KR101273729B1

KR101273729B1 - 판상체의 연마 방법 및 그 장치

Info

Publication number: KR101273729B1
Application number: KR1020117031579A
Authority: KR
Inventors: 야스나리 이쿠타; 다케오 스즈키
Original assignee: 아사히 가라스 가부시키가이샤
Priority date: 2006-01-20
Filing date: 2006-11-17
Publication date: 2013-06-12
Also published as: KR101143290B1; KR20080075497A; TWI331068B; TW200728019A; JP2007190657A; JP4862404B2; CN101360584A; CN101360584B; WO2007083438A1

Abstract

본 발명은 대형 사이즈의 판상체를 고정밀도로 연마할 수 있는 판상체의 연마 방법 및 그 장치를 제공한다. 판상체를 소정의 방향으로 이동시키면서, 복수 대의 자전 및 공전하는 원형 연마 공구에 의해 판상체를 연속 연마하는 판상체의 연마 방법에 있어서, 상기 판상체의 폭보다 직경이 작은 상기 원형 연마 공구를, 상기 판상체의 이동 중심선을 기준으로 하여 쌍을 이루어 배치함과 함께, 상기 각 원형 연마 공구가 이동 중심선을 넘어 상기 판상체를 연마하는 것을 특징으로 하는 판상체의 연마 방법.

Description

판상체의 연마 방법 및 그 장치{METHOD AND DEVICE FOR POLISHING PLATE-LIKE BODY}

본 발명은 판상체의 연마 방법 및 그 장치에 관련된 것으로서, 특히 액정 디스플레이용 등에 사용되는 FPD (Flat Panel Display) 용 유리 기판을, 연속 연마 장치에 의해 연마하는 판상체의 연마 방법 및 그 장치에 관한 것이다.

특히 액정 디스플레이용 등에 사용되는 FPD 용 유리 기판은, 플로트법이라는 판유리 제법에 의해 용융 유리를 판상으로 성형하고, 이것을 특허 문헌 1 등에 개시된 연속식 연마 장치에 의해, 표면의 미소한 요철이나 굴곡을 연마 제거함으로써, 액정 디스플레이용 유리 기판에서 요구되는 평탄도를 만족시킨 두께 0.4 ∼ 1.1㎜ 의 박판상으로 제조된다.

이와 같은 연속식 연마 장치에서는, 특허 문헌 1 에 기재된 바와 같이, 유리 기판의 폭보다 큰 직경을 갖고 자전 및 공전하는 연마 공구에 의해, 유리 기판 폭 전역을 한 번에 연마하는 것이 일반적으로 이루어지고 있다.

도 5 는, 종래의 연속식 연마 장치에 의해 유리 기판 (G) 이 연마되는 상태를 나타낸 설명도이다. 유리 기판 (G) 은 테이블 (도시하지 않음) 에 접착된 흡착 시트 (1) 에 그 연마 대상면과 반대측의 면이 흡착 유지되고, 도면의 화살표 A 로 나타내는 바와 같이 도시하지 않은 반송 장치에 의해 연속적으로 반송되어, 그 반송로의 상방에 설치된 연마기의 연마 공구 (2, 3) 에 의해 연마 대상면이 연마된다. 도 5 에 나타내는 바와 같이, 연마 공구 (2, 3) 는 유리 기판 (G) 의 폭보다 큰 직경을 갖고, 자전/공전 기구 (도시하지 않음) 에 의해 소정의 회전 중심을 중심으로 자전됨과 함께, 소정의 공전 중심을 중심으로 공전되면서 유리 기판 (G) 의 폭 전역을 한 번에 연마한다. 또한, 도 5 에서 실선으로 나타낸 원은, 연마 공구 (2, 3) 의 현재의 자세를 나타내고 있고, 2 점 쇄선으로 나타낸 다수의 원은, 유리 기판 (G) 이 연마 공구 (2, 3) 와 접촉된 부분의 윤곽부가 나타내어져 있다. 이들 원에서도 알 수 있듯이, 연마 공구 (2, 3) 는 소정의 공전 중심을 중심으로 공전된다.

[특허 문헌 1] 일본 공개특허공보 2001-293656호

그러나, 특허 문헌 1 및 도 5 에 나타낸 연속 연마 장치는, 사이즈가 작은 유리 기판의 연마에는 양호하지만, 예를 들어, 폭이 2200㎜ 를 초과하는 대형 사이즈의 유리 기판의 연마에 대응시키는 것은 곤란하다. 왜냐하면, 이와 같은 대형 사이즈의 유리 기판을 연마하고자 하면, 연마 공구의 사이즈 (약 Φ2400㎜) 가 지나치게 커지기 때문에, 연마 공구의 소재 확보, 연마 장치 및 연마 공구의 가공 조립 정밀도의 유지, 연마 공구의 교환 작업 및 취급성, 그리고 연마 정밀도의 유지 등에 문제가 발생하기 때문이다.

본 발명은 이와 같은 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 대형 사이즈의 판상체를 고정밀도로 연마할 수 있는 판상체의 연마 방법 및 그 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해, 판상체를 소정 방향으로 이동시키면서, 복수 대의 자전 및 공전하는 원형 연마 공구에 의해 판상체를 연속 연마하는 판상체의 연마 방법에 있어서, 상기 판상체의 폭보다 직경이 작은 상기 원형 연마 공구를, 상기 판상체의 이동 중심선을 기준으로 하여 쌍을 이루어 배치함과 함께, 상기 원형 연마 공구가 이동 중심선을 넘어 상기 판상체를 연마하는 것을 특징으로 하는 판상체의 연마 방법 (이하, 본 발명의 연마 방법이라고 한다) 을 제공한다.

또, 본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해, 판상체를 소정 방향으로 이동시키면서, 복수 대의 자전 및 공전하는 원형 연마 공구에 의해 판상체를 연속 연마하는 판상체의 연마 장치에 있어서, 상기 원형 연마 공구의 직경은 상기 판상체의 폭보다 작게 설정됨과 함께, 판상체의 이동 중심선을 기준으로 하여 쌍을 이루어 배치되어, 상기 원형 연마 공구가 중심선을 넘어 상기 판상체를 연마하는 것을 특징으로 하는 판상체의 연마 장치 (이하, 본 발명의 연마 장치라고 한다) 를 제공한다.

본 발명에 의하면, 1 대의 대형 연마 공구를 사용하는 것이 아니라, 판상체의 폭보다 직경이 작은 소형의 원형 연마 공구를 복수 대 정렬하고, 이들 원형 연마 공구를 판상체의 이동 중심선을 기준으로 하여 쌍을 이루어 배치하여, 원형 연마 공구가 이동 중심선을 넘어 판상체를 연마함으로써, 판상체의 연마면의 전체면을 연마한다. 또, 본 발명에 의하면, 연마 공구는 소경화되기 때문에, 연마 공구의 소재 확보, 연마 장치 및 연마 공구의 가공 조립 정밀도의 유지, 연마 공구의 교환 작업 및 취급성, 그리고 연마 정밀도의 유지 등의 문제를 해결할 수 있다.

본 발명의 연마 방법은, 상기 판상체의 이동 방향을 따라 적어도 2 쌍 배치된 상기 원형 연마 공구에 의해 판상체를 연마하는 것이 바람직하다.

또, 본 발명의 연마 장치는, 상기 원형 연마 공구가, 상기 판상체의 이동 방향을 따라 적어도 2 쌍 배치되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명에 관련된 실시형태에 의하면, 원형 연마 공구의 배열은 판상체의 이동 중심선에 대하여 쌍을 이루어 등간격으로 평행하게 배치된다. 또, 판상체의 이동 방향에 원형 연마 공구를, 예를 들어 지그재그 형상으로 병렬시켜도 되고, 동 위치에 병렬시켜도 되는데, 지그재그 형상으로 병렬시키는 것이, 연마 공구 동작의 설정 조건의 자유도가 높다는 점에서 바람직하다.

본 발명의 연마 방법에 있어서, 상기 원형 연마 공구는 연마시에 있어서의 상기 판상체의 이동 방향의 상기 판상체의 일단으로부터의 오버행량 (A) 이 20㎜ ≤ A ≤ 250㎜ 로 설정되어 판상체를 연마하는 것이 바람직하다.

본 발명의 연마 장치에 있어서, 상기 원형 연마 공구는 상기 판상체 이동 방향의 상기 판상체 일단으로부터의 오버행량 (A) 이 20㎜ ≤ A ≤ 250㎜ 로 설정되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명에서, 판상체의 에지는 통상적으로 모따기되지 않은 경우가 많기 때문에, 연마 공구의 오버행량 (A) 이 20㎜ 미만이면 에지에 흠집이 생기기 쉬워지고, 또 오버행량 (A) 이 250㎜ 를 초과하면 연마 공구가 경사지기 쉬워져, 균일하게 연마하기 곤란한 경우가 있다. 이 점을 개선하기 위해, 오버행량 (A) 은 20㎜ ≤ A ≤ 250㎜ 인 것이 바람직하다.

본 발명의 연마 방법에 있어서, 상기 원형 연마 공구는 원형 연마 공구의 공전 반경 (R) 이 50㎜ ≤ R ≤ 100㎜ 로 설정되어 판상체를 연마하는 것이 바람직하다.

본 발명의 연마 장치는, 상기 원형 연마 공구의 공전 반경 (R) 이 50㎜ ≤ R ≤ 100㎜ 로 설정되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명에서, 공전 반경 (R) 이 50㎜ 미만이면, 연마 공구의 자공전의 합성 방향 변화가 커져, 판상체에 생기는 연마 모양이 눈에 띄기 쉬워지는 경우가 있다. 또, 공전 반경 (R) 이 100㎜ 를 초과하면, 지지 장치가 커지기 때문에 강성이 필요해져 초기 비용이 높아진다. 또, 장치가 진동하기 쉬워지는 경우가 있다. 이들 문제를 개선하기 위해, 공전 반경 (R) 은 50㎜ ≤ R ≤ 100㎜ 가 바람직하다.

본 발명의 연마 방법은, 상기 판상체의 이동 중심선을 기준으로 하여 쌍을 이루어 배치된 일방의 원형 연마 공구와 타방의 원형 연마 공구의 연마시에 있어서의 중첩량이 적어도 100㎜ 이상이며, 또, 상기 원형 연마 공구의 연마시에 있어서의 상기 이동 중심선으로부터의 벗어남량의 최소값을 B, 최대값을 C 로 했을 때, 25㎜ ≤ B ≤ 100㎜, 175㎜ ≤ C ≤ 250㎜ 인 조건에서 판상체를 연마하는 것이 바람직하다.

본 발명의 연마 장치는 상기 판상체의 이동 중심선을 기준으로 하여 쌍을 이루어 배치된 일방의 원형 연마 공구와 타방의 원형 연마 공구의 연마시에 있어서의 중첩량이 적어도 100㎜ 이상이며, 또, 상기 원형 연마 공구의 연마시에 있어서의 상기 이동 중심선으로부터의 벗어남량의 최소값을 B, 최대값을 C 로 했을 때, 25㎜ ≤ B ≤ 100㎜, 175㎜ ≤ C ≤ 250㎜ 인 조건으로 설정되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명의 연마 방법 및 본 발명의 연마 장치에서는, 판상체의 이동 방향의 중심선을 포함하는 그 근방의 일부가, 이동 중심선을 사이에 두고 배치된 복수의 연마 공구에 의해 연마되기 때문에, 경우에 따라서는 이들 연마 공구의 연마 영역의 중첩부 (이하, 중첩 연마부라고 한다) 에서 연마 불균일이 발생할 우려가 있다. 이 연마 불균일을 억제하기 위해서는, 상기 중첩 연마부의 적정화를 도모하는 것이 바람직하고, 이로써, 대형 판상체의 고정밀도 연마를 달성할 수 있다.

본 발명의 연마 방법 및 본 발명의 연마 장치의 바람직한 실시형태에서는, 상기한 바와 같이 일방의 원형 연마 공구와 타방의 원형 연마 공구의 연마시에 있어서의 중첩량, 즉, 중첩 연마부의 폭을 적어도 100㎜ 이상으로 설정하고, 또한, 원형 연마 공구의 연마시에 있어서의 상기 이동 중심선으로부터의 벗어남량의 최소값을 B, 최대값을 C 로 했을 때, 25㎜ ≤ B ≤ 100㎜, 175㎜ ≤ C ≤ 250㎜ 가 되도록 설정한다. 중첩 연마부의 폭이 100㎜ 미만이고, B 가 25㎜ 미만 또는 100㎜ 를 초과할 때, 및 C 가 175㎜ 미만 또는 250㎜ 를 초과할 때 연마 불균일이 발생할 우려가 있다.

본 발명의 연마 방법은 상기 원형 연마 공구의 연마압을, 상기 원형 연마 공구의 중심으로부터 외주 방향, 즉 반경 방향으로 분할 설정하여 판상체를 연마하는 것이 바람직하다.

본 발명의 연마 장치는 상기 원형 연마 공구의 연마압이, 상기 원형 연마 공구 중심으로부터 외주 방향으로 분할 설정되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명의 바람직한 실시형태에서는, 이와 같이 연마압 발생기가 되는 공기 스프링이 연마 공구에 복수 개 내장되고, 이 공기 스프링은 반경 방향에서 내측, 중간, 외측으로 3 분할되어 있다. 그리고, 각각의 공기 스프링에 대하여, 상이한 공기압을 설정함으로써 연마압을 반경 방향으로 분할 제어한다. 이로써, 주로 연마 공구 외측의 연마압을 조정함으로써, 연마 공구의 위치를 변경하지 않고 균일하게 연마할 수 있고, 또한 연마압의 조정과 연마 공구의 위치 조정의 양방을 실시함으로써, 연마 조건의 설정을 보다 세세히 실시할 수 있다.

본 발명에 관련된 판상체의 연마 방법 및 그 장치에 의하면, 판상체의 폭보다 직경이 작은 소형의 원형 연마 공구를 복수 대 정렬하고, 이들 원형 연마 공구를 판상체의 이동 중심선을 기준으로 하여 쌍을 이루어 배치하여, 원형 연마 공구가 중심선을 넘어 판상체를 연마함으로써, 판상체 전체면을 균일하게 연마할 수 있다.

또, 본 발명에 의하면, 연마 공구는 소경화되기 때문에, 연마 공구의 소재 확보, 연마 장치 및 연마 공구의 가공 조립 정밀도의 유지, 연마 공구의 교환 작업 및 취급성 등의 문제를 해소할 수 있고, 또한 판상체의 연마 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.

도 1 은, 본 발명의 바람직한 실시형태의 유리 기판 연마 장치의 평면도이다.
도 2 는, 도 1 에 나타낸 유리 기판 연마 장치에 있어서의 연마 공구의 배치 관계를 나타낸 설명도이다.
도 3 은, 도 1 에 나타낸 유리 기판 연마 장치에 있어서의 연마 공구의 공전 반경을 나타낸 설명도이다.
도 4 는, 도 1 에 나타낸 유리 기판 연마 장치에 있어서의 연마 공구의 배치 관계를 나타낸 설명도이다.
도 5 는, 종래의 유리 기판 연마 장치를 나타낸 평면도이다.

발명을 실시하기 위한 최선의 형태

이하 첨부 도면에 따라, 본 발명에 관련된 유리 기판으로 이루어지는 판상체의 연마 방법 및 그 장치의 바람직한 실시형태 (이하, 본예라고 한다) 에 대하여 상세히 설명한다.

도 1 에는, 본예의 연마 장치 (10) 의 평면도가 나타내어져 있다. 또, 도 1 에는 2200㎜ (폭) × 2600㎜ (길이) 이상의 사이즈의 액정용 유리 기판 (G) 의 연마 장치 (10) 에 있어서의 연마 공구 (14) 의 형상, 배치 및 동작에 관한 내용이 나타내어져 있다.

도 1 에 의하면, 연마 대상의 유리 기판 (G) 은 테이블 (도시하지 않음) 에 접착된 흡착 시트 (12) 에 그 연마 대상면과 반대측의 면이 흡착 유지되어, 도면의 화살표 X 로 나타내는 바와 같이 도시하지 않은 반송 장치에 의해 연속적으로 반송된다. 그리고, 반송 중에 상기 반송로의 상방에 설치된 연마기의 복수 대의 원형 연마 공구 (이하, 연마 공구라고 한다) (14, 14 …) 에 의해 연마 대상면이, 액정 디스플레이용 유리 기판에서 요구되는 평탄도로 연마된다.

도 1 에 나타내는 바와 같이, 연마 공구 (14, 14 …) 는 유리 기판 (G) 의 폭 (W) 보다 작은 직경 (D) 으로 구성되고, 자전/공전 기구 (도시하지 않음) 에 의해 소정의 회전 중심을 중심으로 자전됨과 함께, 소정의 공전 중심을 중심으로 공전되면서 유리 기판 (G) 을 연마한다. 또한, 도 1 에 있어서, 실선으로 나타낸 원은 연마 공구 (14, 14 …) 의 현재의 자세를 나타내고 있고, 2 점 쇄선으로 나타낸 다수의 원 (14') 은, 유리 기판 (G) 이 연마 공구 (14, 14 …) 와 접촉된 부분의 윤곽부를 궤적으로서 나타내고 있다. 이들 연마 궤적에서도 알 수 있듯이, 연마 공구 (14, 14 …) 는 소정의 공전 중심을 중심으로 공전된다.

또, 연마 공구 (14, 14 …) 는 유리 기판 (G) 의 이동 중심선 (L) 을 기준으로 하여 쌍을 이루어 배치됨과 함께, 즉 이동 중심선 (L) 의 양측에 쌍을 이루어 배치됨과 함께, 쌍을 이루는 연마 공구의 일방을 타방에 대하여 유리 기판 (G) 의 이동 방향에 위치를 어긋나게 하여 지그재그 형상으로 배치되어, 연마 공구 (14, 14 …) 가 이동 중심선 (L) 을 넘어 유리 기판 (G) 을 연마하도록 배치된다. 여기서, 이동 중심선 (L) 은 본예와 같이 연마 공구 (14, 14) 를 유리 기판 (G) 의 폭 방향으로 2 열 배치하는 경우에는, 도 1 에 나타내는 바와 같이 유리 기판 (G) 의 폭 방향에 있어서의 중심선에 상당한다.

이와 같이 구성된 연마 장치 (10) 에 의하면, 1 대의 대형 연마 공구를 사용하는 것이 아니라, 유리 기판 (G) 의 폭 (W) 보다 직경 (D) 이 작은 소형의 연마 공구 (14) 를 복수 대 정렬하고, 이들 연마 공구 (14, 14 …) 를 유리 기판 (G) 의 이동 중심선 (L) 을 기준으로 하여 좌우에 쌍을 이루어 배치하여, 연마 공구 (14, 14 …) 가 중심선 (L) 을 넘어 유리 기판 (G) 을 연마함으로써, 유리 기판 (G) 전체면을 연마할 수 있다.

또, 이 연마 장치 (10) 에 의하면, 연마 공구 (14) 는 소형 소경화되기 때문에, 연마 공구 (14) 의 소재 확보, 가공 조립 정밀도의 유지, 교환 작업 및 취급성 등의 문제를 해소할 수 있다. 또한, 연마 공구 (14, 14 …) 는 유리 기판 (G) 의 이동 방향을 따라 적어도 지그재그 형상으로 2 쌍 배치되어 있기 때문에, 판상체를 균등하게 고정밀도로 연마할 수 있다.

본 발명에서 연마 공구 (14) 는 연마 공구 (14) 의 대형화에 따른 문제 (연마 공구의 소재 확보, 연마 장치 및 연마 공구의 가공 조립 정밀도의 유지, 연마 공구의 교환 작업 및 취급성, 그리고 연마 정밀도의 유지 등의 문제), 및 연마 공구 (14) 의 제조 및 취급시의 제약 조건 (일반 문 사이즈 폭 : 1800㎜, 컨테이너 폭 : 2250㎜, 소재 범용 사이즈 : 1800㎜ 인 것 등) 을 고려하여 직경 1750㎜ 이하로 구성되어 있는 것이 바람직하다.

일례로서, 유리 기판 (G) 의 폭은 2200㎜, 연마 공구 (14) 의 직경은 1290㎜, 공전 반경은 75㎜, 공전 중심은 이동 중심선 (L) 으로부터 직교 방향으로 좌우로 600㎜ 떨어진 위치로 하는 것을 들 수 있다.

또, 연마 장치 (10) 에 있어서, 연마 공구 (14) 는 도 2 와 같이 연마시에 유리 기판 (G) 의 일단으로부터 오버행되도록 설정된다. 이 오버행량 (A) 으로는, 20㎜ ≤ A ≤ 250㎜ 가 바람직하다.

연마 대상인 유리 기판 (G) 의 에지는 통상적으로 모따기되지 않은 경우가 많기 때문에, 연마 공구 (14) 의 오버행량 (A) 이 20㎜ 미만이면 에지가 흠집이 생기기 쉬워지고, 오버행량 (A) 이 250㎜ 를 초과하면 연마 공구 (14) 가 경사지기 쉬워져, 균일한 연마가 곤란해지는 경우가 있다. 따라서, 오버행량 (A) 을 20㎜ ≤ A ≤ 250㎜ 의 범위로 설정하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 연마 장치 (10) 에 있어서, 도 3 과 같이 연마 공구 (14) 의 공전 반경 (R) 이 50㎜ ≤ R ≤ 100㎜ 로 설정되어 있는 것이 바람직하다.

공전 반경 (R) 이 50㎜ 미만이면, 연마 공구 (14) 의 자공전의 합성 방향 변화가 커져, 유리 기판 (G) 에 생기는 연마 모양이 눈에 띄기 쉬워지는 경우가 있다. 또, 공전 반경 (R) 이 100㎜ 를 초과하면, 연마 공구의 지지 장치가 대형화 되어 큰 강성이 필요하다. 또, 장치가 진동하기 쉬워지는 경우가 있다. 이로써, 공전 반경 (R) 을 50㎜ ≤ R ≤ 100㎜ 로 하는 것이 바람직하다.

또한, 도 4 와 같이 유리 기판 (G) 의 이동 중심선 (L) 을 기준으로 하여 쌍을 이루어 배치된 일방의 연마 공구 (14) 와 타방의 연마 공구 (14) 의 연마시에 있어서의 중첩량 (P) 이 100㎜ 이상이고, 또한, 연마 공구 (14) 의 연마시에 있어서의 이동 중심선 (L) 으로부터의 벗어남량의 최소값을 B, 최대값을 C 로 했을 때, 25㎜ ≤ B ≤ 100㎜, 175㎜ ≤ C ≤ 250㎜ 인 조건으로 설정되어 있는 것이 바람직하다.

본예의 연마 장치 (10) 에서는, 유리 기판 (G) 의 이동 중심선을 포함하는 그 근방의 일부가, 이동 중심선 (L) 을 사이에 두고 지그재그 형상으로 쌍을 이루어 배치된 4 대의 연마 공구 (14, 14 …) 에 의해 연마되기 때문에, 쌍을 이루는 연마 공구 (14, 14 …) 의 중첩 연마부에서 연마 불균일이 발생할 우려가 있다. 이 연마 불균일을 억제하기 위해서는, 상기 중첩 연마부의 적정화를 도모하는 것이 중요하다. 구체적으로는, 이 중첩 연마부를 그 이외의 부분과 동일하도록 연마함으로써, 대형 유리 기판 (G) 의 고정밀도 연마가 가능해진다.

그래서, 본예의 연마 장치 (10) 는 도 4 와 같이 일방의 연마 공구 (14) 와 타방의 연마 공구 (14) 의 연마시에 있어서의 중첩량 (P), 즉, 중첩 연마부의 폭을 100㎜ 이상으로 설정하고, 또한, 연마 공구 (14) 의 연마시에 있어서의 이동 중심선 (L) 으로부터의 벗어남량의 최소값 B, 최대값 C 를, 25㎜ ≤ B ≤ 100㎜, 175㎜ ≤ C ≤ 250㎜ 가 되도록 설정하고 있다.

상기 중첩량 (P) 이 100㎜ 미만일 때, B 가 25 미만 또는 100㎜ 를 초과할 때, 및 C 가 175㎜ 미만 또는 250㎜ 를 초과하면, 특히 연마 불균일의 원인이 된다.

또, 연마 공구 (14) 에는, 연마압 발생기가 되는 공기 스프링이 복수 개 내장되고, 이 공기 스프링은 연마 공구의 중심으로부터 외주 방향을 향하여 내측, 중간, 외측으로 3 분할되어 있다. 그리고, 각각의 공기 스프링에 대하여, 상이한 공기압을 설정함으로써 연마압을 연마 공구의 중심으로부터 외주 방향으로 분할 제어하고 있다. 이로써, 주로 연마 공구의 상기 외측의 연마압을 조정함으로써, 연마 공구의 위치를 변경하지 않고 균일하게 연마할 수 있고, 또한 연마압의 조정과 연마 공구 (14) 의 위치 조정의 양방을 실시함으로써, 연마 조건의 설정을 보다 세세하게 행할 수 있다.

또한, 본예의 연마 장치 (10) 에서는, 유리 기판 폭 방향으로 연마 공구 (14) 를 2 열 배치한 예에 대하여 설명했는데, 이론적으로는, 유리 기판의 폭 방향으로 연마 공구 (14) 를 3 열 이상 병렬시켜 배치할 수도 있다. 그러나, 복수열의 연마 공구 (14, 14 …) 에 의한 연마의 중첩 연마부를 최소한으로 억제하는 편이 연마 품질을 확보하기 쉽고, 또 연마 공구가 장착되는 연마 헤드 (연마 정반(定盤)) 의 대수의 면에서도 적게 억제할 수 있기 때문에, 본예와 같이 2 열이 유리하다.

또, 연마 공구 (14, 14) 의 배치 거리 (이동 중심선으로부터의 거리) 를 조정하는 방법으로는, 연마 공구 (14) 를 구동시키는 스핀들 모터의 장착좌를 슬라이드 가능 구조로 하고, 이것을 잭 볼트나 볼 나사 등의 이동 장치에 의해 밀고 당겨 위치 결정한다. 중첩량 (P) 이 지나치게 많은 경우에는 연마 공구 (14, 14) 의 간격을 넓히고, 중첩량 (P) 이 지나치게 적은 경우에는 연마 공구 (14, 14) 의 간격을 좁히는 조정을 함으로써, 유리 기판의 폭 방향 전체를 균일하게 연마할 수 있다.

또한, 2006년 1월 20일에 출원된 일본 특허 출원 2006-012772호의 명세서, 특허 청구의 범위, 도면 및 요약서의 전체 내용을 여기에 인용하여, 본 발명의 명세서의 개시로서 도입한 것이다.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉
10 : 연마 장치 12 : 흡착 시트
14 : 연마 공구 G : 유리 기판

Claims

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판상체를 미리결정된 방향으로 이동시키면서, 복수 대의 자전 및 공전하는 원형 연마 공구에 의해 판상체를 연속 연마하는 판상체의 연마 방법에 있어서,
상기 판상체의 폭보다 직경이 작은 상기 원형 연마 공구를 상기 판상체의 이동 중심선을 기준으로 하여 쌍을 이루어 배치함과 함께, 상기 각 원형 연마 공구가 이동 중심선을 넘어 상기 판상체를 연마하고,
상기 판상체는 FPD 용 유리 기판이고, 상기 원형 연마 공구는 그 공전 반경 (R) 이 50 mm≤Ｒ≤100 mm 로 설정되고, 상기 FPD 용 유리 기판의 이동 방향을 따라 적어도 지그재그 형상으로 2 쌍 배치되어 있는 판상체의 연마 방법.
판상체를 미리결정된 방향으로 이동시키면서, 복수 대의 자전 및 공전하는 원형 연마 공구에 의해 판상체를 연속 연마하는 판상체의 연마 장치에 있어서,
상기 원형 연마 공구는 직경이 상기 판상체의 폭보다 작게 설정됨과 함께, 상기 판상체의 이동 중심선을 기준으로 하여 쌍을 이루어 배치되어, 상기 원형 연마 공구가 이동 중심선을 넘어 상기 판상체를 연마하고,
상기 판상체는 FPD 용 유리 기판이고, 상기 원형 연마 공구의 공전 반경 (R) 이 50 mm≤Ｒ≤100 mm 로 설정되고, 상기 원형 연마 공구는 상기 FPD 용 유리 기판의 이동 방향을 따라 적어도 지그재그 형상으로 2 쌍 배치되어 있는 판상체의 연마 장치.