JPH11347906A - 板状部材研磨装置 - Google Patents
板状部材研磨装置Info
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- JPH11347906A JPH11347906A JP15810498A JP15810498A JPH11347906A JP H11347906 A JPH11347906 A JP H11347906A JP 15810498 A JP15810498 A JP 15810498A JP 15810498 A JP15810498 A JP 15810498A JP H11347906 A JPH11347906 A JP H11347906A
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- Japan
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- plate
- polishing
- holding
- holding member
- tape
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 板状部材を板状部材の送り運動及び揺振運動
の複合運動により研磨加工することができる。 【解決手段】 板状部材Ｗを保持釈放可能な保持機構を
もつ保持部材３１と、保持部材を上下動作させる上下動
機構２１と、保持部材を水平方向に送り動作させる送り
機構４と、研磨テープＴを板状部材の送り方向と交差す
る方向に移送させるテープ移送機構３３と、保持部材を
保持部材の送り方向と交差する方向に揺振運動させる揺
振機構１２とを備えてなる。
の複合運動により研磨加工することができる。 【解決手段】 板状部材Ｗを保持釈放可能な保持機構を
もつ保持部材３１と、保持部材を上下動作させる上下動
機構２１と、保持部材を水平方向に送り動作させる送り
機構４と、研磨テープＴを板状部材の送り方向と交差す
る方向に移送させるテープ移送機構３３と、保持部材を
保持部材の送り方向と交差する方向に揺振運動させる揺
振機構１２とを備えてなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は例えば液晶ガラス基
板や金属薄板材、ＣＤ、ＤＶＤ等の光デイスクの原盤と
してのスタンパー、シリコンからなる半導体ウエハー材
等の研磨加工に用いられる板状部材研磨装置に関するも
のである。
板や金属薄板材、ＣＤ、ＤＶＤ等の光デイスクの原盤と
してのスタンパー、シリコンからなる半導体ウエハー材
等の研磨加工に用いられる板状部材研磨装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来この種の板状部材研磨装置として、
移送する研磨テープの表面に板状部材を押圧し、この押
圧接触により板状部材を研磨する構造が知られている。
移送する研磨テープの表面に板状部材を押圧し、この押
圧接触により板状部材を研磨する構造が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
構造の場合、板状部材は研磨テープの研磨物質及び研磨
テープの移送作用により研磨加工されることになり、板
状部材の研磨面の表面粗さの向上等において制約がある
という不都合を有している。
構造の場合、板状部材は研磨テープの研磨物質及び研磨
テープの移送作用により研磨加工されることになり、板
状部材の研磨面の表面粗さの向上等において制約がある
という不都合を有している。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような課題
を解決することを目的とするもので、本発明のうちで、
請求項１記載の発明は、板状部材を保持釈放可能な保持
機構をもつ保持部材と、該保持部材を上下動作させる上
下動機構と、該保持部材を水平方向に送り動作させる送
り機構と、該研磨テープを板状部材の送り方向と交差す
る方向に移送させるテープ移送機構と、該保持部材を保
持部材の送り方向と交差する方向に揺振運動させる揺振
機構とを備えて構成したことを特徴とする板状部材研磨
装置にある。
を解決することを目的とするもので、本発明のうちで、
請求項１記載の発明は、板状部材を保持釈放可能な保持
機構をもつ保持部材と、該保持部材を上下動作させる上
下動機構と、該保持部材を水平方向に送り動作させる送
り機構と、該研磨テープを板状部材の送り方向と交差す
る方向に移送させるテープ移送機構と、該保持部材を保
持部材の送り方向と交差する方向に揺振運動させる揺振
機構とを備えて構成したことを特徴とする板状部材研磨
装置にある。
【０００５】又、請求項２記載の発明は、上記テープ移
送機構を機台上に配設し、該機台上に柱部材を立設し、
該柱部材に架台部材を配設し、該架台部材に上記送り機
構及び揺振機構を配設し、該送り機構及び揺振機構によ
り送り運動及び揺振運動可能な取付部材に上記上下動機
構を配設して構成したことを特徴とするものであり、
又、請求項３記載の発明は、上記上下動機構として空圧
シリンダ機構を用いてなり、該空圧シリンダ機構への上
記保持部材の自重下降方向とは逆の押上方向に給送する
空気圧の制御により板状部材と研磨テープとの研磨圧を
制御することを特徴とするものであり、又、請求項４記
載の発明は、上記保持機構として負圧吸着機構が用いら
れていることを特徴とするものであり、又、請求項５記
載の発明は、上記研磨テープは連続又は間欠移送可能に
設けられていることを特徴とするものである。
送機構を機台上に配設し、該機台上に柱部材を立設し、
該柱部材に架台部材を配設し、該架台部材に上記送り機
構及び揺振機構を配設し、該送り機構及び揺振機構によ
り送り運動及び揺振運動可能な取付部材に上記上下動機
構を配設して構成したことを特徴とするものであり、
又、請求項３記載の発明は、上記上下動機構として空圧
シリンダ機構を用いてなり、該空圧シリンダ機構への上
記保持部材の自重下降方向とは逆の押上方向に給送する
空気圧の制御により板状部材と研磨テープとの研磨圧を
制御することを特徴とするものであり、又、請求項４記
載の発明は、上記保持機構として負圧吸着機構が用いら
れていることを特徴とするものであり、又、請求項５記
載の発明は、上記研磨テープは連続又は間欠移送可能に
設けられていることを特徴とするものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１乃至図１０は本発明の実施の
形態例を示し、１は機台であって、この場合機台１上に
複数個の柱部材２を立設し、この柱部材２の上端部に架
台部材３を架設し、複数個の柱部材２及び架台部材３に
より機械剛性としての所謂こわさの高い門型構造を構成
している。
形態例を示し、１は機台であって、この場合機台１上に
複数個の柱部材２を立設し、この柱部材２の上端部に架
台部材３を架設し、複数個の柱部材２及び架台部材３に
より機械剛性としての所謂こわさの高い門型構造を構成
している。
【０００７】４は送り機構であって、この場合、上記架
台部材３に案内レール５を並列状に取付け、案内レール
５に送り台６を摺動部７により水平方向に送り運動自在
に設け、この送り台６にナット部８ａ及び螺軸８ｂから
なるボールネジ機構８のナット部８ａを取付け、架台部
材３の上面に軸受部９・９により螺軸８ｂを横設し、架
台部材３の側部裏面に正逆回転制御可能な送り用モータ
１０を取付け、送り用モータ１０の主軸と螺軸８ｂの端
部との間にベルト伝導機構１１を介装し、送り用モータ
１０の主軸の正逆回転によりボールネジ機構８を介して
送り台６を水平方向に送り運動させる構成している。
台部材３に案内レール５を並列状に取付け、案内レール
５に送り台６を摺動部７により水平方向に送り運動自在
に設け、この送り台６にナット部８ａ及び螺軸８ｂから
なるボールネジ機構８のナット部８ａを取付け、架台部
材３の上面に軸受部９・９により螺軸８ｂを横設し、架
台部材３の側部裏面に正逆回転制御可能な送り用モータ
１０を取付け、送り用モータ１０の主軸と螺軸８ｂの端
部との間にベルト伝導機構１１を介装し、送り用モータ
１０の主軸の正逆回転によりボールネジ機構８を介して
送り台６を水平方向に送り運動させる構成している。
【０００８】１２は揺振機構であって、この場合、上記
送り台６に案内レール１３を並列状に取付け、案内レー
ル１３に揺振台１４を摺動部１５により送り台６の送り
方向と交差する方向に往復移動する揺振運動自在に設
け、送り台６にブラケット１６を立設し、ブラケット１
６に揺振用モータ１７を取付け、揺振用モータ１７の主
軸に偏心状に偏心ロール１８を取付け、揺振台１４に嵌
合板１９を取付け、嵌合板１９に偏心ロール１８が摺動
嵌合可能な長穴状の嵌合穴２０を形成し、揺振用モータ
１７の主軸の回転により偏心ロール１８と嵌合穴２０と
の摺動嵌合作用により揺振台１４を保持部材３１の送り
方向と交差する方向に揺振運動させるように構成してい
る。
送り台６に案内レール１３を並列状に取付け、案内レー
ル１３に揺振台１４を摺動部１５により送り台６の送り
方向と交差する方向に往復移動する揺振運動自在に設
け、送り台６にブラケット１６を立設し、ブラケット１
６に揺振用モータ１７を取付け、揺振用モータ１７の主
軸に偏心状に偏心ロール１８を取付け、揺振台１４に嵌
合板１９を取付け、嵌合板１９に偏心ロール１８が摺動
嵌合可能な長穴状の嵌合穴２０を形成し、揺振用モータ
１７の主軸の回転により偏心ロール１８と嵌合穴２０と
の摺動嵌合作用により揺振台１４を保持部材３１の送り
方向と交差する方向に揺振運動させるように構成してい
る。
【０００９】２１は上下動機構であって、上記送り台６
に架台２２を取付け、架台２２に吊下部材２３を吊下状
に取付け、吊下部材２３の下部に取付部材２４を取付
け、取付部材２４の両側位置に案内部材２５・２５を垂
設すると共に中央位置に上下動体２６を配置し、この上
下動体２６の両側部に案内レール２７を上下方向に取付
けると共に案内部材２５・２５の対向面に案内レール２
７・２７に摺動嵌合可能な摺動部２８を取付け、かつ、
取付部材２４の中央位置に空圧シリンダ機構２９として
の上下動用シリンダ３０を吊下状に取付け、上下動用シ
リンダ３０のロッド３０ａを上下動体２８の取付部２８
ａに連結し、上下動体２６を空圧シリンダ機構２９によ
り上下動作させるように構成している。
に架台２２を取付け、架台２２に吊下部材２３を吊下状
に取付け、吊下部材２３の下部に取付部材２４を取付
け、取付部材２４の両側位置に案内部材２５・２５を垂
設すると共に中央位置に上下動体２６を配置し、この上
下動体２６の両側部に案内レール２７を上下方向に取付
けると共に案内部材２５・２５の対向面に案内レール２
７・２７に摺動嵌合可能な摺動部２８を取付け、かつ、
取付部材２４の中央位置に空圧シリンダ機構２９として
の上下動用シリンダ３０を吊下状に取付け、上下動用シ
リンダ３０のロッド３０ａを上下動体２８の取付部２８
ａに連結し、上下動体２６を空圧シリンダ機構２９によ
り上下動作させるように構成している。
【００１０】３１は保持部材、３２は保持機構であっ
て、この場合、保持機構３２は負圧吸着機構が採用さ
れ、上記上下動体２６に保持部材３１を取付け、保持部
材３１の底面に複数個の吸引穴３１ａを形成し、吸引穴
３１ａに図外の切替弁を介して図外の負圧発生源を接続
し、吸引穴３１ａの負圧吸着作用により加工すべき板状
部材Ｗを吸着保持釈放自在に設けて構成している。
て、この場合、保持機構３２は負圧吸着機構が採用さ
れ、上記上下動体２６に保持部材３１を取付け、保持部
材３１の底面に複数個の吸引穴３１ａを形成し、吸引穴
３１ａに図外の切替弁を介して図外の負圧発生源を接続
し、吸引穴３１ａの負圧吸着作用により加工すべき板状
部材Ｗを吸着保持釈放自在に設けて構成している。
【００１１】この場合、上記空圧シリンダ機構２９への
上記保持部材３１の自重下降方向とは逆の押上方向に給
送する空気圧、すなわち、空圧シリンダ機構２９のヘッ
ド側ポート３０ｂ・ロッド側ポート３０ｃのうちのロッ
ド側ポート３０ｃに給送する空気圧の制御により板状部
材Ｗと研磨テープＴとの研磨圧を制御するように構成し
ている。
上記保持部材３１の自重下降方向とは逆の押上方向に給
送する空気圧、すなわち、空圧シリンダ機構２９のヘッ
ド側ポート３０ｂ・ロッド側ポート３０ｃのうちのロッ
ド側ポート３０ｃに給送する空気圧の制御により板状部
材Ｗと研磨テープＴとの研磨圧を制御するように構成し
ている。
【００１２】３３はテープ移送機構であって、この場合
機台１に支持軸３４を軸受３５により立設し、支持軸３
４の上端部に枠体３６を取付け、枠体３６の中程部に受
け面部材３７を形成すると共に両側部にポリエステルフ
ィルム、メタル、クロス等の基材に酸化アルミニュウ
ム、酸化クロム、シリコンカーバイド、ダイヤモンド等
の所定粒度の研磨粒子をコーティング又は結合してなる
研磨テープＴを掛回した実巻リール３８及び空リール３
９を軸架し、かつ枠体３６に一対の送りロール４０・４
０を横設し、一方の送りロール４０をベルト伝導機構４
１を介して送り回転させるテープ送り用モータ４２を設
けると共に送りロール４０の回転により空リール３９を
巻取回転させるベルト伝導機構４３を設け、かつ実巻ロ
ール３８をベルト伝導機構４４を介して解き回転させる
解き用モータ４５を設け、実巻リール３８から引き出し
た研磨テープＴを受け面部材３７上及び送りロール４０
・４０間を介して空リール３９に掛回し、送りロール４
０の回転により研磨テープＴを板状部材Ｗの送り方向と
交差する方向に連続連続又は間欠移送させるように構成
している。
機台１に支持軸３４を軸受３５により立設し、支持軸３
４の上端部に枠体３６を取付け、枠体３６の中程部に受
け面部材３７を形成すると共に両側部にポリエステルフ
ィルム、メタル、クロス等の基材に酸化アルミニュウ
ム、酸化クロム、シリコンカーバイド、ダイヤモンド等
の所定粒度の研磨粒子をコーティング又は結合してなる
研磨テープＴを掛回した実巻リール３８及び空リール３
９を軸架し、かつ枠体３６に一対の送りロール４０・４
０を横設し、一方の送りロール４０をベルト伝導機構４
１を介して送り回転させるテープ送り用モータ４２を設
けると共に送りロール４０の回転により空リール３９を
巻取回転させるベルト伝導機構４３を設け、かつ実巻ロ
ール３８をベルト伝導機構４４を介して解き回転させる
解き用モータ４５を設け、実巻リール３８から引き出し
た研磨テープＴを受け面部材３７上及び送りロール４０
・４０間を介して空リール３９に掛回し、送りロール４
０の回転により研磨テープＴを板状部材Ｗの送り方向と
交差する方向に連続連続又は間欠移送させるように構成
している。
【００１３】４９は供給取出台であって、この場合、機
台１に脚杆５０を立設し、脚杆５０に供給取出台４９を
固定している。
台１に脚杆５０を立設し、脚杆５０に供給取出台４９を
固定している。
【００１４】この実施の形態例は上記構成であるから、
図２の如く、テープ移送機構３３により研磨テープＴは
連続又は間欠移送され、図外の供給機構により板状部材
Ｗは供給取出台４９上に供給配置され、供給取出位置Ｋ
において、上下動機構２１の空圧シリンダ機構２９の上
下動用シリンダ３０により保持部材３１は下降し、下降
位置にて、保持部材３１は板状部材Ｗに当接し、保持機
構３２としての負圧吸着機構により板状部材Ｗは保持部
材３１に吸着保持され、この吸着保持状態において、上
下動機構２１により保持部材３１は上昇し、次いで、送
り機構４の送り用モータ１０の駆動によりボールネジ機
構８の作用によって保持部材３１は研磨テープＴに向け
て加工位置Ｎに水平方向に送られ、この送り動作の途中
において、上下動機構２１により保持部材３１は下降す
ると共に揺振機構１２の揺振用モータ１７の駆動により
保持部材３１は揺振運動し、保持部材３１に吸着保持さ
れた板状部材Ｗは研磨テープＴに押圧接触し、板状部材
Ｗは水平方向の送り運動及び送り方向と交差する方向に
揺振運動しつつ研磨テープＴに接触して研磨加工がなさ
れ、必要に応じ、板状部材Ｗは行送り又は戻り送り運動
の送り運動により研磨加工がなされ、そして、研磨加工
が完了すると、上下動機構２１により保持部材３１は上
昇すると共に送り機構４により保持部材３１は加工位置
Ｎから供給取出位置Ｋに水平方向に後退運動し、供給取
出位置Ｋにおいて、上下動機構２１により保持部材３１
は下降し、保持部材３１に吸着保持された板状部材Ｗは
供給取出台４９上に釈放配置され、供給取出台４９上に
釈放された板状部材Ｗは図示省略の取出機構により取り
出されると共に供給取出台４９上に図外の供給機構によ
り加工すべき新たな板状部材Ｗが供給され、以下同様な
作動が繰り返されることになり、したがって、板状部材
Ｗは送り運動Ｐと交差する方向に揺振運動Ｓしつつ送り
運動Ｐされ、板状部材Ｗを板状部材Ｗの送り運動Ｐ及び
揺振運動Ｓの複合運動により研磨加工することができ、
それだけ良好な研磨加工及び研磨面を得ることができ
る。
図２の如く、テープ移送機構３３により研磨テープＴは
連続又は間欠移送され、図外の供給機構により板状部材
Ｗは供給取出台４９上に供給配置され、供給取出位置Ｋ
において、上下動機構２１の空圧シリンダ機構２９の上
下動用シリンダ３０により保持部材３１は下降し、下降
位置にて、保持部材３１は板状部材Ｗに当接し、保持機
構３２としての負圧吸着機構により板状部材Ｗは保持部
材３１に吸着保持され、この吸着保持状態において、上
下動機構２１により保持部材３１は上昇し、次いで、送
り機構４の送り用モータ１０の駆動によりボールネジ機
構８の作用によって保持部材３１は研磨テープＴに向け
て加工位置Ｎに水平方向に送られ、この送り動作の途中
において、上下動機構２１により保持部材３１は下降す
ると共に揺振機構１２の揺振用モータ１７の駆動により
保持部材３１は揺振運動し、保持部材３１に吸着保持さ
れた板状部材Ｗは研磨テープＴに押圧接触し、板状部材
Ｗは水平方向の送り運動及び送り方向と交差する方向に
揺振運動しつつ研磨テープＴに接触して研磨加工がなさ
れ、必要に応じ、板状部材Ｗは行送り又は戻り送り運動
の送り運動により研磨加工がなされ、そして、研磨加工
が完了すると、上下動機構２１により保持部材３１は上
昇すると共に送り機構４により保持部材３１は加工位置
Ｎから供給取出位置Ｋに水平方向に後退運動し、供給取
出位置Ｋにおいて、上下動機構２１により保持部材３１
は下降し、保持部材３１に吸着保持された板状部材Ｗは
供給取出台４９上に釈放配置され、供給取出台４９上に
釈放された板状部材Ｗは図示省略の取出機構により取り
出されると共に供給取出台４９上に図外の供給機構によ
り加工すべき新たな板状部材Ｗが供給され、以下同様な
作動が繰り返されることになり、したがって、板状部材
Ｗは送り運動Ｐと交差する方向に揺振運動Ｓしつつ送り
運動Ｐされ、板状部材Ｗを板状部材Ｗの送り運動Ｐ及び
揺振運動Ｓの複合運動により研磨加工することができ、
それだけ良好な研磨加工及び研磨面を得ることができ
る。
【００１５】又、この場合、上記テープ移送機構３３を
機台１上に配設し、機台１上に柱部材２を立設し、柱部
材２に架台部材３を配設し、架台部材３に送り機構４及
び揺振機構１２を配設し、送り機構４及び揺振機構１２
により送り運動Ｐ及び揺振運動Ｓ可能な取付部材２４に
上記上下動機構２１を吊下状に配設しているから、機械
剛性としての所謂こわさの高い門型構造の構造体に送り
機構４及び揺振機構１２が配設され、保持部材３１の送
り運動及び揺振運動の運動精度を高めることができ、そ
れだけ良好な研磨加工を行うことができ、又、この場
合、上記上下動機構２１として空圧シリンダ機構２９を
用いてなり、空圧シリンダ機構２９への上記保持部材３
１の自重下降方向とは逆の押上方向に給送する空気圧の
制御により板状部材Ｗと研磨テープＴとの研磨圧を制御
するように構成しているから、保持部材３１を含む重量
と均衡をとって研磨圧を調整することができ、それだけ
研磨圧の調整を容易に行うことができ、又、上記保持機
構３２として負圧吸着機構が用いられているから、板状
部材Ｗの保持及び釈放を容易に行うことができると共に
構造を簡素化することができる。
機台１上に配設し、機台１上に柱部材２を立設し、柱部
材２に架台部材３を配設し、架台部材３に送り機構４及
び揺振機構１２を配設し、送り機構４及び揺振機構１２
により送り運動Ｐ及び揺振運動Ｓ可能な取付部材２４に
上記上下動機構２１を吊下状に配設しているから、機械
剛性としての所謂こわさの高い門型構造の構造体に送り
機構４及び揺振機構１２が配設され、保持部材３１の送
り運動及び揺振運動の運動精度を高めることができ、そ
れだけ良好な研磨加工を行うことができ、又、この場
合、上記上下動機構２１として空圧シリンダ機構２９を
用いてなり、空圧シリンダ機構２９への上記保持部材３
１の自重下降方向とは逆の押上方向に給送する空気圧の
制御により板状部材Ｗと研磨テープＴとの研磨圧を制御
するように構成しているから、保持部材３１を含む重量
と均衡をとって研磨圧を調整することができ、それだけ
研磨圧の調整を容易に行うことができ、又、上記保持機
構３２として負圧吸着機構が用いられているから、板状
部材Ｗの保持及び釈放を容易に行うことができると共に
構造を簡素化することができる。
【００１６】又、この場合、上記研磨テープＴはテープ
送り用モータ４２により連続又は間欠移送可能に設けら
れているから、研磨加工時において、研磨テープＴを連
続移送させることにより板状部材Ｗの送り運動及び揺振
運動に加えて研磨テープの移送運動の複合運動により研
磨加工することができ、又、上記研磨テープＴを研磨加
工時においては、走行を停止させ、非研磨加工時等の随
時において、間欠的に研磨テープＴを走行させることに
より各種の板状部材Ｗに対しての研磨の融通性を高める
ことができると共に研磨テープＴの節約もできて経済性
を高めることができる。
送り用モータ４２により連続又は間欠移送可能に設けら
れているから、研磨加工時において、研磨テープＴを連
続移送させることにより板状部材Ｗの送り運動及び揺振
運動に加えて研磨テープの移送運動の複合運動により研
磨加工することができ、又、上記研磨テープＴを研磨加
工時においては、走行を停止させ、非研磨加工時等の随
時において、間欠的に研磨テープＴを走行させることに
より各種の板状部材Ｗに対しての研磨の融通性を高める
ことができると共に研磨テープＴの節約もできて経済性
を高めることができる。
【００１７】尚、本発明は上記実施の形態例に限られる
ものではなく、例えば上記実施の形態例では送り機構４
としてボールネジ機構とサーボモータとの組み合わせ構
造を採用しているが、シリンダ構造を採用することもで
き、又、上下動機構３０として空圧シリンダ機構２９を
採用しているが、他の上下動作機構を採用することもで
き、又、上記実施の形態例では板状部材Ｗを供給取出位
置Ｋと加工位置Ｎとの間で往復運動させ、供給取出位置
Ｋに供給機構及び取出機構を配置しているが、供給台及
び取出台を別々に設置し、供給位置から加工位置を経由
して取出位置に至る直線移送構造を採用することもあ
り、又、揺振機構１２、その他の構造についても適宜変
更して設計されるものである。
ものではなく、例えば上記実施の形態例では送り機構４
としてボールネジ機構とサーボモータとの組み合わせ構
造を採用しているが、シリンダ構造を採用することもで
き、又、上下動機構３０として空圧シリンダ機構２９を
採用しているが、他の上下動作機構を採用することもで
き、又、上記実施の形態例では板状部材Ｗを供給取出位
置Ｋと加工位置Ｎとの間で往復運動させ、供給取出位置
Ｋに供給機構及び取出機構を配置しているが、供給台及
び取出台を別々に設置し、供給位置から加工位置を経由
して取出位置に至る直線移送構造を採用することもあ
り、又、揺振機構１２、その他の構造についても適宜変
更して設計されるものである。
【００１８】又、上記実施の形態例においては、乾式研
磨構造となっているが、板状部材Ｗと研磨テープＴとの
間に加工液体や潤滑剤を供給する所謂湿式研磨構造とす
ることもあり、板状部材Ｗの種類や研磨条件により選択
して設計される。
磨構造となっているが、板状部材Ｗと研磨テープＴとの
間に加工液体や潤滑剤を供給する所謂湿式研磨構造とす
ることもあり、板状部材Ｗの種類や研磨条件により選択
して設計される。
【００１９】
【発明の効果】本発明は上述の如く、請求項１記載の発
明にあっては、板状部材を保持釈放可能な保持機構をも
つ保持部材と、該保持部材を上下動作させる上下動機構
と、該保持部材を水平方向に送り動作させる送り機構
と、研磨テープを板状部材の送り方向と交差する方向に
移送させるテープ移送機構と、保持部材を保持部材の送
り方向と交差する方向に揺振運動させる揺振機構とを備
えて構成しているから、板状部材は研磨テープに押圧接
触し、この接触状態において、板状部材は送り運動と交
差する方向に揺振運動しつつ送り運動され、板状部材を
板状部材の送り運動及び揺振運動の複合運動により研磨
加工することができ、それだけ良好な研磨加工及び研磨
面を得ることができる。
明にあっては、板状部材を保持釈放可能な保持機構をも
つ保持部材と、該保持部材を上下動作させる上下動機構
と、該保持部材を水平方向に送り動作させる送り機構
と、研磨テープを板状部材の送り方向と交差する方向に
移送させるテープ移送機構と、保持部材を保持部材の送
り方向と交差する方向に揺振運動させる揺振機構とを備
えて構成しているから、板状部材は研磨テープに押圧接
触し、この接触状態において、板状部材は送り運動と交
差する方向に揺振運動しつつ送り運動され、板状部材を
板状部材の送り運動及び揺振運動の複合運動により研磨
加工することができ、それだけ良好な研磨加工及び研磨
面を得ることができる。
【００２０】又、請求項２記載の発明にあっては、上記
テープ移送機構を機台上に配設し、機台上に柱部材を立
設し、柱部材に架台部材を配設し、架台部材に送り機構
及び揺振機構を配設し、送り機構及び揺振機構により送
り運動及び揺振運動可能な取付部材に上記上下動機構を
配設しているから、機械剛性としての所謂こわさの高い
門型構造の構造体に送り機構及び揺振機構が配設され、
保持部材の送り運動及び揺振運動の運動精度を高めるこ
とができ、それだけ良好な研磨加工を行うことができ、
又、請求項３記載の発明にあっては、上記上下動機構と
して空圧シリンダ機構を用いてなり、空圧シリンダ機構
への上記保持部材の自重下降方向とは逆の押上方向に給
送する空気圧の制御により板状部材と研磨テープとの研
磨圧を制御するように構成しているから、保持部材を含
む重量と均衡をとって研磨圧を調整することができ、そ
れだけ研磨圧の調整を容易に行うことができ、又、請求
項４記載の発明にあっては、上記保持機構として負圧吸
着機構が用いられているから、板状部材の保持及び釈放
を容易に行うことができると共に構造を簡素化すること
ができる。
テープ移送機構を機台上に配設し、機台上に柱部材を立
設し、柱部材に架台部材を配設し、架台部材に送り機構
及び揺振機構を配設し、送り機構及び揺振機構により送
り運動及び揺振運動可能な取付部材に上記上下動機構を
配設しているから、機械剛性としての所謂こわさの高い
門型構造の構造体に送り機構及び揺振機構が配設され、
保持部材の送り運動及び揺振運動の運動精度を高めるこ
とができ、それだけ良好な研磨加工を行うことができ、
又、請求項３記載の発明にあっては、上記上下動機構と
して空圧シリンダ機構を用いてなり、空圧シリンダ機構
への上記保持部材の自重下降方向とは逆の押上方向に給
送する空気圧の制御により板状部材と研磨テープとの研
磨圧を制御するように構成しているから、保持部材を含
む重量と均衡をとって研磨圧を調整することができ、そ
れだけ研磨圧の調整を容易に行うことができ、又、請求
項４記載の発明にあっては、上記保持機構として負圧吸
着機構が用いられているから、板状部材の保持及び釈放
を容易に行うことができると共に構造を簡素化すること
ができる。
【００２１】又、請求項５記載の発明にあっては、上記
研磨テープは連続又は間欠移送可能に設けられているか
ら、研磨加工時において、研磨テープを連続移送させる
ことにより板状部材の送り運動及び揺振運動に加えて研
磨テープの移送運動の複合運動により研磨加工すること
ができ、又、上記研磨テープを研磨加工時においては、
走行を停止させ、非研磨加工時等の随時において、随
時、間欠的に研磨テープを走行させることにより各種の
板状部材に対しての研磨の融通性を高めることができる
と共に研磨テープの節約もできて経済性を高めることが
できる。
研磨テープは連続又は間欠移送可能に設けられているか
ら、研磨加工時において、研磨テープを連続移送させる
ことにより板状部材の送り運動及び揺振運動に加えて研
磨テープの移送運動の複合運動により研磨加工すること
ができ、又、上記研磨テープを研磨加工時においては、
走行を停止させ、非研磨加工時等の随時において、随
時、間欠的に研磨テープを走行させることにより各種の
板状部材に対しての研磨の融通性を高めることができる
と共に研磨テープの節約もできて経済性を高めることが
できる。
【００２２】以上、所期の目的を充分達成することがで
きる。
きる。
【図１】本発明の実施の形態例の正面図である。
【図２】本発明の実施の形態例の側面図である。
【図３】本発明の実施の形態例の平断面図である。
【図４】本発明の実施の形態例の部分正断面図である。
【図５】本発明の実施の形態例の部分側断面図である。
【図６】本発明の実施の形態例の部分平断面図である。
【図７】本発明の実施の形態例の部分断面図である。
【図８】本発明の実施の形態例の部分断面図である。
【図９】本発明の実施の形態例の加工説明斜視図であ
る。
る。
【図１０】本発明の実施の形態例の加工説明平面図であ
る。
る。
Ｗ 板状部材 Ｔ 研磨テープ Ｎ 加工位置 Ｋ 供給取出位置 １ 機台 ２ 柱部材 ３ 架台部材 ４ 送り機構 １２ 揺振機構 ２１ 上下動機構 ２４ 取付部材 ２９ 空圧シリンダ機構 ３１ 保持部材 ３２ 保持機構 ３３ テープ移送機構
Claims (5)
- 【請求項１】 板状部材を保持釈放可能な保持機構をも
つ保持部材と、該保持部材を上下動作させる上下動機構
と、該保持部材を水平方向に送り動作させる送り機構
と、該研磨テープを板状部材の送り方向と交差する方向
に移送させるテープ移送機構と、該保持部材を保持部材
の送り方向と交差する方向に揺振運動させる揺振機構と
を備えて構成したことを特徴とする板状部材研磨装置。 - 【請求項２】 上記テープ移送機構を機台上に配設し、
該機台上に柱部材を立設し、該柱部材に架台部材を配設
し、該架台部材に上記送り機構及び揺振機構を配設し、
該送り機構及び揺振機構により送り運動及び揺振運動可
能な取付部材に上記上下動機構を配設して構成したこと
を特徴とする請求項１記載の板状部材研磨装置。 - 【請求項３】 上記上下動機構として空圧シリンダ機構
を用いてなり、該空圧シリンダ機構への上記保持部材の
自重下降方向とは逆の押上方向に給送する空気圧の制御
により板状部材と研磨テープとの研磨圧を制御すること
を特徴とする請求項１又は２記載の板状部材研磨装置。 - 【請求項４】 上記保持機構として負圧吸着機構が用い
られていることを特徴とする請求項１、２又は３記載の
板状部材研磨装置。 - 【請求項５】 上記研磨テープは連続又は間欠移送可能
に設けられていることを特徴とする請求項１、２、３又
は４記載の板状部材研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15810498A JPH11347906A (ja) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | 板状部材研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15810498A JPH11347906A (ja) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | 板状部材研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11347906A true JPH11347906A (ja) | 1999-12-21 |
Family
ID=15664401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15810498A Pending JPH11347906A (ja) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | 板状部材研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11347906A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109075054A (zh) * | 2016-03-25 | 2018-12-21 | 应用材料公司 | 具有局部区域速率控制及振荡模式的研磨系统 |
-
1998
- 1998-06-05 JP JP15810498A patent/JPH11347906A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109075054A (zh) * | 2016-03-25 | 2018-12-21 | 应用材料公司 | 具有局部区域速率控制及振荡模式的研磨系统 |
| CN109075054B (zh) * | 2016-03-25 | 2023-06-09 | 应用材料公司 | 具有局部区域速率控制及振荡模式的研磨系统 |
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