JP2995367B2 - フィルタ基板研磨装置 - Google Patents
フィルタ基板研磨装置Info
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- JP2995367B2 JP2995367B2 JP4186288A JP18628892A JP2995367B2 JP 2995367 B2 JP2995367 B2 JP 2995367B2 JP 4186288 A JP4186288 A JP 4186288A JP 18628892 A JP18628892 A JP 18628892A JP 2995367 B2 JP2995367 B2 JP 2995367B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は例えばカラー液晶パネル
の構成要素としてのカラーフィルタ基板の研磨加工に用
いられるフィルタ基板研磨装置に関するものである。
の構成要素としてのカラーフィルタ基板の研磨加工に用
いられるフィルタ基板研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、例えばカラーフィルタ基板Ｗ
は、図１１に示すように、厚さ１ｍｍ程度の四角板状の
青板ガラス等からなるガラス基板Ｇ上に水溶性高分子材
料及び染料からなるＲ・Ｇ・Ｂの各フィルタ層Ｆがそれ
ぞれの画素に対応して並び、必要に応じて各フィルタ層
Ｆ間に例えば金属薄膜をエッチングしたクロムブラック
からなる遮光層Ｓとしてのブラックマトリックスが設け
られ、その上にはアクリル、エポキシ樹脂等からなる保
護膜Ｐとしてのオーバーコート層が設けられ、さらに透
明導電膜ＤとしてのＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍｕ Ｔｉｎ
Ｏｘｉｄｅ）膜が重ねられて形成されている。
は、図１１に示すように、厚さ１ｍｍ程度の四角板状の
青板ガラス等からなるガラス基板Ｇ上に水溶性高分子材
料及び染料からなるＲ・Ｇ・Ｂの各フィルタ層Ｆがそれ
ぞれの画素に対応して並び、必要に応じて各フィルタ層
Ｆ間に例えば金属薄膜をエッチングしたクロムブラック
からなる遮光層Ｓとしてのブラックマトリックスが設け
られ、その上にはアクリル、エポキシ樹脂等からなる保
護膜Ｐとしてのオーバーコート層が設けられ、さらに透
明導電膜ＤとしてのＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍｕ Ｔｉｎ
Ｏｘｉｄｅ）膜が重ねられて形成されている。
【０００３】ところでこれらカラーフィルタ基板Ｗに
は、分光特性、耐熱性、耐薬品性等の要求特性と並び異
常突起がなく平滑であること、という平滑性が要求され
ており、即ち、上記保護膜Ｐの表面、透明導電膜Ｄの表
面やフィルタ層Ｆの表面の平滑性が要求されている。
は、分光特性、耐熱性、耐薬品性等の要求特性と並び異
常突起がなく平滑であること、という平滑性が要求され
ており、即ち、上記保護膜Ｐの表面、透明導電膜Ｄの表
面やフィルタ層Ｆの表面の平滑性が要求されている。
【０００４】従来、この種のカラーフィルタ基板におい
ては、セラミックスや半導体で行われている回転モード
で研磨し、フィルタ層Ｆの汚れ、異物除去、フィルタ層
の存在による保護膜Ｐ上の凹凸の平坦化、ＩＴＯ膜上の
汚れ、異物除去をなし、平滑化の要求に応えるものが知
られている。
ては、セラミックスや半導体で行われている回転モード
で研磨し、フィルタ層Ｆの汚れ、異物除去、フィルタ層
の存在による保護膜Ｐ上の凹凸の平坦化、ＩＴＯ膜上の
汚れ、異物除去をなし、平滑化の要求に応えるものが知
られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記回転
モードによる研磨加工の場合、フィルタ層Ｆの材料は硬
度が低いためフィルタ層Ｆの端部にチッピングが生じ易
いことや遮光層Ｓとフィルタ層Ｆの硬度差により遮光層
Ｓ位置が掘り込まれる現象が生じ易いことからフィルタ
層Ｆの表面の平滑化が損なわれ、ひいては保護膜Ｐの表
面の平滑化並びに透明導電膜Ｄ上の平滑化に影響を及ぼ
すことがあり、最適な研磨条件を見いだすことが非常に
困難であるという不都合を有している。
モードによる研磨加工の場合、フィルタ層Ｆの材料は硬
度が低いためフィルタ層Ｆの端部にチッピングが生じ易
いことや遮光層Ｓとフィルタ層Ｆの硬度差により遮光層
Ｓ位置が掘り込まれる現象が生じ易いことからフィルタ
層Ｆの表面の平滑化が損なわれ、ひいては保護膜Ｐの表
面の平滑化並びに透明導電膜Ｄ上の平滑化に影響を及ぼ
すことがあり、最適な研磨条件を見いだすことが非常に
困難であるという不都合を有している。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような課題
を解決することを目的とするもので、液晶パネルに用い
られるフィルタ基板を載置可能な載置台を往復移動させ
る移動機構と、研磨テープを折返案内して圧接研磨部を
形成可能な受圧部材が設けられ、該研磨テープを載置台
の往復移動方向に一方向に連続移送させるテープ移送機
構と、該テープ移送機構を載置台に対向する方向に移動
させる送り機構と、該研磨テープの移送張力を一定に保
持可能な張力制御機構と、該テープ移送機構を上記載置
台の往復移動方向を横切る方向に揺振運動させるテープ
揺振機構と、上記受圧部材をフィルタ基板の研磨面に応
じて載置台の往復移動方向を横切る方向に倣って傾動可
能な状態にあって上下動作可能に設けると共に該研磨テ
ープとフィルタ基板との圧接力を定圧保持可能な押圧機
構と、該受圧部材を載置台の往復移動方向の水平軸線を
傾動中心としてフィルタ基板の研磨面に応じて載置台の
往復移動方向を横切る方向に傾動可能とする傾動機構と
を具備したことを特徴とするフィルタ基板研磨装置にあ
る。
を解決することを目的とするもので、液晶パネルに用い
られるフィルタ基板を載置可能な載置台を往復移動させ
る移動機構と、研磨テープを折返案内して圧接研磨部を
形成可能な受圧部材が設けられ、該研磨テープを載置台
の往復移動方向に一方向に連続移送させるテープ移送機
構と、該テープ移送機構を載置台に対向する方向に移動
させる送り機構と、該研磨テープの移送張力を一定に保
持可能な張力制御機構と、該テープ移送機構を上記載置
台の往復移動方向を横切る方向に揺振運動させるテープ
揺振機構と、上記受圧部材をフィルタ基板の研磨面に応
じて載置台の往復移動方向を横切る方向に倣って傾動可
能な状態にあって上下動作可能に設けると共に該研磨テ
ープとフィルタ基板との圧接力を定圧保持可能な押圧機
構と、該受圧部材を載置台の往復移動方向の水平軸線を
傾動中心としてフィルタ基板の研磨面に応じて載置台の
往復移動方向を横切る方向に傾動可能とする傾動機構と
を具備したことを特徴とするフィルタ基板研磨装置にあ
る。
【０００７】
【作用】液晶パネルに用いられるフィルタ基板を載置台
上に載置し、この載置台を移動機構により往復移動さ
せ、テープ移送機構により研磨テープを載置台の往復移
動方向に一方向に連続移送させ、受圧部材により形成さ
れた研磨テープの圧接研磨部をテープ揺振機構により載
置台の往復移動方向を横切る方向に揺振運動させ、この
状態で送り機構により圧接研磨部を載置台に対向する方
向に送り移動させると圧接研磨部はフィルタ基板に圧接
され、フィルタ基板は研磨テープの移送作用、載置台の
往復移動作用及び研磨テープの揺振作用の三つの作用に
より研磨加工されることになる。
上に載置し、この載置台を移動機構により往復移動さ
せ、テープ移送機構により研磨テープを載置台の往復移
動方向に一方向に連続移送させ、受圧部材により形成さ
れた研磨テープの圧接研磨部をテープ揺振機構により載
置台の往復移動方向を横切る方向に揺振運動させ、この
状態で送り機構により圧接研磨部を載置台に対向する方
向に送り移動させると圧接研磨部はフィルタ基板に圧接
され、フィルタ基板は研磨テープの移送作用、載置台の
往復移動作用及び研磨テープの揺振作用の三つの作用に
より研磨加工されることになる。
【０００８】この研磨加工の際に、研磨テープの移送張
力は張力制御機構により一定に保持され、受圧部材がフ
ィルタ基板の研磨面に応じて載置台の往復移動方向を横
切る方向に倣って傾動可能な状態にあって上下動作して
押圧機構により研磨テープとフィルタ基板との圧接力が
定圧保持され、更に傾動機構により受圧部材は載置台の
往復移動方向の水平軸線を傾動中心としてフィルタ基板
の研磨面に応じて載置台の往復移動方向を横切る方向に
傾動することになる。
力は張力制御機構により一定に保持され、受圧部材がフ
ィルタ基板の研磨面に応じて載置台の往復移動方向を横
切る方向に倣って傾動可能な状態にあって上下動作して
押圧機構により研磨テープとフィルタ基板との圧接力が
定圧保持され、更に傾動機構により受圧部材は載置台の
往復移動方向の水平軸線を傾動中心としてフィルタ基板
の研磨面に応じて載置台の往復移動方向を横切る方向に
傾動することになる。
【０００９】
【実施例】図１乃至図１０は本発明の実施例を示し、Ｍ
は機台、１は移動機構であって、この場合機台Ｍ上に基
台２を取付け、この基台２に摺動部３により載置台４を
図１の左右方向に往復移動可能に設け、載置台４を左右
移動させるボールネジ機構５を設け、ボールネジ機構５
のネジ軸５ａを駆動する移動用モータ６を設けて構成さ
れている。
は機台、１は移動機構であって、この場合機台Ｍ上に基
台２を取付け、この基台２に摺動部３により載置台４を
図１の左右方向に往復移動可能に設け、載置台４を左右
移動させるボールネジ機構５を設け、ボールネジ機構５
のネジ軸５ａを駆動する移動用モータ６を設けて構成さ
れている。
【００１０】７はテープ移送機構、８はテープ揺振機
構、９は送り機構であって、この場合テープ揺振機構８
は、機台Ｍ上に門形状の取付枠体１０を立設し、この取
付枠体１０に取付板１１を取付け、取付板１１に摺動部
１２により支持部材１３を上記載置台４の往復移動方向
を横切る方向である図３の左右方向に揺振運動可能に設
け、支持部材１３に揺振用モータ１４を取付け、揺振用
モータ１４の主軸に偏心状態でカムフォロワー１５を取
付け、支持部材１３の裏面に二個のガイド板１６をカム
フォロワー１５を挟装する状態に対向して取付け、揺振
用モータ１４の駆動によりカムフォロワー１５とガイド
板１６との作用で上記摺動部１２によって支持部材１３
を揺振運動させるように構成している。
構、９は送り機構であって、この場合テープ揺振機構８
は、機台Ｍ上に門形状の取付枠体１０を立設し、この取
付枠体１０に取付板１１を取付け、取付板１１に摺動部
１２により支持部材１３を上記載置台４の往復移動方向
を横切る方向である図３の左右方向に揺振運動可能に設
け、支持部材１３に揺振用モータ１４を取付け、揺振用
モータ１４の主軸に偏心状態でカムフォロワー１５を取
付け、支持部材１３の裏面に二個のガイド板１６をカム
フォロワー１５を挟装する状態に対向して取付け、揺振
用モータ１４の駆動によりカムフォロワー１５とガイド
板１６との作用で上記摺動部１２によって支持部材１３
を揺振運動させるように構成している。
【００１１】また送り機構９は、この場合上記支持部材
１３に送り台１７を摺動部１８により上下動可能に設
け、支持部材１３の裏面側にブラケット１９を突設し、
ブラケット１９にガイドポスト２０を立設し、ガイドポ
スト２０にバランス錘２１を上下動可能に嵌合し、支持
部材１３とバランス錘２１とを案内輪２２により案内さ
れた鎖体２３によって連結し、送り台１７を上下動させ
るボールネジ機構２４を設け、ボールネジ機構２４のネ
ジ軸２４ａを駆動する送り用モータ２５を設けて構成さ
れている。
１３に送り台１７を摺動部１８により上下動可能に設
け、支持部材１３の裏面側にブラケット１９を突設し、
ブラケット１９にガイドポスト２０を立設し、ガイドポ
スト２０にバランス錘２１を上下動可能に嵌合し、支持
部材１３とバランス錘２１とを案内輪２２により案内さ
れた鎖体２３によって連結し、送り台１７を上下動させ
るボールネジ機構２４を設け、ボールネジ機構２４のネ
ジ軸２４ａを駆動する送り用モータ２５を設けて構成さ
れている。
【００１２】またテープ移送機構７は、この場合上記送
り台１７の左右側部に支持板２６を突設し、支持板２６
にポリエステルフィルム、メタル、クロス等の基材に酸
化アルミニュウム、酸化クロム、シリコンカーバイド、
ダイヤモンド等の所定粒度の研磨粒子をコーティング又
は結合してなる研磨テープＴの実巻リール２７及び巻取
リール２８を上下二段に軸着し、一方の支持板２６に実
巻リール２７をギヤ列２９を介して繰出回転させる繰出
用モータ３０を設け、かつ支持板２６に巻取ローラ３１
を巻取回転させる巻取用モータ３２を設け、巻取用モー
タ３２によりベルト３３ａ及びギヤ列３３ｂを介して巻
取リール２８を巻取回転させ、実巻リール２７から引き
出した研磨テープＴをローラー３４、張力制御機構３５
を構成するダンサーロール３６及びローラー３７を介し
て下方に引き出し、次いで押圧機構３８を構成するロー
ル状の受圧部材３９及び左右のローラ４０・４１により
折り返し案内して受圧部材３９により研磨テープＴの圧
接研磨部Ｎを形成し、次いで上記巻取ローラ３１及び並
列配置された屈曲ローラ３１ａ・３１ｂにより迂回案内
した後に巻取リール２８に巻回し、実巻リール２７及び
巻取リール２８を回転させながら巻取ローラ３１により
研磨テープＴを一方向に連続移送させるように構成して
いる。
り台１７の左右側部に支持板２６を突設し、支持板２６
にポリエステルフィルム、メタル、クロス等の基材に酸
化アルミニュウム、酸化クロム、シリコンカーバイド、
ダイヤモンド等の所定粒度の研磨粒子をコーティング又
は結合してなる研磨テープＴの実巻リール２７及び巻取
リール２８を上下二段に軸着し、一方の支持板２６に実
巻リール２７をギヤ列２９を介して繰出回転させる繰出
用モータ３０を設け、かつ支持板２６に巻取ローラ３１
を巻取回転させる巻取用モータ３２を設け、巻取用モー
タ３２によりベルト３３ａ及びギヤ列３３ｂを介して巻
取リール２８を巻取回転させ、実巻リール２７から引き
出した研磨テープＴをローラー３４、張力制御機構３５
を構成するダンサーロール３６及びローラー３７を介し
て下方に引き出し、次いで押圧機構３８を構成するロー
ル状の受圧部材３９及び左右のローラ４０・４１により
折り返し案内して受圧部材３９により研磨テープＴの圧
接研磨部Ｎを形成し、次いで上記巻取ローラ３１及び並
列配置された屈曲ローラ３１ａ・３１ｂにより迂回案内
した後に巻取リール２８に巻回し、実巻リール２７及び
巻取リール２８を回転させながら巻取ローラ３１により
研磨テープＴを一方向に連続移送させるように構成して
いる。
【００１３】また上記張力制御機構３５は、この場合支
持板２６に支点軸４２により揺動アーム４３を上下揺動
可能に設け、揺動アーム４３の先端部に上記ダンサーロ
ール３６を設け、支点軸４２に支点軸４２の回転角を検
出する角度検出器４４を装着し、角度検出器４４からの
角度検出信号により揺動アーム４３が略水平状態を維持
するように繰出用モータ３０の回転数を制御し、研磨テ
ープＴの移送張力を一定に保持するように構成したもの
である。
持板２６に支点軸４２により揺動アーム４３を上下揺動
可能に設け、揺動アーム４３の先端部に上記ダンサーロ
ール３６を設け、支点軸４２に支点軸４２の回転角を検
出する角度検出器４４を装着し、角度検出器４４からの
角度検出信号により揺動アーム４３が略水平状態を維持
するように繰出用モータ３０の回転数を制御し、研磨テ
ープＴの移送張力を一定に保持するように構成したもの
である。
【００１４】また上記押圧機構３８は、傾動機構４５を
介して上記送り台１７に組付けられ、この場合傾動機構
４５は、送り台１７に固定板４６を取付け、固定板４６
にロック軸４７を進退動作可能に取付け、ロック軸４７
に平面コ状の傾動枠体４８を軸受体４９を介してロック
軸４７の軸線としての載置台４の往復移動方向の水平軸
線を傾動中心として載置台４の往復移動方向を横切る方
向にスイング傾動可能に設け、ロック軸４７の先端部に
係止鍔部４７ａを形成し、固定板４６にロック軸４７を
進退させるロック用シリンダ５０を取付け、ロック用シ
リンダ５０の突出時には傾動枠体４８の傾動を可能とす
ると共にロック用シリンダ５０の後退時に係止鍔部４７
ａを軸受体４９に圧接させて傾動枠体４８の傾動をロッ
クし得るように構成したものである。
介して上記送り台１７に組付けられ、この場合傾動機構
４５は、送り台１７に固定板４６を取付け、固定板４６
にロック軸４７を進退動作可能に取付け、ロック軸４７
に平面コ状の傾動枠体４８を軸受体４９を介してロック
軸４７の軸線としての載置台４の往復移動方向の水平軸
線を傾動中心として載置台４の往復移動方向を横切る方
向にスイング傾動可能に設け、ロック軸４７の先端部に
係止鍔部４７ａを形成し、固定板４６にロック軸４７を
進退させるロック用シリンダ５０を取付け、ロック用シ
リンダ５０の突出時には傾動枠体４８の傾動を可能とす
ると共にロック用シリンダ５０の後退時に係止鍔部４７
ａを軸受体４９に圧接させて傾動枠体４８の傾動をロッ
クし得るように構成したものである。
【００１５】また押圧機構３８は、この場合上記傾動枠
体４８の左右側部に摺動部５１により保持板５２・５２
を上下動可能に設けると共に傾動枠体４８の左右側面に
押圧用シリンダ５３・５３を取付け、押圧用シリンダ５
３・５３のロッド５３ａ・５３ａを保持板５２・５２に
連結し、保持板５２・５２間に上記ロール状の受圧部材
３９及び左右のローラ４０・４１を架設し、この左右二
個の押圧用シリンダ５３・５３により受圧部材３９を載
置台４の往復移動方向の水平軸線を傾動中心としてフィ
ルタ基板Ｗの研磨面に応じて載置台の往復移動方向を横
切る方向に倣って傾動可能な状態にあって上下動可能に
設けると共に押圧用シリンダ５３・５３により下降させ
て圧接研磨部Ｎを形成した状態において、フィルタ基板
Ｗの研磨面のうねり等により大きな圧接力が受圧部材３
９に掛かった際に押圧用シリンダ５３・５３の内圧を一
定に保持するべく内圧を外部に逃がし、受圧部材３９は
載置台４の往復移動方向の水平軸線を傾動中心としてフ
ィルタ基板Ｗの研磨面に応じて載置台４の往復移動方向
を横切る方向に倣って傾動可能な状態にあって上昇し、
これにより圧接力を一定に保持するように構成してい
る。
体４８の左右側部に摺動部５１により保持板５２・５２
を上下動可能に設けると共に傾動枠体４８の左右側面に
押圧用シリンダ５３・５３を取付け、押圧用シリンダ５
３・５３のロッド５３ａ・５３ａを保持板５２・５２に
連結し、保持板５２・５２間に上記ロール状の受圧部材
３９及び左右のローラ４０・４１を架設し、この左右二
個の押圧用シリンダ５３・５３により受圧部材３９を載
置台４の往復移動方向の水平軸線を傾動中心としてフィ
ルタ基板Ｗの研磨面に応じて載置台の往復移動方向を横
切る方向に倣って傾動可能な状態にあって上下動可能に
設けると共に押圧用シリンダ５３・５３により下降させ
て圧接研磨部Ｎを形成した状態において、フィルタ基板
Ｗの研磨面のうねり等により大きな圧接力が受圧部材３
９に掛かった際に押圧用シリンダ５３・５３の内圧を一
定に保持するべく内圧を外部に逃がし、受圧部材３９は
載置台４の往復移動方向の水平軸線を傾動中心としてフ
ィルタ基板Ｗの研磨面に応じて載置台４の往復移動方向
を横切る方向に倣って傾動可能な状態にあって上昇し、
これにより圧接力を一定に保持するように構成してい
る。
【００１６】この実施例は上記構成であるから、フィル
タ層Ｆの表面、保護膜Ｐの表面又は透明導電膜Ｄ上を研
磨加工するに際し、このフィルタ基板Ｗを載置台４上に
載置し、図外の吸着固定機構等により固定し、この状態
で載置台４を移動機構１により往復移動させ、かつテー
プ移送機構７により研磨テープＴを載置台４の往復移動
方向に一方向に連続移送させ、受圧部材３９により形成
された研磨テープＴの圧接研磨部Ｎをテープ揺振機構８
により載置台４の往復移動方向を横切る方向に揺振運動
させ、この状態で送り機構９により圧接研磨部Ｎを載置
台４に対向する方向に送り移動させると圧接研磨部Ｎは
フィルタ基板Ｗに圧接され、フィルタ基板Ｗは研磨テー
プＴの一方向の移送作用、載置台４の往復移動作用及び
研磨テープＴの揺振作用の三つの複合作用により研磨加
工されることになり、載置台４の往復回数に伴って送り
機構９により徐々に圧接研磨部Ｎを送り運動させること
により研磨加工することができ、このため良好な研磨加
工を得ることができる。
タ層Ｆの表面、保護膜Ｐの表面又は透明導電膜Ｄ上を研
磨加工するに際し、このフィルタ基板Ｗを載置台４上に
載置し、図外の吸着固定機構等により固定し、この状態
で載置台４を移動機構１により往復移動させ、かつテー
プ移送機構７により研磨テープＴを載置台４の往復移動
方向に一方向に連続移送させ、受圧部材３９により形成
された研磨テープＴの圧接研磨部Ｎをテープ揺振機構８
により載置台４の往復移動方向を横切る方向に揺振運動
させ、この状態で送り機構９により圧接研磨部Ｎを載置
台４に対向する方向に送り移動させると圧接研磨部Ｎは
フィルタ基板Ｗに圧接され、フィルタ基板Ｗは研磨テー
プＴの一方向の移送作用、載置台４の往復移動作用及び
研磨テープＴの揺振作用の三つの複合作用により研磨加
工されることになり、載置台４の往復回数に伴って送り
機構９により徐々に圧接研磨部Ｎを送り運動させること
により研磨加工することができ、このため良好な研磨加
工を得ることができる。
【００１７】またこの研磨加工の際に、研磨テープＴの
移送張力を張力制御機構３５により一定に保持すること
ができ、かつ受圧部材３９がフィルタ基板Ｗの研磨面の
うねり等に応じて載置台４の往復移動方向を横切る方向
に倣って傾動可能な状態にあって上下動作して押圧機構
３８により圧接研磨部Ｎにおける研磨テープＴとフィル
タ基板Ｗとの圧接力を押圧用シリンダ５３の作用により
定圧に保持することができ、更に傾動機構４５の傾動枠
体４８が傾動可能な状態では傾動枠体４８及び受圧部材
３９はフィルタ基板Ｗの研磨面のうねり等に応じてロッ
ク軸４７の軸線としての載置台４の往復移動方向の水平
軸線を傾動中心として載置台４の往復移動方向を横切る
方向にスイング傾動し、また必要に応じてロック軸４７
の後退により傾動枠体４８を固定保持することもでき、
それだけ良好なフィルタ基板Ｗの研磨加工を得ることが
できる。
移送張力を張力制御機構３５により一定に保持すること
ができ、かつ受圧部材３９がフィルタ基板Ｗの研磨面の
うねり等に応じて載置台４の往復移動方向を横切る方向
に倣って傾動可能な状態にあって上下動作して押圧機構
３８により圧接研磨部Ｎにおける研磨テープＴとフィル
タ基板Ｗとの圧接力を押圧用シリンダ５３の作用により
定圧に保持することができ、更に傾動機構４５の傾動枠
体４８が傾動可能な状態では傾動枠体４８及び受圧部材
３９はフィルタ基板Ｗの研磨面のうねり等に応じてロッ
ク軸４７の軸線としての載置台４の往復移動方向の水平
軸線を傾動中心として載置台４の往復移動方向を横切る
方向にスイング傾動し、また必要に応じてロック軸４７
の後退により傾動枠体４８を固定保持することもでき、
それだけ良好なフィルタ基板Ｗの研磨加工を得ることが
できる。
【００１８】尚、本発明は他のフィルタ基板の研磨加工
にも適用でき、また移動機構、テープ移送機構、テープ
揺振機構、送り機構等の構造は上記実施例に限られるも
のではなく、適宜変更して設計されるものである。
にも適用でき、また移動機構、テープ移送機構、テープ
揺振機構、送り機構等の構造は上記実施例に限られるも
のではなく、適宜変更して設計されるものである。
【００１９】
【発明の効果】本発明は上述の如く、フィルタ基板を研
磨テープの一方向の移送作用、載置台の往復移動作用及
び研磨テープの揺振作用の三つの複合作用により研磨加
工することができ、このため良好な研磨加工を得ること
ができ、また研磨加工の際に、研磨テープの移送張力を
張力制御機構により一定に保持することができ、かつ受
圧部材がフィルタ基板の研磨面のうねり等に応じて載置
台の往復移動方向を横切る方向に倣って傾動可能な状態
にあって上下動作して押圧機構により研磨テープとフィ
ルタ基板との圧接力を定圧に保持することができ、更に
傾動機構により受圧部材は載置台の往復移動方向の水平
軸線を傾動中心としてフィルタ基板の研磨面のうねり等
に応じて載置台の往復移動方向を横切る方向に傾動し、
それだけ良好なフィルタ基板の研磨加工を得ることがで
きる。
磨テープの一方向の移送作用、載置台の往復移動作用及
び研磨テープの揺振作用の三つの複合作用により研磨加
工することができ、このため良好な研磨加工を得ること
ができ、また研磨加工の際に、研磨テープの移送張力を
張力制御機構により一定に保持することができ、かつ受
圧部材がフィルタ基板の研磨面のうねり等に応じて載置
台の往復移動方向を横切る方向に倣って傾動可能な状態
にあって上下動作して押圧機構により研磨テープとフィ
ルタ基板との圧接力を定圧に保持することができ、更に
傾動機構により受圧部材は載置台の往復移動方向の水平
軸線を傾動中心としてフィルタ基板の研磨面のうねり等
に応じて載置台の往復移動方向を横切る方向に傾動し、
それだけ良好なフィルタ基板の研磨加工を得ることがで
きる。
【００２０】以上、所期の目的を充分達成することがで
きる。
きる。
【図１】本発明の実施例の全体側面図である。
【図２】本発明の実施例の全体平面図である。
【図３】本発明の実施例の全体正面図である。
【図４】本発明の実施例の部分後面図である。
【図５】本発明の実施例の部分側断面図である。
【図６】本発明の実施例の部分正面図である。
【図７】本発明の実施例の部分拡大正断面図である。
【図８】本発明の実施例の部分拡大側断面図である。
【図９】本発明の実施例の部分拡大側断面図である。
【図１０】本発明の実施例の部分拡大平面図である。
【図１１】カラーフィルタ基板の説明断面図である。
Ｗ フィルタ基板 Ｔ 研磨テープ Ｎ 圧接研磨部 １ 移動機構 ４ 載置台 ７ テープ移送機構 ８ テープ揺振機構 ９ 送り機構 ３５ 張力制御機構 ３８ 押圧機構 ３９ 受圧部材 ４５ 傾動機構
Claims (1)
- 【請求項１】 液晶パネルに用いられるフィルタ基板を
載置可能な載置台を往復移動させる移動機構と、研磨テ
ープを折返案内して圧接研磨部を形成可能な受圧部材が
設けられ、該研磨テープを載置台の往復移動方向に一方
向に連続移送させるテープ移送機構と、該テープ移送機
構を載置台に対向する方向に移動させる送り機構と、該
研磨テープの移送張力を一定に保持可能な張力制御機構
と、該テープ移送機構を上記載置台の往復移動方向を横
切る方向に揺振運動させるテープ揺振機構と、上記受圧
部材をフィルタ基板の研磨面に応じて載置台の往復移動
方向を横切る方向に倣って傾動可能な状態にあって上下
動作可能に設けると共に該研磨テープとフィルタ基板と
の圧接力を定圧保持可能な押圧機構と、該受圧部材を載
置台の往復移動方向の水平軸線を傾動中心としてフィル
タ基板の研磨面に応じて載置台の往復移動方向を横切る
方向に傾動可能とする傾動機構とを具備したことを特徴
とするフィルタ基板研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4186288A JP2995367B2 (ja) | 1992-06-20 | 1992-06-20 | フィルタ基板研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4186288A JP2995367B2 (ja) | 1992-06-20 | 1992-06-20 | フィルタ基板研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06758A JPH06758A (ja) | 1994-01-11 |
| JP2995367B2 true JP2995367B2 (ja) | 1999-12-27 |
Family
ID=16185691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4186288A Expired - Fee Related JP2995367B2 (ja) | 1992-06-20 | 1992-06-20 | フィルタ基板研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2995367B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100936622B1 (ko) * | 2008-02-29 | 2010-01-13 | 정진성 | 필름이 장착된 로터리형 랩핑장치 |
| JP5393039B2 (ja) | 2008-03-06 | 2014-01-22 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59107849A (ja) * | 1982-12-10 | 1984-06-22 | Hitachi Ltd | ベルト式研削装置 |
| JPH0222207Y2 (ja) * | 1985-04-09 | 1990-06-14 | ||
| JPH02150141U (ja) * | 1989-05-24 | 1990-12-25 | ||
| JP2920678B2 (ja) * | 1990-10-17 | 1999-07-19 | 富士ゼロックス株式会社 | 研削装置 |
-
1992
- 1992-06-20 JP JP4186288A patent/JP2995367B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06758A (ja) | 1994-01-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |