JPH1187419A - 導電性ボールの移載装置および移載方法 - Google Patents
導電性ボールの移載装置および移載方法Info
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- JPH1187419A JPH1187419A JP24243997A JP24243997A JPH1187419A JP H1187419 A JPH1187419 A JP H1187419A JP 24243997 A JP24243997 A JP 24243997A JP 24243997 A JP24243997 A JP 24243997A JP H1187419 A JPH1187419 A JP H1187419A
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- conductive balls
- ball
- plate
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3457—Solder materials or compositions; Methods of application thereof
- H05K3/3478—Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
Abstract
(57)【要約】
【課題】 導電性ボールのピックアップミスを解消し、
確実に導電性ボールをワークの電極上に移載することが
できる導電性ボールの移載装置および移載方法を提供す
ることを目的とする。 【解決手段】 ボール供給部１０にシリンダ１８により
昇降自在な水平なプレート１３を設ける。プレート１３
の下降時にプレート１３上に導電性ボール７を載せてプ
レート１３を上昇させ、スキージ１９により導電性ボー
ル７を一層に整列させる。この状態で、プレート１３を
振動子１６により振動させながら、吸着ヘッド３１をプ
レート１３上に下降させ、吸着ヘッド３１に導電性ボー
ル７を真空吸着させる。これにより、導電性ボール７が
各吸着孔３１ａへ１個づつ正しく吸着され、余分な導電
性ボール７の吸着ツール３１への付着を防止することが
できる。
確実に導電性ボールをワークの電極上に移載することが
できる導電性ボールの移載装置および移載方法を提供す
ることを目的とする。 【解決手段】 ボール供給部１０にシリンダ１８により
昇降自在な水平なプレート１３を設ける。プレート１３
の下降時にプレート１３上に導電性ボール７を載せてプ
レート１３を上昇させ、スキージ１９により導電性ボー
ル７を一層に整列させる。この状態で、プレート１３を
振動子１６により振動させながら、吸着ヘッド３１をプ
レート１３上に下降させ、吸着ヘッド３１に導電性ボー
ル７を真空吸着させる。これにより、導電性ボール７が
各吸着孔３１ａへ１個づつ正しく吸着され、余分な導電
性ボール７の吸着ツール３１への付着を防止することが
できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、導電性ボールをワ
ークに移載する導電性ボールの移載装置および移載方法
に関するものである。
ークに移載する導電性ボールの移載装置および移載方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】フリップチップやＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇ
ｒｉｄ Ａｒｒａｙ）などのバンプ付きの電子部品を製
造する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用
いる方法が知られている。また導電性ボールをチップや
基板などのワークに移載する方法として、吸着ヘッドを
用いる方法が実施されている。
ｒｉｄ Ａｒｒａｙ）などのバンプ付きの電子部品を製
造する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用
いる方法が知られている。また導電性ボールをチップや
基板などのワークに移載する方法として、吸着ヘッドを
用いる方法が実施されている。
【０００３】この方法は、容器などに貯留された導電性
ボールを、吸着ヘッドの下面に多数形成された吸着孔に
真空吸着してピックアップし、吸着ヘッドをワークの上
方に移動させてこれらの導電性ボールをワークの電極上
に移載するものであり、多数の導電性ボールを一括して
ワークに移載できるので作業性がよいという利点があ
る。
ボールを、吸着ヘッドの下面に多数形成された吸着孔に
真空吸着してピックアップし、吸着ヘッドをワークの上
方に移動させてこれらの導電性ボールをワークの電極上
に移載するものであり、多数の導電性ボールを一括して
ワークに移載できるので作業性がよいという利点があ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、吸着ヘッド
を用いて導電性ボールをワークに移載する方法では、導
電性ボールを真空吸着する際に、以下に説明するような
ピックアップミスが発生しやすい。すなわち、吸着ヘッ
ドに導電性ボールを真空吸着させるに際しては、多数の
導電性ボールが積層して貯溜された導電性ボールの供給
部内に吸着ヘッドを下降させるが、このときに吸着ヘッ
ドの各吸着孔に対して１つの導電性ボールが確実に真空
吸着されるとは限らない。例えば、吸着孔に導電性ボー
ルが真空吸着されるのに時間がかかり、吸着孔によって
は導電性ボールを真空吸着しないまま吸着ヘッドが上昇
することがある。またこれと反対に１つの吸着孔に複数
の導電性ボールが真空吸着され、吸着ヘッドの下面に多
数個の導電性ボールが連なって付着することもある。こ
のように吸着ヘッドを用いる方法では、ピックアップミ
スが発生しやすく、ワークの電極上に導電性ボールが１
個づつ正しく移載されないことがあるという問題点があ
った。
を用いて導電性ボールをワークに移載する方法では、導
電性ボールを真空吸着する際に、以下に説明するような
ピックアップミスが発生しやすい。すなわち、吸着ヘッ
ドに導電性ボールを真空吸着させるに際しては、多数の
導電性ボールが積層して貯溜された導電性ボールの供給
部内に吸着ヘッドを下降させるが、このときに吸着ヘッ
ドの各吸着孔に対して１つの導電性ボールが確実に真空
吸着されるとは限らない。例えば、吸着孔に導電性ボー
ルが真空吸着されるのに時間がかかり、吸着孔によって
は導電性ボールを真空吸着しないまま吸着ヘッドが上昇
することがある。またこれと反対に１つの吸着孔に複数
の導電性ボールが真空吸着され、吸着ヘッドの下面に多
数個の導電性ボールが連なって付着することもある。こ
のように吸着ヘッドを用いる方法では、ピックアップミ
スが発生しやすく、ワークの電極上に導電性ボールが１
個づつ正しく移載されないことがあるという問題点があ
った。
【０００５】そこで本発明は、導電性ボールのピックア
ップミスを解消し、確実に導電性ボールをワークの電極
上に移載することができる導電性ボールの移載装置およ
び移載方法を提供することを目的とする。
ップミスを解消し、確実に導電性ボールをワークの電極
上に移載することができる導電性ボールの移載装置およ
び移載方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の導電性ボ
ールの移載装置は、下面に導電性ボールを真空吸着する
複数の吸着孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボール
を供給するボール供給部と、このボール供給部に設けら
れた水平なプレートと、この水平なプレート上に導電性
ボールを一層に整列させる整列手段と、前記プレートを
振動させる振動手段と、前記吸着ヘッドを上下動させる
上下動手段とを備えた。
ールの移載装置は、下面に導電性ボールを真空吸着する
複数の吸着孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボール
を供給するボール供給部と、このボール供給部に設けら
れた水平なプレートと、この水平なプレート上に導電性
ボールを一層に整列させる整列手段と、前記プレートを
振動させる振動手段と、前記吸着ヘッドを上下動させる
上下動手段とを備えた。
【０００７】請求項２記載の導電性ボールの移載方法
は、ボール供給部に設けられた水平なプレート上に整列
手段により導電性ボールを一層に整列させる工程と、下
面にそれぞれ１個の導電性ボールを吸着する複数の吸着
孔が形成された吸着ヘッドを前記プレートの上方に位置
させる工程と、前記プレートを振動手段により振動させ
ながらプレート上に整列した導電性ボールを前記吸着ヘ
ッドにより真空吸着する工程と、この吸着ヘッドをワー
クに対して下降させ、真空吸引を解除して上昇させるこ
とにより導電性ボールをワークの電極上に移載する工程
とを含む。
は、ボール供給部に設けられた水平なプレート上に整列
手段により導電性ボールを一層に整列させる工程と、下
面にそれぞれ１個の導電性ボールを吸着する複数の吸着
孔が形成された吸着ヘッドを前記プレートの上方に位置
させる工程と、前記プレートを振動手段により振動させ
ながらプレート上に整列した導電性ボールを前記吸着ヘ
ッドにより真空吸着する工程と、この吸着ヘッドをワー
クに対して下降させ、真空吸引を解除して上昇させるこ
とにより導電性ボールをワークの電極上に移載する工程
とを含む。
【０００８】請求項３記載の導電性ボールの移載方法
は、請求項２記載の導電性ボールの移載方法であって、
前記導電性ボールを真空吸着する工程において、前記吸
着ヘッドを導電性ボールとの間に所定の間隔を保って位
置させるようにした。
は、請求項２記載の導電性ボールの移載方法であって、
前記導電性ボールを真空吸着する工程において、前記吸
着ヘッドを導電性ボールとの間に所定の間隔を保って位
置させるようにした。
【０００９】請求項４記載の導電性ボールの移載方法
は、請求項２記載の導電性ボールの移載方法であって、
前記導電性ボールを真空吸着する工程において、前記吸
着ヘッドの下面を導電性ボールに接触させるようにし
た。
は、請求項２記載の導電性ボールの移載方法であって、
前記導電性ボールを真空吸着する工程において、前記吸
着ヘッドの下面を導電性ボールに接触させるようにし
た。
【００１０】上記構成の本発明によれば、ボール供給部
に設けられた水平なプレート上に導電性ボールを一層に
整列させた状態でこのプレートを振動手段により振動さ
せながら吸着ヘッドに導電性ボールを真空吸着させるこ
とにより、各吸着孔に導電性ボールを１個づつ正しく吸
着することができ、吸着ツールへの余分な導電性ボール
の付着を防止することができる。
に設けられた水平なプレート上に導電性ボールを一層に
整列させた状態でこのプレートを振動手段により振動さ
せながら吸着ヘッドに導電性ボールを真空吸着させるこ
とにより、各吸着孔に導電性ボールを１個づつ正しく吸
着することができ、吸着ツールへの余分な導電性ボール
の付着を防止することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の導電
性ボールの移載装置の正面図、図２、図３、図４
（ａ），（ｂ）、図５は同導電性ボールの移載装置のボ
ール供給部の部分断面図、図６は同導電性ボールの移載
装置の位置決めテーブルの部分正面図である。
参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の導電
性ボールの移載装置の正面図、図２、図３、図４
（ａ），（ｂ）、図５は同導電性ボールの移載装置のボ
ール供給部の部分断面図、図６は同導電性ボールの移載
装置の位置決めテーブルの部分正面図である。
【００１２】まず、図１を参照して導電性ボールの移載
装置の全体構造を説明する。図１において、基台１上に
は位置決めテーブル２が設けられている。位置決めテー
ブル２はＹテーブル３、Ｘテーブル４から構成される。
Ｘテーブル４上にはホルダ５が設けられており、ホルダ
５はワーク６を保持する。したがって位置決めテーブル
２を駆動することにより、ワーク６が所定位置に位置決
めされる。
装置の全体構造を説明する。図１において、基台１上に
は位置決めテーブル２が設けられている。位置決めテー
ブル２はＹテーブル３、Ｘテーブル４から構成される。
Ｘテーブル４上にはホルダ５が設けられており、ホルダ
５はワーク６を保持する。したがって位置決めテーブル
２を駆動することにより、ワーク６が所定位置に位置決
めされる。
【００１３】また基台１上で位置決めテーブル２の側方
には、導電性ボール７の供給部１０が配設されている。
ボール供給部１０は、ボールケース１１および上下可動
なプレート１３より構成される。ボールケース１１は基
台１２によって支持されている。プレート１３は水平に
設置された矩形状の平板であり、周囲には縁部１４を備
えている。縁部１４の高さは導電性ボール７の直径より
幾分低いものとなっており、プレート１３上で導電性ボ
ール７を一層に整列状態で収納することができる。プレ
ート１３の下面には振動手段である振動子１６が複数個
装着されている。振動子１６を駆動することにより、プ
レート１３は振動し、プレート１３上に収納された導電
性ボール７を上下方向または水平方向に振動させる。
には、導電性ボール７の供給部１０が配設されている。
ボール供給部１０は、ボールケース１１および上下可動
なプレート１３より構成される。ボールケース１１は基
台１２によって支持されている。プレート１３は水平に
設置された矩形状の平板であり、周囲には縁部１４を備
えている。縁部１４の高さは導電性ボール７の直径より
幾分低いものとなっており、プレート１３上で導電性ボ
ール７を一層に整列状態で収納することができる。プレ
ート１３の下面には振動手段である振動子１６が複数個
装着されている。振動子１６を駆動することにより、プ
レート１３は振動し、プレート１３上に収納された導電
性ボール７を上下方向または水平方向に振動させる。
【００１４】プレート１３には支持部材１５が取付けら
れており、支持部材１５は基台１２内に設置されたシリ
ンダ１８のロッド１７に結合されている。プレート１３
は、ボールケース１１の開口部１１ａに嵌合しており、
シリンダ１８のロッド１８が突没することにより、プレ
ート１３は基台１２の内側壁に沿って上下動する。ボー
ルケース１１内に導電性ボール７を貯溜した状態でプレ
ート１３をボールケース１１の底面まで下降させると、
ボールケース１１内の導電性ボール７は転動してプレー
ト１３上に拡散する。
れており、支持部材１５は基台１２内に設置されたシリ
ンダ１８のロッド１７に結合されている。プレート１３
は、ボールケース１１の開口部１１ａに嵌合しており、
シリンダ１８のロッド１８が突没することにより、プレ
ート１３は基台１２の内側壁に沿って上下動する。ボー
ルケース１１内に導電性ボール７を貯溜した状態でプレ
ート１３をボールケース１１の底面まで下降させると、
ボールケース１１内の導電性ボール７は転動してプレー
ト１３上に拡散する。
【００１５】図１に示すように、プレート１３の上昇位
置にはスキージ１９が配設されており、導電性ボール７
を載せたプレート１３上でスキージ１９が水平移動する
ことにより、所定高さ以上にある導電性ボール７はボー
ルケース１１内にかき落され、プレート１３上には導電
性ボール７が一層に整列状態で収納される。すなわちプ
レート１３とスキージ１９は導電性ボール７を整列させ
る整列手段となっている。
置にはスキージ１９が配設されており、導電性ボール７
を載せたプレート１３上でスキージ１９が水平移動する
ことにより、所定高さ以上にある導電性ボール７はボー
ルケース１１内にかき落され、プレート１３上には導電
性ボール７が一層に整列状態で収納される。すなわちプ
レート１３とスキージ１９は導電性ボール７を整列させ
る整列手段となっている。
【００１６】次に導電性ボール１を移載する吸着ヘッド
３１について説明する。図１に示す２０は、吸着ヘッド
３１をボール供給部１０と位置決めテープル２との間を
移動させる移動手段である。吸着ヘッド３１は、ブロッ
ク３０に保持されており、吸着ヘッド３１の下面には複
数の吸着孔３１ａが設けられている。ブロック３０はブ
ラケット２４の前面に設けられた垂直なガイドレール２
５に上下動自在に装着されている。ブロック３０には、
ナット２８が一体的に設けられており、ナット２８には
垂直の送りねじ２６が螺合している。したがってＺ軸モ
ータ２７が正逆駆動して送りねじ２６が正逆回転する
と、吸着ヘッド３１はガイドレール２５に案内されて上
下動する。したがって、Ｚ軸モータ２７および送りねじ
２６は吸着ヘッド３１を上下させる上下動手段となって
いる。
３１について説明する。図１に示す２０は、吸着ヘッド
３１をボール供給部１０と位置決めテープル２との間を
移動させる移動手段である。吸着ヘッド３１は、ブロッ
ク３０に保持されており、吸着ヘッド３１の下面には複
数の吸着孔３１ａが設けられている。ブロック３０はブ
ラケット２４の前面に設けられた垂直なガイドレール２
５に上下動自在に装着されている。ブロック３０には、
ナット２８が一体的に設けられており、ナット２８には
垂直の送りねじ２６が螺合している。したがってＺ軸モ
ータ２７が正逆駆動して送りねじ２６が正逆回転する
と、吸着ヘッド３１はガイドレール２５に案内されて上
下動する。したがって、Ｚ軸モータ２７および送りねじ
２６は吸着ヘッド３１を上下させる上下動手段となって
いる。
【００１７】ブラケット２４の背面に設けられたナット
（図示せず）は、水平な送りねじ２２に螺合している。
２１は送りねじ２２の保持テーブルである。したがって
Ｘ軸モータ３３が正逆回転すると、送りねじ２２は正逆
回転し、ブラケット２４に保持された吸着ヘッド３１は
位置決めテーブル２とボール供給部１０の間を水平移動
する。
（図示せず）は、水平な送りねじ２２に螺合している。
２１は送りねじ２２の保持テーブルである。したがって
Ｘ軸モータ３３が正逆回転すると、送りねじ２２は正逆
回転し、ブラケット２４に保持された吸着ヘッド３１は
位置決めテーブル２とボール供給部１０の間を水平移動
する。
【００１８】この導電性ボールの移載装置は上記のよう
な構成より成り、次に動作を各図を参照して説明する。
まず図１において、Ｘ軸モータ２３を駆動して吸着ヘッ
ド３１をボール供給部１０の上方へ移動させる。また吸
着ヘッド３１の移動と並行して、ボール供給部１０では
以下に説明する導電性ボール７の整列動作が行われる。
な構成より成り、次に動作を各図を参照して説明する。
まず図１において、Ｘ軸モータ２３を駆動して吸着ヘッ
ド３１をボール供給部１０の上方へ移動させる。また吸
着ヘッド３１の移動と並行して、ボール供給部１０では
以下に説明する導電性ボール７の整列動作が行われる。
【００１９】図２に示すように、シリンダ１８のロッド
１７を没入させてプレート１３をボールケース１１の底
面のレベル付近まで下降させる。すると、ボールケース
１１内に貯溜された導電性ボール７は高さの差よりプレ
ート１３上を転動して拡散する（矢印ａ参照）。次いで
シリンダ１８のロッド１７を突出させてプレート１３を
上昇させた後、図３に示すようにスキージ１９を水平移
動させ（矢印ｂ参照）、プレート１３上の導電性ボール
７をボールケース１１内に掻き落とす（矢印ｃ参照）。
これにより、プレート１３上には導電性ボール７が一層
に整列する。
１７を没入させてプレート１３をボールケース１１の底
面のレベル付近まで下降させる。すると、ボールケース
１１内に貯溜された導電性ボール７は高さの差よりプレ
ート１３上を転動して拡散する（矢印ａ参照）。次いで
シリンダ１８のロッド１７を突出させてプレート１３を
上昇させた後、図３に示すようにスキージ１９を水平移
動させ（矢印ｂ参照）、プレート１３上の導電性ボール
７をボールケース１１内に掻き落とす（矢印ｃ参照）。
これにより、プレート１３上には導電性ボール７が一層
に整列する。
【００２０】次に図１においてＺ軸モータ２７を駆動し
て、吸着ヘッド３１をプレート１３に向って下降させ
る。そして吸着ヘッド３１をプレート１３上に整列した
導電性ボール７上に位置させて吸着孔３１ａに導電性ボ
ール７を真空吸着するが、このとき吸着ヘッド３１と導
電性ボール７との相対的な位置関係により、以下に説明
する２つの方法が用いられる。
て、吸着ヘッド３１をプレート１３に向って下降させ
る。そして吸着ヘッド３１をプレート１３上に整列した
導電性ボール７上に位置させて吸着孔３１ａに導電性ボ
ール７を真空吸着するが、このとき吸着ヘッド３１と導
電性ボール７との相対的な位置関係により、以下に説明
する２つの方法が用いられる。
【００２１】まず第１の方法は、図４（ａ）に示すよう
に、吸着ヘッド３１の下面と、導電性ボール７の間に所
定のわずかな間隔Ｓを保った状態で、導電性ボール７を
真空吸着するものである。この状態で吸着孔３１ａより
真空吸引するとともに、振動子１６を駆動すると、プレ
ート１３を介して伝達される振動により導電性ボール７
は上下あるいは水平方向に微小な移動を繰り返す。
に、吸着ヘッド３１の下面と、導電性ボール７の間に所
定のわずかな間隔Ｓを保った状態で、導電性ボール７を
真空吸着するものである。この状態で吸着孔３１ａより
真空吸引するとともに、振動子１６を駆動すると、プレ
ート１３を介して伝達される振動により導電性ボール７
は上下あるいは水平方向に微小な移動を繰り返す。
【００２２】そして吸着孔３１ａの真空吸引力の及ぶ範
囲内に移動した導電性ボール７は吸引力により吸着孔３
１ａの内部まで吸引され、ついには吸着孔３１ａの内壁
面に密着して完全に真空吸着される。このとき、導電性
ボール７はプレート１３上で一層に整列させられている
ため、同一の吸着孔３１ａに２個以上の導電性ボール７
が同時に接近する状態が発生しにくく、吸着孔３１ａの
直下付近にあって最も吸引力が及びやすい導電性ボール
７（図４（ａ）では小さな矢印を付している）が吸着孔
３１ａ真空吸着される。従って１つの吸着孔３１ａに複
数の導電性ボール７が吸引されて付着することがない。
囲内に移動した導電性ボール７は吸引力により吸着孔３
１ａの内部まで吸引され、ついには吸着孔３１ａの内壁
面に密着して完全に真空吸着される。このとき、導電性
ボール７はプレート１３上で一層に整列させられている
ため、同一の吸着孔３１ａに２個以上の導電性ボール７
が同時に接近する状態が発生しにくく、吸着孔３１ａの
直下付近にあって最も吸引力が及びやすい導電性ボール
７（図４（ａ）では小さな矢印を付している）が吸着孔
３１ａ真空吸着される。従って１つの吸着孔３１ａに複
数の導電性ボール７が吸引されて付着することがない。
【００２３】次に、第２の方法は図４（ｂ）に示すよう
に、吸着ヘッド３１の下面を導電性ボール７に軽く押し
当てて接触させた状態で導電性ボール７を真空吸着する
ものである。この状態で吸着孔３１ａより真空吸引する
とともに振動子１６を駆動すると、吸着孔３１ａのテー
パ部分の直下に位置している導電性ボール（図４（ｂ）
にて小さな矢印を付している）は吸着ヘッド３１の下面
に当接していないため上方向には自由に移動でき、直ち
に吸着孔３１ａの吸引力に捕捉されて真空吸着される。
に、吸着ヘッド３１の下面を導電性ボール７に軽く押し
当てて接触させた状態で導電性ボール７を真空吸着する
ものである。この状態で吸着孔３１ａより真空吸引する
とともに振動子１６を駆動すると、吸着孔３１ａのテー
パ部分の直下に位置している導電性ボール（図４（ｂ）
にて小さな矢印を付している）は吸着ヘッド３１の下面
に当接していないため上方向には自由に移動でき、直ち
に吸着孔３１ａの吸引力に捕捉されて真空吸着される。
【００２４】また吸着ヘッド３１の下面の吸着孔３１ａ
以外の部分に位置している導電性ボール７は、プレート
１３と吸着ヘッド３１の下面に挟まれた状態で振動が伝
えられる結果、振動により水平方向にわずかづつ移動す
ることとなり、ある時間の経過後はこれらの導電性ボー
ル７も未だ導電性ボール７を真空吸着していない吸着孔
３１ａの直下に位置するようになり、その後吸着孔３１
ａに真空吸着される。そして、ついには全ての吸着孔３
１ａに１個づつ導電性ボール７が真空吸着される。
以外の部分に位置している導電性ボール７は、プレート
１３と吸着ヘッド３１の下面に挟まれた状態で振動が伝
えられる結果、振動により水平方向にわずかづつ移動す
ることとなり、ある時間の経過後はこれらの導電性ボー
ル７も未だ導電性ボール７を真空吸着していない吸着孔
３１ａの直下に位置するようになり、その後吸着孔３１
ａに真空吸着される。そして、ついには全ての吸着孔３
１ａに１個づつ導電性ボール７が真空吸着される。
【００２５】このように、全ての吸着孔３１ａに１個づ
つ正しく導電性ボール７を真空吸着してピックアップし
た吸着ヘッド３１は、図５に示すようにプレート１３か
ら上昇し、次いで位置決めテーブル２の上方に水平移動
する。次に吸着ヘッド３１はホルダ５に保持されたワー
ク６上に下降し、図６に示すように真空吸着を解除して
電極６ａ上に導電性ボール７を移載した後上昇し、導電
性ボール７の移載を完了する。
つ正しく導電性ボール７を真空吸着してピックアップし
た吸着ヘッド３１は、図５に示すようにプレート１３か
ら上昇し、次いで位置決めテーブル２の上方に水平移動
する。次に吸着ヘッド３１はホルダ５に保持されたワー
ク６上に下降し、図６に示すように真空吸着を解除して
電極６ａ上に導電性ボール７を移載した後上昇し、導電
性ボール７の移載を完了する。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、ボール供給部に設けら
れた水平なプレート上に導電性ボールを一層に整列させ
た状態で、このプレートに振動手段により振動を付与し
ながら吸着ヘッドに真空吸着するようにしているので、
導電性ボールは速かにそれぞれの吸着孔に１個づつ正し
く真空吸着され、余分な導電性ボールの付着を防止して
導電性ボールを確実に１個づつワークの電極上に移載す
ることができる。
れた水平なプレート上に導電性ボールを一層に整列させ
た状態で、このプレートに振動手段により振動を付与し
ながら吸着ヘッドに真空吸着するようにしているので、
導電性ボールは速かにそれぞれの吸着孔に１個づつ正し
く真空吸着され、余分な導電性ボールの付着を防止して
導電性ボールを確実に１個づつワークの電極上に移載す
ることができる。
【図１】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の正面図
置の正面図
【図２】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の部分断面図
置のボール供給部の部分断面図
【図３】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の部分断面図
置のボール供給部の部分断面図
【図４】（ａ）本発明の一実施の形態の導電性ボールの
移載装置のボール供給部の部分断面図 （ｂ）本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置
のボール供給部の部分断面図
移載装置のボール供給部の部分断面図 （ｂ）本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置
のボール供給部の部分断面図
【図５】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の部分断面図
置のボール供給部の部分断面図
【図６】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の位置決めテーブルの部分正面図
置の位置決めテーブルの部分正面図
２ 位置決めテーブル ６ ワーク ７ 導電性ボール １０ 供給部 １１ ボールケース １３ プレート １６ 振動子 １８ シリンダ １９ スキージ ２０ 移動手段 ２３ Ｘ軸モータ ２７ Ｚ軸モータ ３１ 吸着ヘッド ３１ａ 吸着孔
Claims (4)
- 【請求項１】下面に導電性ボールを真空吸着する複数の
吸着孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供給
するボール供給部と、このボール供給部に設けられた水
平なプレートと、この水平なプレート上に導電性ボール
を一層に整列させる整列手段と、前記プレートを振動さ
せる振動手段と、前記吸着ヘッドを上下動させる上下動
手段とを備えたことを特徴とする導電性ボールの移載装
置。 - 【請求項２】ボール供給部に設けられた水平なプレート
上に整列手段により導電性ボールを一層に整列させる工
程と、下面にそれぞれ１個の導電性ボールを吸着する複
数の吸着孔が形成された吸着ヘッドを前記プレートの上
方に位置させる工程と、前記プレートを振動手段により
振動させながらプレート上に整列した導電性ボールを前
記吸着ヘッドにより真空吸着する工程と、この吸着ヘッ
ドをワークに対して下降させ、真空吸引を解除して上昇
させることにより導電性ボールをワークの電極上に移載
する工程とを含むことを特徴とする導電性ボールの移載
方法。 - 【請求項３】前記導電性ボールを真空吸着する工程にお
いて、前記吸着ヘッドを導電性ボールとの間に所定の間
隔を保って位置させることを特徴とする請求項２記載の
導電性ボールの移載方法。 - 【請求項４】前記導電性ボールを真空吸着する工程にお
いて、前記吸着ヘッドの下面を導電性ボールに接触させ
ることを特徴とする請求項２記載の導電性ボールの移載
方法。
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ID=17089114
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1997
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|---|---|---|---|---|
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