むものである。
この実施の第一形態例は上記構成であるから、図1、図2、図3の如く、板状部材Wは保持台Aに保持され、保持台Aに対向配置された研磨機構B1をもつ研磨ヘッドBは保持部Cに保持され、研磨ヘッドBを研磨運動機構Dにより研磨運動Kさせ、研磨ヘッドBの研磨運動K及び研磨テープTの移送の協働により板状部材Wの研磨面W1を研磨することになり、この際、上記研磨ヘッドBはX-Y移動案内機構EのX移動台EX及びY移動台EYにより上記研磨テープTの移送方向T1と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に移動案内され、研磨ヘッドBは偏心輪機構Fにより研磨テープTの移送方向T1と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に往復移動することができ、したがって、上記X-Y移動案内機構E及び偏心輪機構Fにより上記研磨ヘッドBはX軸方向及びY軸方向に往復移動可能となり、図11の如く、研磨ヘッドBの研磨運動K及び研磨テープTの移送の協働により板状部材Wの研磨面W1を研磨することができ、研磨運動機構Dの構造を簡素化することができ、研磨ヘッドBの研磨運動Kを円滑に行うことができ、それだけ、板状部材Wの研磨精度及び研磨作業性を向上することができる。
この場合、図1、図2、図3の如く、上記保持台Aを送り運動させる保持台送り機構Gを設けてなるから、上記研磨ヘッドBの研磨運動K、研磨テープTの移送及び保持台Aの送り運動の協働により板状部材Wの研磨面W1を研磨することができ、板状部材Wの研磨精度及び研磨作業性を向上することができ、又、この場合、図1、図2、図3の如く、上記研磨ヘッドBを上下移動させる上下動機構Hを設けてなるから、上記保持台Aに対する板状部材Wの供給及び取出を容易に行うことができ、板状部材Wの研磨作業性を向上することができ、又、この場合、図4、図5の如く、上記研磨機構B1は、上記研磨テープTを連続的又は間接的に移送させるテープ移送機構B2、研磨テープTを上記板状部材Wの研磨面W1に対向案内するテープ案内機構B3、及び、研磨テープTを板状部材Wの研磨面W1に圧接させるテープ圧接機構B4からなるので、上記研磨テープTの移送及び板状部材Wの研磨面W1に対する研磨テープTの圧接により板状部材Wの研磨面W1を研磨することができ、板状部材Wの研磨精度及び研磨作業性を向上することができ、又、この場合、図1、図2、図5、図7、図8の如く、上記偏心輪機構Fとして、上記保持部Cに回転主軸18及び回転主軸18を回転させる回転用モータ19が配設され、回転主軸18に偏心輪部21が設けられ、上記研磨ヘッドBに偏心輪部21が嵌合可能な嵌合穴部24aをもつホルダ部材24を配設してなるから、偏心輪機構Fの構造を簡素化することができ、研磨ヘッドBのX軸方向及びY軸方向の往復移動を円滑に行うことができ、板状部材Wの研磨精度及び研磨作業性を向上することができ、又、この場合、図7、図9の如く、上記回転主軸18と上記偏心輪部21との間に偏心量調節機構Fを設けているから、回転主軸18の回転軸線Oと偏心輪部21の中心軸線O1との偏心量εを可変調節することができ、研磨ヘッドBのX軸方向及びY軸方向の往復移動による研磨運動Kを可変することができ、研磨運動Kの融通性を向上することができ、又、この場合、図10、図11の如く、上記嵌合穴部24aは上記偏心輪部21の外径の中心O1と略同心上の真円穴部25に形成されているから、上記回転主軸18の回転軸線Oと偏心軸20の中心軸線O1との偏心量εにより上記X移動台EX及びY移動台EYは研磨テープTの移送方向T1と同方向のX軸方向及びこれと交差するY軸方向に同時に往復移動して偏心量εを半径とする円軌跡Rの研磨運動Kを行うことになり、板状部材Wの研磨精度及び研磨作業性を向上することができる。
図12乃至図15の第二形態例は別例構造を示し、上記第一形態例の偏心輪機構Fにあっては、上記ホルダ部材24の嵌合穴部24aは上記偏心軸20の中心軸線O1としての上記偏心輪部21の外径の中心O1と略同心上の真円穴部25に形成されているが、この場合、図12の如く、上記嵌合穴部24aは上記偏心輪部21の外径の中心O1と略同心上を上記X方向に延びる楕円穴部26に形成され、さらに、上記X-Y移動案内機構Eの上記X移動台EXのX軸方向の移動案内を制限可能な制限機構Iが配設され、この場合、制限機構Iとして、上記第一形態例の図2、図3に対応する図13、図14の如く、上下移動台6の支持部材6aに突片6cを形成し、上記X移動台EXに突片EXTを形成し、支持部材6aの突片6cとX移動台EXの突片EXTとの間に連結ボルトI1を螺着連結し、支持部材6aと上記X移動台EXとの連結により上位X移動台EXのX軸方向の移動案内を不可に制限し、しかして、上記ホルダ部材24の嵌合穴部24aは上記偏心輪部21の外径の中心O1と略同心上を上記X方向に延びる楕円穴部26に形成されているから、図12、図13、図15の如く、上記回転主軸18の回転軸線Oと偏心軸20の中心軸線O1との偏心量εにより上記Y移動台EYは研磨テープTの移送方向T1と交差するY軸方向にのみ偏心量εの2倍の移動量(ε×2)の直線往復運動を行い、研磨ヘッドBは直線Lの研磨運動Kを行うことになり、この移動量は調節スペーサ23の厚さにより偏心量εを可変して調節することができる。なお、上記制限機構Iの連結ボルトI1を取り外して上記支持部材6aと上記X移動台EXとの連結を解除することにより研磨ヘッドBは上記第一形態例と同様な円軌跡Rの研磨運動Kを行うことになる。
この第二形態例は上記構成であるから、図12、図15の如く、上記嵌合穴部24aは上記偏心輪部21の外径の中心O1と略同心上を上記X方向に延びる楕円穴部26に形成され、さらに、図13、図14の如く、上記X-Y移動案内機構Eの上記X移動台EXのX軸方向の移動案内を制限可能な制限機構Iが配設されているから、図12、図15の如く、上記回転主軸18の回転軸線Oと偏心軸20の中心軸線O1との偏心量εにより上記Y移動台EYは研磨テープTの移送方向T1と交差するY軸方向にのみ偏心量εの2倍の移動量の直線往復運動を行い、研磨ヘッドBは直線Lの研磨運動Kを行うことができ、上記第一形態例と略同様な作用効果を得ることができ、板状部材Wの研磨の融通性を高めることができる。
尚、本発明は上記実施の形態例に限られるものではなく、上記板状部材W、研磨面W1、研磨テープT、保持台A、研磨ヘッドB、研磨機構B1、テープ移送機構B2、テープ案内機構B3、テープ圧接機構B4、保持部C、研磨運動機構D、X-Y移動案内機構E、X移動台EX、Y移動台EY、偏心輪機構F、保持台送り機構G、上下動機構H、制限機構I、偏心量調節機構22等の構造は適宜変更して設計される。
例えば、図示を省略しているが、上記保持台送り機構Gに代えて、上記研磨ヘッドBを送り運動させるヘッド送り機構を設けることにより上記研磨ヘッドBの研磨運動K、研磨テープTの移送及び研磨ヘッドBの送り運動の協働により板状部材Wの研磨面W1を研磨することができ、板状部材Wの研磨精度及び研磨作業性を向上することができる。
又、例えば、上記実施の形態例においては、乾式研磨構造となっているが、板状部材Wと研磨テープTとの間に各種材質の遊離砥粒や化学剤を含む加工液体や潤滑剤を供給する所謂湿式研磨構造とすることもあり、板状部材Wの種類や研磨条件により選択して設計される。
以上、所期の目的を充分達成することができる。
W 板状部材
W1 研磨面
T 研磨テープ
T1 移送方向
A 保持台
B 研磨ヘッド
B1 研磨機構
B2 テープ移送機構
B3 テープ案内機構
B4 テープ圧接機構
C 保持部
D 研磨運動機構
E X-Y移動案内機構
EX X移動台
EY Y移動台
F 偏心輪機構
G 保持台送り機構
H 上下動機構
O 回転軸線
O1 中心軸線
I 制限機構
K 研磨運動
ε 偏心量
18 回転主軸
18a 切欠部
19 回転用モータ
20 偏心軸
20b 取付部
21 偏心輪部
22 偏心量調節機構
23 調節スペーサ
24 ホルダ部材
24a 嵌合穴部
25 真円穴部
26 楕円穴部