JPH1187422A - 導電性ボールの移載装置および移載方法 - Google Patents
導電性ボールの移載装置および移載方法Info
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- JPH1187422A JPH1187422A JP24381797A JP24381797A JPH1187422A JP H1187422 A JPH1187422 A JP H1187422A JP 24381797 A JP24381797 A JP 24381797A JP 24381797 A JP24381797 A JP 24381797A JP H1187422 A JPH1187422 A JP H1187422A
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- conductive
- conductive balls
- ball
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3457—Solder materials or compositions; Methods of application thereof
- H05K3/3478—Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
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- Wire Bonding (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ピックアップミスにより吸着ヘッドの下面に
余分に付着した導電性ボールを除去し、導電性ボールを
ワークの電極上に正しく移載することができる導電性ボ
ールの移載装置および移載方法を提供することを目的と
する。 【解決手段】 ボール供給部１０から導電性ボール７を
真空吸着してピックアップした吸着ヘッド３１がワーク
の位置決めテーブル２に移動する経路に、余分に付着し
た導電性ボール７を除去する除去部４０を設ける。吸着
ヘッド３１の吸着孔３１ａのピッチに対応して設けられ
た突起部４４を有するＸ方向およびＹ方向の突起列を備
えた除去部４０に対して吸着ヘッド３１を下降させ、吸
着ヘッド３１を除去部４０に対してＸ方向およびＹ方向
に相対的に水平移動させることにより、吸着ヘッド３１
の下面の吸着孔３１ａ以外に余分に付着した導電性ボー
ル７を速やかに除去することができる。
余分に付着した導電性ボールを除去し、導電性ボールを
ワークの電極上に正しく移載することができる導電性ボ
ールの移載装置および移載方法を提供することを目的と
する。 【解決手段】 ボール供給部１０から導電性ボール７を
真空吸着してピックアップした吸着ヘッド３１がワーク
の位置決めテーブル２に移動する経路に、余分に付着し
た導電性ボール７を除去する除去部４０を設ける。吸着
ヘッド３１の吸着孔３１ａのピッチに対応して設けられ
た突起部４４を有するＸ方向およびＹ方向の突起列を備
えた除去部４０に対して吸着ヘッド３１を下降させ、吸
着ヘッド３１を除去部４０に対してＸ方向およびＹ方向
に相対的に水平移動させることにより、吸着ヘッド３１
の下面の吸着孔３１ａ以外に余分に付着した導電性ボー
ル７を速やかに除去することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、導電性ボールをワ
ークに移載する導電性ボールの移載装置および移載方法
に関するものである。
ークに移載する導電性ボールの移載装置および移載方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】フリップチップやＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇ
ｒｉｄ Ａｒｒａｙ）などのバンプ付きの電子部品を製
造する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用
いる方法が知られている。また導電性ボールをチップや
基板などのワークに移載する方法として、吸着ヘッドを
用いる方法が実施されている。
ｒｉｄ Ａｒｒａｙ）などのバンプ付きの電子部品を製
造する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用
いる方法が知られている。また導電性ボールをチップや
基板などのワークに移載する方法として、吸着ヘッドを
用いる方法が実施されている。
【０００３】この方法は、容器などに貯溜された導電性
ボールを、吸着ヘッドの下面に多数形成された吸着孔に
真空吸着してピックアップし、吸着ヘッドをワークの上
方に移動させてこれらの導電性ボールをワークの電極上
に移載するものであり、多数の導電性ボールを一括して
ワークに移載できるので作業性がよいという利点があ
る。
ボールを、吸着ヘッドの下面に多数形成された吸着孔に
真空吸着してピックアップし、吸着ヘッドをワークの上
方に移動させてこれらの導電性ボールをワークの電極上
に移載するものであり、多数の導電性ボールを一括して
ワークに移載できるので作業性がよいという利点があ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、吸着ヘッド
を用いて導電性ボールをワークに移載する方法では、導
電性ボールを真空吸着する際に、以下に説明するような
ピックアップミスが発生しやすい。すなわち、吸着ヘッ
ドに導電性ボールを真空吸着させるに際しては、多数の
導電性ボールが積層して貯溜された導電性ボールの供給
部内に吸着ヘッドを下降させるが、このときに吸着ヘッ
ドの各吸着孔に対して１つの導電性ボールが確実に真空
吸着されるとは限らない。
を用いて導電性ボールをワークに移載する方法では、導
電性ボールを真空吸着する際に、以下に説明するような
ピックアップミスが発生しやすい。すなわち、吸着ヘッ
ドに導電性ボールを真空吸着させるに際しては、多数の
導電性ボールが積層して貯溜された導電性ボールの供給
部内に吸着ヘッドを下降させるが、このときに吸着ヘッ
ドの各吸着孔に対して１つの導電性ボールが確実に真空
吸着されるとは限らない。
【０００５】例えば、１つの吸着孔に複数の導電性ボー
ルが真空吸着され、吸着ヘッドの下面に多数個の導電性
ボールが連なって付着する場合や、吸着孔以外の位置に
導電性ボールが付着したままで吸着ヘッドが上昇するこ
ともある。このように吸着ヘッドを用いる方法では、吸
着ヘッドの下面に余分な導電性ボールが付着するピック
アップミスが発生しやすく、ワークの電極上に導電性ボ
ールが１個づつ正しく移載されないことがあるという問
題点があった。
ルが真空吸着され、吸着ヘッドの下面に多数個の導電性
ボールが連なって付着する場合や、吸着孔以外の位置に
導電性ボールが付着したままで吸着ヘッドが上昇するこ
ともある。このように吸着ヘッドを用いる方法では、吸
着ヘッドの下面に余分な導電性ボールが付着するピック
アップミスが発生しやすく、ワークの電極上に導電性ボ
ールが１個づつ正しく移載されないことがあるという問
題点があった。
【０００６】そこで本発明は、ピックアップミスにより
吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールを除去
し、導電性ボールをワークの電極上に正しく移載するこ
とができる導電性ボールの移載装置および移載方法を提
供することを目的とする。
吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールを除去
し、導電性ボールをワークの電極上に正しく移載するこ
とができる導電性ボールの移載装置および移載方法を提
供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の導電性ボ
ールの移載装置は、下面に導電性ボールを吸着する複数
の吸着孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供
給するボール供給部と、ワークを位置決めする位置決め
部と、前記吸着ヘッドを上下動させる上下動手段と、前
記吸着ヘッドを水平方向に移動させる移動手段と、前記
吸着ヘッド下面の吸着孔以外に余分に付着した導電性ボ
ールを除去する除去部とを備え、この除去部に前記吸着
ヘッドの吸着孔のピッチに対応した突起部を有するＸ方
向およびＹ方向の突起列を設けた。
ールの移載装置は、下面に導電性ボールを吸着する複数
の吸着孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供
給するボール供給部と、ワークを位置決めする位置決め
部と、前記吸着ヘッドを上下動させる上下動手段と、前
記吸着ヘッドを水平方向に移動させる移動手段と、前記
吸着ヘッド下面の吸着孔以外に余分に付着した導電性ボ
ールを除去する除去部とを備え、この除去部に前記吸着
ヘッドの吸着孔のピッチに対応した突起部を有するＸ方
向およびＹ方向の突起列を設けた。
【０００８】請求項２記載の導電性ボールの移載方法
は、下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着孔が形成
された吸着ヘッドによりボール供給部の導電性ボールを
ワークに移載する導電性ボールの移載方法であって、下
面に導電性ボールを吸着した前記吸着ヘッドを、前記吸
着ヘッドの吸着孔のピッチに対応して設けられた突起部
を有するＸ方向およびＹ方向の突起列を備えた除去部に
対して所定間隔を保って位置させ、前記吸着ヘッドを前
記除去部に対してＸ方向およびＹ方向に相対的に水平移
動させることにより、前記吸着ヘッドの下面に余分に付
着した導電性ボールを除去する。
は、下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着孔が形成
された吸着ヘッドによりボール供給部の導電性ボールを
ワークに移載する導電性ボールの移載方法であって、下
面に導電性ボールを吸着した前記吸着ヘッドを、前記吸
着ヘッドの吸着孔のピッチに対応して設けられた突起部
を有するＸ方向およびＹ方向の突起列を備えた除去部に
対して所定間隔を保って位置させ、前記吸着ヘッドを前
記除去部に対してＸ方向およびＹ方向に相対的に水平移
動させることにより、前記吸着ヘッドの下面に余分に付
着した導電性ボールを除去する。
【０００９】上記構成の本発明によれば、下面に導電性
ボールを真空吸着した吸着ヘッドを、吸着ヘッドの吸着
孔のピッチに対応して設けられた突起部を有するＸ方向
およびＸ方向の突起列に対して吸着ヘッドをＸ方向およ
びＹ方向に相対的に水平移動させることにより、吸着孔
以外に余分に付着した導電性ボールを除去することがで
きる。
ボールを真空吸着した吸着ヘッドを、吸着ヘッドの吸着
孔のピッチに対応して設けられた突起部を有するＸ方向
およびＸ方向の突起列に対して吸着ヘッドをＸ方向およ
びＹ方向に相対的に水平移動させることにより、吸着孔
以外に余分に付着した導電性ボールを除去することがで
きる。
【００１０】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の導
電性ボールの移載装置の正面図、図２（ａ）は同導電性
ボールの移載装置の導電性ボールの除去部の部分断面
図、図２（ｂ）は同導電性ボールの移載装置の導電性ボ
ールの除去部の部分平面図、図３、図４は同導電性ボー
ルの移載装置のボール供給部の部分断面図、図５は同導
電性ボールの移載装置の導電性ボールの除去部の部分断
面図、図６は同導電性ボールの移載装置の位置決めテー
ブルの部分正面図である。
を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の導
電性ボールの移載装置の正面図、図２（ａ）は同導電性
ボールの移載装置の導電性ボールの除去部の部分断面
図、図２（ｂ）は同導電性ボールの移載装置の導電性ボ
ールの除去部の部分平面図、図３、図４は同導電性ボー
ルの移載装置のボール供給部の部分断面図、図５は同導
電性ボールの移載装置の導電性ボールの除去部の部分断
面図、図６は同導電性ボールの移載装置の位置決めテー
ブルの部分正面図である。
【００１１】まず、図１を参照して導電性ボールの移載
装置の全体構造を説明する。図１において、基台１上に
は位置決めテーブル２が設けられている。位置決めテー
ブル２はＹテーブル３、Ｘテーブル４から構成される。
Ｘテーブル４上にはホルダ５が設けられており、ホルダ
５はワーク６を保持する。したがって位置決めテーブル
２を駆動することにより、ワーク６が所定位置に位置決
めされる。
装置の全体構造を説明する。図１において、基台１上に
は位置決めテーブル２が設けられている。位置決めテー
ブル２はＹテーブル３、Ｘテーブル４から構成される。
Ｘテーブル４上にはホルダ５が設けられており、ホルダ
５はワーク６を保持する。したがって位置決めテーブル
２を駆動することにより、ワーク６が所定位置に位置決
めされる。
【００１２】また基台１上の位置決めテーブル２の反対
側の端部には、導電性ボール７の供給部１０が配設され
ている。ボール供給部１０はボール槽１１より成り、ボ
ール槽１１の内部には複数層のメッシュプレート１２が
水平に展張されている。メッシュプレート１２は導電性
ボール７が通過できない大きさの開孔を無数に設けたも
のである。最上層のメッシュプレート１２上には導電性
ボール７が貯溜される。ボール槽１１の底部にはノズル
１４が配設されており、ノズル１４はガス供給源（図
外）に接続されている。ノズル１４にガスを供給するこ
とにより、ノズル１４から上方に吹き出されたガスはメ
ッシュプレート１２の開孔を通過して導電性ボール７の
層に吹き込まれ、導電性ボール７を流動化させる。
側の端部には、導電性ボール７の供給部１０が配設され
ている。ボール供給部１０はボール槽１１より成り、ボ
ール槽１１の内部には複数層のメッシュプレート１２が
水平に展張されている。メッシュプレート１２は導電性
ボール７が通過できない大きさの開孔を無数に設けたも
のである。最上層のメッシュプレート１２上には導電性
ボール７が貯溜される。ボール槽１１の底部にはノズル
１４が配設されており、ノズル１４はガス供給源（図
外）に接続されている。ノズル１４にガスを供給するこ
とにより、ノズル１４から上方に吹き出されたガスはメ
ッシュプレート１２の開孔を通過して導電性ボール７の
層に吹き込まれ、導電性ボール７を流動化させる。
【００１３】次に導電性ボール１を移載する吸着ヘッド
３１について説明する。図１に示す２０は、Ｘ方向（図
１では左右方向）の移動手段であり、Ｙテーブル３０を
ボール供給部１０と位置決めテープル２との間を移動さ
せる。Ｙテーブル３０はＹ軸モータ３２を備えており、
Ｙテーブル３０に保持された吸着ヘッド３１をＹ方向
（図１において図面の垂直方向）に水平移動させる。
３１について説明する。図１に示す２０は、Ｘ方向（図
１では左右方向）の移動手段であり、Ｙテーブル３０を
ボール供給部１０と位置決めテープル２との間を移動さ
せる。Ｙテーブル３０はＹ軸モータ３２を備えており、
Ｙテーブル３０に保持された吸着ヘッド３１をＹ方向
（図１において図面の垂直方向）に水平移動させる。
【００１４】吸着ヘッド３１の下面には複数の吸着孔３
１ａが設けられている。Ｙテーブル３０はブラケット２
４の前面に設けられた垂直なガイドレール２５に上下動
自在に装着されている。Ｙテーブル３０には、ナット２
８が一体的に設けられており、ナット２８には垂直の送
りねじ２６が螺合している。したがってＺ軸モータ２７
が正逆駆動して送りねじ２６が正逆回転すると、吸着ヘ
ッド３１はガイドレール２５に案内されて上下動する。
したがって、Ｚ軸モータ２７および送りねじ２６は吸着
ヘッド３１を上下させる上下動手段となっている。
１ａが設けられている。Ｙテーブル３０はブラケット２
４の前面に設けられた垂直なガイドレール２５に上下動
自在に装着されている。Ｙテーブル３０には、ナット２
８が一体的に設けられており、ナット２８には垂直の送
りねじ２６が螺合している。したがってＺ軸モータ２７
が正逆駆動して送りねじ２６が正逆回転すると、吸着ヘ
ッド３１はガイドレール２５に案内されて上下動する。
したがって、Ｚ軸モータ２７および送りねじ２６は吸着
ヘッド３１を上下させる上下動手段となっている。
【００１５】ブラケット２４の背面に設けられたナット
（図示せず）は、水平な送りねじ２２に螺合している。
２１は送りねじ２２の保持テーブルである。したがって
Ｘ軸モータ２３が正逆回転すると、送りねじ２２は正逆
回転し、ブラケット２４に保持された吸着ヘッド３１は
位置決めテーブル２とボール供給部１０の間を水平移動
する。したがって、Ｘ方向の移動手段２０およびＹテー
ブル３０は、吸着ヘッド３１を水平方向に移動させる移
動手段となっている。
（図示せず）は、水平な送りねじ２２に螺合している。
２１は送りねじ２２の保持テーブルである。したがって
Ｘ軸モータ２３が正逆回転すると、送りねじ２２は正逆
回転し、ブラケット２４に保持された吸着ヘッド３１は
位置決めテーブル２とボール供給部１０の間を水平移動
する。したがって、Ｘ方向の移動手段２０およびＹテー
ブル３０は、吸着ヘッド３１を水平方向に移動させる移
動手段となっている。
【００１６】図１において、基台１上のボール供給部１
０の側方には、導電性ボール７の除去部４０が配設され
ている。除去部４０は、吸着ヘッド３１の下面に余分に
付着した導電性ボール７を除去する。図１および図２に
示すように、ボックス４１上にはボール受け４５が載置
されており、ボール受け４５内には基部４２が固着され
ている。基部４２上にはプレート４３が装着されてい
る。プレート４３には、吸着ヘッド３１の吸着孔３１ａ
のピッチｐに対応した同一のピッチｐで、突起部として
のピン４４が立設されている。
０の側方には、導電性ボール７の除去部４０が配設され
ている。除去部４０は、吸着ヘッド３１の下面に余分に
付着した導電性ボール７を除去する。図１および図２に
示すように、ボックス４１上にはボール受け４５が載置
されており、ボール受け４５内には基部４２が固着され
ている。基部４２上にはプレート４３が装着されてい
る。プレート４３には、吸着ヘッド３１の吸着孔３１ａ
のピッチｐに対応した同一のピッチｐで、突起部として
のピン４４が立設されている。
【００１７】ピン４４は、図２（ｂ）に示すように、Ｘ
方向およびＹ方向に逆Ｌ字状に配置されており、それぞ
れＸ方向の突起列４４Ｘ、Ｙ方向の突起列４４Ｙとなっ
ている。図２（ａ）に示すように、下面に導電性ボール
７を吸着した吸着ヘッド３１をプレート４３上に位置さ
せ、ピン４４がそれぞれの吸着孔３１ａの中間に位置す
るように吸着ヘッド３１を位置合わせする。この状態で
吸着ヘッド３１をピン４４の先端部が吸着ヘッド３１の
下面に当接しない限度の所定間隔を保つ高さまで下降さ
せ、吸着ヘッド３１をプレート４３に対してＸ方向およ
びＹ方向に、吸着ヘッド３１の下面の幅および奥行き長
さに相当する距離だけ水平移動することにより、吸着孔
３１ａ以外に付着した導電性ボール７はピン４４が導電
性ボール７と突き当たることにより掻き落されて、吸着
ヘッド３１の下面から除去される。
方向およびＹ方向に逆Ｌ字状に配置されており、それぞ
れＸ方向の突起列４４Ｘ、Ｙ方向の突起列４４Ｙとなっ
ている。図２（ａ）に示すように、下面に導電性ボール
７を吸着した吸着ヘッド３１をプレート４３上に位置さ
せ、ピン４４がそれぞれの吸着孔３１ａの中間に位置す
るように吸着ヘッド３１を位置合わせする。この状態で
吸着ヘッド３１をピン４４の先端部が吸着ヘッド３１の
下面に当接しない限度の所定間隔を保つ高さまで下降さ
せ、吸着ヘッド３１をプレート４３に対してＸ方向およ
びＹ方向に、吸着ヘッド３１の下面の幅および奥行き長
さに相当する距離だけ水平移動することにより、吸着孔
３１ａ以外に付着した導電性ボール７はピン４４が導電
性ボール７と突き当たることにより掻き落されて、吸着
ヘッド３１の下面から除去される。
【００１８】なお、本実施の形態では、Ｘ方向の突起列
４４Ｘ、Ｙ方向の突起列４４Ｙをそれぞれ１列設けるよ
うにしているが、突起列４４Ｘ、突起列４４Ｙを複数列
設けるようにしてもよい。この場合には、突起列４４
Ｘ、４４Ｙの列数が多くなればなるほど吸着ヘッド３１
を除去部４０に対して水平移動させる距離が短くてよい
ことになり、除去動作に要する時間を短縮することがで
きる。
４４Ｘ、Ｙ方向の突起列４４Ｙをそれぞれ１列設けるよ
うにしているが、突起列４４Ｘ、突起列４４Ｙを複数列
設けるようにしてもよい。この場合には、突起列４４
Ｘ、４４Ｙの列数が多くなればなるほど吸着ヘッド３１
を除去部４０に対して水平移動させる距離が短くてよい
ことになり、除去動作に要する時間を短縮することがで
きる。
【００１９】この導電性ボールの移載装置は上記のよう
な構成より成り、次に動作を説明する。まず、図１にお
いて、Ｘ軸モータ２３を駆動して吸着ヘッド３１をボー
ル供給部１０の上方へ移動させる。そこで、Ｚ軸モータ
２７を駆動して吸着ヘッド３１を下降させ、図３に示す
ように吸着ヘッド３１の下面を導電性ボール７の層に幾
分沈み込ませる。このとき、ボール槽１１のノズル１４
よりガスが上方に向って吹き出されており（矢印ａ参
照）、導電性ボール７はこのガスの流れによって流動化
している。このため導電性ボール７は上方に吹き上げら
れ、吸着ヘッド３１の下面に突き当って吸着孔３１ａに
真空吸着される。
な構成より成り、次に動作を説明する。まず、図１にお
いて、Ｘ軸モータ２３を駆動して吸着ヘッド３１をボー
ル供給部１０の上方へ移動させる。そこで、Ｚ軸モータ
２７を駆動して吸着ヘッド３１を下降させ、図３に示す
ように吸着ヘッド３１の下面を導電性ボール７の層に幾
分沈み込ませる。このとき、ボール槽１１のノズル１４
よりガスが上方に向って吹き出されており（矢印ａ参
照）、導電性ボール７はこのガスの流れによって流動化
している。このため導電性ボール７は上方に吹き上げら
れ、吸着ヘッド３１の下面に突き当って吸着孔３１ａに
真空吸着される。
【００２０】このとき、図４に示すように、吸着ヘッド
３１の下面の吸着孔３１ａ以外の位置に余分な導電性ボ
ール７が付着したまま吸着ヘッド３１が上昇することが
ある。図４では余分な導電性ボール７が１個付着した例
を示しているが、この例以外にも、複数の導電性ボール
７が連なって付着する場合など、余分な導電性ボール７
の付着には様々な態様がある。
３１の下面の吸着孔３１ａ以外の位置に余分な導電性ボ
ール７が付着したまま吸着ヘッド３１が上昇することが
ある。図４では余分な導電性ボール７が１個付着した例
を示しているが、この例以外にも、複数の導電性ボール
７が連なって付着する場合など、余分な導電性ボール７
の付着には様々な態様がある。
【００２１】このような余分に付着した導電性ボール７
は、除去部４０にて除去される。まず導電性ボール７を
吸着した吸着ヘッド３１を除去部４０の上方に移動さ
せ、次いで吸着ヘッド３１をプレート４３に対して下降
させる。このとき、それぞれのピン４４が吸着ヘッド３
１の吸着孔３１ａの中間に位置するように吸着ヘッド３
１を位置合わせする。そして、ピン４４の先端部が吸着
ヘッド３１の下面に当接しない高さ位置まで吸着ヘッド
３１を下降させ、吸着ヘッド３１とプレート４３の間隔
を所定間隔に保ちながら、吸着ヘッド３１をプレート４
３に対してＸ方向およびＹ方向に所定距離だけ相対的に
水平移動させる。これにより、図５に示すように吸着孔
３１ａ以外の位置に余分に付着した導電性ボール７（破
線で示している）は、突起列４４Ｘ、４４Ｙのいずれか
のピン４４によって掻き落され（矢印ｃ参照）、ボール
受け４５内に回収される。
は、除去部４０にて除去される。まず導電性ボール７を
吸着した吸着ヘッド３１を除去部４０の上方に移動さ
せ、次いで吸着ヘッド３１をプレート４３に対して下降
させる。このとき、それぞれのピン４４が吸着ヘッド３
１の吸着孔３１ａの中間に位置するように吸着ヘッド３
１を位置合わせする。そして、ピン４４の先端部が吸着
ヘッド３１の下面に当接しない高さ位置まで吸着ヘッド
３１を下降させ、吸着ヘッド３１とプレート４３の間隔
を所定間隔に保ちながら、吸着ヘッド３１をプレート４
３に対してＸ方向およびＹ方向に所定距離だけ相対的に
水平移動させる。これにより、図５に示すように吸着孔
３１ａ以外の位置に余分に付着した導電性ボール７（破
線で示している）は、突起列４４Ｘ、４４Ｙのいずれか
のピン４４によって掻き落され（矢印ｃ参照）、ボール
受け４５内に回収される。
【００２２】このように、全ての吸着孔３１ａに１個づ
つ正しく導電性ボール７を真空吸着してピックアップし
た吸着ヘッド３１は除去部４０から上昇し、次いで位置
決めテーブル２の上方に水平移動する。次に吸着ヘッド
３１はホルダ５に保持されたワーク６上に下降し、図６
に示すように真空吸着を解除して電極６ａ上に導電性ボ
ール７を移載した後上昇し、導電性ボール７の移載を完
了する。
つ正しく導電性ボール７を真空吸着してピックアップし
た吸着ヘッド３１は除去部４０から上昇し、次いで位置
決めテーブル２の上方に水平移動する。次に吸着ヘッド
３１はホルダ５に保持されたワーク６上に下降し、図６
に示すように真空吸着を解除して電極６ａ上に導電性ボ
ール７を移載した後上昇し、導電性ボール７の移載を完
了する。
【００２３】本発明は、上記実施の形態に限定されない
のであって、例えば上記実施の形態では導電性ボールの
除去部４０を固定し、除去部４０に対して吸着ヘッド３
１を移動させるようにしているが、除去部４０を可動な
ものとし、ボール供給部１０上で静止した吸着ヘッド３
１に対して除去部４０を移動させるようにしてもよいも
のである。
のであって、例えば上記実施の形態では導電性ボールの
除去部４０を固定し、除去部４０に対して吸着ヘッド３
１を移動させるようにしているが、除去部４０を可動な
ものとし、ボール供給部１０上で静止した吸着ヘッド３
１に対して除去部４０を移動させるようにしてもよいも
のである。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、ボール供給部の導電性
ボールを吸着した吸着ヘッドを導電性ボールの除去部に
対して下降させ、吸着孔のピッチに対応して設けられた
突起部を有するＸ方向およびＹ方向の突起列に対して吸
着ヘッドをＸ方向およびＹ方向に相対的に移動させるよ
うにしているので、吸着ヘッドの吸着孔以外に付着した
余分な導電性ボールを確実かつ迅速に除去することがで
き、したがってワークの電極上に確実に１個づつの導電
性ボールを移載することができる。
ボールを吸着した吸着ヘッドを導電性ボールの除去部に
対して下降させ、吸着孔のピッチに対応して設けられた
突起部を有するＸ方向およびＹ方向の突起列に対して吸
着ヘッドをＸ方向およびＹ方向に相対的に移動させるよ
うにしているので、吸着ヘッドの吸着孔以外に付着した
余分な導電性ボールを確実かつ迅速に除去することがで
き、したがってワークの電極上に確実に１個づつの導電
性ボールを移載することができる。
【図１】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の正面図
置の正面図
【図２】（ａ）本発明の一実施の形態の導電性ボールの
移載装置の導電性ボールの除去部の部分断面図（ｂ）本
発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置の導電性
ボールの除去部の部分平面図
移載装置の導電性ボールの除去部の部分断面図（ｂ）本
発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置の導電性
ボールの除去部の部分平面図
【図３】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の部分断面図
置のボール供給部の部分断面図
【図４】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の部分断面図
置のボール供給部の部分断面図
【図５】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の導電性ボールの除去部の部分断面図
置の導電性ボールの除去部の部分断面図
【図６】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の位置決めテーブルの部分正面図
置の位置決めテーブルの部分正面図
１ 基台 ２ 位置決めテーブル ６ ワーク ７ 導電性ボール １０ ボール供給部 １１ ボール槽 ２３ Ｘ軸モータ ２７ Ｚ軸モータ ３１ 吸着ヘッド ３１ａ 吸着孔 ３２ Ｙ軸モータ ４０ 除去部 ４４ ピン ４４Ｘ，４４Ｙ 突起列
Claims (2)
- 【請求項１】下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着
孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供給する
ボール供給部と、ワークを位置決めする位置決め部と、
前記吸着ヘッドを上下動させる上下動手段と、前記吸着
ヘッドを水平方向に移動させる移動手段と、前記吸着ヘ
ッド下面の吸着孔以外に余分に付着した導電性ボールを
除去する除去部とを備え、この除去部に前記吸着ヘッド
の吸着孔のピッチに対応した突起部を有するＸ方向およ
びＹ方向の突起列を設けたことを特徴とする導電性ボー
ルの移載装置。 - 【請求項２】下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着
孔が形成された吸着ヘッドによりボール供給部の導電性
ボールをワークに移載する導電性ボールの移載方法であ
って、下面に導電性ボールを吸着した前記吸着ヘッド
を、前記吸着ヘッドの吸着孔のピッチに対応して設けら
れた突起部を有するＸ方向およびＹ方向の突起列を備え
た除去部に対して所定間隔を保って位置させ、前記吸着
ヘッドを前記除去部に対してＸ方向およびＹ方向に相対
的に水平移動させることにより、前記吸着ヘッドの下面
に余分に付着した導電性ボールを除去することを特徴と
する導電性ボールの移載方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24381797A JP3376876B2 (ja) | 1997-09-09 | 1997-09-09 | 導電性ボールの移載装置および移載方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24381797A JP3376876B2 (ja) | 1997-09-09 | 1997-09-09 | 導電性ボールの移載装置および移載方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1187422A true JPH1187422A (ja) | 1999-03-30 |
| JP3376876B2 JP3376876B2 (ja) | 2003-02-10 |
Family
ID=17109377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24381797A Expired - Fee Related JP3376876B2 (ja) | 1997-09-09 | 1997-09-09 | 導電性ボールの移載装置および移載方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3376876B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020517476A (ja) * | 2017-04-23 | 2020-06-18 | フランカ エミカ ゲーエムベーハーＦＲＡＮＫＡ ＥＭＩＫＡ ＧｍｂＨ | ロボットおよびロボットを制御する方法 |
-
1997
- 1997-09-09 JP JP24381797A patent/JP3376876B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020517476A (ja) * | 2017-04-23 | 2020-06-18 | フランカ エミカ ゲーエムベーハーＦＲＡＮＫＡ ＥＭＩＫＡ ＧｍｂＨ | ロボットおよびロボットを制御する方法 |
| US11420333B2 (en) | 2017-04-23 | 2022-08-23 | Franka Emika Gmbh | Robot and method for controlling a robot |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3376876B2 (ja) | 2003-02-10 |
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