CN101288945B - 面板研磨装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种面板研磨装置，其采用将面板设于边缘处、上下配置的一对研磨带夹持该面板的表面和背面，可同时研磨和清洗该面板的两面。该面板研磨装置包括：面板搬运机构1，其可连续的水平搬运面板；上下一对的研磨机构5，其采用将面板设于边缘处、上下配置的一对研磨带T夹持该面板的表面和背面，同时研磨和清洗该面板的两面；上述一对的各研磨机构是由可将研磨带朝向与面板的搬运方向H交叉的方向传送的带传送机构6、以及用于将该研磨带的传送路径中间按压于该面板的带按压机构7所组成；该一对的各研磨机构中的带传送机构和带按压机构形成分别独立的结构。

Description

面板研磨装置 
技术领域
本发明涉及一种面板研磨装置，其用于研磨或清洗例如液晶显示器的玻璃基板或印刷基板等平坦的面板表面。 
背景技术
以往，作为该种面板研磨装置，已公知有如下的结构的装置：例如将进行连续的或间歇移动的研磨台紧贴在面板的表面，并使面板转动从而对面板表面进行研磨、或用于清洗附着在面板表面的异物及污垢。 
专利文件1 特开平8-47847号公报 
专利文件2 特开平11-19859号公报 
发明内容
然而，上述以往的结构是一种研磨加工面板一侧表面的结构，其主要问题在于，往往会对研磨或清洗速度的提升产生一定的制约。 
鉴于上述问题，本发明的主要目的在于提供一种面板研磨装置，其特征在于，具有：面板搬运机构，其可连续的水平搬运面板；上下一对的研磨机构，其采用将面板设于边缘处、上下配置的一对研磨带夹持该面板的表面和背面，同时研磨或清洗该面板的两面；上述一对的各研磨机构是由可将研磨带朝向与面板的搬运方向交叉的方向传送的带传送机构、以及用于将该研磨带的传送路径中间按压于该面板的带按压机构所组成；该一对的各研磨机构中的该带传送机构和该带按压机构形成互相分别独立的结构；并设置有异向往复作动机构，其使该一对的上下各带按压机构在该研磨带的传送方向上、即与上述面板的搬运方向交叉的方向上做相互逆向的水平往复运动；还设置有防松机构，其用于消除所述各带传送机构和所述带按压机构间所产生的上述研磨带的松弛。 
另外，本发明所述的面板研磨装置，其特征在于，所述的异向往复作动机构由曲轴机构组成；本发明所述的面板研磨装置，其特征还在于，所述各带按压机构由可将所述研磨带按压至所述面板的衬垫部件以及气缸机构所组成；本发明所述的面板研磨装置，其特征进一步在于，所述带传送机构由可间断地或连续地传送上述研磨带的结构所构成。 
本发明如上所述，在如上所述的发明中，通过面板搬运机构连续搬运面板，并采用将面板设于边缘处、上下配置的一对研磨带夹持该面板的表面和背面，可同时研磨和清洗该面板的两面；该一对的各研磨机构是由可将研磨带朝向与面板的搬运方向交叉的方向传送的带传送机构、以及用于将该研磨带的传送路径中间按压于该面板的带按压机构所组成；该一对的各研磨机构中的带传送机构和带按压机构形成互相分别独立的结构；并设置有异向往复作动机构，其使该一对的上下各带按压机构在研磨带的传送方向上、即与上述面板的搬运方向交叉的方向上做相互逆向的水平往复运动。通过带按压机构在面板的表面和背面均安装研磨带的情况下，带按压机构通过异向往复作动机构在与上述面板的搬运方向交叉的方向上做相互逆向的水平往复运动。因此，可通过由朝向面板的搬运方向的连续搬运、研磨带的按压、以及在与面板的搬运方向交叉方向的研磨带的水平往复运动所合成的复合运动，利用上下研磨带可同时研磨和清洗面板的表面和背面，此时，由于一对的各研磨机构中的带传送机构和带按压机构形成互相分别独立的结构，与带传送机构和带按压机构一体构成的结构相比，可减弱作为带按压机构的往复运动部分的惯性力，也可使带按压机构的水平往复运动的往复运动速度实现高速化，这样，即可较好地进行面板的研磨或清洗。 
另外，在所述的发明中，由于上述的异向往复作动机构由曲轴机构组成，因而可实现结构的简单化以及使带按压机构进一步提高往复运动速度；此外，在所述的发明中，由于设置有防松机构，用于消除所述各带传送机构和所述带按压机构间所产生的上述研磨带的松弛，因而可以抵消带传送机构和带按压机构形成互相分别独立的结构、以及带传送机构为固定状态时带按压机构通过异向往复作动机构做相互逆向的水平往复运动而产生的带传送机构和带按压机构间的研磨带的松弛，也可以顺利地进行研磨带的传送；此外，在所述的发明中，由于上述各带按压机构由可将所述研磨带按压至所述面板的衬垫部件以及气缸机构所组成，因此可使带按压机构结构简单化，同时也可较容易进行按压力的调节；此外，在所述的发明中，由于所述带传送机构由可间断地或连续地传送上述研磨带的结构所构成，因此不仅可以将该研磨带在研磨或清洗的过程中连续不断地向传送方向传送，也可以在研磨或清洗的过程中停止传送，在研磨或清洗到达一定次数或经过一定时间后传送研磨带，可提高研磨带的经济性。 
附图说明
图1是本发明实施例的正视图； 
图2是本发明实施例的侧剖视图； 
图3是本发明实施例的俯视图； 
图4是本发明实施例的放大正视图； 
图5是本发明实施例的说明俯视图。 
符号说明 
W  面板 
T  研磨带 
H  搬运方向 
K  传送方向 
Q  水平往复运动 
1  面板搬运机构 
5  研磨机构 
6  带传送机构 
7  带按压机构 
7a 衬垫部件 
7e 气缸机构 
8  往复运动机构 
10 防松机构 
具体实施方式
图1至图5表示本发明的实施例，其结构为：1是面板搬运机构，在机台2横向设置多个搬运滚轴3，同时，在搬运方向H的入口侧及出口侧横向设置上下一对的对装滚轴4，通过该多个搬运滚轴3和对装滚轴4的转动，可以连续不断地搬运液晶显示器的玻璃基板即面板W。 
5是上下一对的研磨机构，其采用将面板W设于边缘处、上下配置的一对研磨带T夹持该面板W表面和背面的W1，同时研磨面板W的两面W1。 
此时，上下一对的各研磨机构5由可将研磨带T朝向与面板W的搬运方向H交叉的方向传送的带传送机构6、以及用于将该研磨带T的传送路径中间按压于该面板W的带按压机构7所组成；该一对的各研磨机构5中的带传送机构6和带按压机构7形成互相分别独立的结构；并设置有异向往复作动机构8，其使该一对的上下各带按压机构7在研磨带T的传送方向K上、即与上述面板W的搬运方向H交叉的方向上做相互逆向的水平往复运动。 
另外，在上述机台2的上下位置配置有带传送机构6，在机台2上安装有组装台9，在组装台9上用于将各带传送结构的6的研磨带T的传送机构路径中间部位抵靠于面板W的带按压机构7与带传送机构6分别独立配置。 
即，上述各带传送机构6在机台2的上下位置安装有组装部件6a，在组装部件6a上安装有探出卷轴6b和缠绕卷轴6c，其中，探出卷轴6b组装有研磨带T的卷反，缠绕卷轴6c用于卷起从组装于探出卷轴6b的卷反所探出的研磨带T，探出卷轴6b通过反张力用电动机6d探出转动，缠绕卷轴6c通过缠绕用电动机6e进行缠绕转动，并通过多个导向转轴6g将研磨带T间断或连续地朝向与面板W的搬运方向H交叉的方向传送。 
此外，上述带按压机构7和上述异向往复作动机构8在上述组装台9上，形成面板W可通过的开口通路部9a，将该开口通路部9a设于边缘处，并在组装台9的上下位置分别独立配置水平往复台8a，其通过直线轴承部8b可自由水平往复运动；在该水平往复台8a通过导 向轴7b和轴承部7c配置有可自由上下移动的衬垫部件7a，在衬垫部件7a的面板W侧形成有可对研磨带T的传送路径中间部位进行按压的按压面7d，在该按压部件7d上贴覆有可自由更换的橡胶等弹性部件，将衬垫部件7a的按压面7d抵靠至面板W的表面和背面W1，或连接气缸机构7e的杆7f以解除抵靠状态；另外，在机台2上配置往复动作用电动机8c，同时横向设置上下一对的驱动轴8d，在往复动作用电动机8c和驱动轴8d之间装设配置有三角环状传送带的传送带传动机构8e，在驱动轴8d上安装曲轴盘8f，并在曲轴盘8f的适当偏心位置的半径上和上述水平往复台8a之间分别枢设有连接杆8g，且曲轴盘8f的半径上和连接杆8g之间的枢接位置形成180度的相位差连接，然后，作为上述异向往复作动机构8，其通过水平往复台8a、连接杆8g以及曲轴盘8f形成曲轴机构R。由该曲轴机构R所构成的异向往复作动机构8，使一对的上下各带按压机构7朝向研磨带的传送方向K即与上述面板W的搬运方向H交叉的方向逆向做水平往复运动Q。 
10是防松机构，其设于带传送机构6和带按压机构7之间，并在研磨带T的传送路径的探出侧和缠绕侧分别设置一对共计4组，在上述组装部件6a上通过支轴10a枢设有可自由摇动的控制杆10b，在控制杆10b的前端部安装有防松滚轴10c，同时在控制杆10b和组装部件6a之间装设弹簧10d，这样，即构成带传送机构6和带按压机构7各自独立的结构；当带传送机构6处于固定状态时，带按压机构7通过异向往复作动机构8进行逆向的水平往复运动Q，由此而产生的带传送机构6和带按压机构7之间的研磨带T的松弛，则通过弹簧10d的弹簧力和研磨带T的张力所控制的控制杆10b的摇动而消除。 
另外，作为上述研磨带T，可以在聚合物薄膜、纸、布、金属薄片、硬化纤维、无纺布材料、以及由上述组合而形成的基体材料的表面，具有将熔融氧化铝、热处理氧化铝、陶瓷氧化铝、碳化硅、锆刚玉、金刚砂、金刚石、立方氮化硼硅等所组成的砂粒通过酚醛树脂、氨基树脂、尿烷树脂、环氧树脂、丙烯酸脂树脂、丙烯酸脂化异氰酸盐树脂、尿素甲醛树脂、异氰酸盐树脂、丙烯酸脂化尿烷树脂、丙烯酸脂化环氧树脂等的粘结剂进行粘结的结构，并从上述中选择适用于研磨或清洗的加工方法的材料使用。 
该实施例如上述结构，由面板搬运机构1连续搬运面板W，当图中未示的传感器检测出面板W进入后，采用将面板W设于边缘处、上下配置的一对研磨机构5的一对研磨带T夹持该面板W表面和背面的W1，可同时研磨或清洗面板W的两面；当图中未示的传感器检测出面板W退出后，上下一对的研磨机构5的一对研磨带T所形成的夹持被解除。该一对研磨机构5由带传送机构6和带按压机构7构成，其中，带传送机构6可将研磨带T朝向与面板W的搬运方向H交叉的方向传送，带按压机构7用于将研磨带T的传送路径中间部位抵靠面板W。该一对的各研磨机构5中的带传送机构6和带按压机构7形成各自独立的结构，并设置有异向往复作动机构8，其使该一对的上下各带按压机构7在研磨带T的传送方向K上、即与上述面板W的搬运方向H交叉的方向上做相互逆向的水平往复运动。通过带按压机构7将研磨带T抵靠于面板W的表面与背面W1的状态下，带按压机构7通过异向往复作动机构8朝向与上述面板W的搬运方向H交叉的方向做逆向水平往复运动。这样，如图5所示，可通过由朝向面板W的搬运方向H的连续搬运、研磨带T的按压、以及在与面板W的搬运方向H交叉方向的研磨带T的水平往复运动Q所合成的复合运动，利用上下研磨带T可同时研磨和清洗面板W的表面和背面，此时，由于一对的各研磨机构5中的带传送机构6和带按压机构7形成互相分别独立的结构，与带传送机构6和带按压机构7一体构成的结构相比，可减弱作为带按压机构7的往复运动部分的惯性力，也可使带按压机构7的水平往复运动Q的往复运动速度实现高速化，这样，即可较好地进行面板W的研磨或清洗。 
由于上述异向往复作动机构8由曲轴机构R构成，因而可实现结构的简单化以及使带按压机构7进一步提高往复运动速度；此外，由于设置有防松机构10，用于消除所述各带传送机构6和所述带按压机构7间所产生的上述研磨带T的松弛，因而可以抵消带传送机构6和带按压机构7形成互相分别独立的结构、以及带传送机构6为固定状态时带按压机构7通过异向往复作动机构8做相互逆向的水平往复运动Q而产生的带传送机构6和带按压机构7间的研磨带T的松弛，也可以顺利地进行研磨带T的传送；此外，由于上述各带按压机构7由 可将所述研磨带T按压至所述面板W的衬垫部件7a以及气缸机构7e所组成，因此可使带按压机构7结构简单化，同时也可较容易进行按压力的调节；此外，由于所述带传送机构6由可间断地或连续地传送上述研磨带T的结构所构成，因此不仅可以将该研磨带T在研磨或清洗的过程中连续不断地向传送方向K传送，也可以在研磨或清洗的过程中停止传送，在研磨或清洗到达一定次数或经过一定时间后传送研磨带T，可提高研磨带T的经济性。 
另外，本发明不局限于上述实施例，例如可适当的改变面板搬运机构1、带传送机构6、带按压机构7、以及异向往复作动机构8的设计方案。 
此外，在上述实施例中，是所谓的干式的研磨或清洗；但是，也可以在研磨或清洗的领域中采用所谓湿式结构，该湿式结构可供给水、泥浆状沙粒剂、铈化学剂等液体，使用浸润液体的研磨带T。 
这样，可充分地实现所期望的目的。 

Claims (4)

1.一种面板研磨装置，其特征在于，具有：面板搬运机构，其可连续的水平搬运面板；上下一对的研磨机构，其采用将面板设于边缘处、上下配置的一对研磨带夹持该面板的表面和背面，同时研磨或清洗该面板的两面；上述一对的各研磨机构是由可将研磨带朝向与面板的搬运方向交叉的方向传送的带传送机构、以及用于将该研磨带的传送路径中间按压于该面板的带按压机构所组成；该一对的各研磨机构中的该带传送机构和该带按压机构构成互相分别独立的结构；并设置有异向往复作动机构，其使该一对的上下各带按压机构在该研磨带的传送方向上、即与上述面板的搬运方向交叉的方向上做相互逆向的水平往复运动；还设置有防松机构，其用于消除所述各带传送机构和所述带按压机构间所产生的上述研磨带的松弛。
2.根据权利要求1所述的面板研磨装置，其特征在于，所述的异向往复作动机构由曲轴机构组成。
3.根据权利要求1或2所述的面板研磨装置，其特征在于，所述各带按压机构由可将所述研磨带按压至所述面板的衬垫部件以及气缸机构所组成。
4.根据权利要求1或2所述的面板研磨装置，其特征在于，所述带传送机构由可间断地或连续地传送上述研磨带的结构所构成。
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102366919B (zh) * 2011-09-21 2015-01-07 杭州祥生砂光机制造有限公司 一圈两磨倒角去毛刺机及去毛刺方法
CN103317419B (zh) * 2013-06-17 2016-02-10 深圳市华星光电技术有限公司 研磨装置
CN104551941A (zh) * 2013-10-15 2015-04-29 青岛达沃斯达五金工具有限公司 一种双面砂带抛光机
CN105252387A (zh) * 2015-09-01 2016-01-20 深圳市易天自动化设备有限公司 一种液晶玻璃的研磨清洗设备
KR102429138B1 (ko) * 2017-07-10 2022-08-05 주식회사 케이씨텍 순환 구동 유닛 및 이를 포함하는 기판 연마 장치
JP6583701B2 (ja) 2018-01-31 2019-10-02 株式会社サンシン ウオーム研磨方法及びその装置
CN110561235B (zh) * 2019-08-27 2023-08-29 雅视特科技（杭州）有限公司 全自动立式铸件表面打磨机及其操作方法
CN110900397B (zh) * 2019-12-05 2021-12-03 新沂市大自然木业有限公司 一种高精度可双面同时抛光的木板砂光机及其工作方式
CN111113530B (zh) * 2019-12-27 2021-10-01 湖南新汇制药股份有限公司 一种金樱子初加工装置和加工方法
CN112548787B (zh) * 2020-12-24 2022-10-21 国网福建省电力有限公司莆田供电公司 一种电器插脚抛光装置
CN112847055A (zh) * 2020-12-29 2021-05-28 张媛淇 一种新能源汽车用导流板加工打磨装置
CN117103093B (zh) * 2023-10-19 2023-12-29 成都广日电气设备有限公司 一种用于电梯生产的抛光机

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1053384A (zh) * 1990-01-18 1991-07-31 丸仲化工机株式会社 砂磨方法及其装置
CN1438931A (zh) * 2000-06-30 2003-08-27 拉姆研究公司 摆动的固定研磨料化学机械研磨系统及其实现方法
CN2670054Y (zh) * 2003-11-25 2005-01-12 阳程科技股份有限公司 往复式上下磨刷机
CN1701917A (zh) * 2004-05-24 2005-11-30 日本微涂料株式会社 面板清洁装置及方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60151838A (ja) * 1984-01-19 1985-08-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd 磁気記録媒体の製造方法
JPH0763930B2 (ja) * 1988-09-01 1995-07-12 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 研摩テープを使用した平面研摩装置
JP2663022B2 (ja) * 1989-07-07 1997-10-15 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 研摩テープを使用した平面研摩装置
JP2001062696A (ja) * 1999-08-24 2001-03-13 Nihon Micro Coating Co Ltd 研掃方法及び装置
JP4519226B2 (ja) * 1999-11-12 2010-08-04 株式会社野田スクリーン プリント基板の研磨装置
JP2002224940A (ja) * 2001-01-29 2002-08-13 Nihon Micro Coating Co Ltd 研磨装置
JP2004322305A (ja) * 2003-04-11 2004-11-18 Tokki Corp 基板表面平坦化・洗浄装置
KR20060068997A (ko) * 2004-12-17 2006-06-21 삼성전자주식회사 액정표시장치 제조용 연마 및 세정 시스템

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1053384A (zh) * 1990-01-18 1991-07-31 丸仲化工机株式会社 砂磨方法及其装置
CN1438931A (zh) * 2000-06-30 2003-08-27 拉姆研究公司 摆动的固定研磨料化学机械研磨系统及其实现方法
CN2670054Y (zh) * 2003-11-25 2005-01-12 阳程科技股份有限公司 往复式上下磨刷机
CN1701917A (zh) * 2004-05-24 2005-11-30 日本微涂料株式会社 面板清洁装置及方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP平10-76455A 1998.03.24

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