JP3966030B2 - 板状部材研磨装置 - Google Patents

板状部材研磨装置 Download PDF

Info

Publication number
JP3966030B2
JP3966030B2 JP2002065113A JP2002065113A JP3966030B2 JP 3966030 B2 JP3966030 B2 JP 3966030B2 JP 2002065113 A JP2002065113 A JP 2002065113A JP 2002065113 A JP2002065113 A JP 2002065113A JP 3966030 B2 JP3966030 B2 JP 3966030B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tape
polishing
pressure contact
support shaft
plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2002065113A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2003266293A (ja
Inventor
信和 細貝
Original Assignee
株式会社サンシン
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社サンシン filed Critical 株式会社サンシン
Priority to JP2002065113A priority Critical patent/JP3966030B2/ja
Publication of JP2003266293A publication Critical patent/JP2003266293A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3966030B2 publication Critical patent/JP3966030B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は例えば多層プリント配線基板、TAB(Tape Automated Bonding)用テープ、銅板等の表面研磨に用いられる板状部材研磨装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
この種の多層プリント配線基板、TAB用テープや等の板状部材研磨装置として、TABテープ等の板状部材の表面に存在する絶縁樹脂層やメッキ層の染み出しの発生による溢れた部分等を砥石による回転モードで除去研磨する構造のものが知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記回転モードによる構造の場合、砥石のチッピングが生じ易いことや表面の平滑化が損なわれることがあると共に最適な研磨条件を見いだすことが非常に困難であるという不都合を有している。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明はこのような課題を解決することを目的とするもので、本発明のうちで、請求項1記載の装置の発明は、板状部材を保持可能な保持台と、該板状部材の研磨面を研磨可能な研磨テープと、該研磨テープを移送可能なテープ移送機構と、該研磨テープのテープ面を板状部材の研磨面に圧接可能な圧接機構と、該研磨テープを平面運動させるテープ平面運動機構とからなり、上記テープ平面運動機構は、並列状に縦設された一対の支持軸と、該一対の支持軸のうち、一方の支持軸を回転させる回転用モータ及び該一方の支持軸と他方の支持軸との間に介装され、該一方の支持軸の回転により該他方の支持軸を回転させるためのベルト伝動機構とからなる回転機構と、該一対の支持軸の下端部間に架設される圧接部材と、該各支持軸と圧接部材との間にそれぞれ介装される偏心輪機構とを具備してなることを特徴とする板状部材研磨装置にある。
【0005】
又、請求項2記載の装置の発明は、上記圧接部材をテープ移送方向と交差する方向に揺振運動させる揺振機構を備えてなることを特徴とするものであり、又、請求項3記載の発明は、上記保持台を上記研磨テープの走行方向に移動させる移動機構を備えてなることを特徴とするものである。
【0006】
【発明の実施の形態】
図1乃至図5は本発明の実施の形態例を示し、1は機台、2は移動機構であって、この場合、機台1上に摺動部3により前後方向に移動自在に保持台4を配設し、この保持台4を往復移動用モータ5及びボールネジ機構6により往復移動可能に設け、この保持台4に多層プリント配線基板やTAB用テープ等の研磨すべき板状部材Wを研磨面W1を上面にして位置決め状態で固定載置可能な図外の吸着固定機構を配設している。
【0007】
7はテープ移送機構、8は圧接機構であって、この場合、機台1の側部に支持機体9を立設し、支持機体9に上下移動台10を摺動部11により上下動作可能に設け、上下移動台10を上下動作させる上下動用モータ12及びボールネジ機構13を設け、上下移動台10にテープ機体14を取付け、テープ機体14の上下位置にテープ面T1にポリエステルフィルム、メタル、クロス等の基材に酸化アルミニュウム、酸化クロム、シリコンカーバイド、ダイヤモンド等の所定粒度の研磨粒子をコーティング又は結合してなる研磨テープTを巻き取った実巻リール15及び実巻リール15から解かれた研磨テープTを巻き取る空リール16を軸着し、実巻リール15及び空リール16を制御回転させると共に送り用モータ17により研磨テープTを送り、研磨テープTを実巻リール15から空リール16へと送りロール17a、複数個の案内ロール17b及び圧接機構8を介して連続的又は間欠的に移送案内するように構成している。
【0008】
又、上記圧接機構8の圧接部材21は揺振機構18により研磨テープTのテープ移送方向と交差する方向に揺振運動すると共にテープ平面運動機構32により平面運動し、この場合、テープ平面運動機構32は、回転機構19及び偏心輪機構20からなり、この回転機構19及び偏心輪機構20により圧接部材21は循環平面運動し、この場合、上記テープ機体14に支持ブラケット21a・21aを突設し、支持ブラケット21a・21aの上部間に摺動部22・22により揺振台23を揺振摺動自在に架設し、支持ブラケット21a・21aの前部間に取付片24によりシリンダ25を取付け、シリンダ25のロッド25aを揺振台23に連結し、揺振台23に一対の支持軸26・26を一対の軸受筒27・27及び軸受28により回転自在に縦設すると共に揺振台23の上部間に取付片28aを架設し、取付片28に回転用モータ29を取付け、回転用モータ29と一方の支持軸26とを継手30により直結すると共に一方の支持軸26と他方の支持軸26との間にプーリー31a・31a及びベルト31bからなるベルト伝動機構31を介装し、一対の支持軸26・26の下端部間に圧接部材21を架設すると共に各支持軸26・26と圧接部材21との間に偏心輪機構20・20をそれぞれ介装し、この場合、偏心輪機構20・20は、図3の如く、上記支持軸26・26の下部に回転軸線Oに対して偏心量eの軸線O1をもつ偏心軸部26a・26aを形成し、この偏心軸部26a・26a間に圧接部材21を軸受33により軸受架設し、かつ、圧接部材21の両側面に研磨テープTをたるみ状に移送案内可能な案内バー部材34・34を設けると共に圧接部材21の下面に弾性ウレタンゴム材等の弾性材からなる圧接パッド35を取付けて構成している。
【0009】
従って、上記圧接部材21は、揺振機構18のシリンダ25の進退動作によりテープ移送方向と交差する方向に行き戻りを繰り返す揺振運動をなすと共に、テープ平面運動機構32の支持軸26・26の回転及び偏心輪機構20・20により圧接部材21は循環平面運動することになる。
【0010】
この実施の形態例は上記構成であるから、研磨すべき板状部材Wを保持台4に保持し、保持台4を移動機構2により移動させると共にテープ移送機構7により実巻リール15から空リール16へと研磨テープTを連続的又は間欠的に移送させ、圧接機構8としての上下移動台10により圧接部材21を降下させ、圧接部材21をテープ平面運動機構32により平面運動させ、移送される研磨テープTのテープ面T1を受圧部材21により板状部材Wの研磨面T1に圧接して研磨することになり、この際、上記研磨テープを平面運動させるテープ平面運動機構32は、並列状に縦設された一対の支持軸26・26と、一対の支持軸26・26のうち、一方の支持軸26を回転させる回転用モータ29及び一方の支持軸26と他方の支持軸26との間に介装され、一方の支持軸26の回転により他方の支持軸26を回転させるためのベルト伝動機構31とからなる回転機構19と、一対の支持軸26・26の下端部間に架設される圧接部材21と、各支持軸26・26と圧接部材21との間にそれぞれ介装される偏心輪機構20・20とを具備してなるから、上記圧接部材21を並列状に縦設された一対の支持軸26・26により支持すると共に一対の支持軸26・26のうち、一方の支持軸26を回転用モータ29により回転させ、この一方の支持軸26の回転によって、一方の支持軸26と他方の支持軸26との間に介装されたベルト伝動機構31により他方の支持軸26を回転させ、この両支持軸26・26の回転により偏心輪機構20・20を介して圧接部材21を循環平面運動させて板状部材Wを研磨することになり、従って、研磨テープTの移送及び圧接部材21による研磨テープTの循環平面運動の相互作用により板状部材Wを研磨することができると共に圧接部材21は縦設された一対の支持軸26・26により支持されているので、圧接部材21の動的剛性を高めることができ、研磨テープTによる研磨精度を高めることができ、表面の平滑化及び表面粗さを高めることができ、良好な研磨を行うことができる。
【0011】
又、この場合、上記圧接部材21を揺振機構18により研磨テープTのテープ移送方向と交差する方向に揺振運動させることができ、研磨テープTの揺振運動が加わることにより、板状部材Wの研磨を一層良好に行うことができ、又、この場合、上記保持台4を上記研磨テープTの走行方向に移動させる移動機構2を備えてなるから、板状部材Wの研磨面積に対応することができると共に板状部材Wの移動が加わることにより、板状部材Wの研磨を一層良好に行うことができる。
【0012】
尚、本発明は上記実施の形態例に限られるものではなく、移動機構2、保持台4、テープ移送機構7、圧接機構8、圧接部材21、揺振機構18の構造や支持軸26、偏心輪機構20の構造等は適宜変更して設計される。
【0013】
又、本発明は上記実施の形態例に限られるものではなく、例えば、上記実施の形態例においては、乾式研磨構造となっているが、板状部材Wと研磨テープTとの間に各種材質の遊離砥粒や化学剤を含む加工液体や潤滑剤を供給する所謂湿式研磨構造とすることもあり、板状部材Wの種類や研磨条件により選択して設計される。
【0014】
【発明の効果】
本発明は上述の如く、請求項記載の発明にあっては、研磨すべき板状部材を保持台に保持し、研磨テープを連続的又は間欠的に移送させ、圧接機構により圧接部材を降下させ、圧接部材をテープ平面運動機構により平面運動させ、移送される研磨テープのテープ面を受圧部材により板状部材の研磨面に圧接して研磨することになり、この際、上記研磨テープを平面運動させるテープ平面運動機構は、並列状に縦設された一対の支持軸と、該一対の支持軸のうち、一方の支持軸を回転させる回転用モータ及び該一方の支持軸と他方の支持軸との間に介装され、該一方の支持軸の回転により該他方の支持軸を回転させるためのベルト伝動機構とからなる回転機構と、該一対の支持軸の下端部間に架設される圧接部材と、各支持軸と圧接部材との間にそれぞれ介装される偏心輪機構とを具備してなるから、上記圧接部材を並列状に縦設された一対の支持軸により支持すると共に一対の支持軸のうち、一方の支持軸を回転用モータにより回転させ、この一方の支持軸の回転によって、一方の支持軸と他方の支持軸との間に介装されたベルト伝動機構により他方の支持軸を回転させ、両支持軸の回転により偏心輪機構を介して圧接部材を循環平面運動させて板状部材を研磨することになり、従って、研磨テープの移送及び圧接部材による研磨テープの循環平面運動の相互作用により板状部材を研磨することができると共に圧接部材は縦設された一対の支持軸により支持されているので、圧接部材の動的剛性を高めることができ、研磨テープによる研磨精度を高めることができ、表面の平滑化及び表面粗さを高めることができ、良好な研磨を行うことができる。
【0015】
又、請求項2記載の発明にあっては、上記圧接部材を揺振機構により研磨テープのテープ移送方向と交差する方向に揺振運動させることができ、研磨テープの揺振運動が加わることにより、板状部材の研磨を一層良好に行うことができ、又、請求項3記載の発明にあっては、上記保持台を上記研磨テープの走行方向に移動させる移動機構を備えてなるから、板状部材の研磨面積に対応することができると共に板状部材の移動が加わることにより、板状部材の研磨を一層良好に行うことができる。
【0016】
以上、所期の目的を充分達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態例の全体側面図である。
【図2】 本発明の実施の形態例の部分側断面図である。
【図3】 本発明の実施の形態例の部分正断面図である。
【図4】 本発明の実施の形態例の部分平断面図である。
【図5】 本発明の実施の形態例の部分説明斜視図である。
【符号の説明】
W 板状部材
T 研磨テープ
2 移動機構
7 テープ移送機構
8 圧接機構
18 揺振機構
19 回転機構
20 偏心輪機構
21 圧接部材
29 回転用モータ
31 ベルト伝動機構
32 テープ平面運動機構

Claims (3)

  1. 板状部材を保持可能な保持台と、該板状部材の研磨面を研磨可能な研磨テープと、該研磨テープを移送可能なテープ移送機構と、該研磨テープのテープ面を板状部材の研磨面に圧接可能な圧接機構と、該研磨テープを平面運動させるテープ平面運動機構とからなり、上記テープ平面運動機構は、並列状に縦設された一対の支持軸と、該一対の支持軸のうち、一方の支持軸を回転させる回転用モータ及び該一方の支持軸と他方の支持軸との間に介装され、該一方の支持軸の回転により該他方の支持軸を回転させるためのベルト伝動機構とからなる回転機構と、該一対の支持軸の下端部間に架設される圧接部材と、該各支持軸と圧接部材との間にそれぞれ介装される偏心輪機構とを具備してなることを特徴とする板状部材研磨装置。
  2. 上記圧接部材をテープ移送方向と交差する方向に揺振運動させる揺振機構を備えてなることを特徴とする請求項1記載の板状部材研磨装置。
  3. 上記保持台を上記研磨テープの走行方向に移動させる移動機構を備えてなることを特徴とする請求項1又は2記載の板状部材研磨装置。
JP2002065113A 2002-03-11 2002-03-11 板状部材研磨装置 Expired - Lifetime JP3966030B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002065113A JP3966030B2 (ja) 2002-03-11 2002-03-11 板状部材研磨装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002065113A JP3966030B2 (ja) 2002-03-11 2002-03-11 板状部材研磨装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003266293A JP2003266293A (ja) 2003-09-24
JP3966030B2 true JP3966030B2 (ja) 2007-08-29

Family

ID=29197580

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002065113A Expired - Lifetime JP3966030B2 (ja) 2002-03-11 2002-03-11 板状部材研磨装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3966030B2 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4339732B2 (ja) * 2004-03-31 2009-10-07 株式会社タムラ製作所 精密研削装置および精密研削方法
JP4639669B2 (ja) * 2004-07-09 2011-02-23 森 勇蔵 Eem法による超精密鏡面加工方法及びその装置
JP5132971B2 (ja) * 2007-04-04 2013-01-30 日本ミクロコーティング株式会社 研磨装置及び研磨方法
CN114193290A (zh) * 2021-12-20 2022-03-18 安徽中腾汽车零部件有限公司 一种有刷电机圆盘打磨处理装置
CN114346842B (zh) * 2021-12-28 2023-10-20 安徽信息工程学院 一种用于建筑工地墙壁贴砖前砂纸打磨装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2003266293A (ja) 2003-09-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6902466B2 (en) Oscillating chemical mechanical planarization apparatus
KR980008451A (ko) 표면연마가공방법 및 그 장치
JP5678382B2 (ja) テープ研磨装置
JP3966030B2 (ja) 板状部材研磨装置
TW496811B (en) Polishing apparatus and method with a refreshing polishing belt and loadable housing
JP5464497B2 (ja) 基板研磨方法及びその装置
JP7466029B2 (ja) 板状部材研磨方法及びその装置
JPH05329759A (ja) ウエハー材縁端面研磨装置
JPH081494A (ja) ウエハー材縁端部研磨装置
WO2003028079A1 (fr) Tete de polissage et machine de polissage de face frontale de tranches de semi-conducteurs
JP3997480B2 (ja) 板状部材研磨方法及びその装置
JP3404579B2 (ja) 両端軸状部研磨装置
JP2000158314A (ja) 球状凹面研磨装置
JP2022095979A (ja) 研磨ユニット
JP2003266294A (ja) 板状部材研磨装置
TW528644B (en) Polishing device
JP2000024901A (ja) 研磨装置
JP2017159414A (ja) 内周面研磨装置
JPH074750B2 (ja) フイルム研磨材を用いた平面研磨装置
JPH05329760A (ja) ガラス基板角縁面研磨装置
JPH09248752A (ja) デバイスウエハ表面平坦化研磨加工方法及びその装置
JP5364683B2 (ja) 帯板材研磨装置
JP2002346901A (ja) 板状部材研磨装置
JP6673965B2 (ja) 板状部材研磨装置
JP3764979B2 (ja) 研磨加工方法及びその装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20041201

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070122

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070130

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070329

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070508

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070521

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 3966030

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110608

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110608

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120608

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130608

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term