JP2002224940A - 研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】再現性良好に、長時間連続的に研磨を行える研
磨装置を提供することである。 【解決手段】基板を研磨するための研磨部３０、研磨部
へ基板を搬入するための搬入部２０、及び研磨部から基
板を搬出するための搬出部７０、から構成される研磨装
置１０。搬入体２１、２１´のローラ２２、２２´の間
に挟んだ基板を上方に送りながら、研磨テープを走行さ
せつつバックアップ体４０、４０´を前後方向に往復移
動させて基板の両面を研磨する。基板は、上方に送ら
れ、搬出体７１、７１´のローラ７２、７２´の間に挟
まれ、このローラの回転により基板がさらに上方に送ら
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、板状の研磨対象物
を研磨するための研磨装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術及び発明の解決しようとする課題】近年、
絶縁材料を介して配線パターンを形成した配線チップが
携帯電話等の小型電子機器に組み込まれている。この配
線チップは、樹脂フィルムの表面に所定形状の配線パタ
ーンをマスキングによりプリントした後、絶縁樹脂膜を
一様に形成し、絶縁樹脂膜で配線を覆った可撓性のある
薄板状のプリント基板を作製し、このプリント基板の表
面を研磨する、という一連の工程を必要回数繰り返し行
った後、このプリント基板をカットして得られるもので
ある。

【０００３】プリント基板表面の研磨は、絶縁樹脂膜表
面を研磨して、絶縁樹脂膜と配線の高さを一致させ、プ
リント基板表面を平坦にするために行われ、従来、この
ような研磨は、表面に小孔（孔径５０μｍ程度）を多数
有する硬質のセラミックフィルムをゴムローラの周囲に
配置した研磨ローラをプリント基板表面に直接押し付け
て行われていた（これを「バフ研磨」という）。

【０００４】しかし、このようなバフ研磨では、研磨時
間の経過とともに、研磨ローラ表面が局所的又は全体的
に劣化したり又目詰まりし、研磨対象物表面を均一に研
磨できなくなるばかりか、長時間連続的に研磨を行う
と、研磨ローラ表面の劣化とともに、研磨対象物表面の
仕上がりが、研磨対象物ごとに異なり、再現性が悪くな
る、という問題があり、研磨ローラを短時間で交換しな
ければならず、スループットが低下する。

【０００５】したがって、本発明の目的は、再現性良好
に、長時間連続的に研磨を行える研磨装置を提供するこ
とである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の研磨装置は、基板を研磨するための研磨部、研磨部
へ基板を搬入するための搬入部、及び研磨部から基板を
搬出するための搬出部、から構成される。

【０００７】研磨部は、研磨テープを送り出すための送
出手段、研磨テープを巻き取るための巻取手段、送出手
段から送り出された研磨テープを基板に押し付けるため
のバックアップ体、及びこのバックアップ体を前後方向
に往復移動させるための往復移動手段、からそれぞれ構
成される第一及び第二の研磨ヘッドから構成される。

【０００８】これら第一及び第二の研磨ヘッドは、左右
対称構造であり、それぞれの第一及び第二の研磨ヘッド
は向き合って対向配列され、基板の研磨は、第一及び第
二の研磨ヘッドのそれぞれのバックアップ体を介して、
それぞれのバックアップ体の表面上に位置する研磨テー
プと研磨テープとの間に基板を挟み、各バックアップ体
を前後方向に往復移動させて行われる。

【０００９】各バックアップ体は、基板に押し付けられ
る研磨テープの圧力を局所的に変えるための手段を有す
る。この手段は、バックアップ体の表面に設けた複数の
凹部、及び各凹部内に配列した、圧縮空気を噴出すため
のノズルから構成される。各ノズルから噴出される圧縮
空気の量は、個別に電子制御される。

【００１０】研磨部は、各研磨ヘッドを左右方向に移動
させるための移動手段を有し、各研磨ヘッドを左右方向
に移動させることにより、これら研磨ヘッドのそれぞれ
のバックアップ体の間に基板を挟むことができるように
なっている。

【００１１】搬入部は、基板を送るための複数のロー
ラ、これらローラを回転可能に取り付けたフレーム、及
びローラを回転させるための駆動手段、からそれぞれ構
成される第一及び第二の搬入体から構成される。

【００１２】これら第一及び第二の搬入体は、左右対称
構造であり、第一及び第二の搬入体のそれぞれのローラ
が向き合うように対向配列され、基板の搬入は、向き合
ったローラとローラとの間に基板を挟み、駆動手段によ
りを回転させて行われる。

【００１３】搬入部は、上記研磨部と同様に、各搬入体
を左右方向に移動させるための移動手段を有し、搬入体
を左右方向に移動させることにより、これら搬入体のそ
れぞれのローラの間に基板を挟むことができるようにな
っている。

【００１４】搬出部は、基板を送るための複数のロー
ラ、これらローラを回転可能に取り付けたフレーム、及
びローラを回転させるための駆動手段、からそれぞれ構
成される第一及び第二の搬出体から構成される。

【００１５】これら第一及び第二の搬出体は、左右対称
構造であり、第一及び第二の搬出体のそれぞれのローラ
が向き合うように対向配列され、基板の搬出は、向き合
ったローラの間に基板を挟み、駆動手段によりローラを
回転させて行われる。

【００１６】搬出部は、上記研磨部と同様に、各搬出体
を左右方向に移動させるための移動手段を有し、搬出体
を左右方向に移動させることにより、これら搬出体のそ
れぞれのローラの間に基板を挟むことができるようにな
っている。

【００１７】基板の研磨は、まず、第一及び第二の搬入
体の間に基板を配置し、各搬入体、研磨ヘッド及び搬出
体をそれぞれ左右方向に移動させ、第一及び第二の搬入
体の間に基板を挟むとともに、各搬入体及び搬出体のそ
れぞれのローラ同士、及び研磨ヘッドのそれぞれバック
アップ体同士を接近させる。次に、搬入部のローラを回
転させ、基板を上方に送りながら、研磨テープを走行さ
せながらバックアップ体を前後方向に往復移動させ、基
板を上方に送りつつ基板の両面を研磨する。研磨済みの
基板の上部が搬出部のローラの間に挟まれ、ローラの回
転により基板がさらに上方に送られ、基板の研磨を終了
する。

【００１８】

【発明の実施の形態】図１に示すように、本発明の研磨
装置１０は、基板を研磨するための研磨部３０、研磨部
３０へ基板を搬入するための搬入部２０、及び研磨部３
０から基板を搬出するための搬出部、から構成され、こ
れら構成成分は、ハウジング１１内に配列される。

【００１９】＜搬入部＞ 搬入部２０は、図２に示すよ
うに、基板を送るための複数のローラ２２ａ〜２２ｇ、
２２ａ´〜２２ｇ´、これらローラ２２ａ〜２２ｇ、２
２ａ´〜２２ｇ´を回転可能に取り付けたフレーム２
３、２３´、及びローラ２２ａ〜２２ｇ、２２ａ´〜２
２ｇ´を回転させるための駆動手段（図示せず）、から
それぞれ構成される第一及び第二の搬入体２１、２１´
から構成される。

【００２０】これら第一及び第二の搬入体２１、２１´
は、左右対称構造であり、第一及び第二の搬入体２１、
２１´のそれぞれのローラ２２ａ〜２２ｇ、２２ａ´〜
２２ｇ´が向き合うように対向配列され、基板の搬入
は、向き合ったローラ２２ａ〜２２ｇとローラ２２ａ´
〜２２ｇ´の間に基板を挟み、駆動手段（図示せず）に
よりローラ２２ａ〜２２ｇ、２２ａ´〜２２ｇ´を回転
させて行われる。

【００２１】この駆動手段（図示せず）としては、例え
ば、各ローラ２２ａ〜２２ｇ、２２ａ´〜２２ｇ´の端
部に設けたネジ溝に、垂直方向に配列したボールネジを
係合させ、このボールネジを回転させるものが利用でき
る。

【００２２】搬入部２０は、各搬入体２１、２１´を左
右方向に移動させるための移動手段を有し、搬入体２
１、２１´を左右方向に移動させることにより、これら
搬入体２１、２１´のそれぞれのローラ２２ａ〜２２
ｇ、２２ａ´〜２２ｇ´の間に基板を挟むことができる
ようになっている。

【００２３】この移動手段は、フレーム２３、２３´に
設けたガイド部２４、２４´、及びハウジング１１に固
定したアクチュエータ２６、２６´、から構成され、フ
レーム２３、２３´のガイド部２４、２４´は、ハウジ
ング１１に固定したレール２５、２５´に係合されてお
り、アクチュエータ２６、２６´を駆動すると、各搬入
体２１、２１´が、アクチュエータ２６、２６´の伸縮
に応答して、レール２５、２５´に沿って左右方向に移
動する。

【００２４】＜研磨部＞ 研磨部３０は、研磨テープ
Ｔ、Ｔ´を送り出すための送出手段、研磨テープＴ、Ｔ
´を巻き取るための巻取手段、上記送出手段から送り出
された研磨テープＴ、Ｔ´を基板に押し付けるためのバ
ックアップ体４０、４０´、及びこのバックアップ体４
０、４０´を前後方向に往復移動させるための往復移動
手段、からそれぞれ構成される第一及び第二の研磨ヘッ
ド３１、３１´から構成される。

【００２５】これら第一及び第二の研磨ヘッド３１、３
１´は、左右対称構造であり、それぞれの第一及び第二
の研磨ヘッド３１、３１´は向き合って対向配列され、
基板の研磨は、第一及び第二の研磨ヘッド３１、３１´
のそれぞれのバックアップ体４０、４０´を介して、そ
れぞれのバックアップ体４０、４０´の表面上に位置す
る研磨テープＴと研磨テープＴ´との間に基板を挟み、
各バックアップ体４０、４０´を前後方向に往復移動さ
せて行われる。

【００２６】研磨部３０は、各研磨ヘッド３１、３１´
を左右方向に移動させるための移動手段を有し、研磨ヘ
ッド３１、３１´を左右方向に移動させることにより、
これら研磨ヘッド３１、３１´のそれぞれのバックアッ
プ体４０、４０´の間に基板を挟むことができるように
なっている。

【００２７】この移動手段は、上記の搬入部２０と同様
に、フレーム３４、３４´に設けたガイド部３５、３５
´、及びハウジング１１に固定したアクチュエータ（図
６に符号３７、３７´で示す）、から構成され、フレー
ム３４、３４´のガイド部３５、３５´は、ハウジング
１１に固定したレール３６、３６´に係合されており、
アクチュエータ３７、３７´を駆動すると、各研磨ヘッ
ド３１、３１´が、アクチュエータ３７、３７´の伸縮
に応答して、レール３６、３６´に沿って左右方向に移
動する。

【００２８】送出手段及び巻取手段は、それぞれ、フレ
ーム３４、３４´の上部に回転可能に取り付けたテープ
ロール３２、３２´、フレーム３４、３４´の下部に回
転可能に取り付けた巻取ローラ３３、３３´、及びテー
プロール３２、３２´及び巻取ローラ３３、３３´を回
転させるためのモータ（図５及び図７に符号３８´で示
す）、から構成され、テープロール３２、３２´及び巻
取ローラ３３、３３´の回転速度を調節することによっ
て、研磨テープＴ、Ｔ´の走行速度を適宜変更できるよ
うになっている。また、テープロール３２、３２´及び
巻取ローラ３３、３３´の各々は、フレーム３４、３４
´に着脱可能に取り付けられており、テープロール３
２、３２´の研磨テープＴ、Ｔ´が巻取ローラ３３、３
３´に全て巻き取られると、テープロール３２、３２´
は、新しい研磨テープを巻付けたテープロールとカート
リッジ式に交換でき、使用済みの研磨テープＴ、Ｔ´を
巻き取った巻取ローラ３３、３３´は、新しい巻取ロー
ラと交換される。

【００２９】研磨テープＴ、Ｔ´としては、砥粒を樹脂
バインダで固定した研磨層をプラスチックフィルム表面
に形成した研磨テープ、プラスチックフィルム表面に発
泡体層を形成した発泡体テープ、プラスチックフィルム
表面にプラスチック繊維を植毛した植毛テープ、織布テ
ープ、不織布テープ等の従来既知の研磨テープが使用さ
れる。

【００３０】バックアップ体４０、４０´を往復移動さ
せるための往復移動手段は、図６及び図８に示すよう
に、フレーム３４、３４´を貫通して回転可能に取り付
けられ、先端にその軸線から偏心した偏心部４２、４２
´、４４、４４´を有するシャフト４１、４１´、４
３、４３´、及びこれらシャフト４１、４１´、４３、
４３´を回転させるための駆動手段、から構成され、そ
れぞれのシャフト４１、４１´、４３、４３´の先端の
偏心部４２、４２´、４４、４４´は、バックアップ体
４０、４０´の両端部分に設けた開口部４５、４５´、
４６、４６´内に挿入され、バックアップ体４０、４０
´は、シャフト４１、４１´、４３、４３´の回転によ
り前後方向に往復移動する。

【００３１】図８に示すように、偏心部４２、４２´、
４４、４４´を有するシャフト４１、４１´、４３、４
３´を回転させるための駆動手段５０は、ハウジング１
１に設けた棚１２上に固定したモータ５１、棚１２上の
ブラケット５３を介して回転可能に配列した断面多角形
状のシャフト５２、このシャフト５２の断面形状に一致
する開口を有し、この開口を通じてシャフト５２に挿通
されたプーリー５４、５５、５５´、から構成され、モ
ータ５１を駆動すると、ベルト５６を介してシャフト５
２が回転し、このシャフト５２の回転により、プーリー
５５、５５´、ベルト５７、５７´、及びシャフト４
３、４３´の後端に固定したプーリー４７、４７´を介
してシャフト４３、４３´が回転し、上述したように、
バックアップ体４０、４０´が前後方向に往復移動する
（図６〜図８を参照）。

【００３２】また、シャフト５２は、レール３６、３６
´と平行に配列されており、アクチュエータ３７、３７
´を駆動すると、アクチュエータ３７、３７´の伸縮に
応答して、各研磨ヘッド３１、３１´は、シャフト５２
に沿って、上述したように、左右方向に移動する。

【００３３】研磨部３０は、さらに、図３に示すよう
に、バックアップ体４０、４０´の往復移動による研磨
テープＴ、Ｔ´の歪みを防止するための歪み防止手段６
０を有する。この歪み防止手段６０は、バックアップ体
４０、４０´と一緒に往復移動する、バックアップ体４
０、４０´の上下両側に回転可能に配列したローラ６１
ａ〜６１ｄ、６１ａ´〜６１ｄ´を有する。ローラ６１
ａ〜６１ｄ、６１ａ´〜６１ｄ´は、それぞれ、図３、
図７及び図８に示すように、平面コ字状のフレーム６
２、６２´に回転可能に取り付けられ、フレーム６２、
６２´には、その側面に開口６３、６３´が設けられ、
この開口６３、６３´内に、フレーム６２、６２´に回
転可能に取り付けられた上記シャフト４１、４１´、４
３、４３´と同一形状のシャフト６４ａ〜６４ｄ、６４
ａ´〜６４ｄ´の先端の偏心部が挿入され、上記バック
アップ体４０、４０´と同様に、モータ５１を駆動する
ことによって、ベルト５７、５７´及びプーリー６５、
６５´を介してバックアップ体４０、４０´と一緒に前
後方向に往復移動される。

【００３４】各バックアップ体４０、４０´は、図９
（ａ）及び（ｂ）に示すように、表面に複数の凹部４８
が設けられ、各凹部４８内には、圧縮空気を噴出すため
のノズル４９が配列されている。各ノズル４９から噴出
される圧縮空気の量は、個別に電子制御され、基板に押
し付けられる研磨テープＴ、Ｔ´の圧力を局所的に変え
ることができるようになっている。

【００３５】＜搬出部＞ 搬出部７０は、図４に示すよ
うに、基板を送るための複数のローラ７２ａ〜７２ｈ、
７２ａ´〜７２ｈ´、これらローラ７２ａ〜７２ｈ、７
２ａ´〜７２ｈ´を回転可能に取り付けたフレーム７
３、７３´、及びローラ７２ａ〜７２ｈ、７２ａ´〜７
２ｈ´を回転させるための駆動手段（図示せず）、から
それぞれ構成される第一及び第二の搬出体７１、７１´
から構成される。

【００３６】これら第一及び第二の搬出体７１、７１´
は、左右対称構造であり、第一及び第二の搬出体７１、
７１´のそれぞれのローラ７２ａ〜７２ｈ、７２ａ´〜
７２ｈ´が向き合うように対向配列され、基板の搬出
は、向き合ったローラ７２ａ〜７２ｈ、７２ａ´〜７２
ｈ´の間に基板を挟み、駆動手段（図示せず）によりロ
ーラ７２ａ〜７２ｈ、７２ａ´〜７２ｈ´を回転させて
行われる。

【００３７】この駆動手段（図示せず）としては、上述
した搬入部２０と同様に、例えば、各ローラ７２ａ〜７
２ｈ、７２ａ´〜７２ｈ´の端部に設けたネジ溝に、垂
直方向に配列したボールネジを係合させ、このボールネ
ジを回転させるものが利用できる。

【００３８】搬出部７０は、各搬出体７１、７１´を左
右方向に移動させるための移動手段を有し、搬出体７
１、７１´を左右方向に移動させることにより、これら
搬出体７１、７１´のそれぞれのローラ７２ａ〜７２
ｈ、７２ａ´〜７２ｈ´の間に基板を挟むことができる
ようになっている。

【００３９】この移動手段は、フレーム７３、７３´に
設けたガイド部７４、７４´、及びハウジング１１に固
定したアクチュエータ７６、７６´、から構成され、フ
レーム７３、７３´のガイド部７４、７４´は、ハウジ
ング１１に固定したレール７５、７５´に係合されてお
り、アクチュエータ７６、７６´を駆動すると、各搬出
体７１、７１´が、アクチュエータ７６、７６´の伸縮
に応答して、レール７５、７５´に沿って左右方向に移
動する。

【００４０】＜研磨方法＞ 基板の研磨としては、固定
砥粒研磨又は遊離砥粒研磨が利用される。固定砥粒研磨
は、表面に砥粒を固定した研磨テープを用いて行われ、
遊離砥粒研磨は、水又は水ベースの水溶液中に砥粒を分
散した研磨スラリーを研磨テープと基板との界面に供給
することによって行われる。

【００４１】基板の研磨は、まず、ハウジング１１の底
面に前後方向に配列した複数のガイドローラ１３上に基
板を配置し、アクチュエータ２６、２６´、３７、３７
´、７６、７６´を駆動して、第一及び第二の搬入体２
１、２１´、第一及び第二の研磨ヘッド３１、３１´、
及び第一及び第二の搬出体７１、７１´をそれぞれ左右
方向に移動させ、ガイドローラ１３上の鉛直平面上に、
第一及び第二の搬入体２１、２１´及び第一及び第二の
搬出体７１、７１´のそれぞれのローラ２２ａ〜２２
ｇ、２２ａ´〜２２ｇ´及び７２ａ〜７２ｈ、７２ａ´
〜７２ｈ´同士、及び第一及び第二の研磨ヘッド３１、
３１´のバックアップ体４０、４０´同士を接近させ
る。

【００４２】次に、搬入部２０のローラ２２ａ〜２２
ｇ、２２ａ´〜２２ｇ´を回転させ、基板を上方に送
り、研磨テープＴ、Ｔ´を走行させながらバックアップ
体４０、４０´を前後方向に往復移動させ、基板を上方
に送りつつ基板の両面を研磨する。研磨済みの基板の上
部が搬出部７０のローラ７２ａ〜７２ｈ、７２ａ´〜７
２ｈ´の間に挟まれ、ローラ７２ａ〜７２ｈ、７２ａ´
〜７２ｈ´の回転により基板がさらに上方に送られ、基
板の研磨を終了する。

【００４３】

【発明の効果】本発明の研磨装置が以上のように構成さ
れるので、新しい研磨テープが研磨対象物表面に連続的
に供給され、研磨時間の経過とともに研磨テープ表面が
局所的又は全体的に劣化したり又目詰まりすることがな
く、しかも研磨対象物表面に押し付けられる研磨テープ
表面の圧力を局所的に変えることができ、これにより、
研磨対象物表面を均一に研磨できるだけでなく、研磨対
象物表面の仕上がりの再現性が良好であり、また、長時
間連続的に研磨を行うことができ、スループットが向上
する、という効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の研磨装置の正面図である。

【図２】図２は、図１に示す研磨装置の搬入部の正面図
である。

【図３】図３は、図１に示す研磨装置の研磨部の正面図
である。

【図４】図４は、図１に示す研磨装置の搬出部の正面図
である。

【図５】図５は、図１のＡＡ線断面図である。

【図６】図６は、図５のＢＢ線断面図である。

【図７】図７（ａ）は、図３のＥＥ線断面図であり、図
７（ｂ）は、図３のＤＤ線断面図である。

【図８】図８は、図５のＣＣ線断面図である。

【図９】図９（ａ）は、バックアップ体の表面を示し、
図９（ｂ）は、バックアップ体の部分断面図である。

【符号の説明】

１０・・・研磨装置 １１・・・ハウジング １２・・・棚 １３・・・ガイドローラ ２０・・・搬入部 ２１、２１´・・・搬入体 ２２ａ〜２２ｇ、２２ａ´〜２２ｇ´・・・ローラ ２３、２３´・・・フレーム ２４、２４´・・・ガイド部 ２５、２５´・・・レール ２６、２６´・・・アクチュエータ ３０・・・研磨部 ３１、３１´・・・研磨ヘッド ３２、３２´・・・テープロール ３３、３３´・・・巻取ローラ ３４、３４´・・・フレーム ３５、３５´・・・ガイド部 ３６、３６´・・・レール ３７、３７´・・・アクチュエータ ３８´・・・モータ ４０、４０´・・・バックアップ体 ４１、４１´、４３、４３´・・・シャフト ４２、４２´、４４、４４´・・・偏心部 ４５、４５´、４６、４６´・・・開口部 ４７、４７´・・・プーリー ４８・・・凹部 ４９・・・ノズル ５０・・・駆動手段 ５１・・・モータ ５２・・・シャフト ５３・・・ブラケット ５４、５５、５５´・・・プーリー ５６、５７、５７´・・・ベルト ６０・・・歪み防止手段 ６１ａ〜６１ｄ、６１ａ´〜６１ｄ´・・・ローラ ６２、６２´・・・フレーム ６３、６３´・・・開口 ６４、６４´・・・シャフト ６５、６５´・・・プーリー ７０・・・搬出部 ７１、７１´・・・搬入体 ７２ａ〜７２ｈ、７２ａ´〜７２ｈ´・・・ローラ ７３、７３´・・・フレーム ７４、７４´・・・ガイド部 ７５、７５´・・・レール ７６、７６´・・・アクチュエータ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板を研磨するための研磨部、前記研磨部
   へ基板を搬入するための搬入部、及び前記研磨部から基
   板を搬出するための搬出部、から成る研磨装置であっ
   て、（１）前記研磨部が、研磨テープを送り出すための
   送出手段、研磨テープを巻き取るための巻取手段、送出
   手段から送り出された研磨テープを基板に押し付けるた
   めのバックアップ体、及びこのバックアップ体を前後方
   向に往復移動させるための往復移動手段、からそれぞれ
   成る第一及び第二の研磨ヘッドから成り、 前記第一及び第二の研磨ヘッドは、左右対称構造であ
   り、それぞれ向き合って対向配列され、 基板の研磨は、前記第一及び第二の研磨ヘッドの前記バ
   ックアップ体の各々を介して、前記バックアップ体の各
   々の表面上に位置する研磨テープと研磨テープとの間に
   基板を挟み、前記バックアップ体の各々を前後方向に往
   復移動させて行われ、 前記バックアップ体の各々が、基板に押し付けられる研
   磨テープの圧力を局所的に変えるための手段を有し、
   （２）前記搬入部が、基板を送るための複数のローラ、
   これらローラを回転可能に取り付けたフレーム、及びロ
   ーラを回転させるための駆動手段、からそれぞれ成る第
   一及び第二の搬入体から成り、 前記第一及び第二の搬入体は、左右対称構造であり、前
   記第一及び第二の搬入体の各々の前記ローラの各々が向
   き合うように対向配列され、 基板の搬入は、向き合った前記ローラ同士の間に基板を
   挟み、前記駆動手段により前記ローラを回転させて行わ
   れ、（３）前記搬出部が、基板を送るための複数のロー
   ラ、これらローラを回転可能に取り付けたフレーム、及
   びローラを回転させるための駆動手段、からそれぞれ成
   る第一及び第二の搬出体から成り、 前記第一及び第二の搬出体は、左右対称構造であり、前
   記第一及び第二の搬出体の各々の前記ローラが向き合う
   ように対向配列され、 基板の搬出は、向き合った前記ローラ同士の間に基板を
   挟み、前記駆動手段により前記ローラを回転させて行わ
   れる、ところの研磨装置。
2. 【請求項２】基板に押し付けられる研磨テープの圧力を
   局所的に変えるための前記手段が、前記バックアップ体
   の表面に設けた複数の凹部、及び前記凹部の各々の内部
   に配列した、圧縮空気を噴出すためのノズル、から成
   る、請求項１の研磨装置。
3. 【請求項３】前記ノズルの各々から噴出される圧縮空気
   の量は、個別に電子制御される、請求項２の研磨装置。
4. 【請求項４】前記研磨部が、前記第一及び第二の研磨ヘ
   ッドの各々を左右方向に移動させるための移動手段を有
   し、前記第一及び第二の研磨ヘッドの各々を左右方向に
   移動させることにより、前記第一及び第二の研磨ヘッド
   の各々の前記バックアップ体の間に基板が挟まれ、前記
   搬入部が、前記第一及び第二の搬入体の各々を左右方向
   に移動させるための移動手段を有し、前記第一及び第二
   の搬入体の各々を左右方向に移動させることにより、前
   記第一及び第二の搬入体の各々の前記ローラ同士の間に
   基板が挟まれ、前記搬出部が、前記第一及び第二の搬出
   体の各々を左右方向に移動させるための移動手段を有
   し、前記第一及び第二の搬出体の各々を左右方向に移動
   させることにより、前記第一及び第二の搬出体の各々の
   前記ローラ同士の間に基板が挟まれる、請求項１の研磨
   装置。