JP4586583B2 - 半導体装置の接合方法 - Google Patents
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Description
すなわち、本発明の半導体装置の接合方法は、フラックス転写ピンの先端部にフラックスを付与する工程と、その先端部を、半導体装置に形成された突起電極と接合対象物に形成された突起電極の少なくともどちらか一方の突起電極に突き当ててその突起電極にくぼみを形成すると共にそのくぼみにフラックスを転写する工程と、くぼみが形成され且つフラックスが転写された一方の突起電極と、他方の突起電極とを圧接させた状態で加熱溶融させて接合させる工程と、を有する。
図1〜図5は、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の接合方法を示す。以下に詳述する接合方法によって、図5に示すように半導体装置1は突起電極12を介して接合対象物5と接合される。半導体装置1としては、フリップチップ、CSP(Chip Size Package)、BGA(Ball Grid Array)などが挙げられる。接合対象物5は、フリップチップ、CSP、BGAなどの半導体装置、インターポーザ基板、その配線基板などである。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。なお、上記第1の実施形態と同じ構成部分には同一の符号を付しその詳細な説明は省略する。
次に、本発明の第3の実施形態について説明する。なお、上記第1、第2の実施形態と同じ構成部分には同一の符号を付しその詳細な説明は省略する。
次に、本発明の第4の実施形態について説明する。なお、上記第1、第2、第3の実施形態と同じ構成部分には同一の符号を付しその詳細な説明は省略する。
Claims (2)
- 半導体装置と接合対象物とを互いの接合面にそれぞれ形成された突起電極どうしを接合させて一体とする半導体装置の製造方法であって、
フラックス転写ピンの先端部を、前記半導体装置に形成された突起電極と前記接合対象物に形成された突起電極の少なくともどちらか一方の突起電極に突き当ててその突起電極にくぼみを形成し、
前記フラックス転写ピンの内部に形成され前記先端部に通じる中空孔を介してフラックス供給源からのフラックスを前記先端部から前記くぼみに転写し、
前記くぼみが形成され且つ前記フラックスが転写された一方の突起電極と、他方の突起電極とを圧接させた状態で加熱溶融させて接合させる
半導体装置の接合方法。 - 前記フラックス転写ピンの前記先端部には、隣接する前記突起電極間のピッチにあわせたピッチで複数の角部が形成され、
前記複数の角部を前記複数の突起電極に対して同時に突き当てる
請求項1に記載の半導体装置の接合方法。
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