JP2022095979A - 研磨ユニット - Google Patents

Abstract

【課題】単一個の巻取用モータの回転制御により研磨テープを連続的又は間欠的に移送させることができ、テープ移送機構の全体構造の簡素化、軽量化及び装置コストの低減を図ることができ、各種の被加工物に対する研磨加工の融通性及び用途の拡大化を確保することができ、研磨テープの移送及び研磨テープの圧接の相互作用により研磨精度及び研磨面の表面粗さを向上することができる。【解決手段】研磨機体Ｂに繰出軸ＢＫ及び巻取軸ＢＭを回転自在に配設し、繰出軸に研磨テープＴが巻回された実巻リールＲＫが装着され、巻取軸に空リールＲＭが装着され、実巻リールから巻き解かれた研磨テープは空リールに掛回され、巻取軸及び空リールを巻取回転させる巻取用モータＭを配設し、繰出軸及び実巻リールは上記巻取軸及び空リールの巻取回転により上記研磨テープを介して巻解回転される。【選択図】図２

Description

本発明は、例えば、液晶パネル、ガラス板、レンズ、半導体ウエハー、銅板、プリント基板、フィルター、ステンレス板等の板状部材の表面の研磨加工や角縁の面取加工をする際に用いられる研磨ユニットに関するものである。

従来、ガラス板や半導体ウエハー等の被加工物を研磨する研磨装置の研磨ユニットとして、例えば、ポリエステルフィルムなどの基材に酸化アルミニウムなどの所定粒度の固定砥粒を結合してなる研磨テープが用いられ、研磨機体に繰出軸及び巻取軸を回転自在に配設し、繰出軸に研磨テープが巻回された実巻リールが装着され、巻取軸に空リールが装着され、実巻リールから巻き解かれた研磨テープは空リールに掛回され、巻取軸及び空リールを巻取回転させる巻取用モータを設け、繰出軸及び実巻リールを巻解回転させる巻解用モータを設け、巻取用モータ及び巻解用モータの互いの回転制御により研磨テープを連続的又は間欠的に移送させる構造のものが知られている。

特許第６６７３９６５号 特開平１１－９９４５８号 特開平１１－９９４５９号

しかしながら上記従来の研磨ユニットの場合、そのテープ移送機構として、上記巻取用モータ及び巻解用モータの二個のモータの互いの回転制御により研磨テープを連続的又は間欠的に移送させる構造を採用しているため、例えば、二個のサーボモータの回転制御及びそれらモータ間の同期制御が必要となり、全体構造の複雑化、軽量化及び装置コストの低減の隘路となり、各種の被加工物に対する研磨加工の融通性及び用途の拡大化を確保することができないことがあるという不都合を有している。

本発明はこのような不都合を解決することを目的とし、本発明のうちで、請求項１記載の発明は、支持機体に支持される研磨機体と、被加工物の被研磨面を研磨する研磨テープと、該研磨テープを連続的又は間欠的に移送させるテープ移送機構と、該研磨テープの研磨面を被加工物の被研磨面に圧接させる圧接機構とを備えてなり、上記テープ移送機構として、上記研磨機体に繰出軸及び巻取軸を回転自在に配設し、該繰出軸に該研磨テープが巻回された実巻リールが装着され、該巻取軸に空リールが装着され、該実巻リールから巻き解かれた研磨テープは該空リールに掛回され、該巻取軸及び該空リールを巻取回転させる巻取用モータを配設し、該繰出軸及び該実巻リールは上記巻取軸及び該空リールの巻取回転により上記研磨テープを介して巻解回転されることを特徴とする研磨ユニットにある。

又、請求項２記載の発明は、上記研磨テープをテープ移送方向と直交するテープ幅方向に揺振動作させる揺振機構を備えてなることを特徴とするものであり、又、請求項３記載の発明は、上記圧接機構に上記研磨テープを折返案内可能な圧接部材を備えてなることを特徴とするものである。

又、請求項４記載の発明は、上記研磨ユニットによる研磨構造は乾式構造又は湿式構造であることを特徴とするものである。

本発明は上述の如く、請求項１記載の発明にあっては、テープ移送機構による研磨テープの移送及び圧接機構による被加工物の被研磨面に対する研磨テープの研磨面の圧接により被加工物を研磨加工することができ、被加工物の表面の研磨にあっては、被加工物の被研磨面に圧接機構により研磨テープの研磨面を圧接し、研磨テープの移送及び研磨テープの圧接並びに支持機体の先端の移動動作の複合動作により被加工物の被研磨面を研磨テープの研磨面で研磨加工することができ、この際、テープ移送機構として、上記研磨機体に繰出軸及び巻取軸を回転自在に配設し、繰出軸に研磨テープが巻回された実巻リールが装着され、巻取軸に空リールが装着され、実巻リールから巻き解かれた研磨テープは空リールに掛回され、巻取軸及び空リールを巻取回転させる巻取用モータを配設し、繰出軸及び実巻リールは上記巻取軸及び空リールの巻取回転により上記研磨テープを介して巻解回転されるから、単一個の巻取用モータの回転制御により研磨テープを連続的又は間欠的に移送させることができ、テープ移送機構の全体構造の簡素化、軽量化及び装置コストの低減を図ることができ、それだけ、各種の被加工物に対する研磨加工の融通性及び用途の拡大化を確保することができ、かつ、圧接機構を備えているから、被加工物の被研磨面に対する研磨テープの研磨面の圧接により被加工物を研磨加工することができ、研磨テープの移送及び研磨テープの圧接の相互作用により研磨精度及び研磨面の表面粗さを向上することができ、良好な研磨加工を行うことができ、各種の被加工物の被研磨面の良好な研磨加工を行うことができる。

又、請求項２記載の発明にあっては、上記研磨テープをテープ移送方向と直交するテープ幅方向に揺振動作させる揺振機構を備えているから、上記研磨テープをテープ幅方向に揺振動作させることができ、研磨テープの移送及び研磨テープの圧接並びに揺振動作の相互作用により研磨精度及び研磨面の表面粗さを一層向上することができ、良好な研磨加工を行うことができ、又、請求項３記載の発明にあっては、上記圧接機構に上記研磨テープを折返案内可能な圧接部材を備えてなるから、被加工物の被研磨面に研磨テープの研磨面を確実に圧接させることができ、円滑かつ良好な研磨加工を行うことができる。

又、請求項４記載の発明にあっては、上記研磨ユニットによる研磨構造は乾式構造又は湿式構造であるから、基材に固定砥粒を固着した構造の研磨テープを用いて潤滑剤を用いない乾式研磨構造や基材に固定砥粒を固着した構造の研磨テープを用いて潤滑剤を供給しつつ研磨する湿式研磨構造、あるいは、固定砥粒を固着していない織布、不織布、発泡体フィルム、植毛布を研磨テープとして用いて遊離砥粒を含む研磨剤を供給する湿式研磨構造を被加工物の材質や研磨加工の仕様に応じて選択することができ、研磨加工の融通性を高めることができ、それだけ、良好な研磨加工を行うことができる。

本発明の実施の形態例の全体斜視図である。 本発明の実施の形態例の全体正断面図である。 本発明の実施の形態例の全体側断面図である。 本発明の実施の形態例の部分正断面図である。 本発明の実施の形態例の部分平断面図である。 本発明の実施の形態例の部分側断面図である。 本発明の実施の形態例の部分平断面図である。 本発明の実施の形態例を適用した研磨装置の全体正面図である。 本発明の実施の形態例を適用した研磨装置の全体平面図である。 本発明の実施の形態例を適用した研磨装置の全体側断面図である。 本発明の実施の形態例を適用した研磨装置の部分側断面図である。 本発明の実施の形態例の加工状態の説明側断面図である。

図１乃至図１２は本発明の研磨ユニットＫＵの実施の形態例を示し、この場合、図１、図２、図７、図８の如く、大別して、支持機体Ａに支持される研磨機体Ｂと、被加工物Ｗの被研磨面Ｗ_１を研磨する研磨テープＴと、研磨テープＴを連続的又は間欠的に移送Ｔ_２させるテープ移送機構Ｃと、研磨テープＴの研磨面Ｔ_１を被加工物Ｗの被研磨面Ｗ_１に圧接Ｎさせる圧接機構Ｄとを備えてなり、上記テープ移送機構Ｃとして、上記研磨機体Ｂに繰出軸Ｂ_Ｋ及び巻取軸Ｂ_Ｍを回転自在に配設し、繰出軸Ｂ_Ｋに研磨テープＴが巻回された実巻リールＲ_Ｋが装着され、巻取軸Ｂ_Ｍに空リールＲ_Ｍが装着され、実巻リールＲ_Ｋから巻き解かれた研磨テープＴは空リールＲ_Ｍに掛回され、巻取軸Ｂ_Ｍ及び空リールＲ_Ｍを巻取回転させる巻取用モータＭを配設し、繰出軸Ｂ_Ｋ及び実巻リールＲ_Ｋは上記巻取軸Ｂ_Ｍ及び空リールＲ_Ｍの巻取回転により上記研磨テープＴを介して巻解回転され、上記繰出軸Ｂ_Ｋに回転抵抗を付与する遊転防止機構Ｅを設けて構成している。

この場合、図３の如く、上記研磨テープＴをテープ移送Ｔ_２方向と直交するテープ幅方向に揺振動作Ｈさせる揺振機構Ｆを備えてなり、又、この場合、図１、図２、図３の如く、上記圧接機構Ｄに上記研磨テープＴを折返案内可能な圧接部材Ｄ_１を備えて構成している。

この場合、上記研磨ユニットＫＵを適用した研磨装置にあっては、上記支持機体Ａは、図８、図９、図１０の如く、機台１に前後移動台２を摺動部２ａ及びガイド部２ｂからなるガイド機構２ｃにより前後移動自在に設け、前後移動台２を移動用モータ２ｄ及びボールネジ機構２ｅからなる移動機構２ｆにより前後移動させ、前後移動台２に上下移動台３を摺動部３ａ及びガイド部３ｂからなるガイド機構３ｃにより上下移動自在に設け、上下移動台３を移動用モータ３ｄ及びボールネジ機構３ｅからなる移動機構３ｆにより上下移動させ、上下移動台２に左右移動台４を摺動部４ａ及びガイド部４ｂからなるガイド機構４ｃにより上下移動自在に設け、左右移動台４を移動用モータ４ｄ及びボールネジ機構４ｅからなる移動機構４ｆにより上下移動させ、左右移動台４に支持機体Ａと上記研磨ユニットＫＵの研磨機体Ｂとを連結するための連結部材Ａ_１が取り付けられ、研磨ユニットＫＵを前後方向、上下方向及び左右方向のＸ・Ｙ・Ｚの三方向に移動可能な３軸の直交座標型構造が採用されている。なお、支持機体Ａとしては、シリアル型、例えば、円筒座標型、極座標型、水平多関節型、垂直多関節型及びパラレルリンク型、その他の構造を備えた支持機体Ａで構成されている。

この場合、上記研磨テープＴは、例えば、ポリエステルフィルム、メタル、クロス、発泡体フィルム、植毛布等の基材に酸化アルミニウム、酸化クロム、シリコンカーバイド、ダイヤモンド等の所定粒度の固定砥粒をコーティング又は結合してなるものが用いられている。尚、このような基材に固定砥粒を固着した構造の研磨テープを用いて潤滑剤を用いない乾式研磨構造や基材に固定砥粒を固着した構造の研磨テープを用いて潤滑剤を供給しつつ研磨する湿式研磨構造、あるいは、固定砥粒を固着していない織布、不織布、発泡体フィルム、植毛布を研磨テープとして用いて遊離砥粒を含む研磨剤を供給する湿式研磨構造を採用することがあり、よって、ここでいう研磨テープＴは、固定砥粒を固着した構造の研磨テープや固定砥粒を固着していない構造の研磨テープも含むものである。

この場合、上記テープ移送機構Ｃとして、図１、図２、図３、図６の如く、支持機体Ａの連結部材Ａ_１に上記研磨機体Ｂが取り付けられ、研磨機体Ｂに取付板Ｂ_１を設け、取付板Ｂ_１に巻取軸Ｂ_Ｍ及び空リールＲ_Ｍを巻取回転させる巻取用モータＭを配設し、巻取用モータＭにより歯車機構５を介して巻取回転され、研磨機体Ｂに歯車機構５のカバー５ａを設け、歯車機構５は互いに歯合する歯車５ｂ及び歯車５ｃからなり、実巻リールＲ_Ｋから巻き解かれた研磨テープＴは空リールＲ_Ｍに掛回され、繰出軸Ｂ_Ｋ及び実巻リールＲ_Ｋは上記巻取軸Ｂ_Ｍ及び空リールＲ_Ｍの巻取回転により上記研磨テープＴを介して巻解回転され、上記巻取用モータＭの回転により研磨テープＴは実巻リールＲ_Ｋから空リールＲ_Ｍへと図２中の矢印方向のテープ移送Ｔ_２方向に連続的又は間欠的に移送Ｔ_２されるように構成している。

又、この場合、上記遊転防止機構Ｅとして、図２、図７の如く、上記繰出軸Ｂ_Ｋに摩擦部材Ｅ_１が取り付けられ、上記研磨機体Ｂに筒部材６が取り付けられ、筒部材６に球状の摩擦体７、バネ８及び止めねじ９を内装し、バネ８により摩擦体７を摩擦部材Ｅ_１の表面に弾圧して摩擦部材Ｅ_１に回転抵抗を付与するように構成され、研磨テープＴの不測の繰出回転による弛み現象を防いだり、研磨テープＴに適度な緊張力を付与して研磨テープＴの移送Ｔ_２の円滑化及び移送Ｔ_２の安定性を高めるようにしている。

又、この場合、上記揺振機構Ｆにあっては、図２、図３、図４、図５の如く、上記研磨機体Ｂに取付部材Ｂ_２を取付け、取付部材Ｂ_２に揺振部材１０を摺動台１１及びガイド１２により上記テープ移送Ｔ_２方向と直交するテープ幅方向に揺振動作Ｈ自在に設け、取付部材Ｂ_２の上部に揺振用モータ１３を取付けると共に駆動軸１４を回転自在に設け、揺振用モータ１３の主軸と駆動軸１４とを継手１５により連結し、駆動軸１４と揺振部材１０との間に偏心輪機構１６を介装し、この場合、駆動軸１４に駆動軸１４の回転軸線Ｏに対して偏心量εの回転軸線Ｏ_１を有する偏心軸部１４ａを形成し、偏心軸部１４ａに偏心輪１７を回転自在に設け、上記揺振部材１０に嵌合凹部１０ａを形成し、嵌合凹部１０ａに偏心輪１７周面に接する対向一対の接触面１０ｂ・１０ｂを形成し、揺振用モータ１３による偏心輪１７の偏心回転により揺振部材１０をテープ幅方向に揺振動作Ｈさせるように構成している。

さらに、この場合、上記圧接機構Ｄとして、図２、図３の如く、上記揺振部材１０にシリンダ部１８・１８を二個並列配設し、シリンダ部１８・１８の二個のプランジャ１８ａ・１８ａの下端部に進退部材１９を架設し、進退部材１９に上記研磨テープＴを折返案内可能な圧接部材Ｄ_１を回転軸線Ｐを中心として回転自在に設け、進退部材１９に研磨テープＴの両側端面を案内する前後一対のテープガイド２０・２０を左右に二組取付け、シリンダ部１８・１８のプランジャ１８ａ・１８ａにより圧接部材Ｄ_１を介して研磨テープＴの研磨面Ｔ_１を被加工物Ｗの被研磨面Ｗ_１に圧接Ｎさせるように構成している。

又、この場合、上記被加工物Ｗを保持する保持機構Ｇとして、図８、図１１の如く、上記支持機体Ａに対向配置され、被加工物Ｗを保持可能な保持部材２１を備えて構成され、この場合、上記保持機構Ｇとして負圧吸着機構２２が用いられ、上記保持部材２１は水平旋回自在に設けられ、保持部材２１の上面に上記被加工物Ｗを載置可能な載置面２１ａが設けられ、保持部材２１を連続的又は間欠的に旋回させる水平旋回機構２３を設け、水平旋回機構２３として、この場合、図８、図９、図１０、図１１の如く、機台１に保持取付台２４を取付け、保持取付台２４に回転軸２５を軸受部２６により回転自在に設け、回転軸２５の下部に従動プーリ２７を設け、保持取付台２４に旋回用モータ２８を取付け、旋回用モータ２８の主軸に図示省略の駆動プーリを取付け、駆動プーリと従動プーリ２７との間に駆動ベルト２９を巻回し、回転軸２５に上記保持部材２１を取付け、旋回用モータ２８により駆動ベルト２９を介して保持部材２１を連続的又は間欠的に旋回させるように構成されている。

さらに、この場合、上記負圧吸着機構２２として、図８、図９、図１０、図１１の如く、保持部材２１の外周面に環状部材３０を嵌着し、環状部材３０に図示省略の負圧源に接続された吸引口部３０ａを設け、環状部材３０の吸引口部３０ａと保持部材２１の吸引路２１ｂとを連通形成し、保持部材２１の載置面２１ａに載置された被加工物Ｗを吸着又は負圧解除により保持釈放可能に設けて構成している。なお、上記実施の形態例においては、上記保持機構Ｇとして、負圧を利用した負圧吸着機構２２を採用しているが、これに代えて、挟持機構や押圧機構等の所謂、機械的、機構的な保持機構を採用することもある。

又、この場合、上記支持機体Ａ、研磨ユニットＫＵ及び保持機構Ｇを同期制御する構造となっている。この同期制御とは、例えば、上記支持機体Ａの移動機構、研磨ユニットＫＵ及び上記保持機構Ｇの動作制御やフィードバック制御を同期させる制御回路を含み、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ、入出力ポートを有するコンピュータや各種の回路から構成され、上記研磨ユニットＫＵの研磨テープＴの連続又は間欠移送Ｔ_２の時間、研磨テープＴの移送Ｔ_２速度を制御し、上記保持機構Ｇの被加工物Ｗの移動時間、移動速度、回転及び回転停止の間欠回転の間隔時間、被加工物Ｗの回転速度等をプログラムをそれぞれ同期させて制御するように構成されている。

この実施の形態例は上記構成であるから、図１、図２、図３の如く、研磨ユニットＫＵは支持機体Ａに支持され、研磨ユニットＫＵに研磨テープＴを連続的又は間欠的に移送Ｔ_２させるテープ移送機構Ｃ及び研磨テープＴの研磨面Ｔ_１を被加工物Ｗの被研磨面Ｗ_１に圧接Ｎさせる圧接機構Ｄが備えられ、テープ移送機構Ｃによる研磨テープＴの移送Ｔ_２及び圧接機構Ｄによる被加工物Ｗの被研磨面Ｗ_１に対する研磨テープＴの研磨面Ｔ_１の圧接Ｎにより被加工物Ｗを研磨加工することができ、例えば、図１２の如く、被加工物Ｗの表面の研磨にあっては、被加工物Ｗの被研磨面Ｗ_１に圧接機構Ｄにより研磨テープＴの研磨面Ｔ_１を圧接Ｎし、研磨テープＴの移送Ｔ_２及び研磨テープＴの圧接Ｎ並びに支持機体Ａの先端の連結部材Ａ_１の移動動作の複合動作により被加工物Ｗの被研磨面Ｗ_１を研磨テープＴの研磨面Ｔ_１で研磨加工することができ、この際、テープ移送機構Ｃとして、上記研磨機体Ｂに繰出軸Ｂ_Ｋ及び巻取軸Ｂ_Ｍを回転自在に配設し、繰出軸Ｂ_Ｋに研磨テープＴが巻回された実巻リールＲ_Ｋが装着され、巻取軸Ｂ_Ｍに空リールＲ_Ｍが装着され、実巻リールＲ_Ｋから巻き解かれた研磨テープＴは空リールＲ_Ｍに掛回され、巻取軸Ｂ_Ｍ及び空リールＲ_Ｍを巻取回転させる巻取用モータＭを配設し、繰出軸Ｂ_Ｋ及び実巻リールＲ_Ｋは上記巻取軸Ｂ_Ｍ及び空リールＲ_Ｍの巻取回転により上記研磨テープＴを介して巻解回転され、上記繰出軸Ｂ_Ｋに回転抵抗を付与する遊転防止機構Ｅを設けて構成しているから、単一個の巻取用モータＭの回転制御により研磨テープＴを連続的又は間欠的に移送Ｔ_２させることができ、テープ移送機構Ｃの全体構造の簡素化、軽量化及び装置コストの低減を図ることができ、それだけ、各種の被加工物Ｗに対する研磨加工の融通性及び用途の拡大化を確保することができ、かつ、圧接機構Ｄを備えているから、被加工物Ｗの被研磨面Ｗ_１に対する研磨テープＴの研磨面Ｔ_１の圧接Ｎにより被加工物Ｗを研磨加工することができ、研磨テープＴの移送Ｔ_２及び研磨テープＴの圧接Ｎの相互作用により研磨精度及び研磨面Ｔ_１の表面粗さを向上することができ、良好な研磨加工を行うことができ、さらに、上記繰出軸Ｂ_Ｋに回転抵抗を付与する遊転防止機構Ｅを設けて構成しているから、研磨テープＴに適度な緊張力を付与することができ、研磨テープＴの不測の繰出回転による弛み現象を防ぐことができ、研磨テープＴの移送Ｔ_２の円滑化及び移送Ｔ_２の安定性を高めることができ、各種の被加工物Ｗの被研磨面Ｗ_１の良好な研磨加工を行うことができる。

この場合、図１、図２の如く、上記研磨テープＴをテープ移送Ｔ_２方向と直交するテープ幅方向に揺振動作Ｈさせる揺振機構Ｆを備えているから、図３、図５、図１２の如く、上記研磨テープＴをテープ幅方向に揺振動作Ｈさせることができ、研磨テープＴの移送Ｔ₂及び研磨テープＴの圧接Ｎ並びに揺振動作Ｈの相互作用により研磨精度及び研磨面Ｔ_１の表面粗さを一層向上することができ、良好な研磨加工を行うことができ、又、この場合、図２の如く、上記圧接機構Ｄに上記研磨テープＴを折返案内可能な圧接部材Ｄ_１を備えてなるから、被加工物Ｗの被研磨面Ｗ_１に研磨テープＴの研磨面Ｔ_１を確実に圧接Ｎさせることができ、円滑かつ良好な研磨加工を行うことができる。

又、この場合、図２、図７の如く、上記遊転防止機構Ｅは、上記繰出軸Ｂ_Ｋに取り付けられた摩擦部材Ｅ_１及び摩擦部材Ｅ_１の表面にバネ８により弾圧して摩擦部材Ｅ_１に回転抵抗を付与する摩擦体７からなるので、遊転防止機構Ｅの構造を簡素化することができ、研磨テープＴの移送Ｔ_２の円滑化及び移送Ｔ_２の安定性を高めることができ、又、この場合、上記研磨ユニットＫＵによる研磨構造は乾式構造又は湿式構造であるから、基材に固定砥粒を固着した構造の研磨テープＴを用いて潤滑剤を用いない乾式研磨構造や基材に固定砥粒を固着した構造の研磨テープＴを用いて潤滑剤を供給しつつ研磨する湿式研磨構造、あるいは、固定砥粒を固着していない織布、不織布、発泡体フィルム、植毛布を研磨テープＴとして用いて遊離砥粒を含む研磨剤を供給する湿式研磨構造を被加工物Ｗの材質や研磨加工の仕様に応じて選択することができ、研磨加工の融通性を高めることができ、それだけ、良好な研磨加工を行うことができる。

又、この場合、上記被加工物Ｗを保持する研磨装置の保持機構Ｇとして、図８、図１１の如く、被加工物Ｗを保持可能な保持部材２１を備えているから、上記保持部材２１により上記被加工物Ｗを確実に保持することができると共に保持機構Ｇにより被加工物Ｗを保持部材２１に確実に保持釈放することができ、良好な研磨加工を行うことができ、又、この場合、図１１の如く、上記保持機構Ｇとして負圧吸着機構２２が用いられているから、被加工物Ｗを保持部材２１に確実に保持させることができると共に保持機構Ｇの構造を簡素化することができ、又、この場合、図１１の如く、上記保持部材２１は水平旋回自在に設けられ、保持部材２１の上面に上記被加工物Ｗを載置可能な載置面２１ａが設けられ、保持部材２１を連続的又は間欠的に旋回させる水平旋回機構２３を設けているから、水平旋回機構２３による保持部材２１の連続的又は間欠的な旋回動作により被加工物Ｗの研磨加工の融通性を高めることができ、各種の被加工物Ｗの種類や様々な仕様に柔軟に対応することができ、多品種対応で専用機に比べて汎用性が高く、用途の融通性及び拡大化を確保することができる。

なお、本発明は上記実施の形態例に限られるものではなく、支持機体Ａ、研磨機体Ｂ、テープ移送機構Ｃ、圧接機構Ｄ、圧接部材Ｄ_１、遊転防止機構Ｅ、摩擦部材Ｅ_１、揺振機構Ｆ、実巻リールＲ_Ｋ、空リールＲ_Ｍ、巻取用モータＭ、摩擦体７、バネ８等の構造、研磨テープＴの材質や構造等は適宜変更して設計されるものである。

以上、所期の目的を充分達成することができる。

ＫＵ 研磨ユニット
Ｗ 被加工物
Ｗ_１ 被研磨面
Ｔ 研磨テープ
Ｔ_１ 研磨面
Ｔ_２ テープ移送
Ａ 支持機体
Ｂ 研磨機体
Ｂ_Ｋ 繰出軸
Ｂ_Ｍ 巻取軸
Ｃ テープ移送機構
Ｄ 圧接機構
Ｄ_１ 圧接部材
Ｆ 揺振機構
Ｈ 揺振動作
Ｎ 圧接
Ｒ_Ｋ 実巻リール
Ｒ_Ｍ 空リール
Ｍ 巻取用モータ

Claims (4)

1. 支持機体に支持される研磨機体と、被加工物の被研磨面を研磨する研磨テープと、該研磨テープを連続的又は間欠的に移送させるテープ移送機構と、該研磨テープの研磨面を被加工物の被研磨面に圧接させる圧接機構とを備えてなり、上記テープ移送機構として、上記研磨機体に繰出軸及び巻取軸を回転自在に配設し、該繰出軸に該研磨テープが巻回された実巻リールが装着され、該巻取軸に空リールが装着され、該実巻リールから巻き解かれた研磨テープは該空リールに掛回され、該巻取軸及び該空リールを巻取回転させる巻取用モータを配設し、該繰出軸及び該実巻リールは上記巻取軸及び該空リールの巻取回転により上記研磨テープを介して巻解回転されることを特徴とする研磨ユニット。
2. 上記研磨テープをテープ移送方向と直交するテープ幅方向に揺振動作させる揺振機構を備えてなることを特徴とする請求項１記載の研磨ユニット。
3. 上記圧接機構に上記研磨テープを折返案内可能な圧接部材を備えてなることを特徴とする請求項１又は２記載の研磨ユニット。
4. 上記研磨ユニットによる研磨構造は乾式構造又は湿式構造であることを特徴とする請求項１又は２記載の研磨ユニット。

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