JPS6343438U - - Google Patents

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JPS6343438U
JPS6343438U JP13688886U JP13688886U JPS6343438U JP S6343438 U JPS6343438 U JP S6343438U JP 13688886 U JP13688886 U JP 13688886U JP 13688886 U JP13688886 U JP 13688886U JP S6343438 U JPS6343438 U JP S6343438U
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JP
Japan
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tool
semiconductor chip
vacuum
shaft
correction member
Prior art date
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JP13688886U
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案によるダイボンデイング装置の
一実施例を示す側面図、第２図は従来のダイボン
デイング装置の構造を示す側面図、第３図は第２
図のダイボンデイング装置よりも更に前の構造を
示す側面図である。 図において、１は軸、１ａは導孔、２はコレツ
ト、２ａは導孔、３は半導体チツプ、４は自動修
正部材、４ｃは斜面、５は導孔である。なお、図
中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体チツプの表面を真空吸着して保持す
    るための工具と、先端に前記工具を保持しかつ真
    空を導く導孔を有して上下に動作可能な軸と、前
    記軸の上下動作を許容しかつ前記工具よりも上方
    に設けられて半導体チツプの位置を修正するため
    の斜面を有する修正部材と、前記工具が半導体チ
    ツプを真空吸着により保持して上昇し前記半導体
    チツプの辺が前記斜面に係合した際に前記工具か
    ら前記修正部材に半導体チツプを持ち換えて保持
    すべく前記修正部材に真空を導く導孔とを備え、
    前記工具が下降するとき前記修正部材から半導体
    チツプを再び前記工具に吸着保持してボンデイン
    グするようになしたことを特徴とするダイボンデ
    イング装置。 (2) 修正部材には軸を摺動可能に通す孔と工具
    を収容する凹部とが形成されていて前記凹部に真
    空が導かれる実用新案登録請求の範囲第１項記載
    のダイボンデイング装置。
JP13688886U 1986-09-04 1986-09-04 Pending JPS6343438U (ja)

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JP13688886U JPS6343438U (ja) 1986-09-04 1986-09-04

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JPS6343438U true JPS6343438U (ja) 1988-03-23

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JP13688886U Pending JPS6343438U (ja) 1986-09-04 1986-09-04

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JP (1) JPS6343438U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01179330A (ja) * 1987-12-30 1989-07-17 Nec Yamagata Ltd ペレットマウント装置
JP2016140851A (ja) * 2015-02-04 2016-08-08 株式会社 ハリーズ 透明板検査装置及び透明板清掃検査システム

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01179330A (ja) * 1987-12-30 1989-07-17 Nec Yamagata Ltd ペレットマウント装置
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