JP5615572B2 - プローブ清掃ユニット及びそれを備えたパネル検査装置並びにプローブ清掃方法 - Google Patents

Description

本発明は、液晶パネルなどの表示パネルの検査装置におけるプローブの清掃に用いるプローブ清掃ユニット及びそれを備えたパネル検査装置、並びにプローブ清掃方法に関するものである。

液晶パネルなどの表示パネルを実際に点灯させて画素における欠陥の有無を検査する点灯検査装置においては、複数のプローブを有するプローブ組立体が複数取り付けられたプローブユニットを、検査対象パネルに対して相対的に移動させて、前記複数のプローブを検査対象パネルの電極と接触させることが必要である。ところが、プローブが検査対象パネルの電極と接触すると、プローブ先端部には電極素材であるアルミニウムなどの金属が削られて金属屑となって付着することは避けられない。付着した金属屑は酸化すると絶縁体となるので、プローブと電極との接触回数が増すと、プローブ先端に付着した金属屑の酸化物によってプローブと電極間の電気的導通が妨げられて検査に支障をきたすことがある。また、電極素材である金属以外にも、電極周辺に残存する封止材の滓やその他のゴミ等の異物がプローブ先端部に付着することがあるので、表示パネルの検査枚数が増えるに連れて、プローブと電極間のコンタクト不良の発生頻度が増える傾向にあった。

このため、従来から、プローブを検査対象パネルの電極と接触させて検査を行うパネル検査装置においては、一定枚数の表示パネルの検査を行うと、プローブ組立体をプローブユニットから取り外し、研磨用の治具にセットしてプローブ先端部を研磨して清掃し、清掃後、再びプローブユニットに取り付ける作業が定期的に行われている。しかし、プローブ組立体のプローブユニットからの取り外しや、プローブユニットへの取り付けには時間と労力を要し、作業負担が嵩む上に、その間は検査を行うことができないので、検査効率が悪化するという問題点があった。

このような不都合を解消するため、プローブ組立体をプローブユニットに取り付けたまま、プローブ先端部の研磨、清掃を行うようにすることも従来から提案されている。例えば、特許文献１には、所定枚数の液晶パネルの検査を行った後、液晶パネルの代わりに磨りガラス板を検査台に載置し、この磨りガラス板にプローブ先端を接触させて、プローブ先端部を研磨する方法が開示されている。しかし、この研磨方法では、液晶パネルとほぼ同じ大きさの大型の磨りガラス板が必要であり、研磨時には磨りガラス板を検査台に載置し、研磨が終了すると磨りガラス板を検査台から取り外さなければならず、手間が掛かる上に、研磨時には全プローブが磨りガラスと接触するので、清浄なプローブまでもが研磨されてしまうという不都合がある。

また、特許文献２においては、検査対象である液晶パネルの電極間に、研磨材を混入した樹脂絶縁膜を形成し、プローブと電極間にコンタクト不良が発生した場合には、プローブの位置をずらして、プローブをこの液晶パネル上の樹脂絶縁膜と接触させることにより、プローブ先端部のクリーニングを行うようにする方法が提案されている。しかし、この方法では、個々の液晶パネルにわざわざ樹脂絶縁膜を形成する必要があり、液晶パネルの製造コストが嵩むことになるので、到底、現実的な方法とはいえない。また、この場合にも、研磨時には全プローブが研磨材入りの樹脂絶縁膜と接触することになるので、清浄なプローブまでもが研磨されてしまうという不都合がある。

さらには、特許文献３には、複数のプローブを備えたプローブ組立体のそれぞれに揺動アームを取り付け、この揺動アームの先端部に清掃バーを取り付けたパネル検査装置が開示されている。液晶パネルを載置したチャックトップが上昇すると、それに伴い揺動アームが揺動し、清掃バーが液晶パネルの電極面と接触して電極面の清掃を行うと共に、清掃バーはプローブ先端とも接触して、プローブの清掃も行うことができる。しかし、特許文献３に開示されているパネル検査装置では、個々のプローブ組立体のそれぞれに、清掃バーを備えた揺動アームを取り付けなければならず、検査装置の製造コストが高くなる上に、プローブ先端部の清掃は、清掃バーをプローブ先端部と接触させるだけであるので、例えば、付着したアルミニウムなどの金属屑の除去が十分には行えないという物足りなさがある。

特開平７−１９９１４１号公報 特開２０００−６６１８４号公報 特開２００８−４５９３７号公報

本発明は、上記従来技術の欠点を解決するために為されたもので、大型の磨りガラス板や、特殊な液晶パネルを必要とせず、汚れがひどくなったプローブ組立体だけを選んで、効率良くプローブのクリーニングを行うことができるプローブ清掃ユニット及びそれを備えたパネル検査装置、並びにプローブ清掃方法を提供することを課題とする。

上記の課題を解決すべく種々試行錯誤を重ねた結果、本発明者らは、プローブ清掃手段を備えたプローブ清掃ユニットを、プローブユニットを構成する個々のプローブ組立体に対応する各々の位置間で移動可能なものとすることによって、汚れがひどく清掃が必要なプローブを、プローブ組立体単位で、効率良く、研磨、清掃することが可能となることを見出し、本発明を完成した。

すなわち、本発明は、複数のプローブを有するプローブ組立体を１又は複数備えたプローブユニットを有し、当該プローブユニットを検査対象パネルに対して相対的に移動させて前記複数のプローブを検査対象パネルの電極と接触させ、検査対象パネルの検査を行うパネル検査装置に用いられるプローブ清掃ユニットであって；当該プローブ清掃ユニットは、パネル検査装置のプローブユニットに対し、少なくとも前記プローブ組立体のそれぞれに対応する位置の間で移動可能に取り付けられるアーム部と；前記アーム部に取り付けられた本体部と；前記本体部に直線状に往復動可能に支持された移動ベースと；前記移動ベースを前記本体部に対して直線状に往復動させる手段と；前記移動ベースを前記本体部に対して直線状に往復動させたときに、前記移動ベースに取り付けられる第１清掃手段が前記プローブ組立体の複数のプローブの先端と接触するように、前記アーム部と前記移動ベースとの距離を調節する距離調節機構を備えているプローブ清掃ユニットを提供することによって上記の課題を解決するものである。

本発明のプローブ清掃ユニットは、上記のように構成されているので、汚れがひどくなりクリーニングを必要とするプローブが発生すると、そのプローブを備えているプローブ組立体の位置にプローブ清掃ユニットを移動させ、プローブ組立体をプローブユニットに取り付けたままの状態で、プローブ組立体単位でプローブの清掃が可能である。なお、第１清掃手段としては、プローブ先端部の研磨・清掃に通常用いられるものであれば、どのようなものを用いても良いが、プローブ先端部と接触してプローブに付着した金属屑等の異物を取り除くことができる研磨体、又は、プローブ先端部と接触してプローブに付着したゴミや封止剤の滓などを取り除くことができる清掃ブラシが好ましく用いられる。

本発明のプローブ清掃ユニットは、その好ましい一態様において、前記移動ベースには第２清掃手段が取り付けられる清掃体ベースが取り付けられており、前記移動ベースを前記本体部に対して直線状に往復動させたときに、前記移動ベースに取り付けられる第１清掃手段が前記プローブ組立体の複数のプローブの先端と接触することができる第１清掃位置と、前記清掃体ベースに取り付けられる前記第２清掃手段が前記プローブ組立体の複数のプローブの先端と接触することができる第２清掃位置との間で、前記移動ベースを前記アーム部に対して移動させる清掃手段切り換え機構を備えている。

なお、第２清掃手段としては、第１清掃手段と同様に、プローブ先端部の研磨・清掃に通常用いられるものであれば、どのようなものを用いても良いが、プローブ先端部と接触してプローブに付着したゴミや封止剤の滓などを取り除くことができる清掃ブラシ、又は、プローブ先端部と接触してプローブに付着した金属屑等の異物を取り除くことができる研磨体が好ましく用いられる。第１清掃手段と第２清掃手段とは、同じであっても異なっていても良いが、異なっている方が種々の汚れに対応することができるので便利である。

本発明のプローブ清掃ユニットが、上記清掃体ベースを備えている場合、清掃体ベースは、前記移動ベースに対し、前記移動ベースを前記第２清掃位置において前記本体部に対して直線状に往復動させたときに前記清掃体ベースに取り付けられる前記第２清掃手段が前記プローブ組立体の複数のプローブの先端と接触する清掃位置と、接触しない待避位置との間で、移動可能に取り付けられているのが好ましい。

また、本発明のプローブ清掃ユニットは、その好ましい一態様において、前記移動ベースが、移動ベース本体と清掃体支持部を含み、前記移動ベース本体が前記本体部に対して直線状に往復動可能に支持され、前記清掃体支持部が、前記移動ベース本体に対して、前記移動ベース本体の往復動する軸と平行な揺動軸の回りに揺動自在に支持されている。このような構成とする場合には、仮に、清掃対象であるプローブ組立体におけるプローブ列の先端部と第１清掃手段とが平行ではなく、両者が相対的に傾いている場合でも、例えば第１清掃手段をプローブ列の下側から上昇させてプローブ列の先端部と接触させると、前記清掃体支持部がプローブ列先端部の傾きに倣って揺動軸の回りに回転し、第１清掃手段とプローブ列先端部とが平行状態となる。これにより、第１清掃手段がプローブ列の先端部に片当たりすることが防止され、第１清掃手段による清掃がムラなく行われるとともに、プローブ列先端部の片減りも防止される。なお、移動ベースに清掃体ベースを取り付ける場合には、当該清掃体ベースを揺動自在な前記清掃体支持体に取り付ければ良い。これにより、清掃体ベースに取り付けられる第２清掃手段でプローブの清掃を行う場合でも、清掃体ベースはプローブ列先端部の傾きに倣って揺動軸の回りに回転し、第２清掃手段とプローブ列先端部との片当たりが防止されるという利点が得られる。

本発明のプローブ清掃ユニットは、パネル検査装置のプローブユニットに対して、少なくともプローブ組立体のそれぞれに対応する位置の間で移動可能に取り付けられれば良く、取り付ける機構に特段の制限はないが、プローブ清掃ユニットを、そのアーム部を介して、プローブ組立体のそれぞれに着脱自在に取り付ける場合には、簡単な機構よって、プローブ清掃ユニットをプローブ組立体間で移動可能にすることができるという利点が得られるので好ましい。また、アーム部を、その移動を前記複数のプローブ組立体に沿って線状、好ましくは直線状にガイドするガイド機構を介してプローブユニットに取り付ける場合には、本発明のプローブ清掃ユニットを、複数のプローブ組立体間で容易に移動させることができるという利点が得られるので、好ましい。

また、前記アーム部は、前記プローブ組立体のそれぞれに対応する位置に加えて、それら各プローブ組立体のそれぞれに対応する位置と待避位置との間でも移動可能に取り付けられるのが望ましい。本発明のプローブ清掃ユニットが、プローブユニットに対し、待避位置にも移動可能に取り付けられる場合には、非使用時には、本発明のプローブ清掃ユニットを待避位置に移動させておけば良く、表示パネルの検査の支障になることがない上に、紛失等の恐れもなく、別途保管する必要もないので便利である。

本発明は、また、上記のようなプローブ清掃ユニットを備えたパネル検査装置を提供することによって、上記の課題を解決するものである。パネル検査装置が、上記のような本発明のプローブ清掃ユニットを備えている場合には、プローブの清掃が必要になったときには、随時、簡便な操作でプローブの清掃を行うことができる。

本発明は、さらに、複数のプローブを有するプローブ組立体を１又は複数備えたプローブユニットを有し、当該プローブユニットを検査対象パネルに対して相対的に移動させて前記複数のプローブを検査対象パネルの電極と接触させ、検査対象パネルの検査を行うパネル検査装置におけるプローブ清掃方法であって、清掃手段が取り付けられる移動ベースを直線状に往復動可能に支持する本体部を備えたプローブ清掃ユニットを、パネル検査装置のプローブユニットに対し、少なくとも前記プローブ組立体のそれぞれに対応する位置の間で移動可能に取り付け、清掃を必要とするプローブが発生すると、そのプローブが取り付けられているプローブ組立体に対応する位置へと前記プローブ清掃ユニットを移動させ、その位置において、前記移動ベースをプローブ先端部に対して往復動させることにより、プローブ先端部の清掃を行うパネル検査装置におけるプローブ清掃方法を提供することによって、上記の課題を解決するものである。

なお、本発明のプローブ清掃ユニット及びプローブ清掃方法は、主として、液晶パネルなどの表示パネルの点灯検査を行うパネル検査装置に好適に適用されるものであるが、それに限られるものではない。本発明のプローブ清掃ユニット及びプローブ清掃方法は、複数のプローブを有するプローブ組立体を１又は複数備えたプローブユニットを有し、当該プローブユニットを検査対象パネルに対して相対的に移動させて前記複数のプローブを検査対象パネルの電極と接触させ、検査対象パネルの検査を行うパネル検査装置であれば、どのようなパネル検査装置に適用しても良い。

本発明によれば、プローブ組立体をプローブユニットに取り付けた状態のまま、簡単な操作で、プローブの清掃をすることができるので、プローブ組立体を清掃のためにプローブユニットから取り外したり、清掃後に取り付けたりする必要がなく、プローブの清掃に伴うパネル検査装置の停止時間を最小限に抑えることができ、表示パネルの検査を効率良く行うことができるという利点が得られる。また、本発明によれば、清掃が必要となったプローブを、そのプローブが取り付けられているプローブ組立体を単位として、清掃することができるので、清掃の必要のない清浄なプローブまでもが清掃されたり、清掃のために研磨されてしまうことを最小限にとどめることができるという利点が得られる。

本発明のプローブ清掃ユニットが取り付けられるパネル検査装置の一例を示す正面図である。 本発明のプローブ清掃ユニットの一例を示す正面図である。 プローブ清掃ユニットをプローブ組立体に取り付けた状態を示す図である。 プローブ清掃ユニットを第１清掃位置に移動させた状態を示す図である。 第１清掃位置において本体部とアーム部との距離を調節している状態を示す図である。 研磨体によるプローブ先端の研磨状態を示す図である。 プローブ清掃ユニットを第２清掃位置に移動させた状態を示す図である。 清掃ブラシによるプローブ先端の清掃状態を示す図である。 プローブ清掃ユニットを待避位置に移動させた状態を示す図である。 本発明のプローブ清掃ユニットの他の一例を示す正面図である。 図１０の平面図である。 本発明のプローブ清掃ユニットの他の一例を示す図である。 図１２の部分拡大部分断面図である。 図１３のＸ−Ｘ’断面図である。 清掃体支持部の回転範囲が制限されている状態を示す図である。 清掃体支持部の回転範囲が制限されている状態を示す図である。 回転範囲制限体の上下位置が調整可能とされている例を示す図である。 清掃体支持部の揺動動作を説明する図である。 清掃体支持部の揺動動作を説明する図である。

以下、図面を用いて本発明を詳細に説明するが、本発明が図示のものに限られないことは勿論である。

図１は、本発明のプローブ清掃ユニットが取り付けられるパネル検査装置の一例を示す正面図である。図１において、１はパネル検査装置、２はその検査部、３はローダ部、４は検体対象である表示パネルである。表示パネル４としては、液晶パネルがその一例として挙げられるが、その電極にパネル検査装置のプローブを接触させて検査が行われる表示パネルであれば特に限定されない。例えば、ＥＬ表示パネル又はプラズマ表示パネルであっても良く、また、そのパネルの厚さにも制限はない。

５はプローブユニット、６はプローブ組立体である。図に示すとおり、プローブユニット５、５の各々には、それぞれ複数のプローブ組立体６が取り付けられており、各プローブ組立体６は図示しない複数のプローブを備えている。７はアライメントカメラ、８はモニタ画面、９は制御装置であり、制御装置９は、通常のパネル検査装置１に必要とされる各種記憶装置、演算処理装置、外部との間で信号やデータの入出力を行う入出力インターフェイス、及び入出力装置を備えている。

外部から搬送されてきた表示パネル４は、機械ハンドによってローダ部３に取り込まれ、ＸＹＺθ方向に移動可能なセットステージにセットされて、検査部２へと搬送される。検査部２に搬送された表示パネル４は、表示パネル４に設けられているアライメントカメラ７と前記セットステージとを利用して、表示パネル４の電極と各プローブ組立体６に備えられている複数のプローブとが所定の位置関係となるように位置合わせが行われる。次いで、表示パネル４は、前記セットステージによってプローブ組立体６に向かって移動され、プローブ組立体６の複数のプローブが表示パネル４の電極に接触し、表示パネル４の点灯検査が行われる。

本発明のプローブ清掃ユニットは、このようなパネル検査装置１のプローブユニット５、特にプローブ組立体６に取り付けて使用されるものであり、表示パネル４の電極と接触することによりプローブの先端部及びその近傍に付着する汚れや異物などを定期的に若しくは随時取り除いて、プローブと電極間の電気的導通を常に良好な状態に保つことを可能にするものである。

図２は、本発明のプローブ清掃ユニットの一例を示す正面図であり、プローブ清掃ユニットが取り付けられるプローブ組立体６と共に、一部断面図として示してある。図２において、１０は本発明のプローブ清掃ユニットであり、プローブ清掃ユニット１０は、アーム部１１、本体部１２、移動ベース１３を備えている。１４は、アーム部１１に取り付けられている清掃手段切り換え部、１５は切り換えレバー、１５ａは回転軸、１５ｂは移動軸であり、切り換えレバー１５は、回転軸１５ａを介して、清掃手段切り換え部１４に回転自在に支持されている。

１６は位置決めシャフトであり、位置決めシャフト１６の下端は微調整ネジ１７を介して、本体部１２と連結され、上端は、アーム部１１を貫通し、連結シャフト１８を介して、切り換えレバー１５の移動軸１５ｂと連結されている。１９はガイドシャフト、２０は落下防止ピンである。位置決めシャフト１６及びガイドシャフト１９によって、本体部１２はアーム部１１に対して、図中上下方向に移動可能に支持されている。

移動ベース１３は、軸受部１３ａを有し、軸受部１３ａの内側には、本体部１２に取り付けられたスライド軸２１が嵌挿されている。２１ａ、２１ｂは、スライド軸２１に取り付けられたストッパ、２２はテンションバネ、２３は移動ベース１３に取り付けられたスライドグリップである。作業者が、スライドグリップ２３を介して移動ベース１３に力を加えることにより、移動ベース１３をスライド軸２１に沿って、ストッパ２１ａ、２１ｂ間で、直線状に往復動させることができる。作業者が人力で移動ベース１３を往復動させる代わりに、例えば小型のエアシリンダを移動ベース１３と本体部１２との間に取り付け、空気圧によって移動ベース１３を往復動させるようにしても良い。なお、本例においては、移動ベース１３は、本体部１２に往復動可能に取り付けられているが、場合によっては、移動ベース１３を本体部１２に固定し、本体部１２をアーム部１１に対して往復動可能に取り付けるようにしても良い。ただし、その場合には、往復動する部分の重量が増し、清掃効率が悪くなる上に、本体部１２をアーム部１１に取り付ける構造が複雑になるので、本例におけるように、移動ベース１３は本体部１２に往復動可能に取り付けるのが好ましい。

２４は第１清掃手段であり、本例においては研磨体であるが、研磨体の代わりに後述する清掃ブラシであっても良く、その他、通常、プローブ先端部の清掃に用いられる清掃手段であればどのようなものであっても良い。なお、第１清掃手段は、消耗したり破損した場合には交換できるように、移動ベース１３の上面に着脱自在に取り付けられる。第１清掃手段２４として研磨体を使用する場合、研磨体としては、後述するプローブの先端部に付着した金属屑等の異物を研磨して取り除くことができる限り、どのような材質のものを用いても良く、例えば、通常の研磨材を塗布又は付着させた研磨紙や研磨シート、或いはセラミックプレートや磨りガラスなどを用いることができる。

２５は清掃体ベースであり、清掃体ベース２５は、回転軸２５ａを介して、移動ベース１３に対し、図中、水平位置と垂直位置との間で回転自在に支持されている。清掃体ベース２５と移動ベース１３との間には、図中水平位置と垂直位置とにおいて、清掃体ベース２５を移動ベース１３に対して一時的に係止する係止機構を設けるのが望ましい。これにより、移動ベース１３が往復動するときにも、清掃体ベース２５は移動ベース１３に安定して保持されることになる。２６は第２清掃手段であり、本例においては清掃ブラシであるが、清掃ブラシの代わりに研磨体であっても良く、その他、通常、プローブ先端部の清掃に用いられる清掃手段であればどのようなものであっても良い。なお、第２清掃手段は、消耗したり破損した場合には交換できるように、清掃体ベース２５に着脱自在に取り付けられる。第２清掃手段２６として清掃ブラシを用いる場合、清掃ブラシとしては、後述するプローブの先端部に付着したゴミや封止材の滓などの異物をブラッシングによって取り除くことができる限り、どのような材質のものを用いても良く、例えば、天然の動物の毛などを用いることができる。

アーム部１１は、アームベース１１ａを備えており、アームベース１１ａとアーム部１１とは蝶番２７で連結されている。２８はアーム部１１をアームベース１１ａに固定するツマミネジ、２９はアーム部１１をアームベース１１ａを介してプローブ組立体６に取り付ける取付ネジである。アーム部１１には取付ネジ２９が貫通する貫通孔１１ｂが、また、アームベース１１ａには取付ネジ２９が係合する取付孔１１ｃが、それぞれ設けられている。なお、図では、貫通孔１１ｂ、取付孔１１ｃ、及び取付ネジ２９は、それぞれ１つずつしか示されていないけれども、貫通孔１１ｂ及び取付孔１１ｃは、図中奥行き方向に沿って、間隔をあけて、アーム部１１及びアームベース１１ａの互いに対応する位置に、それぞれ２つずつ設けられている。したがって、取付ネジ２９も２個存在する。このように、２個の取付ネジ２９によってアーム部１１がプローブ組立体６に取り付けられるので、プローブ清掃ユニット１０は、プローブ組立体６に取り付けられた状態では、取付ネジ２９を中心に回転することもない。

プローブ組立体６は、通常、サスペンションベース６ａ、サスペンションブロック６ｂ、プローブ組立体ベース６ｃ、及びプローブ組立体ベース６ｃに取り付けられている複数のプローブ６ｐを備えており、サスペンションベース６ａを介して、プローブユニット５のベース５ａに取り付けられている。プローブ組立体６は、サスペンションベース６ａの上面に、前記取付ネジ２９が挿入されるネジ孔６ｈが設けられている点を除けば、通常のプローブ組立体と何ら変わるところはない。なお、サスペンションベース６ａに直接ネジ孔６ｈを設けることが困難な場合には、別途、ネジ孔６ｈを形成した取付ベースを用意して、その取付ベースをサスペンションベース６ａに取り付けるようにしても良い。なお、ネジ孔６ｈが、アームベース１１ａの取付孔１１ｃに対応して、図中奥行き方向に沿って２個設けられていることは勿論である。また、ネジ孔６ｈが、アーム部１１の長さや、取付孔１１ｃの位置などを勘案して、移動ベース１３の往復動時に、第１清掃手段２４や第２清掃手段２６が、プローブ６ｐの先端と接触することができるような位置に設けられることはいうまでもない。

図３は、プローブ清掃ユニット１０を、プローブ組立体６に取り付けた状態を示している。図に示すとおり、プローブ清掃ユニット１０は、取付ネジ２９によってプローブ組立体６に取り付けられ、同時に、プローブ組立体６に対して位置決めされる。なお、図示の状態では、切り換えレバー１５は、反時計回りに回転した左向きの位置にあり、プローブ清掃ユニット１０の本体部１２はアーム部１１に対して下降しており、移動ベース１３は第２清掃位置にある。

図４は、図３に示す状態から切り換えレバー１５を時計回りに回転させて、図中矢印で示すとおり、本体部１２をアーム部１１に対して上昇させ、移動ベース１３を第１清掃位置に移動させた状態を示している。移動ベース１３が第１清掃位置にあるとき、移動ベース１３を本体部１２に対して直線状に往復動させると、移動ベース１３に取り付けられる第１清掃手段２４（本例においては研磨体）は、プローブ組立体６の複数のプローブ６ｐの先端と接触することができる位置にある。

但し、実際には、第１清掃位置においても、移動ベース１３に取り付けられている第１清掃手段２４と、プローブ組立体６に取り付けられている複数のプローブ６ｐの図中上下方向の位置には若干のずれがあることがあるので、図５に示すように、微調整ネジ１７を回転させて、アーム部１１に対して本体部１２を移動させ、移動ベース１３を往復動させたときに、移動ベース１３に取り付けられている第１清掃手段２４がプローブ組立体６の複数のプローブ６ｐの先端と接触するように、アーム部１１と移動ベース１３との距離を調節する。すなわち、微調整ネジ１７は、アーム部１１と移動ベース１３との距離を調節する距離調節機構を構成している。なお、移動ベース１３を本体部１２に対して直線状に往復動させたときに、移動ベース１３に取り付けられている第１清掃手段２４がプローブ組立体６の複数のプローブ６ｐの先端と接触する位置にあるかどうかは、例えば、パネル検査装置１に装備されている顕微鏡によって、プローブ６ｐの先端部と第１清掃手段２４の表面とを観察し、それぞれにピントが合う位置が同じであるかどうかを調べることによって、判断することができる。

微調整ネジ１７は、例えば、下端が本体部１２に対して回転自在に結合され、上方に、位置決めシャフト１６に形成された雌ネジ又は雄ネジと螺合する雄ネジ又は雌ネジを有するネジ部材として構成することができる。或いは、微調整ネジ１７に代えて、例えばラックとピニオン機構によって距離調節機構を構成し、ピニオンを回転させて、本体部１２をアーム部１１に対して、微小距離上下動させるようにしても良い。このように、アーム部１１と移動ベース１３との距離を調節する距離調節機構は、両者間の距離を調節できれば良く、その機構に特段の制限はない。

微調整ネジ１７によって、アーム部１１と移動ベース１３との距離の調節が完了すると、図６に示すように、スライドグリップ２３を介して移動ベース１３を本体部１２に対して直線状に往復動させる。この移動ベース１３の往復動に伴い、移動ベース１３に取り付けられている第１清掃手段２４は、プローブ６ｐの先端と接触する。本例において、第１清掃手段２４は研磨体であるので、移動ベース１３の往復動に伴い研磨体がプローブ６ｐの先端部を研磨して、付着しているアルミニウムなどの金属屑や、封止材の滓、その他の異物を取り除いて、プローブ６ｐの先端部を清掃する。なお、図示しないエアシリンダ等のアクチュエータを用いて、移動ベース１３を往復動させても良いことは前述したとおりである。

図７は、図５に示す状態から、切り換えレバー１５を反時計回りに回転させて、本体部１２をアーム部１１に対して下降させ、移動ベース１３を第１清掃位置から第２清掃位置へと移動させた状態を示している。この位置において、移動ベース１３に取り付けられている清掃体ベース２５を、図中矢印で示すように、回転軸２５ａの回りに回転させて図中垂直状態に立てることにより、清掃体ベース２５に取り付けられている第２清掃手段２６（本例においては清掃ブラシ）は、移動ベース１３を本体部１２に対して直線状に往復動させたときに、その先端部がプローブ６ｐの先端部と接触することができる。もしも、第２清掃手段２６の先端部がプローブ６ｐの先端部と接触しないか、接触が深すぎるようであれば、第１清掃位置におけると同様に、微調整ネジ１７を回転させて、本来部１２とアーム部１１との距離を調節すれば良い。

微調整ネジ１７によるアーム部１１と移動ベース１３との距離の調節が必要に応じて為された後、図８に示すように、スライドグリップ２３を介して移動ベース１３を本体部１２に対して直線状に往復動させる。この移動ベース１３の往復動に伴い、清掃体ベース２５に取り付けられている第２清掃手段２６は、プローブ６ｐの先端と接触する。本例において、第２清掃手段２６は清掃ブラシであるので、移動ベース１３の往復動に伴い清掃ブラシがプローブ６ｐの先端部に接触し、付着している封止材の滓や、ゴミや、その他の異物を取り除いて、プローブ６ｐの先端部を清掃する。

以上のようにして、一つのプローブ組立体６に備えられた複数のプローブ６ｐの清掃が終了し、他にプローブの清掃を必要とするプローブ組立体６’が存在する場合には、プローブ清掃ユニット１０を現在のプローブ組立体６に固定している２個の取付ネジ２９を緩めて、サスペンションベース６ａとの螺合を解き、プローブ清掃ユニット１０を他のプローブ組立体６’に対応する位置へと移動させれば良い。その位置で、プローブ清掃ユニット１０は、取付ネジ２９によって新たなプローブ組立体６’のプローブサスペンションベース６ａに取り付けられ、上述したような第１清掃手段２４及び／又は第２清掃手段２６によるプローブ６ｐの清掃が行われる。このように、本発明のプローブ清掃ユニット１０は、次々に、清掃を必要とするプローブ組立体に対応する位置の間で移動可能であり、各位置でプローブ組立体に取り付けられて、プローブの清掃が行われる。

図９は、プローブ清掃ユニット１０を待避位置へと移動させた状態を示している。すなわち、先に図３に示した状態から、ツマミネジ２８を取り外し、アーム部１１を蝶番２７の回りに回転させることによって、プローブ清掃ユニット１０、すなわち、アーム部１１、本体部１２、及び移動ベース１３を、プローブ組立体６の後方の待避位置へと移動させることができる。待避位置において、プローブ清掃ユニット１０はプローブ６ｐとは反対側に位置しているので、表示パネル４の検査の妨げになることがない。プローブ清掃ユニット１０は、プローブ６ｐの清掃が終わると、プローブ組立体６から取り外してしまっても良いが、取り外してしまうと別途保管場所が必要となり、また、清掃時には再度、プローブ組立体６に取り付けなければならないので、本例のように、不使用時には待避位置へと移動させるのが好ましい。ツマミネジ２８は、一旦取り外した後、再びアームベース１１ａに取り付けておけば良い。

なお、プローブ清掃ユニット１０の待避位置は、図９に示したプローブ組立体６の後方に限られない。例えば、プローブユニット５のベース５ａに、プローブ組立体６と同様にネジ孔６ｈを形成したダミー組立体を設け、そのダミー組立体を待避位置として、清掃が終了したプローブ清掃ユニット１０をそのダミー組立体に取り付けるようにしても良い。このようなダミー組立体を設ける場所は、プローブユニット５のベース５ａに限られず、パネル検査装置１の適宜の場所に設けるようにしても良い。

図１０は、本発明のプローブ清掃ユニット１０の他の例を示す正面図であり、プローブ組立体６に取り付けられた状態を示している。図１０に示す例においては、アームベース１１ａは設けられておらず、アーム部１１がプローブ組立体６の後方へと延長され、ガイドブロック３０を介して、リニアガイド３１に取り付けられている。図に示すとおり、リニアガイド３１は、プローブユニット５のベース５ａに取り付けられている。３２は、ガイドブロック３０の固定ネジである。ガイドブロック３０とリニアガイド３１によってガイド機構が構成されている。また、本例においては、ツマミネジ２８は、アーム部１１をアームベース１１ａに固定するのではなく、アーム部１１をプローブ組立体６のサスペンションベース６ａに固定し、プローブ清掃ユニット１０をプローブ組立体６に対して位置決めしている。なお、図１０では、ツマミネジ２８を、アーム部１１を貫通させて直接サスペンションベース６ａに取り付けるようにしているが、サスペンションベース６ａにネジ孔を形成することが困難な場合には、別途、ネジ孔を形成した取付ベースをサスペンションベース６ａに取り付けて、ツマミネジ２８を、アーム部１１を貫通させてその取付ベースに取り付けるようにしても良い。

プローブ清掃ユニット１０を他のプローブ組立体６’に対応する位置へと移動させるには、ツマミネジ２８を取り外し、固定ネジ３２を緩めて、プローブ清掃ユニット１０を、リニアガイド３１に沿って、図１０の奥行き方向に線状に移動させれば良い。プローブ６ｐの清掃を必要とする他のプローブ組立体６’に対応する位置まで移動されたプローブ清掃ユニット１０は、その位置でツマミネジ２８をアーム部１１を貫通させてサスペンションベース６ａに取り付けることにより、プローブ組立体６’に位置決め固定され、併せて、固定ネジ３２を締めることにより、その位置に固定される。

図１１は、図１０の平面図であり、本体部１２及び清掃手段切り換え部１４は省略してある。図に示すとおり、リニアガイド３１は、複数のプローブ組立体６に沿って直線状に配置されている。このように、プローブ清掃ユニット１０は、複数のプローブ組立体６に対応する位置の間で移動可能にプローブユニット５のベース５ａに取り付けられており、プローブの清掃が必要なプローブ組立体６があれば、随時、そのプローブ組立体６に対応する位置へと移動して、当該プローブ組立体６に備えられている複数のプローブ６ｐを清掃することが可能である。

３３はダミー組立体であり、プローブ清掃ユニット１０の待避位置となるものである。すなわち、プローブ清掃ユニット１０は、不使用時には、ダミー組立体３３に対応する待避位置へと移動させ、その位置に固定しておくことができる。この待避位置が、その位置にプローブ清掃ユニット１０が固定されていても、パネル検査装置１による表示パネル４の検査には支障を及ぼすことのない位置に選ばれていることは勿論である。

なお、以上説明した例においては、第１清掃手段２４として研磨体が用いられ、第２清掃手段２６として清掃ブラシが用いられているが、第１清掃手段２４として清掃ブラシを用い、第２清掃手段２６として研磨体を用いても良く、或いは、第１清掃手段及び第２清掃手段の双方を共に研磨体とするか、共に清掃ブラシとして、一方を他方の予備として使用しても良いし、第１清掃手段及び第２清掃手段の双方を共に研磨体として、その粗さを異ならせても良いし、若しく双方を共に清掃ブラシとして、その毛の柔らかさの異ならせるようにしても良い。さらには、第１清掃手段又は第２清掃手段として、研磨体や清掃ブラシ以外の清掃手段を用いても良い。

図１２は、本発明のプローブ清掃ユニットの他の一例を示す図、図１３は、図１２の部分拡大部分断面図である。先に説明した例におけるものと同じ部材には同じ符号を付してある。図１２、図１３において、１３ａは移動体ベース本体、１３ｂは清掃体支持部であり、移動ベース１３を構成している。移動ベース本体１３ａは、先に示した移動ベース１３と同様に、スライド軸２１によって、本体部１２に対して直線状に往復動可能に支持されており、スライドグリップ２３を介して移動ベース本体１３ａに力を加えることにより、移動ベース本体１３ａを、スライド軸２１に沿って、ストッパ２１ａ、２１ｂ間で直線状に往復動させることができるようになっている。作業者が人力で移動ベース本体１３ａを往復動させる代わりに、例えば小型のエアシリンダを移動ベース本体１３ａと本体部１２との間に取り付け、空気圧によって移動ベース本体１３ａを往復動させるようにしても良いことは先に説明した例におけると同様である。

３４は、移動ベース本体１３ａに固定された取付台、３５は取付ネジ、３６、３６はベアリング、３７は回転範囲制限体である。清掃体支持部１３ｂは、取付ネジ３５によって、取付台３４を介して、移動ベース本体１３ａに取り付けられている。取付台３４は必ずしも必要という訳ではなく、清掃体支持部１３ｂを、取付台３４を介さずに、直接、取付ネジ３５によって移動ベース本体１３ａに取り付けるようにしても良い。清掃体支持部１３ｂにおける取付ネジ３５を貫通させる貫通孔の内面と取付ネジ３５との間には、ベアリング３６、３６が配置されているので、清掃体支持部１３ｂは、取付ネジ３５の回りに回転自在である。但し、清掃体支持部１３ｂの回転の範囲は、後述するとおり、回転範囲制限体３７によって制限されているので、清掃体支持部１３ｂは、取付ネジ３５の回りに一定角度範囲内で揺動自在であるだけである。取付ネジ３５の軸心、すなわち、清掃体支持部１３ｂの揺動の軸心は、移動ベース本体１３ａが直線往復動する軸であるスライド軸２１と平行である。

図１４は、図１３のＸ−Ｘ’断面図である。図に示すとおり、清掃体支持部１３ｂの上面と、回転範囲制限体３７の下面との間には間隙ｗが設けられており、清掃体支持部１３ｂは、この間隙ｗが許す範囲内で取付ネジ３５の軸心、つまりは揺動軸の回りに揺動回転可能とされている。すなわち、図１５に示すように、清掃体支持部１３ｂが、取付ネジ３５の回りに図中矢印で示す時計方向に例えば角度αだけ回転すると、清掃体支持部１３ｂの上面が、回転範囲制限体３７の下面と点ｔ１（実際には紙面と垂直な方向に長さのある線）で当接し、清掃体支持部１３ｂのそれ以上の回転は阻止される。同様に、図１６に示すように、清掃体支持部１３ｂが、取付ネジ３５の回りに図中矢印で示す反時計方向に角度αだけ回転すると、清掃体支持部１３ｂの上面が、回転範囲制限体３７の下面と点ｔ２（実際には紙面と垂直な方向に長さのある線）で当接し、清掃体支持部１３ｂのそれ以上の回転は阻止される。

このように、清掃体支持部１３ｂの上面と対向する下面を有する回転範囲制限体３７が設けられていることにより、清掃体支持部１３ｂの取付ネジ３５の回りの回転の範囲は制限され、清掃体支持部１３ｂは、取付ネジ３５の軸の回り、つまりは揺動軸の回りに、水平を中心に−αから＋αの範囲で、揺動自在に支持されることになる。清掃体支持部１３ｂの揺動範囲、すなわち、−α〜＋αは、通常、−５度〜＋５度あれば十分であり、−３度〜＋３度程度でも良い。

なお、角度αの大きさは、清掃体支持部１３ｂの上面と回転範囲制限体３７の下面との間の間隙ｗを調整することによって調整することができる。例えば、図１７は移動ベース本体１３ａの一部分だけを断面図で示した図であるが、図１７に示すように、回転範囲制限体３７を移動ベース本体１３ａに対して、上下方向に移動可能に取り付け、微調整ネジ３８を回転させて、間隙ｗを調整するようにしても良い。或いは、回転範囲制限体３７を移動可能とする代わりに、清掃体支持部１３ｂを、移動ベース本体１３ａに対して上下方向に移動可能にしても良い。また、清掃体支持部１３ｂの上面及び／又は回転範囲制限体３７の下面に、適宜の厚さの挿入板を着脱して、間隙ｗの大きさを調節するようにしても良い。

回転範囲制限体３７は、清掃体支持部１３ｂの回転範囲を制限することができる形状、構造を備えたものであれば良く、清掃体支持部１３ｂの上面と対向する下面を有するものに限られない。例えば、清掃体支持部１３ｂの下面と対向する上面を有する回転範囲制限体であっても良いし、清掃体支持部１３ｂが取付ネジ３５の回りに一定角度以上回転したときに、清掃体支持部１３ｂの側面若しくは清掃体支持部１３ｂの一部と当接して、その回転を阻止することができるものであっても良い。

なお、清掃体支持部１３ｂの形状や材質を変えるか、錘を付けるなどして、清掃体支持部１３ｂの重心を取付ネジ３５の軸心よりも低い位置にした場合には、清掃体支持部１３ｂは、取付ネジ３５の軸心の回りに揺動してもそれ自身で水平位置に復帰するので、特段、回転範囲制限体３７は設けなくても良い。

図１８は、清掃体支持部１３ｂの揺動動作を説明する図である。すなわち、図１８（１）は複数のプローブ６ｐの先端部と、第１清掃手段２４とが平行状態にある場合を示している。このような場合には、第１清掃手段２４を前記プローブ列の下方に位置させた状態で、図示しない切り換えレバー１５を回転させるか、微調整ネジ１７を回転させて、移動ベース本体１３ａとともに清掃体支持部１３ｂを、図１８（１）（ａ）に示すようにプローブ６ｐに対して上昇させると、清掃体支持部１３ｂはそのまま上昇して、同図（１）（ｂ）に示すとおり、清掃体支持部１３ｂに取り付けられている第１清掃手段２４（例えば研磨体）は、複数のプローブ６ｐからなるプローブ列の先端部と接触する。この状態で、図示しないスライドグリップ２３を介して移動ベース本体１３ａをスライド軸２１に沿って直線状に往復動させると、第１清掃手段２４である例えば研磨体は、プローブ６ｐの先端部と接触しながら移動し、プローブ６ｐの先端部を研磨して、付着した金属屑等の異物を取り除き、プローブ６ｐを清掃する。

図１８（２）は、複数のプローブ６ｐからなるプローブ列の先端部が、第１清掃手段２４に対して、相対的に角度βだけ傾いている場合を示している。このような場合であっても、第１清掃手段２４をプローブ列の下方に位置させた状態で、切り換えレバー１５を回転させるか、微調整ネジ１７を回転させて、清掃体支持部１３ｂを、図１８（２）（ａ）に示すようにプローブ６ｐに対して上昇させると、清掃体支持部１３ｂに取り付けられている第１清掃手段２４は、まず、図中右端部近傍でプローブ６ｐの先端部と接触するが、清掃体支持部１３ｂは取付ネジ３５の軸心（揺動軸）の回りに揺動自在であるので自然と回転し、プローブ列の傾きβに倣った傾きとなり、図１８（２）（ｂ）に示すように、第１清掃手段２４の全体が複数のプローブ６ｐからなるプローブ列の先端部と均等に接触することになる。

この状態で、移動ベース本体１３ａをスライド軸２１に沿って直線状に往復動させると、第１清掃手段２４である例えば研磨体は、プローブ６ｐの先端部と接触しながら移動し、プローブ６ｐの先端部を研磨して、付着した金属屑等の異物を取り除き、プローブ６ｐを清掃する。このように、清掃体支持部１３ｂが揺動軸の回りに揺動自在となっているので、プローブ列の先端部が第１清掃手段２４に対して相対的に傾いているときにも、第１清掃手段２４がプローブ列の先端部に片当たりすることなく、プローブ列を構成する全プローブ６ｐの先端部を均等に研磨、清掃することができる。なお、プローブ列の先端部が第１清掃手段２４に対して図１８（２）に示すものとは逆向きに傾いているときにも同様である。

図１９は、第１清掃手段２４に代えて第２清掃手段２６を用いた場合における清掃体支持部１３ｂの揺動動作を説明する図である。すなわち、図１９（１）は複数のプローブ６ｐの先端部と、第２清掃手段２６とが平行状態にある場合を示している。このような場合には、第２清掃手段２６を前記プローブ列の下方に位置させた状態で、図示しない微調整ネジ１７を回転させて、移動ベース本体１３ａとともに清掃体支持部１３ｂを、図１９（１）（ａ）に示すようにプローブ６ｐに対して上昇させると、清掃体支持部１３ｂはそのまま上昇して、同図（１）（ｂ）に示すとおり、清掃体ベース２５に取り付けられている第２清掃手段２６（例えば清掃ブラシ）は、複数のプローブ６ｐからなるプローブ列の先端部と接触する。この状態で、図示しないスライドグリップ２３を介して移動ベース本体１３ａをスライド軸２１に沿って直線状に往復動させると、第２清掃手段２４である例えば清掃ブラシは、プローブ６ｐの先端部と接触しながら移動し、プローブ６ｐの先端部に付着したゴミや封止剤の滓などを取り除き、プローブ６ｐを清掃する。

図１９（２）は、複数のプローブ６ｐからなるプローブ列の先端部が、第２清掃手段２６に対して、相対的に角度γだけ傾いている場合を示している。このような場合であっても、第２清掃手段２６をプローブ列の下方に位置させた状態で、微調整ネジ１７を回転させて、清掃体支持部１３ｂを、図１９（２）（ａ）に示すようにプローブ６ｐに対して上昇させると、清掃体ベース２５に取り付けられている第２清掃手段２６は、まず、図中左端部近傍でプローブ６ｐの先端部と接触するが、清掃体支持部１３ｂは取付ネジ３５の軸心（揺動軸）の回りに揺動自在であるので自然と回転し、プローブ列の傾きγに倣った傾きとなり、図１９（２）（ｂ）に示すように、第２清掃手段２６の全体が複数のプローブ６ｐからなるプローブ列の先端部と均等に接触することになる。

この状態で、移動ベース本体１３ａをスライド軸２１に沿って直線状に往復動させると、第２清掃手段２６である例えば清掃ブラシは、プローブ６ｐの先端部と接触しながら移動して、プローブ６ｐの先端部に付着したゴミや封止剤の滓などを取り除き、プローブ６ｐを清掃する。このように、清掃体支持部１３ｂが揺動軸の回りに揺動自在となっているので、プローブ列の先端部が第２清掃手段２６に対して相対的に傾いているときにも、第２清掃手段２６がプローブ列の先端部に片当たりすることなく、プローブ列を構成する全プローブ６ｐの先端部を均等に清掃することができる。なお、プローブ列の先端部が第２清掃手段２６に対して図１９（２）に示すものとは逆向きに傾いているときにも同様である。

以上のとおり、本発明のプローブ清掃ユニットは、パネル検査装置に取り付けて使用され、プローブ組立体をプローブユニットに取り付けたまま、プローブ組立体を単位として、プローブの清掃が可能である。本発明のプローブ清掃ユニットを備えているパネル検査装置は、プローブの清掃を、プローブ組立体単位で簡便に行うことができるので、常に良好な状態でプローブを表示パネルの電極と接触させて表示パネルの検査を行うことが可能である。また、本発明のプローブ清掃ユニットを用いれば、本発明のプローブ清掃ユニットを、パネル検査装置のプローブユニットに対し、プローブ組立体のそれぞれに対応する位置の間で移動可能に取り付け、清掃を必要とするプローブが発生すると、そのプローブが取り付けられているプローブ組立体に対応する位置へと本発明のプローブ清掃ユニットを移動させ、その位置において、移動ベースをプローブ先端部に対して往復動させることにより、プローブ先端部の清掃を行うことが可能となる。

以上説明したとおり、本発明によれば、プローブ組立体をプローブユニットに取り付けたままの状態で、簡単な操作でプローブの清掃を行うことができるので、プローブの清掃に伴うパネル検査装置の停止時間を最小限に抑えることができ、表示パネルの検査を効率良く行うことができる。また、本発明によれば、清掃が必要となったプローブを、そのプローブが取り付けられているプローブ組立体を単位として、清掃することができるので、清掃の必要のない清浄なプローブまでもが研磨されてしまうことを最小限に留めることが可能となる。したがって、液晶パネルを初めとする種々の表示パネルの製造に係わる産業分野において、多大なる産業上の利用可能性を有するものである。

１ パネル検査装置
２ 検査部
３ ローダ部
４ 表示パネル
５ プローブユニット
６ プローブ組立体
７ アライメントカメラ
８ モニタ画面
９ 制御装置
１０ プローブ清掃ユニット
１１ アーム部
１２ 本体部
１３ 移動ベース
１３ａ 移動ベース本体
１３ｂ 清掃体支持部
１４ 清掃手段切り換え部
１５ 切り換えレバー
１６ 位置決めシャフト
１７ 微調整ネジ
１８ 連結シャフト
１９ ガイドシャフト
２０ 落下防止ピン
２１ スライド軸
２２ テンションバネ
２３ スライドグリップ
２４ 第１清掃手段
２５ 清掃体ベース
２６ 第２清掃手段
２７ 蝶番
２８ ツマミネジ
２９ 取付ネジ
３０ ガイドブロック
３１ リニアガイド
３２ 固定ネジ
３３ ダミー組立体
３４ 取付台
３５ 取付ネジ
３６ ベアリング
３７ 回転範囲制限体

Claims (11)

1. 複数のプローブを有するプローブ組立体を１又は複数備えたプローブユニットを有し、当該プローブユニットを検査対象パネルに対して相対的に移動させて前記複数のプローブを検査対象パネルの電極と接触させ、検査対象パネルの検査を行うパネル検査装置に用いられるプローブ清掃ユニットであって；当該プローブ清掃ユニットは、パネル検査装置のプローブユニットに対し、少なくとも前記プローブ組立体のそれぞれに対応する位置の間で移動可能に取り付けられるアーム部と；前記アーム部に取り付けられた本体部と；前記本体部に直線状に往復動可能に支持された移動ベースと；前記移動ベースを前記本体部に対して直線状に往復動させる手段と；前記移動ベースに取り付けられる第１清掃手段及び清掃体ベースと；前記清掃体ベースに取り付けられる第２清掃手段と；前記移動ベースを前記本体部に対して直線状に往復動させたときに、前記移動ベースに取り付けられる第１清掃手段が前記プローブ組立体の複数のプローブの先端と接触することができる第１清掃位置と、前記清掃体ベースに取り付けられる前記第２清掃手段が前記プローブ組立体の複数のプローブの先端と接触することができる第２清掃位置との間で、前記移動ベースを前記アーム部に対して移動させる清掃手段切り換え機構と；前記移動ベースを前記本体部に対して直線状に往復動させたときに、前記第１清掃位置においては前記移動ベースに取り付けられる第１清掃手段が、前記第２清掃位置においては前記清掃体ベースに取り付けられる前記第２清掃手段が、それぞれ、前記プローブ組立体の複数のプローブの先端と接触するように、前記アーム部と前記移動ベースとの距離を調節する距離調節機構を備えているプローブ清掃ユニット。
2. 前記第１清掃手段が研磨体又は清掃ブラシである請求項１記載のプローブ清掃ユニット。
3. 前記第２清掃手段が清掃ブラシ又は研磨体である請求項１又は２記載のプローブ清掃ユニット。
4. 前記清掃体ベースが、前記移動ベースに対し、前記移動ベースを前記第２清掃位置において前記本体部に対して直線状に往復動させたときに、前記清掃体ベースに取り付けられる前記第２清掃手段が前記プローブ組立体の複数のプローブの先端と接触する清掃位置と、接触しない待避位置との間で、移動可能に取り付けられている請求項１〜３のいずれかに記載のプローブ清掃ユニット。
5. 前記移動ベースが、移動ベース本体と前記第１清掃手段が取り付けられる清掃体支持部を含み、前記移動ベース本体が前記本体部に対して直線状に往復動可能に支持され、前記清掃体支持部が、前記移動ベース本体に対して、前記移動ベース本体の往復動する軸と平行な揺動軸の回りに揺動自在に支持されている請求項１〜４のいずれかに記載のプローブ清掃ユニット。
6. 前記清掃体ベースが前記清掃体支持体に取り付けられている請求項５記載のプローブ清掃ユニット。
7. 前記アーム部が、前記プローブ組立体のそれぞれに着脱自在に取り付けられることによって、パネル検査装置のプローブユニットに対し、少なくとも前記プローブ組立体のそれぞれに対応する位置の間で移動可能に取り付けられる請求項１〜６のいずれかに記載のプローブ清掃ユニット。
8. 前記アーム部が、当該アーム部の移動を前記プローブ組立体に沿って線状にガイドするガイド機構を介してプローブユニットに取り付けられることによって、パネル検査装置のプローブユニットに対し、少なくとも前記プローブ組立体のそれぞれに対応する位置の間で移動可能に取り付けられる請求項１〜６のいずれかに記載のプローブ清掃ユニット。
9. 前記アーム部が、前記プローブ組立体のそれぞれに対応する位置の間に加えて、それらの位置と待避位置との間でも移動可能に取り付けられる請求項１〜８のいずれかに記載のプローブ清掃ユニット。
10. 請求項１〜９のいずれかに記載のプローブ清掃ユニットを備えたパネル検査装置。
11. 複数のプローブを有するプローブ組立体を１又は複数備えたプローブユニットを有し、当該プローブユニットを検査対象パネルに対して相対的に移動させて前記複数のプローブを検査対象パネルの電極と接触させ、検査対象パネルの検査を行うパネル検査装置におけるプローブ清掃方法であって、清掃手段が取り付けられる移動ベースを直線状に往復動可能に支持する本体部を備えたプローブ清掃ユニットを、パネル検査装置のプローブユニットに対し、少なくとも前記プローブ組立体のそれぞれに対応する位置の間で移動可能に取り付け、清掃を必要とするプローブが発生すると、そのプローブが取り付けられているプローブ組立体に対応する位置へと前記プローブ清掃ユニットを移動させ、その位置において、前記移動ベースに取り付けられている第１清掃手段が前記プローブ組立体の複数のプローブの先端と接触することができる第１清掃位置と、前記移動ベースに取り付けられている清掃体ベースに取り付けられている第２清掃手段が前記プローブ組立体の複数のプローブの先端と接触することができる第２清掃位置との間で、前記移動ベースを前記アーム部に対して移動させ、前記第１清掃位置又は前記第２清掃位置において、前記移動ベースをプローブ先端部に対して往復動させることにより、前記第１清掃手段又は前記第２清掃手段によってプローブ先端部の清掃を行うパネル検査装置におけるプローブ清掃方法。

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