JPH11347907A - 板状部材研磨装置 - Google Patents
板状部材研磨装置Info
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- JPH11347907A JPH11347907A JP15810598A JP15810598A JPH11347907A JP H11347907 A JPH11347907 A JP H11347907A JP 15810598 A JP15810598 A JP 15810598A JP 15810598 A JP15810598 A JP 15810598A JP H11347907 A JPH11347907 A JP H11347907A
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- Japan
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- polishing
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- tape
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 板状部材を板状部材の送り運動及び研磨テー
プの旋回運動の複合運動により研磨加工することができ
る。 【解決手段】 板状部材Ｗを保持釈放可能な保持機構を
もつ保持部材３１と、保持部材を上下動作させる上下動
機構２１と、保持部材を水平方向に送り動作させる送り
機構４と、研磨テープＴを移送させるテープ移送機構３
３と、該テープ移送機構を旋回動作させる旋回機構４６
とを備えてなる。
プの旋回運動の複合運動により研磨加工することができ
る。 【解決手段】 板状部材Ｗを保持釈放可能な保持機構を
もつ保持部材３１と、保持部材を上下動作させる上下動
機構２１と、保持部材を水平方向に送り動作させる送り
機構４と、研磨テープＴを移送させるテープ移送機構３
３と、該テープ移送機構を旋回動作させる旋回機構４６
とを備えてなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は例えばＣＤ、ＤＶＤ
等の光デイスクの原盤としてのスタンパ、シリコンから
なる半導体ウエハー材等の研磨加工に用いられる板状部
材研磨装置に関するものである。
等の光デイスクの原盤としてのスタンパ、シリコンから
なる半導体ウエハー材等の研磨加工に用いられる板状部
材研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来この種の板状部材研磨装置として、
移送する研磨テープの表面に板状部材を押圧し、この押
圧接触により板状部材を研磨する構造が知られている。
移送する研磨テープの表面に板状部材を押圧し、この押
圧接触により板状部材を研磨する構造が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
構造の場合、板状部材は研磨テープの研磨物質及び研磨
テープの移送作用により研磨加工されることになり、板
状部材の研磨面の表面粗さの向上等において制約がある
という不都合を有している。
構造の場合、板状部材は研磨テープの研磨物質及び研磨
テープの移送作用により研磨加工されることになり、板
状部材の研磨面の表面粗さの向上等において制約がある
という不都合を有している。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような課題
を解決することを目的とするもので、本発明のうちで、
請求項１記載の発明は、板状部材を保持釈放可能な保持
機構をもつ保持部材と、該保持部材を上下動作させる上
下動機構と、該保持部材を水平方向に送り動作させる送
り機構と、該研磨テープを移送させるテープ移送機構
と、該テープ移送機構を旋回動作させる旋回機構とを備
えて構成したことを特徴とする板状部材研磨装置にあ
る。
を解決することを目的とするもので、本発明のうちで、
請求項１記載の発明は、板状部材を保持釈放可能な保持
機構をもつ保持部材と、該保持部材を上下動作させる上
下動機構と、該保持部材を水平方向に送り動作させる送
り機構と、該研磨テープを移送させるテープ移送機構
と、該テープ移送機構を旋回動作させる旋回機構とを備
えて構成したことを特徴とする板状部材研磨装置にあ
る。
【０００５】又、請求項２記載の発明は、板状部材を保
持釈放可能な保持機構をもつ保持部材と、該保持部材を
上下動作させる上下動機構と、該保持部材を水平方向に
送り動作させる送り機構と、該研磨テープを移送させる
テープ移送機構と、該保持部材を旋回動作させる旋回機
構とを備えて構成したことを特徴とする板状部材研磨装
置にある。
持釈放可能な保持機構をもつ保持部材と、該保持部材を
上下動作させる上下動機構と、該保持部材を水平方向に
送り動作させる送り機構と、該研磨テープを移送させる
テープ移送機構と、該保持部材を旋回動作させる旋回機
構とを備えて構成したことを特徴とする板状部材研磨装
置にある。
【０００６】又、請求項３記載の発明は、上記保持部材
を保持部材の送り方向と交差する方向に揺振運動させる
揺振機構を備えて構成したことを特徴とするものであ
り、又、請求項４記載の発明は、上記テープ移送機構を
機台上に配設し、該機台上に柱部材を立設し、該柱部材
に架台部材を配設し、該架台部材に上記送り機構を配設
し、該送り機構により送り運動可能な取付部材に上記上
下動機構を配設して構成したことを特徴とするものであ
り、又、請求項５記載の発明は、上記上下動機構として
空圧シリンダ機構を用いてなり、該空圧シリンダ機構へ
の上記保持部材の自重下降方向とは逆の押上方向に給送
する空気圧の制御により板状部材と研磨テープとの研磨
圧を制御することを特徴とするものであり、又、請求項
６記載の発明は、上記保持機構として負圧吸着機構が用
いられていることを特徴とするものであり、又、請求項
７記載の発明は、上記研磨テープは連続移送又は間欠移
送可能に設けられていることを特徴とするものである。
を保持部材の送り方向と交差する方向に揺振運動させる
揺振機構を備えて構成したことを特徴とするものであ
り、又、請求項４記載の発明は、上記テープ移送機構を
機台上に配設し、該機台上に柱部材を立設し、該柱部材
に架台部材を配設し、該架台部材に上記送り機構を配設
し、該送り機構により送り運動可能な取付部材に上記上
下動機構を配設して構成したことを特徴とするものであ
り、又、請求項５記載の発明は、上記上下動機構として
空圧シリンダ機構を用いてなり、該空圧シリンダ機構へ
の上記保持部材の自重下降方向とは逆の押上方向に給送
する空気圧の制御により板状部材と研磨テープとの研磨
圧を制御することを特徴とするものであり、又、請求項
６記載の発明は、上記保持機構として負圧吸着機構が用
いられていることを特徴とするものであり、又、請求項
７記載の発明は、上記研磨テープは連続移送又は間欠移
送可能に設けられていることを特徴とするものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１乃至図１０は本発明の実施の
形態例を示し、１は機台であって、この場合機台１上に
複数個の柱部材２を立設し、この柱部材２の上端部に架
台部材３を架設し、複数個の柱部材２及び架台部材３に
より機械剛性としての所謂こわさの高い門型構造を構成
している。
形態例を示し、１は機台であって、この場合機台１上に
複数個の柱部材２を立設し、この柱部材２の上端部に架
台部材３を架設し、複数個の柱部材２及び架台部材３に
より機械剛性としての所謂こわさの高い門型構造を構成
している。
【０００８】４は送り機構であって、この場合、上記架
台部材３に案内レール５を並列状に取付け、案内レール
５に送り台６を摺動部７により水平方向に送り運動自在
に設け、この送り台６にナット部８ａ及び螺軸８ｂから
なるボールネジ機構８のナット部８ａを取付け、架台部
材３の上面に軸受部９・９により螺軸８ｂを横設し、架
台部材３の側部裏面に正逆回転制御可能な送り用モータ
１０を取付け、送り用モータ１０の主軸と螺軸８ｂの端
部との間にベルト伝導機構１１を介装し、送り用モータ
１０の主軸の正逆回転によりボールネジ機構８を介して
送り台６を水平方向に送り運動させる構成している。
台部材３に案内レール５を並列状に取付け、案内レール
５に送り台６を摺動部７により水平方向に送り運動自在
に設け、この送り台６にナット部８ａ及び螺軸８ｂから
なるボールネジ機構８のナット部８ａを取付け、架台部
材３の上面に軸受部９・９により螺軸８ｂを横設し、架
台部材３の側部裏面に正逆回転制御可能な送り用モータ
１０を取付け、送り用モータ１０の主軸と螺軸８ｂの端
部との間にベルト伝導機構１１を介装し、送り用モータ
１０の主軸の正逆回転によりボールネジ機構８を介して
送り台６を水平方向に送り運動させる構成している。
【０００９】１２は揺振機構であって、この場合、上記
送り台６に案内レール１３を並列状に取付け、案内レー
ル１３に揺振台１４を摺動部１５により送り台６の送り
方向と交差する方向に往復移動する揺振運動自在に設
け、送り台６にブラケット１６を立設し、ブラケット１
６に揺振用モータ１７を取付け、揺振用モータ１７の主
軸に偏心状に偏心ロール１８を取付け、揺振台１４に嵌
合板１９を取付け、嵌合板１９に偏心ロール１８が摺動
嵌合可能な長穴状の嵌合穴２０を形成し、揺振用モータ
１７の主軸の回転により偏心ロール１８と嵌合穴２０と
の摺動嵌合作用により揺振台１４を保持部材３１の送り
方向と交差する方向に揺振運動させるように構成してい
る。
送り台６に案内レール１３を並列状に取付け、案内レー
ル１３に揺振台１４を摺動部１５により送り台６の送り
方向と交差する方向に往復移動する揺振運動自在に設
け、送り台６にブラケット１６を立設し、ブラケット１
６に揺振用モータ１７を取付け、揺振用モータ１７の主
軸に偏心状に偏心ロール１８を取付け、揺振台１４に嵌
合板１９を取付け、嵌合板１９に偏心ロール１８が摺動
嵌合可能な長穴状の嵌合穴２０を形成し、揺振用モータ
１７の主軸の回転により偏心ロール１８と嵌合穴２０と
の摺動嵌合作用により揺振台１４を保持部材３１の送り
方向と交差する方向に揺振運動させるように構成してい
る。
【００１０】２１は上下動機構であって、上記送り台６
に架台２２を取付け、架台２２に吊下部材２３を吊下状
に取付け、吊下部材２３の下部に取付部材２４を取付
け、取付部材２４の両側位置に案内部材２５・２５を垂
設すると共に中央位置に上下動体２６を配置し、この上
下動体２６の両側部に案内レール２７を上下方向に取付
けると共に案内部材２５・２５の対向面に案内レール２
７・２７に摺動嵌合可能な摺動部２８を取付け、かつ、
取付部材２４の中央位置に空圧シリンダ機構２９として
の上下動用シリンダ３０を吊下状に取付け、上下動用シ
リンダ３０のロッド３０ａを上下動体２８の取付部２８
ａに連結し、上下動体２６を空圧シリンダ機構２９によ
り上下動作させるように構成している。
に架台２２を取付け、架台２２に吊下部材２３を吊下状
に取付け、吊下部材２３の下部に取付部材２４を取付
け、取付部材２４の両側位置に案内部材２５・２５を垂
設すると共に中央位置に上下動体２６を配置し、この上
下動体２６の両側部に案内レール２７を上下方向に取付
けると共に案内部材２５・２５の対向面に案内レール２
７・２７に摺動嵌合可能な摺動部２８を取付け、かつ、
取付部材２４の中央位置に空圧シリンダ機構２９として
の上下動用シリンダ３０を吊下状に取付け、上下動用シ
リンダ３０のロッド３０ａを上下動体２８の取付部２８
ａに連結し、上下動体２６を空圧シリンダ機構２９によ
り上下動作させるように構成している。
【００１１】３１は保持部材、３２は保持機構であっ
て、この場合、保持機構３２は負圧吸着機構が採用さ
れ、上記上下動体２６に保持部材３１を取付け、保持部
材３１の底面に複数個の吸引穴３１ａを形成し、吸引穴
３１ａに図外の切替弁を介して図外の負圧発生源を接続
し、吸引穴３１ａの負圧吸着作用により加工すべき板状
部材Ｗを吸着保持釈放自在に設けて構成している。
て、この場合、保持機構３２は負圧吸着機構が採用さ
れ、上記上下動体２６に保持部材３１を取付け、保持部
材３１の底面に複数個の吸引穴３１ａを形成し、吸引穴
３１ａに図外の切替弁を介して図外の負圧発生源を接続
し、吸引穴３１ａの負圧吸着作用により加工すべき板状
部材Ｗを吸着保持釈放自在に設けて構成している。
【００１２】この場合、上記空圧シリンダ機構２９への
上記保持部材３１の自重下降方向とは逆の押上方向に給
送する空気圧、すなわち、空圧シリンダ機構２９のヘッ
ド側ポート３０ｂ・ロッド側ポート３０ｃのうちのロッ
ド側ポート３０ｃに給送する空気圧の制御により板状部
材Ｗと研磨テープＴとの研磨圧を制御するように構成し
ている。
上記保持部材３１の自重下降方向とは逆の押上方向に給
送する空気圧、すなわち、空圧シリンダ機構２９のヘッ
ド側ポート３０ｂ・ロッド側ポート３０ｃのうちのロッ
ド側ポート３０ｃに給送する空気圧の制御により板状部
材Ｗと研磨テープＴとの研磨圧を制御するように構成し
ている。
【００１３】３３はテープ移送機構であって、この場合
機台１に支持軸３４を軸受３５により立設し、支持軸３
４の上端部に枠体３６を取付け、枠体３６の中程部に受
け面部材３７を形成すると共に両側部にポリエステルフ
ィルム、メタル、クロス等の基材に酸化アルミニュウ
ム、酸化クロム、シリコンカーバイド、ダイヤモンド等
の所定粒度の研磨粒子をコーティング又は結合してなる
研磨テープＴを掛回した実巻リール３８及び空リール３
９を軸架し、かつ枠体３６に一対の送りロール４０・４
０を横設し、一方の送りロール４０をベルト伝導機構４
１を介して送り回転させるテープ送り用モータ４２を設
けると共に送りロール４０の回転により空リール３９を
巻取回転させるベルト伝導機構４３を設け、かつ実巻ロ
ール３８をベルト伝導機構４４を介して解き回転させる
解き用モータ４５を設け、実巻リール３８から引き出し
た研磨テープＴを受け面部材３７上及び送りロール４０
・４０間を介して空リール３９に掛回し、送りロール４
０の回転により研磨テープＴを連続又は間欠移送させる
ように構成している。
機台１に支持軸３４を軸受３５により立設し、支持軸３
４の上端部に枠体３６を取付け、枠体３６の中程部に受
け面部材３７を形成すると共に両側部にポリエステルフ
ィルム、メタル、クロス等の基材に酸化アルミニュウ
ム、酸化クロム、シリコンカーバイド、ダイヤモンド等
の所定粒度の研磨粒子をコーティング又は結合してなる
研磨テープＴを掛回した実巻リール３８及び空リール３
９を軸架し、かつ枠体３６に一対の送りロール４０・４
０を横設し、一方の送りロール４０をベルト伝導機構４
１を介して送り回転させるテープ送り用モータ４２を設
けると共に送りロール４０の回転により空リール３９を
巻取回転させるベルト伝導機構４３を設け、かつ実巻ロ
ール３８をベルト伝導機構４４を介して解き回転させる
解き用モータ４５を設け、実巻リール３８から引き出し
た研磨テープＴを受け面部材３７上及び送りロール４０
・４０間を介して空リール３９に掛回し、送りロール４
０の回転により研磨テープＴを連続又は間欠移送させる
ように構成している。
【００１４】４６は旋回機構であって、この場合、上記
支持軸３４を軸受３５により水平旋回自在に縦設し、機
台１内に支持軸３４をベルト伝導機構４７を介して旋回
させる旋回用モータ４８を取付け、テープ移送機構３３
を旋回機構４６により水平旋回させるように構成してい
る。
支持軸３４を軸受３５により水平旋回自在に縦設し、機
台１内に支持軸３４をベルト伝導機構４７を介して旋回
させる旋回用モータ４８を取付け、テープ移送機構３３
を旋回機構４６により水平旋回させるように構成してい
る。
【００１５】４９は供給取出台であって、この場合、機
台１に脚杆５０を立設し、脚杆５０に供給取出台４９を
固定している。
台１に脚杆５０を立設し、脚杆５０に供給取出台４９を
固定している。
【００１６】この実施の形態例は上記構成であるから、
図２の如く、テープ移送機構３３により研磨テープＴは
連続又は間欠移送され、図外の供給機構により板状部材
Ｗは供給取出台４９上に供給配置され、供給取出位置Ｋ
において、上下動機構２１の空圧シリンダ機構２９の上
下動用シリンダ３０により保持部材３１は下降し、下降
位置にて、保持部材３１は板状部材Ｗに当接し、保持機
構３２としての負圧吸着機構により板状部材Ｗは保持部
材３１に吸着保持され、この吸着保持状態において、上
下動機構２１により保持部材３１は上昇し、次いで、送
り機構４の送り用モータ１０の駆動によりボールネジ機
構８の作用によって保持部材３１は研磨テープＴに向け
て加工位置Ｎに水平方向に送られ、この送り動作の途中
において、上下動機構２１により保持部材３１は下降す
ると共に旋回機構４６の旋回用モータ４８の駆動により
支持軸３４を中心としてテープ移送機構３３が水平旋回
し、よって、研磨テープＴは旋回運動し、この研磨テー
プＴに保持部材３１に吸着保持された板状部材Ｗは押圧
接触し、板状部材Ｗは板状部材Ｗの水平方向の送り運動
及び研磨テープＴの旋回運動Ｐしつつ研磨テープＴに接
触して研磨加工がなされ、必要に応じ、板状部材Ｗは行
送り又は戻り送り運動の送り運動により研磨加工がなさ
れ、そして、研磨加工が完了すると、上下動機構２１に
より保持部材３１は上昇すると共に送り機構４により保
持部材３１は加工位置Ｎから供給取出位置Ｋに水平方向
に後退運動し、供給取出位置Ｋにおいて、上下動機構２
１により保持部材３１は下降し、保持部材３１に吸着保
持された板状部材Ｗは供給取出台４９上に釈放配置さ
れ、供給取出台４９上に釈放された板状部材Ｗは図示省
略の取出機構により取り出されると共に供給取出台４９
上に図外の供給機構により加工すべき新たな板状部材Ｗ
が供給され、以下同様な作動が繰り返されることにな
り、したがって、板状部材Ｗを板状部材Ｗの送り運動Ｐ
及び研磨テープＴの旋回運動Ｒの複合運動により研磨加
工することができ、それだけ良好な研磨加工及び研磨面
を得ることができる。
図２の如く、テープ移送機構３３により研磨テープＴは
連続又は間欠移送され、図外の供給機構により板状部材
Ｗは供給取出台４９上に供給配置され、供給取出位置Ｋ
において、上下動機構２１の空圧シリンダ機構２９の上
下動用シリンダ３０により保持部材３１は下降し、下降
位置にて、保持部材３１は板状部材Ｗに当接し、保持機
構３２としての負圧吸着機構により板状部材Ｗは保持部
材３１に吸着保持され、この吸着保持状態において、上
下動機構２１により保持部材３１は上昇し、次いで、送
り機構４の送り用モータ１０の駆動によりボールネジ機
構８の作用によって保持部材３１は研磨テープＴに向け
て加工位置Ｎに水平方向に送られ、この送り動作の途中
において、上下動機構２１により保持部材３１は下降す
ると共に旋回機構４６の旋回用モータ４８の駆動により
支持軸３４を中心としてテープ移送機構３３が水平旋回
し、よって、研磨テープＴは旋回運動し、この研磨テー
プＴに保持部材３１に吸着保持された板状部材Ｗは押圧
接触し、板状部材Ｗは板状部材Ｗの水平方向の送り運動
及び研磨テープＴの旋回運動Ｐしつつ研磨テープＴに接
触して研磨加工がなされ、必要に応じ、板状部材Ｗは行
送り又は戻り送り運動の送り運動により研磨加工がなさ
れ、そして、研磨加工が完了すると、上下動機構２１に
より保持部材３１は上昇すると共に送り機構４により保
持部材３１は加工位置Ｎから供給取出位置Ｋに水平方向
に後退運動し、供給取出位置Ｋにおいて、上下動機構２
１により保持部材３１は下降し、保持部材３１に吸着保
持された板状部材Ｗは供給取出台４９上に釈放配置さ
れ、供給取出台４９上に釈放された板状部材Ｗは図示省
略の取出機構により取り出されると共に供給取出台４９
上に図外の供給機構により加工すべき新たな板状部材Ｗ
が供給され、以下同様な作動が繰り返されることにな
り、したがって、板状部材Ｗを板状部材Ｗの送り運動Ｐ
及び研磨テープＴの旋回運動Ｒの複合運動により研磨加
工することができ、それだけ良好な研磨加工及び研磨面
を得ることができる。
【００１７】又、この場合、上記保持部材３１を保持部
材３１の送り方向と交差する方向に揺振運動させる揺振
機構１２を備えているから、揺振機構１２の揺振用モー
タ１７の駆動により保持部材３１を送り方向Ｐと交差す
る方向に揺振運動させることができ、旋回動作Ｓに加え
て板状部材Ｗを送り方向に交差する方向に揺振運動させ
ることができ、板状部材Ｗは送り運動Ｐと交差する方向
に揺振運動Ｓしつつ送り運動Ｐされると共に研磨テープ
Ｔは旋回運動し、板状部材Ｗを板状部材Ｗの送り運動Ｐ
及び揺振運動Ｓ並びに研磨テープＴの旋回運動の複合運
動により研磨加工することができ、それだけ良好な研磨
加工及び研磨面を得ることができる。
材３１の送り方向と交差する方向に揺振運動させる揺振
機構１２を備えているから、揺振機構１２の揺振用モー
タ１７の駆動により保持部材３１を送り方向Ｐと交差す
る方向に揺振運動させることができ、旋回動作Ｓに加え
て板状部材Ｗを送り方向に交差する方向に揺振運動させ
ることができ、板状部材Ｗは送り運動Ｐと交差する方向
に揺振運動Ｓしつつ送り運動Ｐされると共に研磨テープ
Ｔは旋回運動し、板状部材Ｗを板状部材Ｗの送り運動Ｐ
及び揺振運動Ｓ並びに研磨テープＴの旋回運動の複合運
動により研磨加工することができ、それだけ良好な研磨
加工及び研磨面を得ることができる。
【００１８】又、この場合、上記テープ移送機構３３を
機台１上に配設し、機台１上に柱部材２を立設し、柱部
材２に架台部材３を配設し、架台部材３に送り機構４を
配設し、送り機構４により送り運動Ｐ可能な取付部材２
４に上記上下動機構２１を吊下状に配設しているから、
機械剛性としての所謂こわさの高い門型構造の構造体に
送り機構４及び揺振機構１２が配設され、保持部材３１
の送り運動及び揺振運動の運動精度を高めることがで
き、それだけ良好な研磨加工を行うことができ、又、こ
の場合、上記上下動機構２１として空圧シリンダ機構２
９を用いてなり、空圧シリンダ機構２９への上記保持部
材３１の自重下降方向とは逆の押上方向に給送する空気
圧の制御により板状部材Ｗと研磨テープＴとの研磨圧を
制御するように構成しているから、保持部材３１を含む
重量と均衡をとって研磨圧を調整することができ、それ
だけ研磨圧の調整を容易に行うことができ、又、上記保
持機構３２として負圧吸着機構が用いられているから、
板状部材Ｗの保持及び釈放を容易に行うことができると
共に構造を簡素化することができる。
機台１上に配設し、機台１上に柱部材２を立設し、柱部
材２に架台部材３を配設し、架台部材３に送り機構４を
配設し、送り機構４により送り運動Ｐ可能な取付部材２
４に上記上下動機構２１を吊下状に配設しているから、
機械剛性としての所謂こわさの高い門型構造の構造体に
送り機構４及び揺振機構１２が配設され、保持部材３１
の送り運動及び揺振運動の運動精度を高めることがで
き、それだけ良好な研磨加工を行うことができ、又、こ
の場合、上記上下動機構２１として空圧シリンダ機構２
９を用いてなり、空圧シリンダ機構２９への上記保持部
材３１の自重下降方向とは逆の押上方向に給送する空気
圧の制御により板状部材Ｗと研磨テープＴとの研磨圧を
制御するように構成しているから、保持部材３１を含む
重量と均衡をとって研磨圧を調整することができ、それ
だけ研磨圧の調整を容易に行うことができ、又、上記保
持機構３２として負圧吸着機構が用いられているから、
板状部材Ｗの保持及び釈放を容易に行うことができると
共に構造を簡素化することができる。
【００１９】又、この場合、上記研磨テープＴはテープ
送り用モータ４２により連続又は間欠移送可能に設けら
れているから、研磨加工時において、研磨テープＴを連
続移送させることにより板状部材Ｗの送り運動及び研磨
テープＴの旋回運動Ｐに加えて研磨テープＴの移送の複
合運動により研磨加工することができ、又、上記研磨テ
ープＴを研磨加工時においては、走行を停止させ、非研
磨加工時等の随時において、間欠的に研磨テープＴを走
行させることにより各種の板状部材Ｗに対しての研磨の
融通性を高めることができると共に研磨テープＴの節約
もできて経済性を高めることができる。
送り用モータ４２により連続又は間欠移送可能に設けら
れているから、研磨加工時において、研磨テープＴを連
続移送させることにより板状部材Ｗの送り運動及び研磨
テープＴの旋回運動Ｐに加えて研磨テープＴの移送の複
合運動により研磨加工することができ、又、上記研磨テ
ープＴを研磨加工時においては、走行を停止させ、非研
磨加工時等の随時において、間欠的に研磨テープＴを走
行させることにより各種の板状部材Ｗに対しての研磨の
融通性を高めることができると共に研磨テープＴの節約
もできて経済性を高めることができる。
【００２０】尚、本発明は上記実施の形態例に限られる
ものではなく、例えば上記実施の形態例では送り機構４
としてボールネジ機構とサーボモータとの組み合わせ構
造を採用しているが、シリンダ構造を採用することもで
き、又、上下動機構３０として空圧シリンダ機構２９を
採用しているが、他の上下動作機構を採用することもで
き、又、上記実施の形態例では板状部材Ｗを供給取出位
置Ｋと加工位置Ｎとの間で往復運動させ、供給取出位置
Ｋに供給機構及び取出機構を配置しているが、供給台及
び取出台を別々に設置し、供給位置から加工位置を経由
して取出位置に至る直線移送構造を採用することもあ
り、又、旋回機構４６及び揺振機構１２、その他の構造
についても適宜変更して設計されるものである。
ものではなく、例えば上記実施の形態例では送り機構４
としてボールネジ機構とサーボモータとの組み合わせ構
造を採用しているが、シリンダ構造を採用することもで
き、又、上下動機構３０として空圧シリンダ機構２９を
採用しているが、他の上下動作機構を採用することもで
き、又、上記実施の形態例では板状部材Ｗを供給取出位
置Ｋと加工位置Ｎとの間で往復運動させ、供給取出位置
Ｋに供給機構及び取出機構を配置しているが、供給台及
び取出台を別々に設置し、供給位置から加工位置を経由
して取出位置に至る直線移送構造を採用することもあ
り、又、旋回機構４６及び揺振機構１２、その他の構造
についても適宜変更して設計されるものである。
【００２１】又、上記実施の形態例においては、乾式研
磨構造となっているが、板状部材Ｗと研磨テープＴとの
間に加工液体や潤滑剤を供給する所謂湿式研磨構造とす
ることもあり、板状部材Ｗの種類や研磨条件により選択
して設計される。
磨構造となっているが、板状部材Ｗと研磨テープＴとの
間に加工液体や潤滑剤を供給する所謂湿式研磨構造とす
ることもあり、板状部材Ｗの種類や研磨条件により選択
して設計される。
【００２２】又、他の実施の形態例として、上記形態例
においては、テープ移送機構３３を旋回運動させるよう
に構成しているが、保持部材３１を旋回動作させる旋回
機構を配備することもでき、この場合にあっては、研磨
テープＴの旋回運動に代えて板状部材が旋回運動し、こ
れにより上記実施の形態例で示した研磨テープＴが旋回
運動する場合と同様な研磨加工を行うことができる。
においては、テープ移送機構３３を旋回運動させるよう
に構成しているが、保持部材３１を旋回動作させる旋回
機構を配備することもでき、この場合にあっては、研磨
テープＴの旋回運動に代えて板状部材が旋回運動し、こ
れにより上記実施の形態例で示した研磨テープＴが旋回
運動する場合と同様な研磨加工を行うことができる。
【００２３】
【発明の効果】本発明は上述の如く、請求項１又は２記
載の発明にあっては、板状部材を保持釈放可能な保持機
構をもつ保持部材と、該保持部材を上下動作させる上下
動機構と、該保持部材を水平方向に送り動作させる送り
機構と、該研磨テープを移送させるテープ移送機構と、
該テープ移送機構又は保持部材を旋回動作させる旋回機
構とを備えて構成しているから、板状部材は研磨テープ
に押圧接触し、この接触状態において、板状部材を板状
部材の送り運動と研磨テープの旋回運動又は板状部材の
旋回運動の複合運動により研磨加工することができ、そ
れだけ良好な研磨加工及び研磨面を得ることができる。
載の発明にあっては、板状部材を保持釈放可能な保持機
構をもつ保持部材と、該保持部材を上下動作させる上下
動機構と、該保持部材を水平方向に送り動作させる送り
機構と、該研磨テープを移送させるテープ移送機構と、
該テープ移送機構又は保持部材を旋回動作させる旋回機
構とを備えて構成しているから、板状部材は研磨テープ
に押圧接触し、この接触状態において、板状部材を板状
部材の送り運動と研磨テープの旋回運動又は板状部材の
旋回運動の複合運動により研磨加工することができ、そ
れだけ良好な研磨加工及び研磨面を得ることができる。
【００２４】又、請求項３記載の発明にあっては、上記
保持部材を保持部材の送り方向と交差する方向に揺振運
動させる揺振機構を備えているから、揺振機構により保
持部材を送り方向と交差する方向に揺振運動させること
ができ、上記研磨テープ又は板状部材の旋回動作に加え
て板状部材を送り方向に交差する方向に揺振運動させる
ことができ、板状部材は送り運動と交差する方向に揺振
運動しつつ送り運動されると共に研磨テープ又は板状部
材は旋回運動し、板状部材を板状部材の送り運動及び揺
振運動並びに研磨テープ又は板状部材の旋回運動の複合
運動により研磨加工することができ、良好な研磨加工及
び研磨面を得ることができる。
保持部材を保持部材の送り方向と交差する方向に揺振運
動させる揺振機構を備えているから、揺振機構により保
持部材を送り方向と交差する方向に揺振運動させること
ができ、上記研磨テープ又は板状部材の旋回動作に加え
て板状部材を送り方向に交差する方向に揺振運動させる
ことができ、板状部材は送り運動と交差する方向に揺振
運動しつつ送り運動されると共に研磨テープ又は板状部
材は旋回運動し、板状部材を板状部材の送り運動及び揺
振運動並びに研磨テープ又は板状部材の旋回運動の複合
運動により研磨加工することができ、良好な研磨加工及
び研磨面を得ることができる。
【００２５】又、請求項４記載の発明にあっては、上記
テープ移送機構を機台上に配設し、機台上に柱部材を立
設し、柱部材に架台部材を配設し、架台部材に送り機構
を配設し、送り機構により送り運動可能な取付部材に上
記上下動機構を配設しているから、機械剛性としての所
謂こわさの高い門型構造の構造体に送り機構が配設さ
れ、保持部材の送り運動の運動精度を高めることがで
き、それだけ良好な研磨加工を行うことができ、又、請
求項５記載の発明にあっては、上記上下動機構として空
圧シリンダ機構を用いてなり、空圧シリンダ機構への上
記保持部材の自重下降方向とは逆の押上方向に給送する
空気圧の制御により板状部材と研磨テープとの研磨圧を
制御するように構成しているから、保持部材を含む重量
と均衡をとって研磨圧を調整することができ、それだけ
研磨圧の調整を容易に行うことができ、又、請求項６記
載の発明にあっては、上記保持機構として負圧吸着機構
が用いられているから、板状部材の保持及び釈放を容易
に行うことができると共に構造を簡素化することができ
る。
テープ移送機構を機台上に配設し、機台上に柱部材を立
設し、柱部材に架台部材を配設し、架台部材に送り機構
を配設し、送り機構により送り運動可能な取付部材に上
記上下動機構を配設しているから、機械剛性としての所
謂こわさの高い門型構造の構造体に送り機構が配設さ
れ、保持部材の送り運動の運動精度を高めることがで
き、それだけ良好な研磨加工を行うことができ、又、請
求項５記載の発明にあっては、上記上下動機構として空
圧シリンダ機構を用いてなり、空圧シリンダ機構への上
記保持部材の自重下降方向とは逆の押上方向に給送する
空気圧の制御により板状部材と研磨テープとの研磨圧を
制御するように構成しているから、保持部材を含む重量
と均衡をとって研磨圧を調整することができ、それだけ
研磨圧の調整を容易に行うことができ、又、請求項６記
載の発明にあっては、上記保持機構として負圧吸着機構
が用いられているから、板状部材の保持及び釈放を容易
に行うことができると共に構造を簡素化することができ
る。
【００２６】又、請求項７記載の発明にあっては、上記
研磨テープは連続又は間欠移送可能に設けられているか
ら、研磨加工時において、研磨テープを連続移送させる
ことにより板状部材の送り運動及び研磨テープ又は板状
部材の旋回運動に加えて研磨テープの移送運動の複合運
動により研磨加工することができ、又、上記研磨テープ
を研磨加工時においては、走行を停止させ、非研磨加工
時等の随時において、随時、間欠的に研磨テープを走行
させることにより各種の板状部材に対しての研磨加工の
融通性を高めることができると共に研磨テープの節約も
できて経済性を高めることができる。
研磨テープは連続又は間欠移送可能に設けられているか
ら、研磨加工時において、研磨テープを連続移送させる
ことにより板状部材の送り運動及び研磨テープ又は板状
部材の旋回運動に加えて研磨テープの移送運動の複合運
動により研磨加工することができ、又、上記研磨テープ
を研磨加工時においては、走行を停止させ、非研磨加工
時等の随時において、随時、間欠的に研磨テープを走行
させることにより各種の板状部材に対しての研磨加工の
融通性を高めることができると共に研磨テープの節約も
できて経済性を高めることができる。
【００２７】以上、所期の目的を充分達成することがで
きる。
きる。
【図１】本発明の実施の形態例の正面図である。
【図２】本発明の実施の形態例の側面図である。
【図３】本発明の実施の形態例の平断面図である。
【図４】本発明の実施の形態例の部分正断面図である。
【図５】本発明の実施の形態例の部分側断面図である。
【図６】本発明の実施の形態例の部分平断面図である。
【図７】本発明の実施の形態例の部分断面図である。
【図８】本発明の実施の形態例の部分断面図である。
【図９】本発明の実施の形態例の加工説明斜視図であ
る。
る。
【図１０】本発明の実施の形態例の加工説明平面図であ
る。
る。
Ｗ 板状部材 Ｔ 研磨テープ Ｎ 加工位置 Ｋ 供給取出位置 １ 機台 ２ 柱部材 ３ 架台部材 ４ 送り機構 １２ 揺振機構 ２１ 上下動機構 ２４ 取付部材 ２９ 空圧シリンダ機構 ３１ 保持部材 ３２ 保持機構 ３３ テープ移送機構 ４３ 旋回機構
Claims (7)
- 【請求項１】 板状部材を保持釈放可能な保持機構をも
つ保持部材と、該保持部材を上下動作させる上下動機構
と、該保持部材を水平方向に送り動作させる送り機構
と、該研磨テープを移送させるテープ移送機構と、該テ
ープ移送機構を旋回動作させる旋回機構とを備えてなる
ことを特徴とする板状部材研磨装置。 - 【請求項２】 板状部材を保持釈放可能な保持機構をも
つ保持部材と、該保持部材を上下動作させる上下動機構
と、該保持部材を水平方向に送り動作させる送り機構
と、該研磨テープを移送させるテープ移送機構と、該保
持部材を旋回動作させる旋回機構とを備えて構成したこ
とを特徴とする板状部材研磨装置。 - 【請求項３】 上記保持部材を保持部材の送り方向と交
差する方向に揺振運動させる揺振機構を備えて構成した
ことを特徴とする請求項１又は２記載の板状部材研磨装
置。 - 【請求項４】 上記テープ移送機構を機台上に配設し、
該機台上に柱部材を立設し、該柱部材に架台部材を配設
し、該架台部材に上記送り機構を配設し、該送り機構に
より送り運動可能な取付部材に上記上下動機構を配設し
て構成したことを特徴とする請求項１、２又は３記載の
板状部材研磨装置。 - 【請求項５】 上記上下動機構として空圧シリンダ機構
を用いてなり、該空圧シリンダ機構への上記保持部材の
自重下降方向とは逆の押上方向に給送する空気圧の制御
により板状部材と研磨テープとの研磨圧を制御すること
を特徴とする請求項１、２、３又は４記載の板状部材研
磨装置。 - 【請求項６】 上記保持機構として負圧吸着機構が用い
られていることを特徴とする請求項１、２、３、４又は
５記載の板状部材研磨装置。 - 【請求項７】 上記研磨テープは連続又は間欠移送可能
に設けられていることを特徴とする請求項１、２、３、
４、５又は６記載の板状部材研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15810598A JP3997451B2 (ja) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | 板状部材研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15810598A JP3997451B2 (ja) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | 板状部材研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11347907A true JPH11347907A (ja) | 1999-12-21 |
| JP3997451B2 JP3997451B2 (ja) | 2007-10-24 |
Family
ID=15664422
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15810598A Expired - Fee Related JP3997451B2 (ja) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | 板状部材研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3997451B2 (ja) |
-
1998
- 1998-06-05 JP JP15810598A patent/JP3997451B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3997451B2 (ja) | 2007-10-24 |
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