JP5316910B2 - 板状体の研磨装置及び板状体の研磨方法 - Google Patents
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Description
前記目的を達成するために、本発明の板状体の研磨装置は、板状体の主表面における第1の面を吸着保持すべく構成されたバックパッドと、前記板状体の前記主表面における第2の面に押し付けられ、該第2の面を研磨すべく構成された研磨パッドを備え、前記研磨パッドの押し付けによる前記板状体の周囲の前記バックパッドの盛り上がりを防止すべく構成された補助プレートが前記板状体の周囲または周囲の一部に配置された板状体の研磨装置において、複数枚の前記板状体の各々の前記第1の面を吸着保持すべく構成された前記バックパッドと、吸着保持された前記板状体が連続的に搬送される搬送路に対向するように設置され、前記板状体の前記第2の面に押し付けられ、該第2の面を順次研磨すべく構成された複数台の前記研磨パッドを備え、前記研磨パッドの押し付けによる前記板状体の周囲の前記バックパッドの盛り上がりを防止するとともに、前記研磨パッドの前記板状体間における乗り継ぎ不良を防止すべく構成された前記補助プレートが前記板状体の間の隙間の幅方向に配置されており、前記補助プレートの長さは、前記板状体の長さよりも短いことを特徴とする。
また、同様に前記目的を達成するために、本発明の板状体の研磨方法は、板状体の主表面における第1の面をバックパッドにより吸着保持し、前記バックパッドに吸着保持された前記板状体の周囲または周囲の一部に補助プレートを配置し、前記バックパッドに吸着保持された前記板状体の前記主表面における第2の面を研磨パッドにより押圧しながら該第2の面を研磨する際、前記板状体の周囲の前記バックパッドの前記研磨パッドの押圧力による盛り上がりを防止するようにした板状体の研磨方法において、複数枚の前記板状体の各々の前記第1の面を前記バックパッドにより吸着保持し、吸着保持された前記板状体が連続的に搬送される搬送路に前記研磨パッドを複数台設置して、複数の前記板状体の各々の前記第2の面に前記研磨パッドを押し付けて、前記第2の面を順次研磨する場合に、
連続して搬送される前記板状体の間の隙間の幅方向に、前記板状体の長さよりも長さが短い前記補助プレートを配置し、前記研磨パッドの押し付けによる前記板状体の周囲の前記バックパッドの盛り上がりを防止するとともに、前記研磨パッドの前記板状体間における乗り継ぎ不良を防止するようにしたことを特徴とする。
Claims (10)
- 板状体の主表面における第1の面を吸着保持すべく構成されたバックパッドと、
前記板状体の前記主表面における第2の面に押し付けられ、該第2の面を研磨すべく構成された研磨パッドを備え、
前記研磨パッドの押し付けによる前記板状体の周囲の前記バックパッドの盛り上がりを防止すべく構成された補助プレートが前記板状体の周囲または周囲の一部に配置された板状体の研磨装置において、
複数枚の前記板状体の各々の前記第1の面を吸着保持すべく構成された前記バックパッドと、
吸着保持された前記板状体が連続的に搬送される搬送路に対向するように設置され、前記板状体の前記第2の面に押し付けられ、該第2の面を順次研磨すべく構成された複数台の前記研磨パッドを備え、
前記研磨パッドの押し付けによる前記板状体の周囲の前記バックパッドの盛り上がりを防止するとともに、前記研磨パッドの前記板状体間における乗り継ぎ不良を防止すべく構成された前記補助プレートが前記板状体の角部の周囲の一部に配置されていることを特徴とする板状体の研磨装置。 - 板状体の主表面における第1の面を吸着保持すべく構成されたバックパッドと、
前記板状体の前記主表面における第2の面に押し付けられ、該第2の面を研磨すべく構成された研磨パッドを備え、
前記研磨パッドの押し付けによる前記板状体の周囲の前記バックパッドの盛り上がりを防止すべく構成された補助プレートが前記板状体の周囲または周囲の一部に配置された板状体の研磨装置において、
複数枚の前記板状体の各々の前記第1の面を吸着保持すべく構成された前記バックパッドと、
吸着保持された前記板状体が連続的に搬送される搬送路に対向するように設置され、前記板状体の前記第2の面に押し付けられ、該第2の面を順次研磨すべく構成された複数台の前記研磨パッドを備え、
前記研磨パッドの押し付けによる前記板状体の周囲の前記バックパッドの盛り上がりを防止するとともに、前記研磨パッドの前記板状体間における乗り継ぎ不良を防止すべく構成された前記補助プレートが前記板状体の間の隙間の幅方向に配置されており、
前記補助プレートの長さは、前記板状体の長さよりも短いことを特徴とする板状体の研磨装置。 - 前記補助プレートと前記板状体との間に間隔が設けられている請求項1または2に記載の板状体の研磨装置。
- 前記補助プレートは、前記研磨パッドに対向する面に目立て部材を備えている請求項1〜3のいずれか一項に記載の板状体の研磨装置。
- 前記補助プレートの材質は、超高分子量ポリエチレン、ステンレス鋼、フッ素樹脂またはガラスエポキシである請求項1〜4のいずれかに記載の板状体の研磨装置。
- 板状体の主表面における第1の面をバックパッドにより吸着保持し、
前記バックパッドに吸着保持された前記板状体の周囲または周囲の一部に補助プレートを配置し、
前記バックパッドに吸着保持された前記板状体の前記主表面における第2の面を研磨パッドにより押圧しながら該第2の面を研磨する際、前記板状体の周囲の前記バックパッドの前記研磨パッドの押圧力による盛り上がりを防止するようにした板状体の研磨方法において、
複数枚の前記板状体の各々の前記第1の面を前記バックパッドにより吸着保持し、吸着保持された前記板状体が連続的に搬送される搬送路に前記研磨パッドを複数台設置して、複数の前記板状体の各々の前記第2の面に前記研磨パッドを押し付けて、前記第2の面を順次研磨する場合に、
連続して搬送される前記板状体の角部の周囲の一部に、前記補助プレートを配置し、
前記研磨パッドの押し付けによる前記板状体の周囲の前記バックパッドの盛り上がりを防止するとともに、前記研磨パッドの前記板状体間における乗り継ぎ不良を防止するようにしたことを特徴とする板状体の研磨方法。 - 板状体の主表面における第1の面をバックパッドにより吸着保持し、
前記バックパッドに吸着保持された前記板状体の周囲または周囲の一部に補助プレートを配置し、
前記バックパッドに吸着保持された前記板状体の前記主表面における第2の面を研磨パッドにより押圧しながら該第2の面を研磨する際、前記板状体の周囲の前記バックパッドの前記研磨パッドの押圧力による盛り上がりを防止するようにした板状体の研磨方法において、
複数枚の前記板状体の各々の前記第1の面を前記バックパッドにより吸着保持し、吸着保持された前記板状体が連続的に搬送される搬送路に前記研磨パッドを複数台設置して、複数の前記板状体の各々の前記第2の面に前記研磨パッドを押し付けて、前記第2の面を順次研磨する場合に、
連続して搬送される前記板状体の間の隙間の幅方向に、前記板状体の長さよりも長さが短い前記補助プレートを配置し、
前記研磨パッドの押し付けによる前記板状体の周囲の前記バックパッドの盛り上がりを防止するとともに、前記研磨パッドの前記板状体間における乗り継ぎ不良を防止するようにしたことを特徴とする板状体の研磨方法。 - 前記補助プレートと前記板状体との間に間隔が設けられている請求項6または7に記載の板状体の研磨方法。
- 前記補助プレートは、前記研磨パッドに対向する面に目立て部材を備えている請求項6〜8のいずれか一項に記載の板状体の研磨方法。
- 前記補助プレートの材質は、超高分子量ポリエチレン、ステンレス鋼、フッ素樹脂またはガラスエポキシである請求項6〜9のいずれかに記載の板状体の研磨方法。
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