JP3303109B2 - 半田ボール供給装置と供給方法 - Google Patents
半田ボール供給装置と供給方法Info
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Description
着する際に用いる多数の予備半田を、基板上に同時に供
給する半田ボール供給装置と供給方法に関する。
入出力端子の数が多くなる傾向にある。また、ICチップ
も小型化されているため入出力端子のピッチが微細化さ
れてきている。これらICチップの入出力端子は、ICのパ
ッケージの四方に取付けられたり、パッケージの裏面に
設けられたりしている。
の場合、そのパッケージ裏面には多数のメッキスルーホ
ールが設けてある。そして、メッキスルーホールに予備
半田を供給して、パッケージの入出力端子と回路基板と
を半田付けすることによって両者の導通をとっている。
する技術としては、スクリーン印刷により、クリーム半
田を印刷して半田供給するという技術がある。また、米
国特許5088639号で提案されているように、真空ピック
アップ工具を用いて貯蔵部から半田ボールを取り出し、
次いでこの半田ボールをフラックスに浸した後、回路基
板上に供給する技術がある。
田を印刷してスクリーンをはがすときにクリーム半田の
粘性により糸引き現象が生ずる。このとき、クリーム半
田にできるツノが小さくできたり、大きくできたりする
ので、常に安定した量のクリーム半田を供給するのは難
しい。ツノが大きくできる場合は半田クリームの量が多
く、このように半田クリームの量が多いとピッチの狭い
入出力端子間では他の部分のクリーム半田と接触してし
まう恐れがある。これにより、電極間を短絡させてしま
うという問題がある。
蔵部に半田ボールを溜めてあるだけであるため、真空ピ
ックアップ工具で吸着する半田ボールの数が多い場合に
は真空ピックアップ工具によって貯蔵部から半田ボール
を取り出すときに、半田ボールの吸着洩れを生じること
がある。
まま、半田ボールをフラックスに浸すようにしているた
め、フラックスが真空ピックアップ工具の吸着ノズルに
付着して半田ボールの吸着ミスを起すことから、頻繁に
真空ピックアップ工具の清掃を行なう必要がある。
供給技術、特に、多数の半田ボールを確実に供給できる
とともに、フラックスが真空ピックアップ工具に付着し
ないようにした半田ボール供給装置と供給方法の提供を
目的とする。
と、この振込み機をスウィングさせて前記半田ボールを
前記振込み機内で移動させ、前記収納穴へ収納させる駆
動手段と、前記振込み機に設けた半田ボール収納穴と同
じピッチで多数の吸気孔を設けたヘッド部を有し、この
ヘッド部で半田ボール収納穴から多数の半田ボールを同
時に取り出し、所定位置に搬送,供給する半田ボール供
給手段を具備した構成としてある。これにより半田ボー
ルの迅速な供給が可能となり、作業性が大きく向上して
量産も可能となる。さらに、半田ボールを振込み機にマ
トリックス状に収納してあるので、各種パターンの基板
に容易に対応することができる。
田ボール供給手段のヘッド部に設けた吸気孔と同じパタ
ーンでノズルを配置したフラックスディスペンサを有
し、前記半田ボールの供給に先立ち、基板上にフラック
スを同時に供給するフラックス供給手段を付加した構成
としてもよく、このような構成とすることによって、半
田ボールヘッドにフラックスが付着するのを防止して、
半田ボールの吸着ミスを防ぐ。
部を設け、この凹部に基板に搭載されているICチップを
収容することによって、ICチップの厚さにかかわらず基
板の入出力端子を一定の高さに位置させる構成とし、及
び/又は、振込み機に、異なったピッチからなる複数の
半田ボール収納穴群をマトリックス状に配設した構成と
してある。これにより、搭載するICチップの厚みが異な
ったり、入出力端子のピッチが異なったりする各種基板
への半田ボール供給を容易に行なうことができ、多種少
量生産への対応が可能となる。
ットと半田ボール供給のためのロボットを共用し、この
ロボットのヘッドにフラックスヘッドと半田ボールヘッ
ドを選択的に交換して装着する構成としてもよく、この
ようにすると装置全体がコンパクトになり、装置の小型
化,低コスト化が可能となる。
を示す平面図である。
図である。
レイの断面図である。
る。
大断面図を示す。
を示す平面である。
びフラックスディスペンサの関係を示し、第11図(b)
はロボットヘッドと半田ボールヘッド及び吸気孔ヘッド
の関係を示す図である。
説明する。
を示す平面図である。
する基板移送手段100と、コンベア10の上流側近傍に位
置するフラックス供給手段200と、フラックス供給手段2
00より下流側のコンベア10の近傍に位置する半田ボール
供給手段300及びこれら各手段100,200,300の動作を関連
的に制御する制御手段400とからなっている。
け装置におけるコンベアを共用しており、したがって、
フラックス供給手段100の上流側には基板供給手段20と
電気チェック手段30が、また、半田ボール供給手段300
の下流側には画像処理手段40、リフロー炉50及び基板排
出手段60などが配置してある。
供給手段300は、リフロー式半田付け装置に組み込まれ
た構成となっている。したがって、制御手段400として
は、リフロー式半田付け装置の動作を制御する制御手段
を用いることもできる。
断面図を示し、第3図は基板移送手段100の長手方向縦
断面図を示す。
ンベア10のレール11に沿って移動するベルト12上に載置
され、ベルト12とともに移送されるキャリア110を有し
ている。
ップを搭載(封止)した基板1を、ICチップ(封止部)
1a側が凹部111に収納された入出力端子が表面を向いた
状態で、キャリア110上にセットしてある。このとき、
基板1がキャリア110の所定位置上にセットされるよ
う、キャリア110に突設した位置決めピン112に、基板1
に穿設した孔1bを係合させた状態でセットする。
り、種々の厚さからなる多種のICチップ封止部1aを収納
し、基板1の周面がキャリア110の表面周縁部に常に載
置するようにしてある。これにより、キャリア110上に
セットした基板1の位置は、ICチップ(封止部)1aの厚
さにかかわらず常にキャリアと同じ一定の高さとなる。
このように、キャリア110にセットした基板1の高さが
常に一定の高さになるようにすると、フラックス供給手
段200によるフラックス供給及び半田ボール供給手段300
による半田ボール供給を、基板1(ICチップ封止部1a)
の種類にかかわらず常に一定の高さで行なうことが可能
となり、フラックス供給手段200及び半田ボール供給手
段300を作動させるためのプログラムの作成が容易とな
る。
田ボール供給手段300の供給位置まで移送されてくる
と、第2図の一点鎖線で示すように、コンベア10の下部
に上下動可能に配設してあるロケータ13によって所定の
高さまで持ち上げられ、高さ方向の位置決めが行なわれ
る。このとき、キャリア110の下部に穿設してある孔113
にロケータ13の上部に突設してある位置決めピン14が係
合し、キャリア110の水平方向の位置決めも同時に行な
う。
板の種類に応じて、凹部の大きさ,深さの異なるものに
交換することができる。
ット210と、フラックスディスペンサ220と、ディスペン
サクリーナ230と、ディスペンサチェッカ240、及びディ
スペンサ収容部250とからなっている。
11と、この基台211に、キャリア110の進行方向と同方向
(X軸方向)へ移動可能に設けられたアーム212と、こ
のアーム212にキャリア110の進行方向と直角方向(Y軸
方向)へ移動可能に設けられた移動台213とからなって
いる。
向(Z軸方向)へ移動可能に設けてある。そして、第3
図に示すように、フラックスディスペンサ220は、下面
に多数のノズル221が設けてあり、図示しないフラック
スタンクから供給管222を介して送られてくるフラック
スを適量づつ吐出するようになっている。ノズル221の
配置は、キャリア110によって移送されてくる基板1の
入出力端子パターンと同じパターンとしてある。第4図
はフラックスディスペンサ220の下面図であり、ノズル2
21がマトリックス状に配置してある例を示している。
ものと同様の構造のものを用いることができる。
キャリア110が位置決めされる場所の近くに配置されて
いる。このディスペンサクリーナ230は、ディスペンサ2
20のノズル221に付着しているフラックス溜りを取り除
くためのものであり、台231の上に、布のような吸フラ
ックス性を有する部材232を配置した構成としてある。
したがって、フラックスの供給に先立ちディスペンサ22
0のノズル221をクリーナ230に押し当てると、ノズル先
端に付着しているフラックス溜りを除去できる。
スが確実に吐出されているか否かをチェックするための
ものであり、ディスペンサクリーナ230と隣接して配置
してある。このディスペンサチェッカ240は、耐フラッ
クス性を有する透明,半透明のガラス又は硬質プラスチ
ックなどからなる板状部材によって形成されており、こ
の板状部材上にディスペンサ220のノズル221からフラッ
クスを僅かに吐出させ、このときのフラックスの付着具
合によってノズル221からフラックスが正常に吐出され
ているか否かをチェックする。
よいが、何回かフラックスの供給を行なった後、すなわ
ち、何回かのフラックス供給に対して一回行なうように
しても十分である。板状部材へノズル221からフラック
スが正常に吐出されているか否かの判断は、フラックス
の付着具合を作業員が目視して行なってもよいが、例え
ば画像処理手段などを用いて自動的に行なわせることも
可能である。
とディスペンサチェッカ240のさらに外側に配置してあ
り、複数個のフラックスディスペンサ220を収容するよ
うにしてある。
を設けるのは、基板1における入出力端子のパターン形
状の種類に応じたフラックスディスペンサ220及び、同
一パターン形状の予備用フラックスディスペンサ220な
どを用意しておくためである。このディスペンサ収容部
250は、第6図に示す半田ボールヘッド320の収容部340
とほぼ同様の構造となっており、ノズル221が収容孔
(図示せず)に干渉しない状態で収容される構成となっ
ている。
ボット310と、半田ボールヘッド320と、半田ボールヘッ
ド320の収容部340と、半田ボール振込み機350とからな
っている。
0より下流側においてコンベア10の近傍に配置された基
台311と、この基台311に、キャリア110の進行方向と同
方向(X軸方向)へ移動可能に設けられたアーム312
と、このアーム312に、キャリア110の進行方向と直角方
向(Y軸方向)へ移動可能に設けられた移動台313とか
らなっている。
軸方向)へ移動可能に設けてある。そして第5図に示す
ように、半田ボールヘッド320は下面の吸気孔ヘッド321
に多数の吸気孔322が設けてあり、この吸気孔322は、接
続管323を介して図示しない真空ポンプ、切換弁、及び
圧力センサ330などと接続している。
動によって吸(排)気を行ない、半田ボールを吸着した
り放出したりする。
ボールの自重によって吸気孔322から半田ボールは離れ
放出が可能となるが、吸気孔322の内部圧力を大気圧よ
り多少高めに切り換えると、半田ボールを、より一層迅
速かつ確実に吸気孔322から放出することができる。
322のいずれかに半田ボールが吸着されていないような
場合には、半田ボールヘッド320への接続管323内の空気
圧が基準値より高くなるので、この圧力変化を上記圧力
センサ330で検知し、制御手段400で半田ボールの吸着ミ
スと判定する。
にしてロボット310の基台311と対峙する位置に配設して
あり、複数個の半田ボールヘッド320を収容するように
してある。
るのは、基板1における入出力端子のパターン形状の種
類に応じた半田ボールヘッド320及び、同一パターン形
状の予備用半田ボールヘッド320などを用意しておくた
めである。
が設けてあり、半田ボールヘッド320は、吸気孔ヘッド3
21が収容孔341と干渉しない状態で収容される。
が設けてあり、半田ボールヘッド320が半田ボールの吸
着ミスを起したときには、半田ボールヘッド320を一度
収容部340のヘッド収容孔341まで移動させ、吸気孔322
で吸着している半田ボールをすべて回収トレイ342へ排
出する。ミスボール回収トレイ342を、上記のように収
容部340の下部に配設すると、設置スペースを兼用でき
装置の小型化を可能とする。しかし、ミスボール回収ト
レイ342の設置場所が、収容部の下部に限定されないこ
とは当然である。
ボール振込み機の側面一部断面図、第9図は半田ボール
振込み機の半田ボール収納穴の拡大断面図を示す。
み板351をスウィング自在に支持する基台352と、スウィ
ング手段を形成するモータ353とスウィング軸353aと、
振込み板351のスウィング方向(X軸方向)と直交する
方向(Y軸方向)に基台352を往復動させる駆動手段を
形成するレール354とクランク機構355などで構成されて
いる。
されており、平面長手方向一側には深い溝状の半田ボー
ル溜部351aを有し、他側には浅い溝状の平面ボールリタ
ーン部351bを有している。また、半田ボール溜部351aと
半田ボールリターン部351bの間には、半田ボールリター
ン部351bと接して多数の半田ボール収納穴351dがY軸方
向にマトリックス状に設けてあり、このマトリックス状
の半田ボール収納穴群と半田ボール溜部351aとの間には
傾斜面からなる半田ボール転動部351cが形成してある。
ス状に配置することにより、穴ピッチが同じであれば、
どのようなノズル配置パターンの半田ボール供給手段30
0、すなわち、どのような入出力端子パターンの基板1
にも対応できるようにしてある。
として、穴ピッチの異なる複数(図示のものは二種類)
の群を形成すると、基板1の入出力端子のピッチ変更に
容易に対応することができる。
クス状に配設するだけでなく、基板1の入出力端子パタ
ーンに対応させたパターンのものを複数種類配設した構
成とすることもできる。
351eが形成してあり、さらにその凹部351eと連通する吸
気孔351fが設けてある。この吸気孔351fは、振込み板35
1に形成した吸気孔351gを介して図示しない吸排気ポン
プ,切換弁などと接続している。
を形成すると、種々径の半田ボールを安定して収納する
ことができる。また、凹部351eと連通して吸気孔351fを
設け、吸気を行なわせることによって、半田ボールをし
っかりと半田ボール吸気穴351dに収納することができ
る。さらに、半田ボールヘッド320による半田ボール吸
着時に、吸気穴351fから空気を排出すると、半田ボール
を収納穴351dから確実に取り出すことができる。
る部分と、半田ボールリターン部351bとの境界部は、半
田ボール収納穴351dをマトリックス状に配設してある部
分を多少高い段部としてあり、リターンする半田ボール
がこの段部に当って振込み板351の長手方向と直交する
方向(Y軸方向)へ拡散しやすくなるようにしてある。
ィング軸353aが支承してあり、振込み板351のほぼ中央
はこのスウィング軸353aに固定してある。したがって、
スウィング軸353aがスウィングすると、振込み板351は
長手方向(X軸方向)においてシーソ運動を行なう。こ
のとき、モータ353の回転量を制御することによって、
スウィング軸353aを最初大きく、その後は小さく複数回
スウィングさせる。
動可能に載置され、かつ、クランク機構355のリンクと
連結している。したがって、モータ356によってクラン
ク機構355が揺動すると、基台352はY軸方向に往復運動
を行ない、振込み板351を揺さぶる状態となる。
給装置は、制御手段400からの指令にもとづいて、次の
ように作動する。
ャリア110に基板1が供給されセットされる。このと
き、図2に示すように、基板1のICチップ封止部1aを凹
部111に収納し、かつ、基板1の孔1bに位置決めピン112
が係合して、基板1キャリア110上の所定位置にセット
する。
る。この電気チェック手段30で異状ありと判定された基
板1は、作業員あるいは図示しないエジェクタ手段でキ
ャリア110ごとコンベア10上から除去される。
板1はフラックス供給手段200の前までキャリア110とと
もにコンベア10のベルト12によって移送される。フラッ
クス供給手段200の前の所定の位置にキャリア110が停止
すると、図示しない駆動手段によってロケータ13が上昇
し、ロケータ13の上部の位置決めピン14をキャリアの孔
113に係合させるとともに、キャリア110を一定量持ち上
げる(第2図参照)。これにより、キャリア110すなわ
ち基板1は、水平方向の位置決めと、高さ方向の位置決
めがなされる。
板1の入出力端子にフラックスを供給するため、フラッ
クスディスペンサ220が入出力端子に向って下降してく
る。このフラックスディスペンサ220としては、基板1
の入出力端子パターンと対応したパターンでノズル221
の配置されているものを、あらかじめロボット210が収
容部250から取り出し移動台213に取り付けてある。な
お、フラックスディスペンサ220のロボット210への装着
はマニュアルで行なってもよい。
ってディスペンサクリーナ230まで移動され、ここで、
ノズル221をクリーンにされ、さらに必要に応じディス
ペンサチェッカ240でノズル221からフラックスが供給さ
れているか否かをチェックされた後、前記基板1の入出
力端子まで移動され、ノズル221から適量のフラックス
を吐出する。
ケータ13が下降してキャリア110は再びベルト12に載置
され、半田ボール供給手段300の前まで移送される。こ
こでも、図示しない駆動手段によってロケータ13が上昇
し、ロケータ13の上部の位置決めピン14をキャリア110
の孔113に係合させるとともに、キャリア110を一定量持
ち上げる(第6図参照)。これにより、キャリア110す
なわち基板1は、水平方向の位置決めと、高さ方向の位
置決めがなされる。
かじめ、基板1の入出力端子パターンと対応したパター
ンで吸気孔322を設けてある半田ボールヘッド320を収容
部340から取り出して取り付けてある。そして、このロ
ボット310は、振込み機350まで移動し、半田ボールを吸
着する。
軸353aがスウィングするとともに、モータ356によって
クランク機構355を介し基台352がY軸方向に往復動す
る。これにより、振込み板351はX軸方向へのシーソ運
動とY軸方向への揺さぶりが同時に行なわれる。このと
きソース運動は、最初大きくし、その後2,3回小さく運
動させ、またY軸方向への揺さぶりは、半田ボール溜部
351a及び半田ボールリターン部351bの半田ボールが、Y
軸方向へ平均して拡散するような大きさで行なう。
み板351上をX軸方向に転動し、半田ボール溜部35aと半
田ボールリターン部351bとの間を数回往復し、その間に
半田ボール収納穴351dに落ちむ。このとき、半田ボール
収納穴351dは、底に設けてある吸気穴351fから吸気を行
なっているので、ボール収納穴351dに落ち込んだ半田ボ
ールは凹部351eに確実に収納される。
置まで下降すると、半田ボールヘッド320の吸気孔322が
吸気を行なうとともに、ボール収納穴351dの吸気孔351f
からの吸気を停止するように制御される。これにより、
ボール収納穴351d内に収納されていた半田ボールは、半
田ボールヘッド320の吸気孔322に吸着される。
た圧力センサ330は、半田ボールを吸着した半田ボール
ヘッド320の接続管322における圧力を測定する。そし
て、制御部400は、測定した圧力が基準圧力のときは、
半田ボールが半田ボールヘッド320の全吸気孔322に吸着
されている正常状態と判定し、また、測定した圧力が基
準圧力より高いときは、吸気孔322の一部に半田ボール
が吸着されていない不良状態と判定する。
は、ロボット310によって、フラックスが供給されてい
る基板1の入出力端子上まで移動させられる。その後、
半田ボールヘッド320は、半田ボールを入出力端子上に
多少押し付けるとともに、吸気孔322の吸気を停止させ
る。これにより、半田ボールは、基板1の入出力端子上
に供給される。
320は、ロボット310によって、半田ボールヘッド320の
存在しない収容部340のヘッド収容孔341上まで移動させ
られる。その後、半田ボールヘッド320の吸気孔322から
の吸気を停止させることにより、半田ボールをヘッド収
容孔341からミスボール回収トレイ342に排出する。半田
ボールを排出した半田ボールヘッド320は、再度、ロボ
ット310によって振込み機350まで移動させられ、半田ボ
ールの吸着を行なう。
のピッチに応じて、フラックスディスペンサ220と半田
ボールヘッド320をそれぞれ複数台用意しておき、これ
らの中から、入出力端子のパターン及びピッチに応じた
フラックスディスペンサ220と半田ボールヘッド320をそ
れぞれ選択して用いる。
ボールの供給対象となる基板1の入出力端子間ピッチと
同じピッチでマトリックス状に設けてあるので、端子間
ピッチが同じピッチか整数倍のピッチである種々の入出
力端子パターンに対応することができる。
子間ピッチが複数種類あるとには、振込み機350に、こ
れら複数種類のピッチに対応したピッチで半田ボール収
納穴351dをマトリックス状に設ける。図示の振込み機
は、二種類のピッチからなる半田ボール収納穴群を、そ
れぞれマトリックス状に設けた例を示している。
穴群を設けたものを複数台、及び/又は異なった種類の
半田ボール収納穴群を設けたものを複数台設けることも
可能である。
ボールヘッド320が一方の振込み機350から半田ボールを
取り出している間に、他方の振込み機350が振込み動作
を行なってボール収納穴351dに半田ボールを収納させる
ことができる。また、振込み機350における半田ボール
が少なくなっているときには半田ボールの補充を行なわ
せたりすることもできる。これにより、半田ボール振込
み機350からの半田ボール取り出し作業を待ち時間なし
に行なうことが可能となる。
に、配置してあるノズル221のピッチ及び/又はパター
ンが異なる複数台のフラックスディスペンサ220を取り
付ける構成とすることもできる。このようにすると、フ
ラックスディスペンサ220の交換が不要になるか(この
場合、フラックス収容部250も不要になる)、交換を必
要としても頻繁な交換は不要になる。
き、ロボット310に、吸気孔322のピッチ及び/又はパタ
ーンが異なる複数台の半田ボールヘッド320を取り付け
る構成とすることもできる。
を示す平面である。
り、半田ボールの供給対象である基板の供給、フラック
スディスペンサに装着するフラックスノズル、及び半田
ボールヘッドに装着する吸気孔ヘッドの交換等を、作業
員の操作、指令で行なうようにしてある。
田ボール供給手段のロボットを共用化してフラックス・
半田ボール供給手段とするとともに、各手段を装置カバ
ーで覆った構成としてある。
基板供給部15aが位置し、装置カバー500の内側に半田ボ
ール供給部15bが位置するように設けてある。この搬送
スライダ15は、前述した第一実施態様と同様に、コンベ
ア10で構成してもよいが、コンベアに代えて、搬送スラ
イダとして通常用いられているボールスクリュウとナッ
トあるいはシリンダなどを用いて構成することもでき
る。この搬送スライダ15は、前述した第一実施態様にお
けるキャリアと同様のキャリア110を、基板供給部15aと
半田ボール供給部15bとの間で往復動させる。そして、
この搬送スライダ15は、二セット並行して設けてある。
ャリア110の位置決めは、前述した第一実施態様と同様
の手段、あるいは位置決め手段として通常用いられてい
る手段によって行なう。キャリア110への基板供給を、
作業員が手作業で行なう場合には、キャリア110の基板
供給部15aへの高い位置決め精度は要求されない。
は、基台511と、この基台511の長手方向(X軸方向)へ
移動可能に設けられたアーム512と、このアーム512に、
アーム512の移動方向と直角方向(Y軸方向)へ移動可
能に設けられた移動台513と、この移動台513に、上下方
向へ移動可能に設けられたロボットヘッド514とからな
っている。
示すように、フラックスヘッド521と半田ボールヘッド5
31を交換可能に装着する手段を有している。また、フラ
ックスヘッド521はフラックスディスペンサ522を交換可
能に装着する手段を有し、半田ボールヘッド531は、吸
気孔ヘッド532を交換可能に装着する手段を有してい
る。ロボットヘッド514におけるフラックスヘッド521と
半田ボールヘッド531を装着する手段、及び、フラック
スヘッド521と半田ボールヘッド531におけるフラックス
ディスペンサ522と吸気孔ヘッド532を装着する手段とし
ては、公知の装着手段を用いることができる。
1に収納されている。また、フラックスディスペンサ522
と吸気孔ヘッド532は、基板1における入出力端子のパ
ターン形状に応じてノズル523を配置したものと、吸気
孔(図示せず)を配置したものを何種類か用意してあ
り、これらを収容部542に並べて収納してある。なお、
この第二実施態様におけるフラックスヘッド521は、フ
ラックスタンク524を装備した構成としてある。
及び半田ボール振込み機350も、前述した第一実施態様
のものと同様の構成としてある。なお、この第二実施態
様においては、ミスボール回収トレイ550を収容部542と
別個に設けてある。しかし、第一実施態様のものと同様
に、収容部542の半田ボールヘッド531の収納孔の下部に
ミスボール回収トレイ550を設けることは当然可能であ
る。
ラックスヘッド521と半田ボールヘッド531を収納する置
台541、フラックスディスペンサ522と吸気孔ヘッド532
を収納する収容部、ディスペンサクリーナ230、ディス
ペンサチェッカ240、ミスボール回収トレイ550、及び半
田ボールの振込み機350は、ロボット510の作動領域内に
配設してある。
給装置は、次のように作動する。
るキャリア110へ基板1をセットする。基板1のセット
終了後、操作盤600を操作して搬送スライダ15を作動さ
せキャリア110を半田ボールの供給部15bまで移動させ
る。次いで、操作盤600から、基板1の入出力端子パタ
ーンと同じパターンのフラックスディスペンサ522と吸
気孔ヘッド532を指定する。
る。この指定にもとづき、フラックス・半田ボール供給
手段のロボット510が移動し、置台541からフラックスヘ
ッド521を取り出してロボットヘッド514に装着する。次
いで、ノズル配置が、指定されたパターンとなっている
フラックスディスペンサ522を収容部542から取り出しフ
ラックスヘッド521に装着する。なお、フラックスヘッ
ド521に対するフラックスディスペンサ522の装着はマニ
ュアルで行なってもよい。
き、フラックスディスペンサ522をディスペンサクリー
ナ230まで移動させて、ノズル523に付着しているフラッ
クス溜りを取り除く。次いで、必要に応じディスペンサ
チェッカ240でノズル523からフラックスが吐出されてい
ることを確認した後、フラックスディスペンサ522を基
板1まで移動させ、このフラックスディスペンサ522か
ら入出力端子上に適量のフラックスを吐出する。
ラックスディスペンサ522をロボットヘッド514から取り
外して置台541に収納する。次いで、置台541から半田ボ
ールヘッド531を取り出してロボットヘッド514に装着
し、さらに吸気孔の配置が指定されたパターンとなって
いる吸気孔ヘッド532を収容部542から取り出して半田ボ
ールヘッド531に装着する。
き、半田ボールヘッド531は、振込み機350まで移動して
吸気孔ヘッド532に半田ボールを吸着し、さらに基板1
まで移動して入出力端子上に半田ボールを供給する。
スと半田ボールを供給すると待機位置に戻る。作業員
は、基板に半田ボールが供給されたことを確認すると、
操作盤600を操作してキャリア110を搬送スライド15の基
板供給部15aまで戻し、基板1を取り出す。
は、上述した、一方の基板へのフラックスと半田ボール
の供給動作の間に、新たな基板1をセットしておき、半
田ボールの供給が済んだ基板を供給部15aに戻すと同時
に、他方の基板1を半田ボールの供給部15bへ移動させ
て、新たなフラックス及び半田ボールの供給を行なわせ
る。
供給方法は、表面実装タイプのチップ部品を基板へ固着
するための半田供給、あるいはフリップチップへの半田
供給などのように、多数の半田ボールを同時に供給する
ことで生産性の向上を図ることができる産業分野におい
て利用すると有用である。
Claims (23)
- 【請求項1】半田ボールを収納する半田ボール収納穴を
マトリックス状に設けた振込み機と、 この振込み機をスウィングさせて前記半田ボールを前記
振込み機内で移動させ、前記収納穴へ収納させる駆動手
段と、 前記振込み機に設けた半田ボール収納穴と同じピッチで
多数の吸気孔を設けたヘッド部を有し、このヘッド部で
半田ボール収納穴から多数の半田ボールを同時に取り出
し、所定位置に搬送、供給する半田ボール供給手段を 具備した半田ボール供給装置。 - 【請求項2】前記半田ボール供給手段のヘッド部に設け
た吸気孔と同じパターンでノズルを配置したフラックス
ディスペンサを有し、半田ボールの供給に先立ち、半田
ボールを供給する所定位置にフラックスを供給するフラ
ックス供給手段を具備した請求項1記載の半田ボール供
給装置。 - 【請求項3】前記フラックス及び半田ボールを供給する
所定位置が、移送手段にセットされたプリント基板上の
ICチップ入出力端子である請求項1又は2記載の半田ボ
ール供給装置。 - 【請求項4】前記移送手段が、深い凹部を有し、基板に
搭載されているICチップを収容することによって、ICチ
ップの厚さにかかわらず基板の入出力端子を一定の高さ
に位置させる構成となっている請求項3記載の半田ボー
ル供給装置。 - 【請求項5】前記振込み機が、異なったピッチからなる
半田ボール収納穴をそれぞれマトリックス状に配設して
なる複数の半田ボール収納穴群を有する請求項1,2,3又
は4記載の半田ボール供給装置。 - 【請求項6】前記半田ボール収納穴に、半田ボール収納
時に吸気し、半田ボール取り出し時に排気する吸排気手
段を連接した請求項1,2,3,4又は5記載の半田ボール供
給装置。 - 【請求項7】前記振込み機が、半田ボールの転動方向に
初め大きくスウィングし、その後複数回小さくスウィン
グする構成である請求項1,2,3,4,5又は6記載の半田ボ
ール供給装置。 - 【請求項8】前記振込み機が、半田ボールの転動方向と
直交する方向に、前記スウィングと同期して往復動する
構成である請求項7記載の半田ボール供給装置。 - 【請求項9】前記半田ボール供給手段が、複数種類の半
田ボールヘッドを交換可能に装着し、かつ複数種類の半
田ボールヘッドを収納する収容部を具備した請求項1,2,
3,4,5,6,7又は8記載の半田ボール供給装置。 - 【請求項10】前記収納部と一体的、ミスボール回収ト
レイを設けた請求項9記載の半田ボール供給装置。 - 【請求項11】前記フラックス供給手段が、フラックス
ディスペンサのノズルに付着するフラックス溜りを除去
するフラックスクリーナを具備した請求項2記載の半田
ボール供給装置。 - 【請求項12】前記フラックス供給手段が、フラックス
ディスペンサのノズルからの吐出状態をチェックするフ
ラックスチェッカを具備した請求項2又は11記載の半田
ボール供給装置。 - 【請求項13】半田ボール供給手段が、吸気孔のパター
ン及び吸気孔間ピッチの異なる複数台の半田ボールヘッ
ドを有し、これら複数台の半田ボールヘッドを選択的に
用いる構成となっている請求項1,2,3,4,5,6,7又は8記
載の半田ボール供給装置。 - 【請求項14】フラックス供給手段が、ノズルの配置パ
ターン及び/又はノズル間ピッチの異なる複数台のフラ
ックスディスペンサを有し、これら複数台のフラックス
ディスペンサを選択的に用いる構成となっている請求項
2,3又は4記載の半田ボール供給装置。 - 【請求項15】フラックス供給のためのロボットと半田
ボール供給のためのロボットを共用し、このロボットの
ヘッドにフラックスヘッドと半田ボールヘッドを選択的
に交換して装着する構成とした請求項2,3,4,5,6,7,8,9,
10,11又は12記載の半田ボール供給装置。 - 【請求項16】前記フラックスヘッドにフラックスディ
スペンサを交換可能に装着し、前記半田ボールヘッドに
吸気孔ヘッドを交換可能に装着する構成とした請求項13
記載の半田ボール供給装置。 - 【請求項17】振込み機をスウィングさせて半田ボール
を前記振込み機内で移動させ、前記半田ボールをマトリ
ックス状に配列させる工程と、吸気孔を有するヘッド部
で前記半田ボールをマトリックス状に取出し、所定の位
置に搬送、供給する工程とからなる半田ボール供給方
法。 - 【請求項18】前記ヘッド部で半田ボールを供給する工
程に先立ち、半田ボールを供給する所定位置にフラック
スを供給するフラックス供給工程を有する請求項17記載
の半田ボール供給方法。 - 【請求項19】前記半田ボールを、プリント基板上のIC
チップ入出力端子上に供給する請求項17又は18記載の半
田ボール供給方法。 - 【請求項20】前記フラックスを供給する工程に先立
ち、前記プリント基板のICチップ入出力端子を常に一定
の高さに位置決めする工程を有する請求項18又は19記載
の半田ボール供給方法。 - 【請求項21】前記ヘッド部が半田ボールの吸着ミスを
起こしたときには、吸着した半田ボールをすべて排出
し、再度半田ボールをマトリックス状に取り出す請求項
17,18,19又は20記載の半田ボール供給装置。 - 【請求項22】前記フラックスの供給をディスペンサノ
ズルで行う場合において、フラックス供給に先立ち、デ
ィスペンサノズルに付着しているフラックス溜りを除去
する工程を有する請求項18,19,20又は21に記載の半田ボ
ール供給方法。 - 【請求項23】前記フラックスの供給をディスペンサノ
ズルで行う場合において、一回又は何回かごとにフラッ
クスの吐出状態をチェックする工程を有する請求項18,1
9,20,21又は22記載の半田ボール供給方法。
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5467913A (ja) |
JP (1) | JP3303109B2 (ja) |
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WO (1) | WO1994028580A1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006253342A (ja) * | 2005-03-10 | 2006-09-21 | Sony Corp | 半導体装置の接合方法及びフラックス転写ピン |
JP2016154193A (ja) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | 株式会社日立製作所 | 基板処理装置、基板処理システム、及び基板処理方法 |
KR20190044014A (ko) * | 2017-10-19 | 2019-04-29 | 엘지디스플레이 주식회사 | 제조 장치 |
KR102670836B1 (ko) * | 2017-10-19 | 2024-05-30 | 엘지디스플레이 주식회사 | 제조 장치 |
Families Citing this family (80)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5615823A (en) * | 1994-07-26 | 1997-04-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Soldering ball mounting apparatus and method |
JP3528264B2 (ja) * | 1994-08-19 | 2004-05-17 | ソニー株式会社 | ソルダーボールのマウント装置 |
US5657528A (en) * | 1994-08-25 | 1997-08-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of transferring conductive balls |
JP3079921B2 (ja) * | 1994-11-28 | 2000-08-21 | 松下電器産業株式会社 | 半田ボールの搭載装置および搭載方法 |
JP3271461B2 (ja) * | 1995-02-07 | 2002-04-02 | 松下電器産業株式会社 | 半田ボールの搭載装置および搭載方法 |
US6939173B1 (en) | 1995-06-12 | 2005-09-06 | Fci Americas Technology, Inc. | Low cross talk and impedance controlled electrical connector with solder masses |
TW267265B (en) * | 1995-06-12 | 1996-01-01 | Connector Systems Tech Nv | Low cross talk and impedance controlled electrical connector |
JP3158966B2 (ja) * | 1995-06-19 | 2001-04-23 | 松下電器産業株式会社 | バンプ付電子部品の製造装置および製造方法 |
US5685477A (en) * | 1995-06-28 | 1997-11-11 | Intel Corporation | Method for attaching and handling conductive spheres to a substrate |
JP3120714B2 (ja) * | 1995-10-31 | 2000-12-25 | 松下電器産業株式会社 | 導電性ボールの搭載装置 |
DE19541996C2 (de) * | 1995-11-10 | 1997-09-25 | David Finn | Vorrichtung zur Applikation von Verbindungsmaterialeinheiten |
DE19544929C2 (de) * | 1995-12-01 | 2001-02-15 | Fraunhofer Ges Forschung | Vorrichtung zum flußmittelfreien Aufbringen eines Lötmittels auf ein Substrat oder einen Chip |
US5753904A (en) * | 1995-12-29 | 1998-05-19 | Motorola, Inc. | Tool for detecting missing balls using a photodetector |
KR100268632B1 (ko) * | 1996-03-08 | 2000-10-16 | 야마구치 다케시 | 범프형성방법 및 장치 |
KR100262844B1 (ko) * | 1996-04-01 | 2000-09-01 | 모리시타 요이찌 | 도전성 보올의 탑재장치 및 방법 |
US6093035A (en) * | 1996-06-28 | 2000-07-25 | Berg Technology, Inc. | Contact for use in an electrical connector |
US6024584A (en) * | 1996-10-10 | 2000-02-15 | Berg Technology, Inc. | High density connector |
JP3397051B2 (ja) * | 1996-08-20 | 2003-04-14 | 松下電器産業株式会社 | 導電性ボールの搭載装置および搭載方法 |
US6042389A (en) * | 1996-10-10 | 2000-03-28 | Berg Technology, Inc. | Low profile connector |
US6241535B1 (en) | 1996-10-10 | 2001-06-05 | Berg Technology, Inc. | Low profile connector |
TW406454B (en) | 1996-10-10 | 2000-09-21 | Berg Tech Inc | High density connector and method of manufacture |
US6139336A (en) * | 1996-11-14 | 2000-10-31 | Berg Technology, Inc. | High density connector having a ball type of contact surface |
US6230963B1 (en) * | 1997-01-28 | 2001-05-15 | Eric L. Hertz | Method and apparatus using colored foils for placing conductive preforms |
US6412685B2 (en) * | 1997-01-28 | 2002-07-02 | Galahad, Co. | Method and apparatus for release and optional inspection for conductive preforms placement apparatus |
US6202918B1 (en) | 1997-01-28 | 2001-03-20 | Eric Hertz | Method and apparatus for placing conductive preforms |
US6641030B1 (en) * | 1997-02-06 | 2003-11-04 | Speedline Technologies, Inc. | Method and apparatus for placing solder balls on a substrate |
US6427903B1 (en) * | 1997-02-06 | 2002-08-06 | Speedline Technologies, Inc. | Solder ball placement apparatus |
US6056190A (en) * | 1997-02-06 | 2000-05-02 | Speedline Technologies, Inc. | Solder ball placement apparatus |
US6003753A (en) * | 1997-07-14 | 1999-12-21 | Motorola, Inc. | Air-blow solder ball loading system for micro ball grid arrays |
US6182356B1 (en) | 1997-11-24 | 2001-02-06 | International Business Machines Corporation | Apparatus for solder ball mold loading |
US6237219B1 (en) * | 1998-03-05 | 2001-05-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of mounting conductive ball |
JP4045517B2 (ja) * | 1998-09-25 | 2008-02-13 | 澁谷工業株式会社 | フラックス転写装置 |
US6595408B1 (en) * | 1998-10-07 | 2003-07-22 | Micron Technology, Inc. | Method of attaching solder balls to BGA package utilizing a tool to pick and dip the solder ball in flux prior to placement |
US6268275B1 (en) * | 1998-10-08 | 2001-07-31 | Micron Technology, Inc. | Method of locating conductive spheres utilizing screen and hopper of solder balls |
US6325272B1 (en) | 1998-10-09 | 2001-12-04 | Robotic Vision Systems, Inc. | Apparatus and method for filling a ball grid array |
JP3932501B2 (ja) * | 1998-12-01 | 2007-06-20 | 澁谷工業株式会社 | ボールマウント装置 |
JP3024113B1 (ja) * | 1999-01-27 | 2000-03-21 | 株式会社日鉄マイクロメタル | 金属球配列方法及び配列装置 |
WO2000049382A2 (en) * | 1999-02-16 | 2000-08-24 | The Perkin-Elmer Corporation | Bead dispensing system |
JP3283026B2 (ja) * | 1999-04-30 | 2002-05-20 | 新光電気工業株式会社 | ボール状端子の吸着装置及びボール状端子の搭載方法 |
JP4598240B2 (ja) * | 1999-06-24 | 2010-12-15 | アスリートFa株式会社 | ボール搭載装置及びボール搭載方法 |
US6276598B1 (en) * | 1999-07-13 | 2001-08-21 | Asm Assembly Automation Ltd. | Method and apparatus for ball placement |
JP4143788B2 (ja) * | 1999-08-04 | 2008-09-03 | 澁谷工業株式会社 | ボールマウント装置及びマウント方法 |
US6355298B1 (en) * | 1999-08-23 | 2002-03-12 | Asm Assembly Automation Ltd. | Placement system apparatus and method |
US6386433B1 (en) | 1999-08-24 | 2002-05-14 | Kulicke & Soffa Investments, Inc. | Solder ball delivery and reflow apparatus and method |
US6227437B1 (en) | 1999-08-24 | 2001-05-08 | Kulicke & Soffa Industries Inc. | Solder ball delivery and reflow apparatus and method of using the same |
SG97164A1 (en) | 2000-09-21 | 2003-07-18 | Micron Technology Inc | Individual selective rework of defective bga solder balls |
KR100694462B1 (ko) * | 2001-04-02 | 2007-03-12 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체 자재의 신호인출단자 형성 장치 및 그 형성 방법 |
DE20106464U1 (de) * | 2001-04-12 | 2001-08-02 | Pac Tech Gmbh | Vorrichtung zum Aufbringen von Lotkugeln |
US6607118B2 (en) | 2001-04-30 | 2003-08-19 | Asm Assembly Automation Limited | Apparatus and method for ball release |
US6739498B2 (en) * | 2001-05-17 | 2004-05-25 | Intel Corporation | Solder ball attachment system |
JP4126996B2 (ja) * | 2002-03-13 | 2008-07-30 | セイコーエプソン株式会社 | デバイスの製造方法及びデバイス製造装置 |
JP4258759B2 (ja) * | 2003-06-26 | 2009-04-30 | 澁谷工業株式会社 | 半田ボール搭載方法及び装置 |
EP1645173A2 (en) | 2003-07-16 | 2006-04-12 | Gryphics, Inc. | Electrical interconnect assembly with interlocking contact system |
US7297003B2 (en) | 2003-07-16 | 2007-11-20 | Gryphics, Inc. | Fine pitch electrical interconnect assembly |
US7537461B2 (en) * | 2003-07-16 | 2009-05-26 | Gryphics, Inc. | Fine pitch electrical interconnect assembly |
US7186645B2 (en) * | 2003-10-13 | 2007-03-06 | Intel Corporation | Selective plating of package terminals |
JP4042914B2 (ja) * | 2005-04-22 | 2008-02-06 | Tdk株式会社 | 半田付け装置及び半田分配装置 |
WO2007109608A2 (en) | 2006-03-20 | 2007-09-27 | Gryphics, Inc. | Composite contact for fine pitch electrical interconnect assembly |
US7494913B2 (en) * | 2006-08-31 | 2009-02-24 | Intel Corporation | Microball placement solutions |
JP4247919B2 (ja) * | 2006-09-25 | 2009-04-02 | Tdk株式会社 | 導電性材料の供給装置及び供給方法 |
SG194412A1 (en) * | 2006-11-22 | 2013-11-29 | Rokko Ventures Pte Ltd | An improved ball mounting apparatus and method |
US8671561B2 (en) * | 2007-05-24 | 2014-03-18 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Substrate manufacturing method |
US8366485B2 (en) | 2009-03-19 | 2013-02-05 | Fci Americas Technology Llc | Electrical connector having ribbed ground plate |
US8237171B2 (en) * | 2010-02-09 | 2012-08-07 | Microsemi Corporation | High voltage high package pressure semiconductor package |
US8587107B2 (en) * | 2010-02-09 | 2013-11-19 | Microsemi Corporation | Silicon carbide semiconductor |
EP2624034A1 (en) | 2012-01-31 | 2013-08-07 | Fci | Dismountable optical coupling device |
USD727852S1 (en) | 2012-04-13 | 2015-04-28 | Fci Americas Technology Llc | Ground shield for a right angle electrical connector |
USD718253S1 (en) | 2012-04-13 | 2014-11-25 | Fci Americas Technology Llc | Electrical cable connector |
US8944831B2 (en) | 2012-04-13 | 2015-02-03 | Fci Americas Technology Llc | Electrical connector having ribbed ground plate with engagement members |
USD727268S1 (en) | 2012-04-13 | 2015-04-21 | Fci Americas Technology Llc | Vertical electrical connector |
US9257778B2 (en) | 2012-04-13 | 2016-02-09 | Fci Americas Technology | High speed electrical connector |
JP2014011231A (ja) * | 2012-06-28 | 2014-01-20 | Hitachi Ltd | ハンダボール印刷搭載装置 |
US9543703B2 (en) | 2012-07-11 | 2017-01-10 | Fci Americas Technology Llc | Electrical connector with reduced stack height |
USD751507S1 (en) | 2012-07-11 | 2016-03-15 | Fci Americas Technology Llc | Electrical connector |
USD745852S1 (en) | 2013-01-25 | 2015-12-22 | Fci Americas Technology Llc | Electrical connector |
USD720698S1 (en) | 2013-03-15 | 2015-01-06 | Fci Americas Technology Llc | Electrical cable connector |
US20160181222A1 (en) * | 2014-12-23 | 2016-06-23 | Mohit Sood | Pickhead for solder ball placement on an integrated circuit package |
KR102121467B1 (ko) * | 2016-01-22 | 2020-06-10 | 캡콘 리미티드 | 부품 패키징 장치 및 그 방법 |
US11440117B2 (en) * | 2019-09-27 | 2022-09-13 | Jian Zhang | Multiple module chip manufacturing arrangement |
KR20230144626A (ko) * | 2021-07-20 | 2023-10-16 | 가부시키가이샤 신가와 | 플럭스 전사 장치 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4558812A (en) * | 1984-11-07 | 1985-12-17 | At&T Technologies, Inc. | Method and apparatus for batch solder bumping of chip carriers |
JPS61242759A (ja) * | 1985-04-19 | 1986-10-29 | Hitachi Ltd | 成形はんだ塔載装置 |
US5279045A (en) * | 1990-01-31 | 1994-01-18 | Hitachi, Ltd. | Minute particle loading method and apparatus |
US5088639A (en) * | 1991-01-25 | 1992-02-18 | Motorola, Inc. | Soldering process |
JPH05109839A (ja) * | 1991-10-21 | 1993-04-30 | Fujitsu Ltd | はんだ供給方法および、それに使用するマスクへのはんだ供給装置 |
US5205896A (en) * | 1992-02-03 | 1993-04-27 | Hughes Aircraft Company | Component and solder preform placement device and method of placement |
US5284287A (en) * | 1992-08-31 | 1994-02-08 | Motorola, Inc. | Method for attaching conductive balls to a substrate |
JPH06124275A (ja) * | 1992-10-13 | 1994-05-06 | Ricoh Co Ltd | 信号処理装置 |
-
1994
- 1994-03-02 WO PCT/JP1994/000337 patent/WO1994028580A1/ja active Application Filing
- 1994-03-02 SG SG1996001160A patent/SG42943A1/en unknown
- 1994-03-02 JP JP52142494A patent/JP3303109B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1994-03-02 US US08/319,660 patent/US5467913A/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-03-02 GB GB9424776A patent/GB2284933B/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-03-02 KR KR1019940703657A patent/KR100343520B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1994-03-30 TW TW083102746A patent/TW261558B/zh not_active IP Right Cessation
-
1997
- 1997-06-26 HK HK116497A patent/HK116497A/xx not_active IP Right Cessation
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006253342A (ja) * | 2005-03-10 | 2006-09-21 | Sony Corp | 半導体装置の接合方法及びフラックス転写ピン |
JP4586583B2 (ja) * | 2005-03-10 | 2010-11-24 | ソニー株式会社 | 半導体装置の接合方法 |
JP2016154193A (ja) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | 株式会社日立製作所 | 基板処理装置、基板処理システム、及び基板処理方法 |
KR20190044014A (ko) * | 2017-10-19 | 2019-04-29 | 엘지디스플레이 주식회사 | 제조 장치 |
KR102670836B1 (ko) * | 2017-10-19 | 2024-05-30 | 엘지디스플레이 주식회사 | 제조 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100343520B1 (ko) | 2002-11-23 |
US5467913A (en) | 1995-11-21 |
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GB2284933A (en) | 1995-06-21 |
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SG42943A1 (en) | 1997-10-17 |
GB9424776D0 (en) | 1995-03-01 |
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