KR20020063509A - 연마 장치 - Google Patents

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KR20020063509A
KR20020063509A KR1020020004729A KR20020004729A KR20020063509A KR 20020063509 A KR20020063509 A KR 20020063509A KR 1020020004729 A KR1020020004729 A KR 1020020004729A KR 20020004729 A KR20020004729 A KR 20020004729A KR 20020063509 A KR20020063509 A KR 20020063509A
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polishing
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carrying
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rollers
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KR1020020004729A
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가또겐지
모리까와가나메
Original Assignee
니혼 미크로 코팅 가부시끼 가이샤
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    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B29/00—Machines or devices for polishing surfaces on work by means of tools made of soft or flexible material with or without the application of solid or liquid polishing agents
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
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  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Ink Jet (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

본 발명은 재현성이 양호하면서 장시간 동안 연속적으로 연마를 행할 수 있는 연마 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
기판을 연마하기 위한 연마부(30), 연마부로 기판을 반입하기 위한 반입부(20) 및 연마부로부터 기판을 반출하기 위한 반출부(70)로 구성되는 연마 장치(10)에 있어서 반입 부재(21, 21')의 롤러(22, 22') 사이에 끼운 기판을 상방으로 이송하면서, 연마 테이프를 주행시키면서 백업 부재(40, 40')를 전후 방향으로 왕복 이동시켜 기판의 양면을 연마한다. 기판은 상방으로 이송되고, 반출 부재(71, 71')의 롤러(72, 72') 사이에 끼이고, 이 롤러의 회전에 의해 기판이 더욱 상방으로 이송된다.

Description

연마 장치{POLISHING DEVICE}
본 발명은 판형의 연마 대상물을 연마하기 위한 연마 장치에 관한 것이다.
최근, 절연 재료를 거쳐서 배선 패턴을 형성한 배선칩이 휴대 전화 등의 소형 전자 기기에 조립되어 있다. 이 배선칩은 수지 필름의 표면에 소정 형상의 배선 패턴을 마스킹에 의해 프린트한 후, 절연 수지막을 동일하게 형성하고, 절연 수지막으로 배선을 씌운 가요성이 있는 막판형의 프린트 기판을 제작하고, 이 프린트 기판의 표면을 연마한다는 일련의 공정을 필요 횟수 반복하여 행한 후, 이 프린트 기판을 커트하여 얻을 수 있는 것이다.
프린트 기판 표면의 연마는 절연 수지막 표면을 연마하여 절연 수지막과 배선의 높이를 일치시켜, 프린트 기판 표면을 평탄하게 하기 위해 행해지고, 종래부터 이와 같은 연마는 표면에 작은 구멍(구멍 직경 50 ㎛ 정도)을 다수 갖는 경질의 세라믹 필름을 고무 롤러의 주위에 배치한 연마 롤러를 프린트 기판 표면에 직접압박하여 행해졌다(이것을 「버프 연마」라 칭함).
그러나, 이와 같은 버프 연마에서는 연마 시간의 경과와 함께, 연마 롤러 표면이 국소적 또는 전체적으로 열화하거나 또는 막히게 되어, 연마 대상물 표면을 균일하게 연마할 수 없을 뿐만 아니라, 장시간 연속적으로 연마를 행하면, 연마 롤러 표면의 열화와 함께 연마 대상물 표면의 마무리가 연마 대상물마다 달라, 재현성이 나빠진다는 문제가 있어, 연마 롤러를 단시간에 교환해야만 해 처리량이 저하한다.
따라서, 본 발명의 목적은 재현성 양호하게 장시간 연속적으로 연마를 행할 수 있는 연마 장치를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하는 본 발명의 연마 장치는 기판을 연마하기 위한 연마부, 연마부로 기판을 반입하기 위한 반입부 및 연마부로부터 기판을 반출하기 위한 반출부로 구성된다.
연마부는 연마 테이프를 송출하기 위한 송출 수단, 연마 테이프를 권취하기 위한 권취 수단, 송출 수단으로부터 송출된 연마 테이프를 기판에 압박하기 위한 백업 부재 및 이 백업 부재를 전후 방향으로 왕복 이동시키기 위한 왕복 이동 수단으로 각각 구성되는 제1 및 제2 연마 헤드로 구성된다.
이들 제1 및 제2 연마 헤드는 좌우 대칭 구조로, 각각의 제1 및 제2 연마 헤드는 서로 마주 보고 대향 배열되고, 기판의 연마는 제1 및 제2 연마 헤드의 각각의 백업 부재를 거쳐서 각각의 백업 부재의 표면 상에 위치하는 연마 테이프와 연마 테이프 사이에 기판을 끼우고, 각 백업 부재를 전후 방향으로 왕복 이동시켜 행해진다.
각 백업 부재는 기판에 압박되는 연마 테이프의 압력을 국소적으로 바꾸기 위한 수단을 갖는다. 이 수단은 백업 부재의 표면에 설치한 복수의 오목부 및 각 오목부 내에 배열한 압축 공기를 분출하기 위한 노즐로 구성된다. 각 노즐로부터 분출되는 압축 공기의 양은 개별적으로 전자 제어된다.
연마부는 각 연마 헤드를 좌우 방향으로 이동시키기 위한 이동 수단을 갖고, 각 연마 헤드를 좌우 방향으로 이동시킴으로써, 이들 연마 헤드의 각각의 백업 부재 사이에 기판을 끼울 수 있도록 되어 있다.
반입부는 기판을 이송하기 위한 복수의 롤러, 이들 롤러를 회전 가능하게 부착한 프레임 및 롤러를 회전시키기 위한 구동 수단으로 각각 구성되는 제1 및 제2 반입 부재로 구성된다.
이들 제1 및 제2 반입 부재는 좌우 대칭 구조로, 제1 및 제2 반입 부재의 각각의 롤러가 서로 마주 보도록 대향 배열되며, 기판의 반입은 서로 마주 본 롤러와 롤러 사이에 기판을 끼워 구동 수단에 의해 회전시켜 행해진다.
반입부는 상기 연마부와 마찬가지로, 각 반입 부재를 좌우 방향으로 이동시키기 위한 이동 수단을 갖고, 반입 부재를 좌우 방향으로 이동시킴으로써, 이들 반입 부재의 각각의 롤러 사이에 기판을 끼울 수 있도록 되어 있다.
반출부는 기판을 이송하기 위한 복수의 롤러, 이들 롤러를 회전 가능하게 부착한 프레임 및 롤러를 회전시키기 위한 구동 수단으로 각각 구성되는 제1 및 제2반출 부재로 구성된다.
이들 제1 및 제2 반출 부재는 좌우 대칭 구조로, 제1 및 제2 반출 부재의 각각의 롤러가 마주 보도록 대향 배열되고, 기판의 반출은 마주 본 롤러 사이에 기판을 끼워 구동 수단에 의해 롤러를 회전시켜 행해진다.
반출부는 상기 연마부와 마찬가지로, 각 반출 부재를 좌우 방향으로 이동시키기 위한 이동 수단을 갖고, 반출 부재를 좌우 방향으로 이동시킴으로써, 이들 반출 부재 각각의 롤러 사이에 기판을 끼울 수 있도록 되어 있다.
기판의 연마는 우선, 제1 및 제2 반입 부재 사이에 기판을 배치하고, 각 반입 부재, 연마 헤드 및 반출 부재를 각각 좌우 방향으로 이동시켜 제1 및 제2 반입 부재 사이에 기판을 끼우는 동시에, 각 반입 부재 및 반출 부재 각각의 롤러끼리 및 연마 헤드의 각각 백업 부재끼리를 접근시킨다. 다음에, 반입부의 롤러를 회전시켜 기판을 상방으로 이송하면서, 연마 테이프를 주행시키면서 백업 부재를 전후 방향으로 왕복 이동시켜 기판을 상방으로 이송하면서 기판의 양면을 연마한다. 연마 완료 기판의 상부가 반출부의 롤러 사이에 끼이게 되어, 롤러의 회전에 의해 기판이 더욱 상방으로 이송되어 기판의 연마를 종료한다.
도1은 본 발명의 연마 장치의 정면도.
도2는 도1에 도시한 연마 장치의 반입부의 정면도.
도3은 도1에 도시한 연마 장치의 연마부의 정면도.
도4는 도1에 도시한 연마 장치의 반출부의 정면도.
도5는 도1의 AA선 단면도.
도6은 도5의 BB선 단면도.
도7의 (a)는 도3의 EE선 단면도이고, 도7의 (b)는 도3의 DD선 단면도.
도8은 도5의 CC선 단면도.
도9의 (a)는 백업 부재의 표면을 도시하고, 도9의 (b)는 백업 부재의 부분 단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 연마 장치
11 : 하우징
12 : 선반
13 : 가이드 롤러
20 : 반입부
21, 21', 71, 71' : 반입 부재
22a 내지 22g, 22a' 내지 22g', 61a 내지 61d, 61a' 내지 61d', 72a 내지 72h, 72a' 내지 72h' : 롤러
23, 23', 34, 34', 62, 62', 73, 73' : 프레임
24, 24', 35, 35',74, 74' : 가이드부
25, 25', 36, 36', 75, 75' : 레일
26, 26', 37, 37',76, 76' : 작동기
30 : 연마부
31, 31' : 연마 헤드
32, 32' : 테이프 롤
33, 33' : 권취 롤러
38', 51 : 모터
40, 40' : 백업 부재
41, 41', 43, 43', 64, 64' : 샤프트
42, 42', 44, 44' : 편심부
45, 45', 46, 46' : 개구부
47, 47', 54, 55, 55', 65, 65' : 풀리
48 : 오목부
49 : 노즐
50 : 구동 수단
52 : 샤프트
53 : 브래킷
56, 57, 57' : 벨트
60 : 왜곡 방지 수단
63, 63' : 개구
70 : 반출부
도1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 연마 장치(10)는 기판을 연마하기 위한 연마부(30), 연마부(30)로 기판을 반입하기 위한 반입부(20) 및 연마부(30)로부터 기판을 반출하기 위한 반출부로 구성되고, 이들 구성 성분은 하우징(11) 내에 배열된다.
〈반입부〉반입부(20)는 도2에 도시한 바와 같이, 기판을 이송하기 위한 복수의 롤러(22a 내지 22g, 22a' 내지 22g'), 이들 롤러(22a 내지 22g, 22a' 내지 22g')를 회전 가능하게 부착한 프레임(23, 23') 및 롤러(22a 내지 22g, 22a' 내지 22g')를 회전시키기 위한 구동 수단(도시하지 않음)으로 각각 구성되는 제1 및 제2 반입 부재(21, 21')로 구성된다.
이들 제1 및 제2 반입 부재(21, 21')는 좌우 대칭 구조로, 제1 및 제2 반입 부재(21, 21') 각각의 롤러(22a 내지 22g, 22a' 내지 22g')가 서로 마주 보도록 대향 배열되고, 기판의 반입은 서로 마주 본 롤러(22a 내지 22g)와 롤러(22a' 내지 22g') 사이에 기판을 끼워 구동 수단(도시하지 않음)에 의해 롤러(22a 내지 22g, 22a' 내지 22g')를 회전시켜 행해진다.
이 구동 수단(도시하지 않음)으로서는, 예를 들어 각 롤러(22a 내지 22g, 22a' 내지 22g')의 단부에 설치한 나사 홈에 수직 방향으로 배열한 볼 나사를 결합시켜 이 볼 나사를 회전시키는 것을 이용할 수 있다.
반입부(20)는 각 반입 부재(21, 21')를 좌우 방향으로 이동시키기 위한 이동 수단을 갖고, 반입 부재(21, 21')를 좌우 방향으로 이동시킴으로써, 이들 반입 부재(21, 21') 각각의 롤러(22a 내지 22g, 22a' 내지 22g') 사이에 기판을 끼울 수 있도록 되어 있다.
이 이동 수단은 프레임(23, 23')에 설치한 가이드부(24, 24') 및 하우징(11)에 고정한 작동기(26, 26')로 구성되고, 프레임(23, 23')의 가이드부(24, 24')는 하우징(11)에 고정한 레일(25, 25')에 결합되어 있고, 작동기(26, 26')를 구동하면각 반입 부재(21, 21')가 작동기(26, 26')의 신축에 응답하여 레일(25, 25')에 따라 좌우 방향으로 이동한다.
〈연마부〉 연마부(30)는 연마 테이프(T, T')를 송출하기 위한 송출 수단, 연마 테이프(T, T')를 권취하기 위한 권취 수단, 상기 송출 수단으로부터 송출된 연마 테이프(T, T')를 기판에 압박하기 위한 백업 부재(40, 40') 및 이 백업 부재(40, 40')를 전후 방향으로 왕복 이동시키기 위한 왕복 이동 수단으로 각각 구성되는 제1 및 제2 연마 헤드(31, 31')로 구성된다.
이들 제1 및 제2 연마 헤드(31, 31')는 좌우 대칭 구조로, 각각의 제1 및 제2 연마 헤드(31, 31')는 서로 마주 보고 대향 배열되어, 기판의 연마는 제1 및 제2 연마 헤드(31, 31')의 각각의 백업 부재(40, 40')를 거쳐서 각각의 백업 부재(40, 40')의 표면 위에 위치하는 연마 테이프(T)와 연마 테이프(T) 사이에 기판을 끼워 각 백업 부재(40, 40')를 전후 방향으로 이동시켜 행해진다.
연마부(30)는 각 연마 헤드(31, 31')를 좌우 방향으로 이동시키기 위한 이동 수단을 갖고, 연마 헤드(31, 31')를 좌우 방향으로 이동시킴으로써, 이들 연마 해드(31, 31')의 각각의 백업 부재(40, 40') 사이에 기판을 끼울 수 있도록 되어 있다.
이 이동 수단은 상기 반입부(20)와 마찬가지로, 프레임(34, 34')에 설치한 가이드부(35, 35') 및 하우징(11)에 고정한 작동기(도6에 부호 37, 37'로 도시함)로 구성되고, 프레임(34, 34')의 가이드부(35, 35')는 하우징(11)에 고정한 레일(36, 36')에 결합되어 있으며, 작동기(37, 37')를 구동하면 각 연마 헤드(31,31')가 작동기(37, 37')의 신축에 응답하여 레일(36, 36')에 따라 좌우 방향으로 이동한다.
송출 수단 및 권취 수단은 각각 프레임(34, 34')의 상부에 회전 가능하게 부착한 테이프 롤(32, 32'), 프레임(34, 34')의 하부에 회전 가능하게 부착한 권취 롤러(33, 33') 및 테이프 롤(32, 32') 및 권취 롤러(33, 33')를 회전시키기 위한 모터(도5 및 도7에 부호 38'로 도시함)로 구성되고, 테이프 롤(32, 32') 및 권취 롤러(33, 33')의 회전 속도를 조절함으로써, 연마 테이프(T, T')의 주행 속도를 적절하게 변경할 수 있도록 되어 있다. 또한, 테이프 롤(32, 32') 및 권취 롤러(33, 33')의 각각은 프레임(34, 34')에 착탈 가능하게 부착되어 있고, 테이프 롤(32, 32')의 연마 테이프(T, T')가 권취 롤러(33, 33')에 모두 권취되면, 테이프 롤(32, 32')은 새로운 연마 테이프를 권취한 테이프 롤과 카트리지식으로 교환할 수 있어, 다 사용한 연마 테이프(T, T')를 권취한 권취 롤러(33, 33')는 새로운 권취 롤러와 교환된다.
연마 테이프(T, T')로서는 지립을 수지 바인더로 고정한 연마층을 플라스틱 필름 표면에 형성한 연마 테이프, 플라스틱 필름 표면에 발포체층을 형성한 발포체 테이프, 플라스틱 필름 표면에 플라스틱 섬유를 식모(植毛)한 식모 테이프, 직포 테이프, 부직포 테이프 등의 종래 이미 알려진 연마 테이프가 사용된다.
백업 부재(40, 40')를 왕복 이동시키기 위한 왕복 이동 수단은 도6 및 도8에 도시한 바와 같이, 프레임(34, 34')을 관통하여 회전 가능하게 부착되고, 선단부에 그 축선으로부터 편심한 편심부(42, 42', 44, 44')를 갖는 샤프트(41, 41', 43,43') 및 이들 샤트프(41, 41', 43, 43')를 회전시키기 위한 구동 수단으로 구성되고, 각각의 샤프트(41, 41', 43, 43') 선단부의 편심부(42, 42', 44, 44')는 백업 부재(40, 40')의 양단부 부분에 설치한 개구부(45, 45' 46, 46') 내에 삽입되고, 백업 부재(40, 40')는 샤프트(41, 41', 43, 43')의 회전에 의해 전후 방향으로 왕복 이동한다.
도8에 도시한 바와 같이, 편심부(42, 42', 44, 44')를 갖는 샤프트(41, 41', 43, 43')를 회전시키기 위한 구동 수단(50)은 하우징(11)에 설치한 선반(12) 위에 고정한 모터(51), 선반(12) 위의 브래킷(53)을 거쳐서 회전 가능하게 배열한 단면 다각 형상의 샤프트(52), 이 샤프트(52)의 단면 형상에 일치하는 개구를 갖고, 이 개구를 통해 샤프트(52)에 삽입 관통된 풀리(54, 55, 55')로 구성되고, 모터(51)를 구동하면 벨트(56)를 거쳐서 샤프트(52)가 회전하고, 이 샤프트(52)의 회전에 의해 풀리(55, 55'), 벨트(57, 57') 및 샤프트(43, 43')의 후단부에 고정한 풀리(47, 47')를 거쳐서 샤프트(43, 43')가 회전하고, 상술한 바와 같이 백업 부재(40, 40')가 전후 방향으로 왕복 이동한다(도6 내지 도8을 참조).
또한, 샤프트(52)는 레일(36, 36')과 평행하게 배열되어 있고, 작동기(37, 37')를 구동하면 작동기(37, 37')의 신축에 응답하여 각 연마 헤드(31, 31')는 샤프트(52)에 따라 상술한 바와 같이 좌우 방향으로 이동한다.
연마부(30)는 또한, 도3에 도시한 바와 같이 백업 부재(40, 40')의 왕복 이동에 의한 연마 테이프(T, T')의 왜곡을 방지하기 위한 왜곡 방지 수단(60)을 갖는다. 이 왜곡 방지 수단(60)은 백업 부재(40, 40')와 함께 왕복 이동하는 백업 부재(40, 40')의 상하 양측에 회전 가능하게 배열한 롤러(61a 내지 61d, 61a' 내지 61d')를 갖는다. 롤러(61a 내지 61d, 61a' 내지 61d')는 각각 도3, 도7 및 도8에 도시한 바와 같이, 평면 역ㄷ자형의 프레임(62, 62')에 회전 가능하게 부착되고, 프레임(62, 62')에는 그 측면에 개구(63, 63')가 설치되고, 이 개구(63, 63') 내에 프레임(62, 62')에 회전 가능하게 부착된 상기 샤프트(41, 41', 43, 43')와 동일 형상의 샤프트(64a 내지 64d, 64a' 내지 64d')의 선단부의 편심부가 삽입되어 상기 백업 부재(40, 40')와 마찬가지로 모터(51)를 구동함으로써, 벨트(57, 57') 및 풀리(65, 65')를 거쳐서 백업 부재(40, 40')와 함께 전후 방향으로 왕복 이동된다.
각 백업 부재(40, 40')는 도9의 (a) 및 (b)에 도시한 바와 같이, 표면에 복수의 오목부(48)가 설치되고, 각 오목부(48) 내에는 압축 공기를 분출하기 위한 노즐(49)이 배열되어 있다. 각 노즐(49)로부터 분출되는 압축 공기의 양은 개별적으로 전자 제어되고, 기판에 압박되는 연마 테이프(T, T')의 압력을 국소적으로 바꿀 수 있도록 되어 있다.
〈반출부〉 반출부(70)는, 도4에 도시한 바와 같이 기판을 이송하기 위한 복수의 롤러(72a 내지 72h, 72a' 내지 72h'), 이들 롤러(72a 내지 72h, 72a' 내지 72h')를 회전 가능하게 부착한 프레임(73, 73') 및 롤러(72a 내지 72h, 72a' 내지 72h')를 회전시키기 위한 구동 수단(도시하지 않음)으로 각각 구성되는 제1 및 제2 반출 부재(71, 71')로 구성된다.
이들 제1 및 제2 반출 부재(71, 71')는 좌우 대칭 구조로, 제1 및 제2 반출 부재(71, 71')의 각각의 롤러(72a 내지 72h, 72a' 내지 72h')가 마주 보도록 대향배열되고, 기판의 반출은 서로 마주 본 롤러(72a 내지 72h, 72a' 내지 72h') 사이에 기판을 끼워 구동 수단(도시하지 않음)에 의해 롤러(72a 내지 72h, 72a' 내지 72h')를 회전시켜 행해진다.
이 구동 수단(도시하지 않음)으로서는 상술한 반입부(20)와 마찬가지로, 예를 들어 각 롤러(72a 내지 72h, 72a' 내지 72h')의 단부에 설치한 나사 홈에 수직 방향으로 배열한 볼 나사를 결합시켜 이 볼 나사를 회전시키는 것을 이용할 수 있다.
반출부(70)는 각 반출 부재(71, 71')를 좌우 방향으로 이동시키기 위한 이동 수단을 갖고, 반출 부재(71, 71')를 좌우 방향으로 이동시킴으로써, 이들 반출 부재(71, 71')의 각각의 롤러(72a 내지 72h, 72a' 내지 72h') 사이에 기판을 끼울 수 있도록 되어 있다.
이 이동 수단은 프레임(73, 73')에 설치한 가이드부(74, 74') 및 하우징(11)에 고정한 작동기(76, 76')로 구성되고, 프레임(73, 73')의 가이드부(74, 74')는 하우징(11)에 고정한 레일(75, 75')에 결합되어 있으며, 작동기(76, 76')를 구동하면, 각 반출 부재(71, 71')가 작동기(76, 76')의 신축에 응답하여 레일(75, 75')에 따라 좌우 방향으로 이동한다.
〈연마 방법〉 기판의 연마로서는 고정 지립 연마 또는 유리 지립 연마가 이용된다. 고정 지립 연마는 표면에 지립을 고정한 연마 테이프를 이용하여 행해지고, 유리 지립 연마는 물 또는 물 베이스의 수용액 속에 지립을 분산한 연마 슬러리를 연마 테이프와 기판과의 계면에 결합함으로써 행해진다.
기판의 연마는 우선, 하우징(11)의 바닥면에 전후 방향으로 배열한 복수의 가이드 롤러(13) 위에 기판을 배치하고, 작동기(26, 26', 37, 37', 76 , 76')를 구동하여 제1 및 제2 반입 부재(21, 21'), 제1 및 제2 연마 헤드(31, 31') 및 제1 및 제2 반출 부재(71, 71')를 각각 좌우 방향으로 이동시켜 가이드 롤러(13) 위의 수직 평면 위에, 제1 및 제2 반입 부재(21, 21') 및 제1 및 제2 반출 부재(71, 71')의 각각의 롤러(22a 내지 22g, 22a' 내지 22g' 및 72a 내지 72h, 72a' 내지 72h')끼리 및 제1 및 제2 연마 헤드(31, 31')의 백업 부재(40, 40')끼리를 접근시킨다.
다음에, 반입부(20)의 롤러(22a 내지 22g, 22a' 내지 22g')를 회전시켜, 기판을 상방으로 이송하고, 연마 테이프(T, T')를 주행시키면서 백업 부재(40, 49')를 전후 방향으로 왕복 이동시켜 기판을 상방으로 이송하면서 기판의 양면을 연마한다. 연마가 완료된 기판의 상부가 반출부(70)의 롤러(72a 내지 72h, 72a' 내지 72h') 사이에 끼이고, 롤러(72a 내지 72h, 72a' 내지 72h')의 회전에 의해 기판이 더욱 상방으로 이송되어 기판의 연마를 종료한다.
본 발명의 연마 장치가 이상과 같이 구성되므로, 새로운 연마 테이프가 연마 대상물 표면에 연속적으로 공급되고, 연마 시간의 경과와 함께 연마 테이프 표면이 국소적 또는 전체적으로 열화하거나 또는 막히게 되는 일이 없으며, 게다가 연마 대상물 표면에 압박되는 연마 테이프 표면의 압력을 국소적으로 바꿀 수 있고, 이에 의해 연마 대상물 표면을 균일하게 연마할 수 있을 뿐만 아니라 연마 대상물 표면의 마무리 재현성이 양호하고, 또한 장시간 연속적으로 연마를 행할 수 있어, 처리량이 향상된다는 효과를 발휘한다.

Claims (4)

  1. 기판을 연마하기 위한 연마부, 상기 연마부로 기판을 반입하기 위한 반입부 및 상기 연마부로부터 기판을 반출하기 위한 반출부로 이루어지는 연마 장치로서,
    (1) 상기 연마부가 연마 테이프를 송출하기 위한 송출 수단, 연마 테이프를 권취하기 위한 권취 수단, 송출 수단으로부터 송출된 연마 테이프를 기판에 압박하기 위한 백업 부재 및 이 백업 부재를 전후 방향으로 왕복 이동시키기 위한 왕복 이동 수단으로 각각 이루어지는 제1 및 제2 연마 헤드로 이루어지고,
    상기 제1 및 제2 연마 헤드는 좌우 대칭 구조로, 각각 마주 보고 대향 배열되고,
    기판의 연마는 상기 제1 및 제2 연마 헤드의 상기 백업 부재의 각각을 거쳐서, 상기 백업 부재의 각각의 표면 상에 위치하는 연마 테이프와 연마 테이프 사이에 기판을 끼워 상기 백업 부재의 각각을 전후 방향으로 왕복 이동시켜 행해지고,
    상기 백업 부재의 각각이 기판에 압박되는 연마 테이프의 압력을 국소적으로 바꾸기 위한 수단을 갖고,
    (2) 상기 반입부가 기판을 이송하기 위한 복수의 롤러, 이들 롤러를 회전 가능하게 부착한 프레임 및 롤러를 회전시키기 위한 구동 수단으로 각각 이루어지는 제1 및 제2 반입 부재로 이루어지고,
    상기 제1 및 제2 반입 부재는 좌우 대칭 구조로, 상기 제1 및 제2 반입 부재의 각각의 상기 롤러의 각각이 마주 보도록 대향 배열되고,
    기판의 반입은 마주 본 상기 롤러끼리의 사이에 기판을 끼워 상기 구동 수단에 의해 상기 롤러를 회전시켜 행해지고,
    (3) 상기 반출부가 기판을 이송하기 위한 복수의 롤러, 이들 롤러를 회전 가능하게 부착한 프레임 및 롤러를 회전시키기 위한 구동 수단으로 각각 이루어지는 제1 및 제2 반입 부재로 이루어지고,
    상기 제1 및 제2 반입 부재는 좌우 대칭 구조로, 상기 제1 및 제2 반출 부재 각각의 상기 롤러가 마주 보도록 대향 배열되고,
    기판의 반출은 서로 마주 본 상기 롤러끼리의 사이에 기판을 끼워 상기 구동 수단에 의해 상기 롤러를 회전시켜 행해지는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  2. 제1항에 있어서, 기판에 압박되는 연마 테이프의 압력을 국소적으로 바꾸기 위한 상기 수단이 상기 백업 부재의 표면에 설치한 복수의 오목부 및 상기 오목부 각각의 내부에 배열한 압축 공기를 분출하기 위한 노즐로 이루어지는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 노즐의 각각으로부터 분출되는 압축 공기의 양은 개별적으로 전자 제어되는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 연마부가 상기 제1 및 제2 연마 헤드의 각각을 좌우 방향으로 이동시키기 위한 수단을 갖고, 상기 제1 및 제2 연마 헤드의 각각을 좌우방향으로 이동시킴으로써, 상기 제1 및 제2 연마 헤드 각각의 상기 백업 부재 사이에 기판이 끼이고, 상기 반입부가 상기 제1 및 제2 반입 부재의 각각을 좌우 방향으로 이동시키기 위한 이동 수단을 갖고, 상기 제1 및 제2 반입 부재의 각각을 좌우 방향으로 이동시킴으로써, 상기 제1 및 제2 반입 부재의 각각의 상기 롤러끼리의 사이에 기판이 끼이고, 상기 반출부가 상기 제1 및 제2 반출 부재의 각각을 좌우 방향으로 이동시키기 위한 이동 수단을 갖고, 상기 제1 및 제2 반출 부재의 각각을 좌우 방향으로 이동시킴으로써, 상기 제1 및 제2 반출 부재 각각의 상기 롤러끼리의 사이에 기판이 끼이는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100926025B1 (ko) * 2005-09-14 2009-11-11 가부시키가이샤 오카모도 코사쿠 기카이 세이사쿠쇼 직사각형 기판의 양면 연마 장치 및 양면 연마 방법
KR101143111B1 (ko) * 2007-04-16 2012-05-08 가부시기가이샤 산신 패널 연마장치
CN112139936A (zh) * 2020-09-29 2020-12-29 张仙霞 一种铸造件毛边打磨设备及其打磨工艺

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4838703B2 (ja) * 2006-12-26 2011-12-14 富士電機株式会社 磁気記録媒体用ディスク基板の製造方法、磁気記録媒体用ディスク基板、磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体、及び磁気記録装置
CN111469018B (zh) * 2020-05-09 2022-03-15 卓莘汽车科技(上海)有限公司 一种用于汽车模型生产的磨砂装置
CN114193311A (zh) * 2021-12-22 2022-03-18 中国十七冶集团有限公司 一种建筑用的智能抛光设备及抛光方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100926025B1 (ko) * 2005-09-14 2009-11-11 가부시키가이샤 오카모도 코사쿠 기카이 세이사쿠쇼 직사각형 기판의 양면 연마 장치 및 양면 연마 방법
KR101143111B1 (ko) * 2007-04-16 2012-05-08 가부시기가이샤 산신 패널 연마장치
CN112139936A (zh) * 2020-09-29 2020-12-29 张仙霞 一种铸造件毛边打磨设备及其打磨工艺

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