JPH06246623A - 板状体の連続研磨方法及び装置 - Google Patents
板状体の連続研磨方法及び装置Info
- Publication number
- JPH06246623A JPH06246623A JP6286693A JP6286693A JPH06246623A JP H06246623 A JPH06246623 A JP H06246623A JP 6286693 A JP6286693 A JP 6286693A JP 6286693 A JP6286693 A JP 6286693A JP H06246623 A JPH06246623 A JP H06246623A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- plate
- shaped body
- tools
- polishing tool
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- Pending
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ガラス板を一方向に移送しながら、均一な研磨
を連続的に行うことができる研磨方法及び装置を提供す
る。 【構成】複数個並設された研磨具同士の回転位相が１８
０°反転して偏心回転運動するとともに、ガラス板の搬
送方向に垂直の方向に揺動するようにした、ガラス板の
連続的かつ均一な研磨方法及び装置。
を連続的に行うことができる研磨方法及び装置を提供す
る。 【構成】複数個並設された研磨具同士の回転位相が１８
０°反転して偏心回転運動するとともに、ガラス板の搬
送方向に垂直の方向に揺動するようにした、ガラス板の
連続的かつ均一な研磨方法及び装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はガラス板やセラミック板
等の板状体の連続研磨方法及び装置に関するものであ
る。
等の板状体の連続研磨方法及び装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より液晶用ガラス基板のような比較
的薄いガラス板の研磨は、オスカー式片面研磨機や両面
研磨機により、その研磨具を同心円運動させることによ
って行われているが、これらの方法ではガラス板に加わ
る研磨定盤の周速が回転中心から離れるにしたがって速
くなるためガラス板各点における研磨によるガラスの除
去され方が異なる。
的薄いガラス板の研磨は、オスカー式片面研磨機や両面
研磨機により、その研磨具を同心円運動させることによ
って行われているが、これらの方法ではガラス板に加わ
る研磨定盤の周速が回転中心から離れるにしたがって速
くなるためガラス板各点における研磨によるガラスの除
去され方が異なる。
【０００３】また、ガラス板に同一方向に集中的な負荷
がかかるためガラス板が薄ければ薄い程、ガラス板を保
持する端部に研磨による歪みを生じさせている。そのた
め研磨されるガラス板が大型化する程、より軽い負荷で
多くの研磨代をとらなければならない。さらに、これら
は装置構成上、自動化が困難であるため多大な人手を要
し、その結果、研磨コストのアップ、研磨装置へのガラ
ス板の脱着時における扱いキズの発生確率が高くなると
いう問題が生じている。
がかかるためガラス板が薄ければ薄い程、ガラス板を保
持する端部に研磨による歪みを生じさせている。そのた
め研磨されるガラス板が大型化する程、より軽い負荷で
多くの研磨代をとらなければならない。さらに、これら
は装置構成上、自動化が困難であるため多大な人手を要
し、その結果、研磨コストのアップ、研磨装置へのガラ
ス板の脱着時における扱いキズの発生確率が高くなると
いう問題が生じている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、従来
技術が有していた前述の欠点を解消する新規なガラス板
やセラミック板等の板状体の研磨方法及び装置を提供す
ることである。
技術が有していた前述の欠点を解消する新規なガラス板
やセラミック板等の板状体の研磨方法及び装置を提供す
ることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、前述の目的を
解決すべくなされたものであり、板状体を一方向に移送
するための研磨テーブルと、該研磨テーブルの上方に板
状体の移送方向に沿って、かつ板状体の移送方向に直交
する向きに配置された複数個の研磨具とを有し、各研磨
具は板状体の移送方向に対して直交する方向に揺動し、
かつ偏心軸によって前記板状体に対して偏心回転運動を
行い、かつ隣り合う研磨具同志の回転位相が反転するよ
うにして板状体を連続研磨する方法及びその連続研磨装
置を提供するものである。
解決すべくなされたものであり、板状体を一方向に移送
するための研磨テーブルと、該研磨テーブルの上方に板
状体の移送方向に沿って、かつ板状体の移送方向に直交
する向きに配置された複数個の研磨具とを有し、各研磨
具は板状体の移送方向に対して直交する方向に揺動し、
かつ偏心軸によって前記板状体に対して偏心回転運動を
行い、かつ隣り合う研磨具同志の回転位相が反転するよ
うにして板状体を連続研磨する方法及びその連続研磨装
置を提供するものである。
【０００６】即ち、本発明は、研磨バッドを備えた複数
の研磨具を設け、これらの研磨具を隣接する研磨具同士
の回転位相が 180°反転して偏心回転運動すると共に板
状体の移送方向に対して直角方向に揺動するようにして
板状体を研磨する方法及び装置を提供するものである。
の研磨具を設け、これらの研磨具を隣接する研磨具同士
の回転位相が 180°反転して偏心回転運動すると共に板
状体の移送方向に対して直角方向に揺動するようにして
板状体を研磨する方法及び装置を提供するものである。
【０００７】
【作用】本発明によれば、それぞれの研磨具の周速差を
相殺することができるのでガラス板やセラミック板等の
板状体を均一に研磨することができると共に、研磨具の
揺動でガラス板やセラミック板等の板状体の研磨性状を
高めることができる。
相殺することができるのでガラス板やセラミック板等の
板状体を均一に研磨することができると共に、研磨具の
揺動でガラス板やセラミック板等の板状体の研磨性状を
高めることができる。
【０００８】
【実施例】次に図面にしたがって本発明に係る研磨方法
及び装置の好ましい実施例について具体的に説明する。
及び装置の好ましい実施例について具体的に説明する。
【０００９】図１に示すように本発明の板状体の研磨装
置は、研磨機構を支持するための片持ち梁１を備え、こ
れらの片持ち梁１は、研磨ラインに研磨具２の数に合せ
て配置されている。研磨ラインはレール５上を連接して
レールに並行に走行する研磨テーブル６により構成され
ており、板状体４はこの研磨テーブルに傷がつかないよ
うに薄いクッション材を介して張り付け固定される。研
磨テーブル６はその下面に垂直にラックが設けてあり、
駆動モータとピニオンを介して移送されるようになって
いる。
置は、研磨機構を支持するための片持ち梁１を備え、こ
れらの片持ち梁１は、研磨ラインに研磨具２の数に合せ
て配置されている。研磨ラインはレール５上を連接して
レールに並行に走行する研磨テーブル６により構成され
ており、板状体４はこの研磨テーブルに傷がつかないよ
うに薄いクッション材を介して張り付け固定される。研
磨テーブル６はその下面に垂直にラックが設けてあり、
駆動モータとピニオンを介して移送されるようになって
いる。
【００１０】ラックがテーブルに対して垂直に設けてあ
るのは、ピニオンとのバックラッシュによってテーブル
が研磨具に対して垂直方向に揺動を起こすのを防ぐため
である。またこのテーブル駆動用モータはインバータを
備え付けており、テーブル移送スピードを 0〜100 cm／
分の間で可変することができるようにされている。研磨
終了したテーブル６は板状体４を剥した後、レール５と
平行なローラーコンベアによる戻りラインで板状体を張
り付けられ、再びレール６へ移載され研磨するというサ
イクルを繰り返す。なお戻りラインのローラーコンベア
ではレール５ほど位置精度、振動などは問題とならな
い。
るのは、ピニオンとのバックラッシュによってテーブル
が研磨具に対して垂直方向に揺動を起こすのを防ぐため
である。またこのテーブル駆動用モータはインバータを
備え付けており、テーブル移送スピードを 0〜100 cm／
分の間で可変することができるようにされている。研磨
終了したテーブル６は板状体４を剥した後、レール５と
平行なローラーコンベアによる戻りラインで板状体を張
り付けられ、再びレール６へ移載され研磨するというサ
イクルを繰り返す。なお戻りラインのローラーコンベア
ではレール５ほど位置精度、振動などは問題とならな
い。
【００１１】研磨具２はその重量を軽減するため通常は
アルミニウムあるいはアルミニウム合金で製作されてお
り、その下面には図示を省略したが研磨パッドを貼って
いる。ここで研磨具２は、板状体の表面を均一に研磨す
るという観点より短冊状に配することが望ましい。
アルミニウムあるいはアルミニウム合金で製作されてお
り、その下面には図示を省略したが研磨パッドを貼って
いる。ここで研磨具２は、板状体の表面を均一に研磨す
るという観点より短冊状に配することが望ましい。
【００１２】19は揺動フレームであり、この揺動フレー
ム19のリニヤガイド17の溝にはレール30が摺動自在に嵌
合している。このようなリニヤガイド17とレール30とは
複数組設けられる。レール30、30…は板状体移動装置31
の上部に矢印Ａ−Ａ方向、すなわち後述する研磨される
ガラス板やセラミック板等の板状体４の移送方向（矢印
22方向）に直交する方向に沿って設けられている。した
がって揺動フレーム19は矢印Ａ−Ａ方向に揺動すること
ができる。
ム19のリニヤガイド17の溝にはレール30が摺動自在に嵌
合している。このようなリニヤガイド17とレール30とは
複数組設けられる。レール30、30…は板状体移動装置31
の上部に矢印Ａ−Ａ方向、すなわち後述する研磨される
ガラス板やセラミック板等の板状体４の移送方向（矢印
22方向）に直交する方向に沿って設けられている。した
がって揺動フレーム19は矢印Ａ−Ａ方向に揺動すること
ができる。
【００１３】揺動フレーム19の側部にはピン32を介して
レバー33の一端が回動自在に設けられ、レバー33の他端
は揺動用クランクシャフト20に偏心して設けられている
ピン34に回動自在に支持されている。揺動用クランクシ
ャフト20は支持台35に回転自在に支持され、図示しない
揺動用のモータに回転力が伝達可能に連結されている。
この支持台35は板状体移送装置30のベースフレーム31Ａ
に固定されている。したがって、図示しない揺動用のモ
ータが駆動すると揺動フレーム19はレール30、30…に沿
って図１上で矢印Ａ−Ａ方向に摺動して揺動する。
レバー33の一端が回動自在に設けられ、レバー33の他端
は揺動用クランクシャフト20に偏心して設けられている
ピン34に回動自在に支持されている。揺動用クランクシ
ャフト20は支持台35に回転自在に支持され、図示しない
揺動用のモータに回転力が伝達可能に連結されている。
この支持台35は板状体移送装置30のベースフレーム31Ａ
に固定されている。したがって、図示しない揺動用のモ
ータが駆動すると揺動フレーム19はレール30、30…に沿
って図１上で矢印Ａ−Ａ方向に摺動して揺動する。
【００１４】また、揺動フレーム19の上部にはリフトア
ップフレーム21がピン36を介して回動自在に支持されて
いる。このリフトアップフレーム21は油圧ジャッキ18を
介して板状体移動装置31のベースフレーム31Ａと連結さ
れている。したがって、油圧ジャッキ18が作動するとリ
フトアップフレーム21はピン36を支点として上下方向に
回動する。
ップフレーム21がピン36を介して回動自在に支持されて
いる。このリフトアップフレーム21は油圧ジャッキ18を
介して板状体移動装置31のベースフレーム31Ａと連結さ
れている。したがって、油圧ジャッキ18が作動するとリ
フトアップフレーム21はピン36を支点として上下方向に
回動する。
【００１５】このリフトアップフレーム21には片持ち梁
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ…が設けられ、片持ち梁１Ａには研磨
具２が設けられている。研磨具２は回転軸37Ａ、37Ｂを
有し、これらの回転軸37Ａ、37Ｂはそれぞれボールベア
リング７Ａ、７Ｂを介して軸支するように平行に配置さ
れ、かつ回転軸37Ａ、37Ｂは回転自在に片持ち梁１Ａに
支持されている。回転軸37Ａ、37Ｂの上端には、それぞ
れプーリ38Ａ、38Ｂが固着され、プーリ38Ａ、38Ｂには
タイミングベルト39が張設されている。
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ…が設けられ、片持ち梁１Ａには研磨
具２が設けられている。研磨具２は回転軸37Ａ、37Ｂを
有し、これらの回転軸37Ａ、37Ｂはそれぞれボールベア
リング７Ａ、７Ｂを介して軸支するように平行に配置さ
れ、かつ回転軸37Ａ、37Ｂは回転自在に片持ち梁１Ａに
支持されている。回転軸37Ａ、37Ｂの上端には、それぞ
れプーリ38Ａ、38Ｂが固着され、プーリ38Ａ、38Ｂには
タイミングベルト39が張設されている。
【００１６】また、回転軸37Ａはプーリ38Ａの上方に延
長され、その上端部にはベベルギア40が固着され、ベベ
ルギア39には、シャフト９に固着されているベベルギア
41が噛み合っている。シャフト９はギア42、43を介して
シャフト44に連結され、シャフト44はプーリ45、ベルト
46、プーリ47を介してモータの駆動シャフト48に連結さ
れている。したがって、モータが駆動すると、その回転
力は回転軸37Ａに伝達され、回転軸37Ａに伝達された回
転力は回転軸37Ｂに伝達され、研磨具が駆動される。
長され、その上端部にはベベルギア40が固着され、ベベ
ルギア39には、シャフト９に固着されているベベルギア
41が噛み合っている。シャフト９はギア42、43を介して
シャフト44に連結され、シャフト44はプーリ45、ベルト
46、プーリ47を介してモータの駆動シャフト48に連結さ
れている。したがって、モータが駆動すると、その回転
力は回転軸37Ａに伝達され、回転軸37Ａに伝達された回
転力は回転軸37Ｂに伝達され、研磨具が駆動される。
【００１７】また、図面には示していないがクラッチが
取り付けてあり、逐時オン、オフできるようになってい
る。この場合モータはインバータを備え付けており、研
磨具の回転数は 0〜500 rpm の間で可変としてある。
取り付けてあり、逐時オン、オフできるようになってい
る。この場合モータはインバータを備え付けており、研
磨具の回転数は 0〜500 rpm の間で可変としてある。
【００１８】また、回転軸37Ａ、37Ｂの下端部にはディ
スク11Ａ、11Ｂが同軸上に装着され、ディスク11Ａ、11
Ｂには、回転軸37Ａ、37Ｂから偏心して偏心軸12Ａ、12
Ｂが植設されている。この偏心軸12Ａ、12Ｂは軸受49
Ａ、49Ｂに回転自在に支持されている。軸受49Ａ、49Ｂ
の下端部は支持部材13に固着されている。
スク11Ａ、11Ｂが同軸上に装着され、ディスク11Ａ、11
Ｂには、回転軸37Ａ、37Ｂから偏心して偏心軸12Ａ、12
Ｂが植設されている。この偏心軸12Ａ、12Ｂは軸受49
Ａ、49Ｂに回転自在に支持されている。軸受49Ａ、49Ｂ
の下端部は支持部材13に固着されている。
【００１９】支持部材13の両端部にはシャフト50Ａ、50
Ｂが摺動自在に、かつ回転自在に支持されている。シャ
フト15Ａ、15Ｂの下端部には、定盤14が固着されてい
る。また、支持部材13には精密エアシリンダ３の上端部
が固定され、定盤14には精密エアシリンダ３の下端部が
固定されている。上記シャフト15Ａ、15Ｂを設けること
により、精密エアシリンダ３のストロークが左右に傾か
ないように支持される。また、ディスク11Ａ、11Ｂに対
し回転モーメントが等しくなるように設計された荷重８
を装着し、偏心軸下荷重の回転による振動を防ぐように
している。
Ｂが摺動自在に、かつ回転自在に支持されている。シャ
フト15Ａ、15Ｂの下端部には、定盤14が固着されてい
る。また、支持部材13には精密エアシリンダ３の上端部
が固定され、定盤14には精密エアシリンダ３の下端部が
固定されている。上記シャフト15Ａ、15Ｂを設けること
により、精密エアシリンダ３のストロークが左右に傾か
ないように支持される。また、ディスク11Ａ、11Ｂに対
し回転モーメントが等しくなるように設計された荷重８
を装着し、偏心軸下荷重の回転による振動を防ぐように
している。
【００２０】したがって、回転軸37Ａ、37Ｂに伝達され
た回転力はディスク11Ａ、11Ｂ、偏心軸12Ａ、12Ｂ、軸
受49Ａ、49Ｂ、支持部材13、シャフト15Ａ、15Ｂ、定盤
14に伝達され、定盤14は偏心回転運動する。また、精密
エアシリンダ３の伸縮でシャフト15Ａ、15Ｂが支持部材
13の両端部で摺動するので、定盤14が上下動する。この
定盤14の下方にはユニバーサルジョイント16を介して矩
形状の研磨具２が支持されている。このように研磨具２
をユニバーサルジョイント16を介して定盤14に取り付け
ることにより、テーパー状の板状体や板状体間の段差に
対してフレキシブルに対応することができ、研磨をスム
ーズにすることができる。
た回転力はディスク11Ａ、11Ｂ、偏心軸12Ａ、12Ｂ、軸
受49Ａ、49Ｂ、支持部材13、シャフト15Ａ、15Ｂ、定盤
14に伝達され、定盤14は偏心回転運動する。また、精密
エアシリンダ３の伸縮でシャフト15Ａ、15Ｂが支持部材
13の両端部で摺動するので、定盤14が上下動する。この
定盤14の下方にはユニバーサルジョイント16を介して矩
形状の研磨具２が支持されている。このように研磨具２
をユニバーサルジョイント16を介して定盤14に取り付け
ることにより、テーパー状の板状体や板状体間の段差に
対してフレキシブルに対応することができ、研磨をスム
ーズにすることができる。
【００２１】以上片持ち梁１Ａに支持されている研磨ユ
ニットの構成について説明したが、片持ち梁１Ｂ、１Ｃ
…に支持されている他の研磨ユニット（図示せず）も上
述した研磨ユニットと同様に構成されているので説明を
省略する。
ニットの構成について説明したが、片持ち梁１Ｂ、１Ｃ
…に支持されている他の研磨ユニット（図示せず）も上
述した研磨ユニットと同様に構成されているので説明を
省略する。
【００２２】本発明においては、研磨ラインに沿って並
設される研磨具２は、その回転方向はすべて同様である
が、後述するように隣り合う定盤14及び研磨具の質量重
心の回転位相が図２に示すようにそれぞれ 180°ずつ反
転している。即ち、隣接する研磨具同士は、回転位相が
180°反転した偏心回転運動する。このような構成によ
り板状体に複数個の研磨具が載った場合にガラスに加わ
る負荷を低減させることができる。
設される研磨具２は、その回転方向はすべて同様である
が、後述するように隣り合う定盤14及び研磨具の質量重
心の回転位相が図２に示すようにそれぞれ 180°ずつ反
転している。即ち、隣接する研磨具同士は、回転位相が
180°反転した偏心回転運動する。このような構成によ
り板状体に複数個の研磨具が載った場合にガラスに加わ
る負荷を低減させることができる。
【００２３】また、研磨具３に張り付けられた研磨パッ
ドに微小な凹凸が存在すると研磨後の板状体４はレール
５と平行方向に研磨ムラ（研磨筋）を発生させてしま
う。このムラを除去すべく複数個の片持ち梁１が取り付
けられたリフトアップフレーム21はレール５の取り付け
られたベースとリニヤガイド17を介して取り付けられて
おり、図には示していないがインバーターを備えた揺動
用モータにより揺動用クランクシャフト20を回転させ、
揺動フレーム19がリニヤガイド17とのすべりにより、テ
ーブル移動方向に対して研磨具２を一様に垂直に20〜30
mmストロークで0〜5 回／分運動させる構造を備えてい
る。
ドに微小な凹凸が存在すると研磨後の板状体４はレール
５と平行方向に研磨ムラ（研磨筋）を発生させてしま
う。このムラを除去すべく複数個の片持ち梁１が取り付
けられたリフトアップフレーム21はレール５の取り付け
られたベースとリニヤガイド17を介して取り付けられて
おり、図には示していないがインバーターを備えた揺動
用モータにより揺動用クランクシャフト20を回転させ、
揺動フレーム19がリニヤガイド17とのすべりにより、テ
ーブル移動方向に対して研磨具２を一様に垂直に20〜30
mmストロークで0〜5 回／分運動させる構造を備えてい
る。
【００２４】さらに、パッド破損及び交換時の作業性を
向上させるべく、油圧ジャッキ18によりリフトアップフ
レーム21と揺動フレーム19を引き離し、各研磨具２を30
cmリフトアップできる構造も備えている。
向上させるべく、油圧ジャッキ18によりリフトアップフ
レーム21と揺動フレーム19を引き離し、各研磨具２を30
cmリフトアップできる構造も備えている。
【００２５】次に本発明に係る板状体の研磨方法及びそ
の装置の作用について図２、図３にしたがって説明す
る。本発明装置において、研磨テーブル６は連続的に太
矢印方向22へ移動する。各研磨具２は偏心軸によって図
２のように運動する。その運動詳細を図３（ａ）、
（ｂ）で示す。25は研磨具の質量重心、24はその質量重
心が偏心軸により移動する軌跡を示している。（ａ）に
おいて隣り合う各研磨具同志は回転方向はすべて同様で
あるが、質量重心の回転位相が 180°ずつ反転してい
る。26は研磨具２が板状体４に加える力の方向を示して
おり、27は研磨具２の揺動方向を示している。
の装置の作用について図２、図３にしたがって説明す
る。本発明装置において、研磨テーブル６は連続的に太
矢印方向22へ移動する。各研磨具２は偏心軸によって図
２のように運動する。その運動詳細を図３（ａ）、
（ｂ）で示す。25は研磨具の質量重心、24はその質量重
心が偏心軸により移動する軌跡を示している。（ａ）に
おいて隣り合う各研磨具同志は回転方向はすべて同様で
あるが、質量重心の回転位相が 180°ずつ反転してい
る。26は研磨具２が板状体４に加える力の方向を示して
おり、27は研磨具２の揺動方向を示している。
【００２６】本発明において、このような機構を持たせ
ることによって、板状体に複数の研磨具が作用した時に
回転運動による負荷を相殺するように働き、特に偶数の
ときは、板状体４に加わる力は揺動によって加わる力方
向27を除いて完全に相殺される。また、奇数個の研磨具
が載った場合でも、従来のオスカー式片面研磨機や、両
面研磨機に比べ、板状体に加わる負荷はかなり小さく抑
えることができる。
ることによって、板状体に複数の研磨具が作用した時に
回転運動による負荷を相殺するように働き、特に偶数の
ときは、板状体４に加わる力は揺動によって加わる力方
向27を除いて完全に相殺される。また、奇数個の研磨具
が載った場合でも、従来のオスカー式片面研磨機や、両
面研磨機に比べ、板状体に加わる負荷はかなり小さく抑
えることができる。
【００２７】そのため従来のようにキャリヤ内でのガラ
ス板等の板状体の交換を行なわなくても、大型サイズの
薄い板状体を市販のクッションパッドに水で張り付ける
だけで連続的に研磨加工することが可能となる。
ス板等の板状体の交換を行なわなくても、大型サイズの
薄い板状体を市販のクッションパッドに水で張り付ける
だけで連続的に研磨加工することが可能となる。
【００２８】［実施例１］図１において、各テーブル６
の大きさは 500mm×1250mmとし、送りスピードは0〜100
cm／分をインバーターにより可変とした。また、各研
磨具は 480mm×100mm の大きさとし、スラリーは研磨具
中央にあけられた穴より吹き出す形で供給されるように
した。各研磨具間のピッチを100 mmとし、研磨具を総数
32ヶ並べる形とし、それぞれを回転数 0〜500 rpm とイ
ンバーターによる可変とした。
の大きさは 500mm×1250mmとし、送りスピードは0〜100
cm／分をインバーターにより可変とした。また、各研
磨具は 480mm×100mm の大きさとし、スラリーは研磨具
中央にあけられた穴より吹き出す形で供給されるように
した。各研磨具間のピッチを100 mmとし、研磨具を総数
32ヶ並べる形とし、それぞれを回転数 0〜500 rpm とイ
ンバーターによる可変とした。
【００２９】また、研磨具は供給圧（エアー）9 kgf ／
cm2 に対して、減圧弁、精密シリンダー３により板状体
４としてのガラス板に 0〜300 gf／cm2 の加工圧を加え
ることを可能とした。さらに、研磨具２は、リフトアッ
プフレーム21、揺動フレーム19と共に揺動用モータにイ
ンバーターを備えつけることで 0〜5 回／分のストロー
クできるようにした。
cm2 に対して、減圧弁、精密シリンダー３により板状体
４としてのガラス板に 0〜300 gf／cm2 の加工圧を加え
ることを可能とした。さらに、研磨具２は、リフトアッ
プフレーム21、揺動フレーム19と共に揺動用モータにイ
ンバーターを備えつけることで 0〜5 回／分のストロー
クできるようにした。
【００３０】ガラス板は 300mm×300mm ×1.1mm t と
し、テーブルへはウレタンゴムに水で吸着させる方法に
よって固定した。研磨具に取り付けるパッドとしては、
酸化セリウムを含浸させた発泡ポリウレタンパッドを使
用し、研磨スラリーとしては、10〜15Be程度の酸化セリ
ウム溶液を＃ 600メッシュふるいにかけて使用した。
し、テーブルへはウレタンゴムに水で吸着させる方法に
よって固定した。研磨具に取り付けるパッドとしては、
酸化セリウムを含浸させた発泡ポリウレタンパッドを使
用し、研磨スラリーとしては、10〜15Be程度の酸化セリ
ウム溶液を＃ 600メッシュふるいにかけて使用した。
【００３１】以下、前述の実施例に基づきガラス板がも
つ表面上の微小なうねり（〜0.1 μm 高さ）とキズをそ
れぞれ〜0.03μm 高さ、〜100 μm 長さ、〜1 μm 幅ま
で除去し、表面粗さとしてＲmax ≒130 Å程度が得られ
るまで加工に要する時間の一例を従来の研磨方式で、即
ちオスカー式片面研磨機２台を用い、粗研磨と精密研磨
の２段研磨を行なった場合とを比較して表１、表２に挙
げる。
つ表面上の微小なうねり（〜0.1 μm 高さ）とキズをそ
れぞれ〜0.03μm 高さ、〜100 μm 長さ、〜1 μm 幅ま
で除去し、表面粗さとしてＲmax ≒130 Å程度が得られ
るまで加工に要する時間の一例を従来の研磨方式で、即
ちオスカー式片面研磨機２台を用い、粗研磨と精密研磨
の２段研磨を行なった場合とを比較して表１、表２に挙
げる。
【００３２】実際には従来機（オスカー式研磨機）の場
合は工程が２段に分れているため、その間の板状体ハン
ドリングによる時間、洗浄（１次研磨後）に要する時間
を加味すると６〜10分程度は必要となっている。
合は工程が２段に分れているため、その間の板状体ハン
ドリングによる時間、洗浄（１次研磨後）に要する時間
を加味すると６〜10分程度は必要となっている。
【００３３】
【表１】
【００３４】
【表２】
【００３５】
【発明の効果】従来のオスカー式片面研磨機ではガラス
表面の凹凸を除去するためには 5μm以上の研磨代をと
らなければ歩留りとして80％以上得られなかったが、本
発明では、各研磨具は偏心軸を介した偏心回転運動のた
め研磨具のどの点をとっても全く同様の周速が得られ、
ガラス板やセラミック板等の板状体の表面に対して均一
な研磨を行うことを可能としている。ガラス板の場合に
は、その結果として、前述の凹凸を除去するために2.5
〜3 μm しか要さないことが実験により確かめられてい
る。
表面の凹凸を除去するためには 5μm以上の研磨代をと
らなければ歩留りとして80％以上得られなかったが、本
発明では、各研磨具は偏心軸を介した偏心回転運動のた
め研磨具のどの点をとっても全く同様の周速が得られ、
ガラス板やセラミック板等の板状体の表面に対して均一
な研磨を行うことを可能としている。ガラス板の場合に
は、その結果として、前述の凹凸を除去するために2.5
〜3 μm しか要さないことが実験により確かめられてい
る。
【００３６】さらに研磨具が連続的に複数個配列されて
いるために、前段では粗研磨、後段では精密加工とパッ
ドを交換するだけで所望の平坦度、表面粗さを得ること
が可能である。さらに、本発明の好ましい実施例では、
研磨具を２軸により片持ち梁に支持しているので、研磨
具を常に安定して保持することができ、これにより研磨
具の拡大化が図れると共に大型サイズ例えば１ｍ×１ｍ
の板状体を均一に研磨することもできる。
いるために、前段では粗研磨、後段では精密加工とパッ
ドを交換するだけで所望の平坦度、表面粗さを得ること
が可能である。さらに、本発明の好ましい実施例では、
研磨具を２軸により片持ち梁に支持しているので、研磨
具を常に安定して保持することができ、これにより研磨
具の拡大化が図れると共に大型サイズ例えば１ｍ×１ｍ
の板状体を均一に研磨することもできる。
【図１】本発明装置の一実施例を示す概略的な斜視図
【図２】研磨具の基本構成を示す平面図
【図３】図２における研磨具の動きを示す説明図
１：片持ち梁 ２：研磨具 ４：板状体 10：研磨テーブル 19：揺動フレーム
Claims (4)
- 【請求項１】板状体を一方向に移送するための研磨テー
ブルと、該研磨テーブルの上方に板状体の移送方向に対
し直交する方向に配置された複数個の研磨具とを有し、
各研磨具は隣り合う研磨具の回転位相が反転し、前記板
状体に対して偏心軸による偏心回転運動を行い、かつ板
状体の移送方向に対して揺動するようにして板状体を研
磨することを特徴とする板状体の連続研磨方法。 - 【請求項２】板状体の移送方向に対して直交する方向に
揺動運動する揺動フレームに、研磨具を偏心回転運動可
能に設け、板状体に研磨具を押し付けた状態で研磨具を
偏心回転運動すると共に板状体の移送方向に対して直交
する方向に揺動運動して板状体を研磨することを特徴と
する板状体の研磨方法。 - 【請求項３】板状体を一方向に移送するための研磨テー
ブルと、該研磨テーブルの上方に板状体の移送方向に対
し直交する方向に配置された複数個の研磨具とを有し、
各研磨具は隣り合う研磨具の回転位相が反転し、前記板
状体に対して偏心軸による偏心回転運動を行い、かつ板
状体の移送方向に対して揺動して板状体を研磨するよう
にされていることを特徴とする板状体の連続研磨装置。 - 【請求項４】板状体を一方向に移送するための研磨テー
ブルと、板状体の移送方向に対して直交する方向に揺動
運動する揺動フレームと、該揺動フレームに偏心回転運
動可能に設けられた研磨具とを有し、板状体に研磨具を
押し付けた状態で研磨具を偏心回転運動すると共に板状
体の移送方向に対して直交する方向に揺動運動して板状
体を研磨するようにされていることを特徴とする板状体
の研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6286693A JPH06246623A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 板状体の連続研磨方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6286693A JPH06246623A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 板状体の連続研磨方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06246623A true JPH06246623A (ja) | 1994-09-06 |
Family
ID=13212646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6286693A Pending JPH06246623A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 板状体の連続研磨方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06246623A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007083438A1 (ja) * | 2006-01-20 | 2007-07-26 | Asahi Glass Company, Limited | 板状体の研磨方法及びその装置 |
| JP2008296288A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの研磨装置及びその研磨方法 |
| JP2012011539A (ja) * | 2010-06-01 | 2012-01-19 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス基板の研磨方法及び研磨装置 |
| CN102528644A (zh) * | 2010-12-27 | 2012-07-04 | 旭硝子株式会社 | 玻璃板的连续研磨装置及玻璃板的连续研磨方法 |
| JP2012179680A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス板の研磨方法 |
| CN102950538A (zh) * | 2011-08-17 | 2013-03-06 | 旭硝子株式会社 | 板状体研磨装置及研磨系统 |
-
1993
- 1993-02-26 JP JP6286693A patent/JPH06246623A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007083438A1 (ja) * | 2006-01-20 | 2007-07-26 | Asahi Glass Company, Limited | 板状体の研磨方法及びその装置 |
| JP2007190657A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Asahi Glass Co Ltd | 板状体の研磨方法及びその装置 |
| KR101143290B1 (ko) * | 2006-01-20 | 2012-05-11 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 판상체의 연마 방법 및 그 장치 |
| KR101273729B1 (ko) * | 2006-01-20 | 2013-06-12 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 판상체의 연마 방법 및 그 장치 |
| JP2008296288A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの研磨装置及びその研磨方法 |
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| CN102528644A (zh) * | 2010-12-27 | 2012-07-04 | 旭硝子株式会社 | 玻璃板的连续研磨装置及玻璃板的连续研磨方法 |
| JP2012135841A (ja) * | 2010-12-27 | 2012-07-19 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス板の連続研磨装置及び連続研磨方法 |
| TWI503204B (zh) * | 2010-12-27 | 2015-10-11 | Asahi Glass Co Ltd | Continuous grinding of glass plate and glass plate continuous grinding method |
| JP2012179680A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス板の研磨方法 |
| CN102950538A (zh) * | 2011-08-17 | 2013-03-06 | 旭硝子株式会社 | 板状体研磨装置及研磨系统 |
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