KR20060133889A - 보호시트 분리방법 및 보호시트 분리장치 - Google Patents

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KR20060133889A
KR20060133889A KR1020060035668A KR20060035668A KR20060133889A KR 20060133889 A KR20060133889 A KR 20060133889A KR 1020060035668 A KR1020060035668 A KR 1020060035668A KR 20060035668 A KR20060035668 A KR 20060035668A KR 20060133889 A KR20060133889 A KR 20060133889A
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니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤
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Abstract

작업시간의 낭비나 작업 미스의 발생을 가급적 억제하는데 있어서, 유리기판의 면에 이물을 부착시키거나 흠을 발생시키는 일 없이 유리기판으로부터 합지 등의 보호시트를 적정하게 분리시킨다.
보호시트(13)상에 실려진 상태로 반송되는 유리기판(14)을 가공 스테이션(W)으로 이송시키는 전단계에서, 유리기판(14)으로부터 보호시트(13)를 분리시키는 장치(1)로서, 보호시트(13)상에 실려진 상태에 있는 유리기판(14)을 가공 스테이션(W)으로 이송시키는 반송 띠(2)가 가공 스테이션(W)의 직상류측에 배치됨과 아울러, 반송 띠(2)의 반송방향은 그 하류측의 단부에서 수평방향으로부터 하방향으로 변화되고, 또한 적어도 그 반송방향 변화부위(2b)에서 반송 띠(2)에 부압 흡인력을 발생시키도록 구성한다.

Description

보호시트 분리방법 및 보호시트 분리장치{PROTECTION SHEET SEPARATION METHOD AND PROTECTION SHEET SEPARATION DEVICE}
도 1은, 본 발명의 실시형태에 따른 보호시트 분리장치 및 그 주변구조를 나타내는 개략평면도이다.
도 2는, 상기 보호시트 분리장치 및 그 주변구조를 나타내는 개략측면도이다.
도 3은, 상기 보호시트 분리장치의 단체사시도이다.
도 4는, 상기 보호시트 분리장치의 구성요소인 2개의 상자형상체 및 회전롤러를 나타내는 부품 분해 배열 사시도이다.
도 5는, 상기 보호시트 분리장치의 사용상태를 나타내는 개략평면도이다.
도 6은, 상기 보호시트 분리장치의 사용상태를 나타내는 개략측면도이다.
도 7(a)~도 7(f)는 각각 종래에 있어서의 보호시트의 분리순서를 순서대로 나타내는 개략도이다.
도 8(a)~도 8(c)는 각각 종래에 있어서의 보호시트의 분리순서를 나타내는 개략평면도이다.
도 9는, 종래의 문제점을 나타내는 개략측면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1 보호시트 분리장치 2 벨트(반송 띠)
2a 수평방향 반송부위 2b 반송방향 변화부위
2c 하방향 반송부위 3 회전롤러
3b 둘레 홈 3c 둘레 홈의 저면벽부
6 제1상자형상체 6a 상면벽부
7 제2상자형상체 7a 외측면벽부
9 벨트의 관통구멍 10 회전롤러의 관통구멍
11 제1슬릿 12 제2슬릿
13 합지(보호시트) 14 유리기판
W 가공 스테이션
본 발명은 보호시트의 분리방법 및 그 장치에 관한 것이고, 상세하게는, 보호시트상에 실려진 상태로 반송되는 유리기판으로부터 보호시트를 분리시켜서 제거하기 위한 기술에 관한 것이다.
주지와 같이 액정 모니터, 플라즈마 디스플레이, 전기 루미네선스 디스플레이, 필드에밋션 디스플레이 등의 각종 화상표시기기용 유리패널의 제작시에는, 복수장의 유리패널이 1장의 유리기판(소판(素板)유리)으로 만들어지는 방법이 채용 되고 있다. 그리고, 최근에 있어서는, 화상표시기기의 대형화 등에 따라 유리 메이 커 등에서 제조되는 상기의 유리기판은, 대판(大板)화가 추진되고 있는 것이 현실이다.
이들 유리기판은 제조공정의 종반에 있어서 가공 스테이션으로 이송되고, 이 가공 스테이션에서 직사각형상이고 또한 소정의 크기로 절단된 유리기판의 각 변(상세하게는 각 변의 끝면)에 대해서 모따기 가공을 행하는 등의 소정의 가공이 실시된다. 이 종류의 가공이 실시될 때까지의 공정은, 구체적으로는 이하에 나타내도록 해서 실행되는 것이 통례이다.
즉, 도 7(a)에 나타내는 바와 같이 꺾어 나눔 공정 등의 대기위치에 있어서는, 팔레트(P)상에 복수장의 유리기판(원판)(20)이 각각의 상호간에 보호시트로서의 합지(合紙)(21)를 개재시켜서 세로상태로 포장된 상태에 있고, 이 합지(21)의 개재에 의해 유리기판(20)끼리가 직접 접촉하지 않도록 해서, 흠이 발생방지나 이물의 부착방지가 도모되고 있다. 또한, 보호시트로서는, 합지(21) 대신에 폴리에틸렌 시트나 발포수지 시트 등의 다른 보호시트가 사용되는 경우도 있다.
그리고, 이런 포장체로부터 1장의 유리기판(20)과 1장의 합지(21)를 함께 꺼내고, 도 7(b)에 나타내는 바와 같이 합지(21)가 유리기판(20)의 받침으로 되도록 반송수단상 혹은 작업대상에 적재된다. 이 후, 합지(21)상에 유리기판(20)을 실은 채의 상태에서, 도 7(c)에 나타내는 바와 같이 스크라이브 조각기구(22)에 의해 유리기판(20)의 표면에 스크라이브 선(S)을 새긴 후, 도 7(d)에 나타내는 바와 같이 스크라이브 선(S)을 따라 유리기판(20)의 외주부(20a)를 꺾어 나눈다. 또한 그 후, 도 7(e)에 나타내는 바와 같이, 합지(21)를 유리기판(20)으로부터 분리해서 제거한 후, 유리기판(20)만이 그 모따기를 포함하는 끝면가공 등을 실시하는 가공 스테이션(W1)의 예를 들면 벨트 반송수단(C1)상에 적재된다.
이 경우, 상술과 같이 합지(21)를 유리기판(20)으로부터 분리 제거해서 가공 스테이션(W1)으로 이송하는 작업은, 종래에 있어서는 도 8(a), 도 8(b)에 개략 평면으로 보고 나타내는 바와 같이 작업자(M1)가 합지(21)를 빼내면서, 다른 작업자(M2)가 유리기판(20)만을 들어올리고, 그 유리기판(20)을 적절히 수평 선회시키거나 해서 위치맞춤을 행한 후에, 가공 스테이션(벨트 반송수단 등)으로 이송하고 있었다. 즉, 도 9에 측면으로 보고 나타내는 바와 같이, 작업자(M)가 유리기판(20)만을 들어올리려고 한 경우, 정전기 등이 원인으로 되어서 유리기판(20)의 이면에 합지(21)가 부착된 상태로 들어올려 버린다는 사태를 초래하므로, 이 합지(21)의 부착을 저지하기 위한 작업이 별도로 필요하게 된다.
이런 작업자의 수작업 대신에 자동화장치를 사용한 것으로 해서, 하기의 특허문헌1에 의하면, 적재대상에 유리기판과 합지를 가로상태 자세에서 교대로 적층한 상태로부터, 흡착패드에 의해 최상단의 유리기판을 흡착 유지하고 또한 그 하방에 밀착되어 있는 합지와 함께 가로방향으로 이동시킨 후, 합지만을 2번째 유리기판상에 낙하시키고, 청소 지그의 가압부에 의해 합지를 가로방향으로 밀어내서 2번 면의 유리기판상으로부터 일소하는 방법이 개시되어 있다.
또한, 하기의 특허문헌2 및 특허문헌3에 의하면, 팔레트상에 유리기판과 합지를 세로상태 자세에서 교대로 적층한 상태로부터 흡착패드에 의해 유리기판을 흡착 유지함과 아울러, 상기 유리기판의 하단 또는 측단으로부터 노출된 합지의 가장 자리부를 상기 흡착패드와는 독립적으로 작동되는 흡착부재에 의해 흡착 유지하고, 이들 흡착패드와 흡착부재의 연계동작에 의해 합지를 유리기판으로부터 이탈시키는 방법이 개시되어 있다.
[특허문헌1] 일본 실용신안공개 평5-85730호 공보
[특허문헌2] 일본 실용신안공개 평6-14155호 공보
[특허문헌3] 일본 실용신안공개 평6-27765호 공보
그런데, 최근에 있어서는 액정 모니터용으로 대표되는 바와 같이 유리기판의 대판화가 현저해지고 있으므로, 필연적으로 합지도 큰 것이 필요하게 되고, 이것이 1요인으로 되어서, 상기 종래의 방법에서는 유리기판과 합지의 분리를 적절하게 행하는데 있어서 지장을 초래하기에 이르러 있다.
즉, 상기 종래의 방법 중 작업자에 의한 방법에서는, 도 8(c)에 예시하는 바와 같이 대판(예를 들면 1변의 길이가 1500㎜정도이상)의 유리기판을 작업자가 손으로 합지를 빼내면서 들어올리는 것은, 매우 곤란하거나 혹은 실질적으로 불가능한 것이며, 작업의 정체 나아가서는 생산성의 대폭적인 저하를 초래한다. 따라서, 이런 방법은 이미 채용 불가능하게 되어 있는 것이 실상이다.
또한, 상기의 특허문헌1에 개시된 방법에 의하면, 흡착패드에 의해 최상단의 유리기판을 흡착 유지해서 가로방향으로 이동시키는 동작과, 2번째 유리기판상에 낙하된 합지를 청소 지그의 가압부에 의해 가로방향으로 밀어내는 동작을 타이밍 좋게 연계시킬 필요가 있어, 그것을 위한 제어나 장치가 복잡해질 우려나, 작업시간에 낭비가 생길 우려가 있다. 또, 이 방법에서는, 합지를 2번째 유리기판상에 낙 하시킨 후에 청소 지그의 가압부로 가로방향으로 밀어내는 동작이 합지의 확대면적화에 따라 곤란하게 되어, 작업 미스의 발생확률이 높아질 우려도 있다.
또한, 상기의 특허문헌2, 특허문헌3에 개시된 방법에 의해서도, 흡착패드 에 의해 유리기판을 흡착 유지해서 이동시키는 동작과, 흡착부재에 의해 합지의 가장자리부를 흡착 유지해서 유리기판으로부터 분리 이동시키는 동작을 적절하게 연계시키는 것이 곤란하므로, 상기와 마찬가지로 제어나 장치의 복잡화, 작업시간의 낭비, 작업 미스의 다발 등을 초래할 우려가 있다.
그리고, 상기의 특허문헌1~특허문헌3에 개시된 어떤 방법에 의해서도, 유리기판의 면(유효면)이 흡착패드에 의해 흡착 유지되는 것이므로, 흡착패드와의 접촉에 기인해서 유리기판의 면에 흠이 생기거나 이물이 부착된다는 근본적인 문제가 생긴다. 또한, 이들 방법은 모두, 유리기판의 면과 합지 등이 접촉해서 슬라이딩할 우려가 있으므로, 그 양자의 직접적인 슬라이딩에 의해, 혹은 슬라이딩부에 이물이 혼입되어 있음으로써 상기와 마찬가지로 유리기판의 면에 흠이 생기거나 이물이 부착된다. 그리고, 이들이 원인으로 되어서 제품으로서의 유리기판의 품위가 저하되고, 나아가서는 제품수율이 악화된다.
본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 작업시간의 낭비나 작업 미스의 발생을 가급적 억제하는데 있어서, 유리기판의 면에 흠을 발생시키거나 이물을 부착시키는 일 없이 유리기판으로부터 합지 등의 보호시트를 적정하게 분리시키는 것을 기술적 과제로 한다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해 창안된 본 발명에 따른 방법은, 보호시트상에 실려진 상태로 반송되는 유리기판을 하류측의 가공 스테이션으로 이송시키는 전단계에서, 상기 유리기판으로부터 보호시트를 분리시키는 방법에 있어서, 반송방향이 그 하류측의 단부에서 수평방향으로부터 하방향으로 변화되는 반송 띠가, 적어도 그 반송방향 변화부위에서 유리기판을 가공 스테이션으로 이송시킬 수 있는 방향으로 반송하면서, 상기 유리기판하의 보호시트를 부압 흡인력에 의해 흡착 유지해서 수평방향으로부터 하방향으로 방향 변환시키는 것으로 특징지어진다.
이런 방법에 의하면, 유리기판은 합지, 폴리에틸렌 시트 또는 발포수지 시트 등의 보호시트를 받침으로 한 상태에서 반송 띠상에 실려져 수평방향으로 반송되지만, 이 반송 띠는 하류측의 단부에서 반송방향이 수평방향으로부터 하방향으로 변화되어 있다. 그리고, 유리기판 및 보호시트가 반송방향 변화부위(수평방향으로부터 하방향으로 변화되는 부위)를 통과할 때에는, 반송 띠는 유리기판에 대해서는 부압 흡인력의 영향을 부여하는 일 없이 하류측의 가공 스테이션으로 이송시킬 수 있는 방향으로 반송하는 것에 대해서, 유리기판 밑에 깔려져 있는 보호시트에 대해서는 부압 흡인력에 의해 흡착 유지해서 수평방향으로부터 하방향으로 방향 변환시킨다. 이것에 의해 유리기판의 반송방향과 보호시트의 반송방향이 상이하게 되고, 이 결과, 보호시트는 유리기판으로부터 분리되어서 제거될 수 있게 된다. 그리고, 이런 유리기판으로부터의 보호시트의 분리시에는 양자 사이에 슬라이딩이 생기지 않도록 할 수 있어, 유리기판면으로의 슬라이딩에 기인하는 이물의 부착이나 흠의 발생을 회피할 수 있게 된다. 또한, 이런 보호시트의 분리동작은 유리기판의 가공 스테이션으로의 이송와 동시에 행해지므로 작업시간의 낭비를 없앨 수 있음과 아울러, 보호시트의 반송방향의 변환은 반송 띠의 반송방향 변화부위에서 부압 흡인력에 의해 행해지므로 작업 미스의 발생이 가급적 억제된다.
이 경우, 상기 반송 띠는 수평방향 반송부위로부터 반송방향 변화부위에 걸쳐, 상기 보호시트를 부압 흡인력에 의해 흡착 유지하도록 해도 된다.
이렇게 하면, 보호시트 중, 반송 띠의 방향 변화부위를 통과해서 하방으로 향하는 시트부분이 늘어뜨려지고, 그 자중에 기인해서 보호시트가 낙하하려고 해도, 보호시트의 다른 쪽의 시트부분은 반송 띠의 수평방향 반송부위에서 부압 흡인력으로 흡착 유지되어 있으므로 그런 보호시트의 낙하가 저지된다. 이것에 의해, 보호시트가 낙하하는 것에 의한 유리기판과 보호시트의 슬라이딩, 및 이것에 기인하는 유리기판면으로의 흠의 발생이나 이물의 부착이 보다 확실하게 저지된다.
또한, 상기 반송 띠는 반송방향 변화부위로부터 하방향 반송부위에 걸쳐, 상기 보호시트를 부압 흡인력에 의해 흡착 유지하도록 해도 된다.
이렇게 하면, 보호시트 중, 반송 띠의 방향 변화부위를 통과해서 하방으로 향하는 시트부분이 반송 띠의 하방향 반송부위에서 부압 흡인력에 의해 확실하게 흡착 유지되므로, 보호시트는 낙하하는 일 없이 또한 유리기판과 슬라이딩하는 일 없이(바람직하게는, 유리기판의 반송속도와 같은 속도로) 하방으로 적정하게 반송되어, 유리기판으로부터 원활하게 분리된다.
한편, 상기 기술적 과제를 해결하기 위해 창안된 본 발명에 따른 장치는, 보 호시트상에 실려진 상태로 반송되는 유리기판을 하류측의 가공 스테이션으로 이송시키는 전단계에서, 상기 유리기판으로부터 보호시트를 분리시키는 장치에 있어서, 상기 가공 스테이션의 직상류측에 상기 보호시트상에 실려진 상태에 있는 유리기판을 상기 가공 스테이션으로 이송시키는 반송 띠를 배치함과 아울러, 상기 반송 띠의 반송방향은 그 하류측의 단부에서 수평방향으로부터 하방향으로 변화되고, 또한 적어도 그 반송방향 변화부위에서 상기 반송 띠에 부압 흡인력이 발생하도록 구성되어 있는 것으로 특징지어진다.
이런 장치에 의하면, 유리기판은 이미 서술한 바와 같은 보호시트를 받침으로 한 상태에서, 가공 스테이션의 직상류측에 배치된 반송 띠상에 실려져서 수평방향으로 반송되지만, 이 반송 띠는 하류측의 단부에서 반송방향이 수평방향으로부터 하방향으로 변화됨과 아울러, 그 반송방향 변화부위에서 상기 반송 띠에 부압 흡인력이 발생되어 있어, 보호시트를 상기 부위에서 흡착 유지하도록 되어 있다. 따라서, 유리기판 및 보호시트가 반송방향 변화부위를 통과할 때에는, 반송 띠는 유리기판에 대해서는 부압 흡인력의 영향을 부여하는 일 없이 하류측의 가공 스테이션으로 이송시킬 수 있는 방향으로 반송하는 것에 대해서, 유리기판 아래에 깔려 있는 보호시트에 대해서는 부압 흡인력에 의해 수평방향으로부터 하방향으로 방향 변환시킨다. 이것에 의해 유리기판의 반송방향과 보호시트의 반송방향이 상이하게 되어, 보호시트는 유리기판으로부터 분리되어서 제거될 수 있게 된다. 이런 동작이 행해짐에 의한 작용효과는 이미 서술한 바와 같으므로, 여기서는 일부러 그 기재를 생략한다.
이 경우, 상기 반송방향 변화부위에 상기 반송 띠가 감기는 중공형상의 회전롤러가 배치되고, 상기 회전롤러의 중공부가 상기 반송 띠의 반송방향 변화부위에 부압 흡인력을 발생시키기 위한 공기흡인부로 되도록 구성할 수 있다.
이렇게 하면, 반송 띠의 반송방향을 수평방향으로부터 하방향으로 변화시키기 위해 상기 반송 띠가 감기는 회전롤러를, 반송 띠에 부압 흡인력을 발생시키는 부압발생수단의 1구성요소로서 유효하게 이용할 수 있게 되어, 적절한 회전롤러의 겸용이 이루어져서, 부품점수의 삭감이나 이용공간의 협소화, 나아가서는 장치의 소형화나 간소화가 도모된다.
이 구성에 있어서는, 상기 반송 띠에 복수의 관통구멍이 형성됨과 아울러, 상기 회전롤러의 둘레벽부에 복수의 둘레 홈이 형성되어서, 그 각 둘레 홈의 저면벽부에 상기 중공부에 통하는 관통구멍이 각각 형성되고, 또한, 상기 반송 띠에 있어서의 관통구멍의 폭방향의 배열피치와, 상기 회전롤러에 있어서의 둘레 홈의 축방향의 배열피치가 동일하게 되도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이렇게 하면, 반송 띠의 관통구멍으로부터 회전롤러의 둘레 홈 내 및 그 둘레 홈의 저면벽부에 형성된 관통구멍을 통해서, 회전롤러의 중공부(공기흡인부)에 공기가 흡인됨으로써 반송 띠의 반송방향 변화부위의 외주면에 부압 흡인력이 발생한다. 이 경우, 반송 띠에 있어서의 관통구멍의 폭방향 배열피치와, 회전롤러에 있어서의 둘레 홈의 축방향 배열피치가 동일하게 설정되어 있으므로, 반송 띠의 관통구멍으로부터의 부압 흡인(공기의 흡인)이 낭비 없이 또한 중단되는 일 없이 행해질 수 있게 되어, 반송방향 변화부위에서는 반송 띠로부터 보호시트에 대하여 효율 좋게 또한 연속해서 적절한 부압 흡인력을 작용시킬 수 있게 된다.
또한, 상기 반송 띠의 수평방향 반송부위의 하방에 상자형상체가 배치되고, 상기 상자형상체의 내부공간이 상기 반송 띠의 수평방향 반송부위에 부압 흡인력을 발생시키기 위한 공기흡인부로 되도록 구성할 수 있다.
이렇게 하면, 상자형상체의 공기흡인부를 통해서 반송 띠의 수평방향 반송부위에 부압 흡인력이 발생하고, 이 부압 흡인력에 의해 유리기판의 받침으로 있는 보호시트가 반송 띠의 수평방향 반송부위에 흡착 유지된다. 따라서, 보호시트 중, 반송 띠의 방향 변화부위를 통과해서 하방을 향하는 시트부분이 늘어뜨려지고, 그 자중에 기인해서 보호시트가 낙하되려고 해도, 보호시트의 다른 쪽의 시트부분이 상술과 같이 반송 띠의 수평방향 반송부위에 흡착 유지되어 있으므로, 그런 보호시트의 낙하가 저지된다. 이 결과, 이것과 대응하는 구성에 대해서 이미 서술한 사항과 같은 작용효과를 향수할 수 있다.
또한, 이 구성에 있어서는, 상기 반송 띠에 복수의 관통구멍이 형성됨과 아울러, 상기 상자형상체의 상면벽부에 반송방향으로 장척인 복수의 슬릿이 병렬로 형성되고, 또한, 상기 반송 띠에 있어서의 관통구멍의 폭방향의 배열피치와, 상기 상자형상체에 있어서의 슬릿의 폭방향의 배열피치가 동일하게 되도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이렇게 하면, 반송 띠의 관통구멍으로부터 상자형상체의 상면벽부에 형성된 슬릿을 통해서 상기 상자형상체의 내부공간(공기흡인부)에 공기가 흡인됨으로써, 반송 띠의 수평방향 반송부위의 상면에 부압 흡인력이 발생한다. 이 경우, 반송 띠 에 있어서의 관통구멍의 폭방향 배열피치와, 상자형상체에 있어서의 슬릿의 폭방향 배열피치가 동일하게 설정되어 있으므로, 반송 띠의 관통구멍으로부터의 부압 흡인(공기의 흡인)이 낭비 없이 또한 중단되는 일 없이 행해질 수 있게 되어, 반송 띠의 수평방향 반송부위로부터 보호시트에 대하여 효율 좋게 또한 연속해서 적절한 부압 흡인력을 작용시킬 수 있게 된다.
또한, 상기 반송 띠의 하방향 반송부위의 내측방에 상자형상체가 배치되고, 상기 상자형상체의 내부공간이 상기 반송 띠의 하방향 반송부위에 부압 흡인력을 발생시키기 위한 공기흡인부로 되도록 구성할 수 있다.
이렇게 하면, 상자형상체의 공기흡인부를 통해서 반송 띠의 하방향 반송부위에 부압 흡인력이 발생하고, 이 부압 흡인력에 의해 유리기판의 받침으로 되어 있던 보호시트가 반송 띠의 하방향 반송부위에 흡착 유지된다. 따라서, 보호시트 중, 반송 띠의 방향 변화부위를 통과해서 하방을 향하는 시트부분이 반송 띠의 하방향 반송부위에서 부압 흡인력에 의해 확실하게 상기 반송 띠의 외측면에 흡착 유지되므로, 보호시트는 낙하하는 일 없이 또한 유리기판과 슬라이딩하는 일 없이(바람직하게는, 유리기판의 반송속도와 같은 속도로) 하방으로 적정하게 반송되어, 유리기판으로부터 원활하게 분리된다.
또한, 이 구성에 있어서는, 상기 반송 띠에 복수의 관통구멍이 형성됨과 아울러, 상기 상자형상체의 외측면벽부에 반송방향으로 장척인 복수의 슬릿이 병렬로 형성되고, 또한, 상기 반송 띠에 있어서의 관통구멍의 폭방향의 배열피치와, 상기 상자형상체에 있어서의 슬릿의 폭방향의 배열피치가 동일하게 되도록 구성되어 있 는 것이 바람직하다.
이렇게 하면, 반송 띠의 관통구멍으로부터 상자형상체의 외측면벽부에 형성된 슬릿을 통해서 상기 상자형상체의 내부공간(공기흡인부)에 공기가 흡인됨으로써, 반송 띠의 하방향 반송부위의 외측면에 부압 흡인력이 발생한다. 이 경우, 반송 띠에 있어서의 관통구멍의 폭방향 배열피치와, 상자형상체에 있어서의 슬릿의 폭방향 배열피치가 동일하게 설정되어 있으므로, 반송 띠의 관통구멍으로부터의 부압 흡인(공기의 흡인)이 낭비 없이 또한 중단되는 일 없이 행해질 수 있게 되어, 반송 띠의 하방향 반송부위로부터 보호시트에 대하여 효율 좋게 또한 연속해서 적절한 부압 흡인력을 작용시킬 수 있게 된다.
이상의 구성을 갖춘 장치에 있어서, 상기 반송 띠의 반송속도가 변화 가능하게 되어 있는 것이 바람직하다.
이렇게 하면, 유리기판의 반송의 신속화와, 보호시트의 흡착 유지의 확실화의 2종류의 요청에 따라서 반송 띠의 반송속도를 적절히 변화시킬 수 있게 되어, 작업능률의 개선 및 생산성의 향상을 도모하는데 있어서 유리하게 된다.
이 경우, 상기 가공 스테이션에는, 유리기판이 상기 반송 띠로부터 이송되는 반송수단이 배치되어 준비됨과 아울러, 보호시트가 상기 반송 띠의 반송방향 변화부위를 통과하기 이전에는 상기 반송수단보다 반송 띠 쪽이 저속도로 구동되고, 그 통과 후의 소정시기 이후에는 상기 반송수단과 반송 띠가 같은 속도로 구동되도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이렇게 하면, 보호시트가 반송 띠의 반송방향 변화부위를 통과할 때까지의 동안, 즉 보호시트의 선단부가 반송방향 변화부위에서 하방으로 방향 변환하여 유리기판으로부터 보호시트가 확실하게 분리 가능한 상태로 될 때까지의 동안은, 반송 띠가 저속도로 보호시트 및 유리기판을 반송하고, 그런 상태로 된 후에 반송 띠가 고속도(가공 스테이션의 반송수단과 같은 속도)로 보호시트 및 유리기판을 반송한다. 이것에 의해, 유리기판으로부터 보호시트를 분리시키는 작업이 원인으로 되어서 일련의 흐름작업에 필요로 하는 시간이 부당하게 길어지는 것을 회피할 수 있어, 생산효율의 악화를 효과적으로 저지할 수 있게 된다.
이하, 본 발명의 실시형태를 첨부 도면을 참조해서 설명한다.
우선, 도 1에 나타내는 개략평면도 및 도 2에 나타내는 개략측면도에 기초해서, 본 발명의 실시형태에 따른 보호시트 분리장치에 대하여 설명한다. 이 보호시트 분리장치(1)는, 가공 스테이션(W)이 배치되어 준비되고 또한 유리기판을 화살표a 방향으로 반송하는 반송수단(C)의 직상류측에, 반송 띠로서의 무단형상의 벨트(2)를 구비해서 이루어진다. 이 벨트(2)는, 수지나 고무 등(표면부는 바람직하게는 고무)으로 이루어짐과 아울러, 합계 3개의 회전롤러(3, 4, 5)에 감겨 화살표A 방향으로 구동되는 구성이다. 또한, 상기의 가공 스테이션(W)은 유리기판에 대해서 모따기 가공 등의 끝면가공을 실시하는 스테이션이다.
상기 벨트(2)는, 수평방향 반송부위(2a)와 반송방향 변화부위(2b)와 하방향 반송부위(2c)를 가짐과 아울러, 이들 중 수평방향 반송부위(2a)는 가공 스테이션(W)의 반송수단(C)과 대략 동일한 높이에 위치하고, 또한, 유리기판이 수평방향 반송부위(2a)로부터 반송수단(C)으로 이송 가능하게 되도록 양자(2a, C)가 근접 배 치되어 있다. 따라서, 벨트(2)의 반송방향은 상류측으로부터 하류측을 향해서 수평방향으로 이행한 후, 하류측의 단부에서 방향 변환하여 하방으로 향하도록 되어 있다. 그리고, 벨트(2)의 반송속도는 도시생략된 속도제어수단에 의해 변화 가능하게 되어 있다.
상기 벨트(2)가 감겨 있는 3개의 회전롤러(3, 4, 5) 중, 반송방향 변화부위(2b)에 존재하는 회전롤러(3)는 중공형상으로 됨과 아울러, 그 회전롤러(이하, 중공 회전롤러라고 함)(3)의 중공부는 벨트(2)의 반송방향 변화부위(2b)에 부압 흡인력을 발생시키기 위한 공기흡인부로 되어 있다. 또한, 벨트(2)의 수평방향 반송부위(2a)의 하방에 제1상자형상체(6)가 근접해서 설치됨과 아울러, 그 제1상자형상체(6)의 내부공간은 벨트(2)의 수평방향 반송부위(2a)의 상면에 부압 흡인력을 발생시키기 위한 공기흡인부로 되어 있다. 또, 벨트(2)의 하방향 반송부위(2c)의 내측방에는 제2상자형상체(7)가 근접해서 설치됨과 아울러, 그 제2상자형상체(7)의 내부공간은 벨트(2)의 하방향 반송부위(2c)의 외면에 부압 흡인력을 발생시키기 위한 공기흡인부로 되어 있다. 그리고, 중공 회전롤러(3)의 중공부, 제1상자형상체(6)의 내부공간, 및 제2상자형상체(7)의 내부공간은 흡인 호스(8)를 통해서 진공발생원에 통하고 있다.
상세하게 서술하면, 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이 벨트(2)에는 전체 둘레에 걸쳐 복수의 관통구멍(9)이 형성되고, 이들 관통구멍(9)을 통해서 부압 흡인력이 발생하는 구성으로 되어 있다. 즉, 중공 회전롤러(3)의 둘레벽부(3a)에는 복수의 둘레 홈(3b)이 형성됨과 아울러, 이들 둘레 홈(3b)의 저면벽부(3c)에는 중 공부에 통하는 복수의 관통구멍(10)이 각각 형성되어 있다. 그리고, 이 중공 회전롤러(3)에 형성된 복수의 둘레 홈(3b)의 축방향에 있어서의 배열피치는, 벨트(2)에 형성된 복수의 관통구멍(9)의 폭방향에 있어서의 배열피치와 동일하게 설정되어 있다.
또한, 제1상자형상체(6)의 상면벽부(6a)에는 반송방향으로 장척이고 또한 내부공간에 통하는 복수의 제1슬릿(11)이 병렬로 형성되고, 또 제2상자형상체(7)의 외측면벽부(7a)에도 반송방향으로 장척이고 또한 내부공간에 통하는 복수의 제2슬릿(12)이 병렬로 형성되어 있다. 그리고, 제1상자형상체(6)에 형성된 복수의 제1슬릿(11)의 폭방향에 있어서의 배열피치와, 제2상자형상체(7)에 형성된 복수의 제2슬릿(12)의 폭방향에 있어서의 배열피치는, 모두, 벨트(2)에 형성된 복수의 관통구멍(9)의 폭방향에 있어서의 배열피치, 나아가서는 중공 회전롤러(3)에 형성된 복수의 둘레 홈(3b)의 축방향에 있어서의 배열피치와 동일하게 설정되어 있다. 따라서, 제1슬릿(11)과 둘레 홈(3b)과 제2슬릿(12)은 각각 1열상, 즉 모두 복수열상에 배열되어 있고, 이들은 벨트(2)에 형성된 복수열의 관통구멍(9)의 이동궤적을 따르도록 배열되어 있다.
이상의 구성을 갖춘 보호시트 분리장치(1)에 의하면(도 5 및 도 6 참조), 우선, 스크라이브 공정 및 꺾어 나눔 공정을 마쳐서 합지(13)상에 실려진 상태에 있는 유리기판(14)이 벨트(2)상에 수평자세로 이송된다. 이 이송은, 작업자가 수동으로나, 혹은 벨트(2)의 더욱 상류측에 배치되어 있는 반송수단으로부터 자동적으로 행해진다. 그리고, 그 이송 직후에 있어서는, 합지(13) 및 유리기판(14)의 선단은 벨트(2)의 수평방향 반송부위(2a)의 상류측에 위치되어 있다. 이런 상태로부터, 합지(13) 및 유리기판(14)이 벨트(2)에 의해 하류측을 향해서 반송되어 가지만, 여기서는 항상 벨트(2)의 수평방향 반송부위(2a)에 있어서의 복수의 관통구멍(9)으로부터 제1상자형상체(6)의 상면벽부(6a)에 형성된 복수의 제1슬릿(11)을 통해서, 그 내부공간(공기흡인부)에 공기가 흡인되어 있다. 따라서, 유리기판(14)의 받침으로 되어 있는 합지(13)가 부압 흡인력에 의해 벨트(2)에 흡착 유지된 상태에서, 유리기판(14)은 벨트(2)에 의해 수평방향으로 반송된다.
이 후에 있어서, 합지(13)의 선단이 벨트(2)의 수평방향 반송부위(2a)의 하류측에 도달한 경우에는, 여기서도 항상 벨트(2)의 반송방향 변화부위(2b)에 있어서의 복수의 관통구멍(9)으로부터 중공 회전롤러(3)의 복수의 둘레 홈(3b) 내 및 그 저면벽부(3c)의 관통구멍(10)을 통해서, 그 중공부(공기흡인부)에 공기가 흡인되고 있다. 따라서, 합지(13)의 선단부는 부압 흡인력에 의해 벨트(2)의 반송방향 변화부위(2b)에 흡착 유지된 상태에서 하방향으로 방향 변환되지만, 유리기판(14)은 계속해서 수평방향으로 반송된다.
또한, 합지(13)의 선단이 벨트(2)의 반송방향 변화부위(2b)를 통과한 경우에는, 여기서도 항상 벨트(2)의 하방향 반송부위(2c)에 있어서의 복수의 관통구멍(9)으로부터 제2상자형상체(7)의 외측면벽부(7a)에 형성된 복수의 제2슬릿(12)을 통해서, 그 내부공간(공기흡입부)에 공기가 흡인되고 있다. 따라서, 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 합지(13)의 선단부는 부압 흡인력에 의해 벨트(2)의 하방향 반송부위(2c)에 흡착 유지된 상태에서 하방향으로 반송되는 것에 대해서, 유리기 판(14)은 벨트(2)의 수평방향 반송부위(2a)에 의해 반송되어서, 가공 스테이션(W)의 반송수단(C)으로 이송된다. 그리고, 합지(13)의 후단부가 벨트(2)의 하방향 반송부위(2c)를 통과한 단계에서, 합지(13)가 자중에 의해 낙하해서 회수상자 등에 수납됨과 아울러, 유리기판(14)이 반송수단(C)으로 완전히 이송되어서 상기 반송수단(C)의 동작에 의해 반송되어 간다. 이것에 의해, 합지(13)는 유리기판(14)으로부터 완전히 분리되어서 제거되게 된다.
이 경우, 벨트(2)의 반송속도는, 합지(13)의 선단부가 벨트(2)의 반송방향 변화부위(2b)를 통과해서 하방향 반송부위(2c)에 의해 흡착 유지될 때까지의 동안은 저속도인 것에 대해서, 그 후에 있어서는 고속도로 되어서 반송수단(C)의 반송속도와 같은 속도로 된다. 그리고, 유리기판(14)은 반송수단(C)에 의해 고속도로 반송되어 가는 동안에, 그 양측방에 설치된 연삭도구 등에 의해 모따기 가공 등의 가공에 붙여진다.
또한, 상기 실시형태는 보호시트로서 합지(13)가 사용될 경우에 본 발명을 적용한 것이지만, 합지 대신에 폴리에틸렌 시트 또는 발포수지 시트 등이 사용되는 경우에도 마찬가지로 해서 본 발명을 적용할 수 있다.
본 발명에 따른 보호시트 분리방법 및 분리장치는 액정 모니터, 플라즈마 디스플레이, 전기 루미네선스 디스플레이, 필드에밋션 디스플레이 등의 각종 화상표시기기용 유리패널의 제작에 사용되는 유리기판이나, 각종 전자표시기능 소자나 박막을 형성하기 위한 기재로서 사용되는 유리기판으로부터 보호시트를 분리해서 제거할 경우에 유효하게 이용할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 의하면, 유리기판 및 그 아래에 깔려져 있는 보호시트가 반송방향 변화부위를 통과할 때에는, 반송 띠는 유리기판을 하류측의 가공 스테이션으로 이송시킬 수 있는 방향으로 반송하는 것에 대해서, 보호시트에 대해서는 부압 흡인력에 의해 수평방향으로부터 하방향으로 방향 변환시키므로 유리기판의 반송방향과 보호시트의 반송방향이 상이하게 되고, 이 결과, 보호시트는 유리기판으로부터 분리되어서 제거될 수 있게 된다. 그리고, 이런 유리기판으로부터의 보호시트의 분리시에는 양자 사이에 슬라이딩이 생기지 않도록 할 수 있으므로, 유리기판면으로의 슬라이딩에 기인하는 흠의 발생이나 이물의 부착을 회피할 수 있게 된다. 또한, 이런 보호시트의 분리동작은 유리기판의 가공 스테이션으로의 이송와 동시에 행해지므로 작업시간의 낭비를 없앨 수 있음과 아울러, 보호시트의 반송방향의 변환은 반송 띠의 반송방향 변화부위에서 부압 흡인력에 의해 행해므로 작업 미스의 발생이 가급적 억제된다.

Claims (12)

  1. 보호시트상에 실려진 상태로 반송되는 유리기판을 하류측의 가공 스테이션으로 이송시키는 전단계에서, 상기 유리기판으로부터 보호시트를 분리시키는 방법에 있어서,
    반송방향이 그 하류측의 단부에서 수평방향으로부터 하방향으로 변화되는 반송 띠가, 적어도 그 반송방향 변화부위에서 유리기판을 가공 스테이션으로 이송시킬 수 있는 방향으로 반송하면서, 상기 유리기판하의 보호시트를 부압 흡인력에 의해 흡착 유지해서 수평방향으로부터 하방향으로 방향 변환시키는 것을 특징으로 하는 보호시트 분리방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 반송 띠는 수평방향 반송부위로부터 반송방향 변화부위에 걸쳐, 상기 보호시트를 부압 흡인력에 의해 흡착 유지하는 것을 특징으로 하는 보호시트 분리방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 반송 띠는 반송방향 변화부위로부터 하방향 반송부위에 걸쳐, 상기 보호시트를 부압 흡인력에 의해 흡착 유지하는 것을 특징으로 하는 보호시트 분리방법.
  4. 보호시트상에 실려진 상태로 반송되는 유리기판을 하류측의 가공 스테이션으 로 이송시키는 전단계에서, 상기 유리기판으로부터 보호시트를 분리시키는 장치에 있어서,
    상기 가공 스테이션의 직상류측에, 상기 보호시트상에 실려진 상태에 있는 유리기판을 상기 가공 스테이션으로 이송시키는 반송 띠를 배치함과 아울러, 상기 반송 띠의 반송방향은 그 하류측의 단부에서 수평방향으로부터 하방향으로 변화되고, 또한 적어도 그 반송방향 변화부위에서 상기 반송 띠에 부압 흡인력이 발생하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 보호시트 분리장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 반송방향 변화부위에 상기 반송 띠가 감기는 중공형상의 회전롤러가 배치되고, 상기 회전롤러의 중공부가 상기 반송 띠의 반송방향 변화부위에 부압 흡인력을 발생시키기 위한 공기흡인부로 되어 있는 것을 특징으로 하는 보호시트 분리장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 반송 띠에 복수의 관통구멍이 형성됨과 아울러, 상기 회전롤러의 둘레벽부에 복수의 둘레 홈이 형성되어서, 그 각 둘레 홈의 저면벽부에 상기 중공부에 통하는 관통구멍이 각각 형성되고, 또한, 상기 반송 띠에 있어서의 관통구멍의 폭방향의 배열피치와, 상기 회전롤러에 있어서의 둘레 홈의 축방향의 배열피치가 동일하게 되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 보호시트 분리장치.
  7. 제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 반송 띠의 수평방향 반송부위의 하방에 상자형상체가 배치되고, 상기 상자형상체의 내부공간이 상기 반송 띠의 수평방향 반송부위에 부압 흡인력을 발생시키기 위한 공기흡인부로 되어 있는 것을 특징으로 하는 보호시트 분리장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 반송 띠에 복수의 관통구멍이 형성됨과 아울러, 상기 상자형상체의 상면벽부에 반송방향으로 장척인 복수의 슬릿이 병렬로 형성되고, 또한, 상기 반송 띠에 있어서의 관통구멍의 폭방향의 배열피치와, 상기 상자형상체에 있어서의 슬릿의 폭방향의 배열피치가 동일하게 되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 보호시트 분리장치.
  9. 제4항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 반송 띠의 하방향 반송부위의 내측방에 상자형상체가 배치되고, 상기 상자형상체의 내부공간이 상기 반송 띠의 하방향 반송부위에 부압 흡인력을 발생시키기 위한 공기흡인부로 되어 있는 것을 특징으로 하는 보호시트 분리장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 반송 띠에 복수의 관통구멍이 형성됨과 아울러, 상기 상자형상체의 외측면벽부에 반송방향으로 장척인 복수의 슬릿이 병렬로 형성되고, 또한, 상기 반송 띠에 있어서의 관통구멍의 폭방향의 배열피치와, 상기 상자형상체에 있어서의 슬릿의 폭방향의 배열피치가 동일하게 되도록 설정되어 있는 것을 특 징으로 하는 보호시트 분리장치.
  11. 제4항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 반송 띠의 반송속도가 변화 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 보호시트 분리장치.
  12. 제4항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가공 스테이션에는 유리기판이 상기 반송 띠로부터 이송되는 반송수단이 배치됨과 아울러, 보호시트가 상기 반송 띠의 반송방향 변화부위를 통과하기 이전에는 상기 반송수단보다 반송 띠 쪽이 저속도로 구동되고, 그 통과 후의 소정시기 이후에는 상기 반송수단과 반송 띠가 같은 속도로 구동되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 보호시트 분리장치.
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