JP2009099906A - 基板処理装置および処理ツール位置教示方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】処理ツールの位置教示を効率的に行いつつ、位置教示の精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】制御部8は、回転モータ22と、回動モータ53と、昇降駆動機構54と、エンコーダ55と、光学式センサ6とに電気的に接続しており、各部の動作を制御する。演算部80は、検出位置情報取得部801と、オフセット取得部802と、基準位置算定部803とを備える。検出位置情報取得部801は、光学式センサ6が検出する処理ツールの位置情報を取得する。また、オフセット取得部802は、教示用処理ツールの基準位置と、光学式センサ6により検出される位置との差分をオフセットとして取得する。基準位置算定部803は、オフセットと光学式センサ6により検出される位置とから、実処理用処理ツールの基準位置を算定する。
【選択図】図4
【解決手段】制御部8は、回転モータ22と、回動モータ53と、昇降駆動機構54と、エンコーダ55と、光学式センサ6とに電気的に接続しており、各部の動作を制御する。演算部80は、検出位置情報取得部801と、オフセット取得部802と、基準位置算定部803とを備える。検出位置情報取得部801は、光学式センサ6が検出する処理ツールの位置情報を取得する。また、オフセット取得部802は、教示用処理ツールの基準位置と、光学式センサ6により検出される位置との差分をオフセットとして取得する。基準位置算定部803は、オフセットと光学式センサ6により検出される位置とから、実処理用処理ツールの基準位置を算定する。
【選択図】図4
Description
本発明は、基板に処理を行う基板処理装置の技術に関する。
基板に処理を行う基板処理装置として、洗浄液を吐出するノズルやブラシを使用して基板を洗浄するスクラバ装置や、基板に向けてノズルからフォトレジスト液を吐出し、塗布する塗布装置等が知られている。上記のようなスクラバ装置は、例えば、特許文献1に開示されている。これらの基板処理装置において、製造する基板の品質を均一化するため、ノズルやブラシ等の基板に処理を施す処理ツールを、精度良く所定の位置に配置することが重要である。処理ツールを決まった位置に配置することによって、同様の条件で基板に所定の処理を施すことが可能となる。
ところが、従来の基板処理装置では、処理ツールの配置位置の調整(位置教示)は、目視および手動による操作の工程が多く、また非常に煩雑であり、位置教示の精度を高めることは困難であった。
例えばスクラバ装置におけるブラシであれば、ブラシに個体差があるために、交換の度に位置教示をする必要がある。この位置教示は、目視および手動の操作によって、ブラシを所定の位置に配置させることにより行う等、煩雑である上に教示精度に問題があった。また、基板にブラシを接触させて位置教示をするために、基板の異物がブラシに付着することによって、ブラシが汚染される懸念もあった。
また、例えば定期的な洗浄や交換が必要な流体吐出ノズル等の処理ツールでは、メンテナンスの際の取り外し、取り付けによって生じる位置ズレを、位置教示することで補正する必要がある。この場合の位置教示についても、目視および手動の操作によって、処理ツール自身を基板上の所定の基準位置に配置させることにより行うため、ブラシの場合と同様に煩雑な上に教示精度に問題があった。
以上のような問題から、処理ツールの位置教示の効率化および高精度化が望まれている。本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、処理ツールの位置教示を効率的に行いつつ、位置教示の精度を向上させることを目的とする。
上記の課題を解決するため、請求項1の発明は、所定の処理ツールにより基板に処理を行う基板処理装置であって、処理ツールを移動させる移動手段と、前記移動手段によって移動される処理ツールの位置情報を検知する位置情報検知手段と、前記位置情報検知手段によって検知された処理ツールの位置情報を記憶する記憶手段と、処理ツールによる遮光の有無を検知することによって、前記移動手段により移動する処理ツールの先端が所定位置を通過したことを検出する光学検出手段と、前記移動手段によって移動される処理ツールの先端が前記所定位置に到達したことを前記光学検出手段が検出したときに、前記位置情報検知手段によって検知される前記処理ツールの位置情報を検出位置情報として取得する検出位置情報取得手段と、教示用処理ツールが基準位置に位置するときの位置情報と、前記検出位置情報取得手段によって取得される前記教示用処理ツールの検出位置情報との差分をオフセットとして取得するオフセット取得手段と、前記検出位置情報取得手段によって取得される実処理用処理ツールの検出位置情報と、前記オフセットとから前記実処理用処理ツールの基準位置を算定して、前記記憶手段に格納する基準位置算定手段とを備えることを特徴とする。
また、請求項2の発明は、請求項1の発明に係る基板処理装置であって、前記検出位置情報取得手段によって実処理用処理ツールの検出位置情報を取得した後であって、前記検出位置情報取得手段によって再度取得される前記実処理用処理ツールの比較検出位置情報と、前記検出位置情報とを比較する比較手段をさらに備えることを特徴とする。
また、請求項3の発明は、請求項1または2の発明に係る基板処理装置であって、前記実処理用処理ツールは、基板を洗浄するブラシであることを特徴とする。
また、請求項4の発明は、請求項1または2の発明に係る基板処理装置であって、前記実処理用処理ツールは、所定の処理液を吐出するノズルであることを特徴とする。
また、請求項5の発明は、所定の処理ツールの位置を教示する処理ツール位置教示方法であって、(a)教示用処理ツールを基準位置に配置する工程と、(b)前記(a)工程にて前記教示用処理ツールを前記基準位置に配置したときの、前記教示用処理ツールの位置情報を取得する工程と、(c)前記教示用処理ツールを移動させつつ、前記教示用処理ツールの先端が所定の位置を通過したことを、光学検出手段によって検出する工程と、(d)前記(c)工程にて前記光学検出手段が検出したときの、前記教示用処理ツールの位置情報を第1検出位置情報として取得する工程と、(e)前記(b)工程にて取得される位置情報と前記(d)工程にて取得される第1検出位置情報との差分をオフセットとして取得する工程と、(f)実処理用処理ツールを移動させつつ、前記実処理用処理ツールの先端が前記所定の位置を通過したことを、前記光学検出手段によって検出させる工程と、(g)前記(f)工程にて前記光学検出手段が検出したときの、前記実処理用処理ツールの位置情報を第2検出位置情報として取得する工程と、(h)前記(e)工程にて取得されるオフセットと前記(g)工程にて取得される第2検出位置情報とから前記実処理用処理ツールの基準位置を算定する工程とを有することを特徴とする。
また、請求項6の発明は、請求項5の発明に係る処理ツール位置教示方法であって、(i)前記(h)工程が実行された後であって、移動される前記実処理用処理ツールの先端が前記光学検出手段によって検出されたときの前記実処理用処理ツールの位置情報を比較検出位置情報として取得する工程と、(j)前記(h)工程にて取得される第2検出位置情報と前記(i)工程にて取得される比較検出位置情報とを比較する工程とをさらに有することを特徴とする。
請求項1ないし6に記載の発明によれば、実処理用処理ツールの位置教示を行う際に、目視および手動による操作を減らすことができる。したがって、実処理用処理ツールの位置教示を効率的に、かつ、精度良く行うことができる。
また、請求項2および6に記載の発明によれば、比較検出位置情報と、すでに取得した実処理用処理ツールの検出位置情報とを比較することで、実処理用処理ツールの検出位置のズレを検知することができる。
また、請求項3に記載の発明によれば、基板にブラシを接触させずに位置教示をすることも可能であり、基板の異物がブシに付着することによって、ブラシが汚染されることを防止できる。また、ブラシの個体差を検出することも可能であり、各ブラシに合わせて位置教示を行うことができる。
また、請求項4に記載の発明によれば、メンテナンス時に生じるノズルの位置ズレを補正するために、位置教示を実行する際、目視および手動による操作を減らすことができ、効率が良く、かつ、高精度なノズルの位置教示を行うことができる。
以下、本発明の好適な実施の形態について、添付の図面を参照しつつ、詳細に説明する。
<1. 第1の実施の形態>
<1.1. 基板処理装置の構成および機能>
図1は、本発明に係る基板処理装置1の配置構成を模式的に示す図である。
<1.1. 基板処理装置の構成および機能>
図1は、本発明に係る基板処理装置1の配置構成を模式的に示す図である。
なお、図1において、図示および説明の都合上、Z軸方向が鉛直方向を表し、XY平面が水平面を表すものとして定義するが、それらは位置関係を把握するために便宜上定義するものであって、以下に説明する各方向を限定するものではない。以下の各図についても同様である。
基板処理装置1は、加圧されたガス中に純水を混合して精製される混合流体を基板表面に吹き付けて洗浄(スプレー洗浄)しつつ、ブラシ50(図2参照)により基板上の汚れを除去する装置であり、主として、搬入搬出部IDとユニット配置部PMと、制御部8とから構成される。
搬入搬出部IDは、未処理の基板Wを複数収容したキャリア(カセット)Cが載置される搬入部11と、処理済みの基板Wを複数収容したキャリアCが載置される搬出部12と、受渡部13とを有している。
搬入部11は、テーブル状の載置台を有し、装置外の例えばAGV(Automatic Guided Vehicle)等の搬送機構によって未処理の基板Wを収容したキャリアCが当該載置台上に搬入される。キャリアCは、複数枚(例えば25枚)の基板Wを水平姿勢にて互いに間隔を隔てて鉛直方向に積層配置した状態で保持する。また、搬出部12も、テーブル状の載置台を有し、当該載置台に処理済みの基板Wを収容したキャリアCが載置され、当該キャリアCは装置外の搬出機構によって搬出される。
受渡部13は、搬入部11および搬出部12に載置されたキャリアCの配列方向に沿って移動し、かつキャリアCに対して基板Wを搬入、搬出する搬入搬出機構14と、受渡台15とを有する。搬入搬出機構14は、図示を省略する搬入搬出アームを備え、水平方向に沿った移動の他に鉛直方向を軸とする回転動作や鉛直方向に沿った昇降動作、搬入搬出アームの進退動作を行うことができる。これにより、搬入搬出機構14は、キャリアCに対して基板Wを搬出入を行うとともに、受渡台15に対して基板Wを授受する。
ユニット配置部PMは、搬入搬出部IDに隣接して設けられ、基板Wを収容して洗浄処理を行う4つの枚葉式の洗浄処理ユニットSSの列を形成し、この洗浄処理ユニットSSが間隔を空けて合計2列、Y方向に沿って配置される。そして洗浄処理ユニットSSの列と列との間には挟み込まれた搬送路TP1に搬送ロボットTR1が配置されている。なお、4つの洗浄処理ユニットSSは、相互に同一の構成を備える。
搬送ロボットTR1は、搬送路TP1の長手方向(洗浄処理ユニットSSの列の形成方向)に沿って走行し、4つの洗浄処理ユニットSSに対して基板Wを授受するとともに、受渡台15に対して基板Wを授受する。搬送ロボットTR1が洗浄処理ユニットSSに対して基板Wを授受するときには、各洗浄処理ユニットSSに備えられたシャッタ16が開放される。
図2は、洗浄処理ユニットSSの構成を示す斜視図である。洗浄処理ユニットSSは、主として、基板Wをほぼ水平に保持して回転させる基板保持回転機構2と、カップ30と、洗浄リンス機構4と、スクラブ機構5と、光学式センサ6(光学検出手段)とを備える。
基板保持回転機構2は、基板Wを保持するスピンベース20と、スピンベース20上に設けられた複数のチャックピン21と、スピンベース20を回転させる回転モータ22とを備える。スピンベース20は、その上に基板Wを略水平面内にて保持する。スピンベース20は、円盤状の部材であって、その上面にはそれぞれが円形の基板Wを把持する複数のチャックピン21が立設されている。
チャックピン21は、円形の基板Wを確実に保持するために3個以上設けてあればよいが、本実施の形態では6個設けている。チャックピン21は、基板Wを下方から支持する基板支持部21aと、基板Wの側端部側から保持する基板保持部21bとで構成される。基板保持部21bが基板Wの端部を押圧する状態の押圧状態から、基板保持部21bが基板Wの端部から離れる開放状態との間で切り換え可能に構成される。この切り換えは、例えば特公平3−9607号公報に開示されたリンク機構等によって実現可能であるが、これに限られるものではない。
スピンベース20に基板Wを搬入するときおよびスピンベース20から基板Wを搬出するときには、基板保持部21bを開放状態にする。一方、基板Wに対して処理を行うときには、基板保持部21bを押圧状態にする。押圧状態とすることによって、複数のチャックピン21は、基板Wをスピンベース20の上面から所定間隔てた上方の位置で基板Wを水平姿勢に把持する。
スピンベース20の下面側の中心部には、回転軸23が垂設されており、回転軸23は、回転モータ22に連結されている。回転モータ22が回転駆動すると、その駆動力が回転軸23に伝達され、回転軸23と、スピンベース20と、チャックピン21に保持された基板Wとが、回転軸23を軸に回転される。
洗浄処理ユニットSSには、スピンベース20およびそれに保持された基板Wを囲繞するようにカップ30が配置されている。また、カップ30はカップ昇降機構31によって昇降自在に構成される。カップ昇降機構31は、例えば、カップ30の側部に設けられる接続部に螺合され、Z軸方向に延設されたボール螺子と、このボール螺子を回転駆動するモータとで構成される(図示せず)。そして、カップ30を昇降させるためには、このモータを制御してボール螺子を正逆回転駆動し、カップ30を鉛直方向に沿って往復移動させる。
後述する基板Wの洗浄リンス機構4およびスクラブ機構5によって洗浄処理を行う際には、カップ30の上端がスピンベース20よりも上方になるように、カップ30を配置する。これにより、スピンベース20およびそれに保持された基板Wから飛散する洗浄液がカップ30の内壁面によって受け止められるため、洗浄液の飛沫等がカップ30の外部に拡散することを防止できる。
また、搬送ロボットTR1が洗浄処理ユニットSSに基板Wを受け渡す際、または、洗浄処理ユニットSSから基板Wを受け取る際は、カップ30の上端をスピンベース20よりも下方に下降させる。これにより、基板Wとカップ30とが干渉することなく、基板Wを搬入および搬出することができる。
洗浄リンス機構4は、所定の洗浄液を吐出するノズル40と、ノズル40に洗浄液を供給する洗浄液供給部41とで構成される。ノズル40の先端に設けられた吐出口は、基板Wの中心部に向けられている。洗浄液供給部41からノズル40へ洗浄液を供給することによって、ノズル40の吐出口から基板Wの中心部に向けて洗浄液が吐出される。
スクラブ機構5は、例えばポリビニルアルコールからなる略円筒形スポンジ状のブラシ50と、ブラシを下向きに保持するアーム51と、アーム51を略水平に支持する支持軸52と、支持軸52を鉛直軸線回りに回動させる回動モータ53と、支持軸52を上下に昇降させる昇降駆動機構54と、エンコーダ(位置検知手段)55とを備える。
ブラシ50は、アーム51の先端部近傍において、脱着自在に取り付けられる。また、ブラシ50が取り付けられるアーム51の先端部には、ブラシ回転駆動機構56が設けられている。ブラシ回転駆動機構56を駆動することによって、アーム51に取り付けられたブラシ50を回転させることができる。
支持軸52の基端部に接続されている回動モータ53を駆動することにより、その駆動力が支持軸52を介してアーム51に伝達され、アーム51が水平面内にて支持軸52を中心に回動される。このように回動モータ53を駆動することにより、ブラシ50を水平面内にて支持軸52を中心に回動させる。
また、支持軸52に接続されている昇降駆動機構54を駆動することにより、その駆動力が支持軸52を介してアーム51に伝達され、アーム51がZ方向に沿って上下に昇降される。このように昇降駆動機構54を駆動することによって、ブラシ50を基板Wの上面に当接させたり、基板Wの上方へ離間させたりする。
スクラブ機構5は、スピンベース20に保持された基板Wを回転させている間に、昇降駆動機構54および回動モータ53を駆動させて、ブラシ50を基板Wの上面に当接させつつ基板Wの中心部付近から周縁部付近に移動させることによって、基板Wの表面の全域をスキャンしながら洗浄できる。
なお、本実施の形態では、上記のアーム51と、支持軸52と、回動モータ53と、昇降駆動機構54とが、本発明における移動手段に相当する。
エンコーダ55は、アーム51および支持軸52の回転量と移動量とに基づき、水平方向の成分を回転角度として、鉛直方向の成分をZ座標値として、ブラシ50の位置を検知する。エンコーダ55は、検知したブラシ50の位置情報を制御部8に伝達し、制御部8は、ブラシ50の位置情報を(θ,Z)の形式で取得する。ここで、θとは所定の基準となる位置からの回転角度を示し、Zとは、所定の基準となる位置からの高さを示す。
図3は、光学式センサ6を備える洗浄処理ユニットSSを上方から見た図である。図3に示すように、光学式センサ6は、カップ30の外側に配置される。光学式センサ6は、光源を含む照射部60と、光電変換素子を含む受光部61とで構成され、受光部61は、照射部60から照射される光を直進的に受光するように配置される。また、光学式センサ6は、照射部60から照射される光の光軸が、チャックピン21に把持された基板W表面の高さ位置よりもやや上方の位置に配置される。なお、本実施の形態では、X方向とY方向の両方に沿って、光学式センサ6を2組設けているが、これに限られるものではなく、1組、若しくは3組以上設けてもよい。
ここで、光学式センサ6の機能について説明する。仮に、基板Wをスピンベース20に載置する際に、載置位置のズレが生じると、全ての基板支持部21aの上端面で基板Wが支持されず、基板Wが水平面に対して傾いた状態で載置される場合がある。このような状態で基板Wを回転させると、基板Wが脱落することによって、洗浄処理ユニットSSが破損する虞れがある。
光学式センサ6は、上記のような基板Wの位置ズレが起こっていることを以下のように検出できる。すなわち、基板Wが正常に載置されていた場合には、照射部60から照射された光は途中で妨げられることなく受光部61に、直進して到達する。一方、基板Wが水平面に対して傾斜した状態で載置された場合には、照射部60から照射された光は、基板Wによって進路を妨げられ、受光部61に到達できないか、あるいは直進的に到達できない。この受光状態の変化を受光部61の光電変換素子によって検出することで、光学式センサ6は、基板Wの載置ズレを検出する。なお、正常に光が到達しているときの受光部61の状態をON状態と称し、正常に光が到達していないときの受光部61の状態をOFF状態と称する。
また、光学式センサ6は、照射部60と受光部61との間の所定の位置を検査対象物の先端が通過したことを検出することも可能である。すなわち、検査対象物により照射部60から照射された光が遮光されることによって、当該光が、受光部61へ到達できないか、あるいは直進的に到達できなくなる(OFF状態)。この受光部61の受光状態の変化を検出することで、光学式センサ6は、検査対象物の先端が所定の位置を通過したことを検出できる。この光学式センサ6の機能は、後述するように、ブラシ50の位置を制御部8に教示する際に活用される。
図4は、基板処理装置1が備える各部と制御部8との接続構成を示したブロック図である。制御部8は、各種データを処理する演算部80と、プログラムや各種データを保存する記憶部81とを備える。また、オペレータが基板処理装置1に対して必要な指示を入力するための操作部82と、各種データを表示する表示部83とを備える。図4に示すように、制御部8は、主として、回転モータ22と、洗浄液供給部41と、回動モータ53と、昇降駆動機構54と、エンコーダ55と、ブラシ回転駆動機構56と、光学式センサ6とに電気的に接続しており、各部の動作を制御することができる。
演算部80は、検出位置情報取得部801と、オフセット取得部802と、基準位置算定部803とを備える。検出位置情報取得部801は、ブラシ50の先端が所定の位置を通過したことを光学式センサ6が検出したときに、ブラシ50の位置情報を取得して、記憶部81に格納する。
オフセット取得部802は、後述するオフセットを取得して、記憶部81に格納する。また、基準位置算定部803は、オフセット取得部802により取得されたオフセットから、ブラシ50の基準位置を算定する。
なお、制御部8の構成のうち、記憶部81の具体例としては、データを一時的に記憶するRAM、読み取り専用のROM、および磁気ディスク装置などが該当する。ただし、記憶部81は、可搬性の光磁気ディスクやメモリーカードなどの記憶媒体、およびそれらの読み取り装置により代用されてもよい。また、操作部82には、ボタンおよびスイッチ類(キーボードやマウスなどを含む。)などが該当するが、タッチパネルディスプレイのように表示部83の機能を兼ね備えたものであってもよい。なお表示部83には、液晶ディスプレイや各種ランプなどが該当する。
以上が、基板処理装置1の構成および機能の説明である。
<1.2. 位置教示方法>
次に、ブラシ50の位置を制御部8に教示する位置教示方法について説明する。
次に、ブラシ50の位置を制御部8に教示する位置教示方法について説明する。
本実施の形態では、位置教示を行うために、ブラシ50として教示用ブラシ50aと実処理用ブラシ50bとを使用する。実処理用ブラシ50bとは、実際に基板に対してスクラブ処理を行うブラシ50をいう。また、教示用ブラシ50aとは、実処理用ブラシ50bの位置を制御部8に教示するためのデータ(後述するオフセット)を取得する際に使用されるブラシ50をいい、少なくともその形状は、実処理用ブラシ50bと略同一のものである。
なお、教示用ブラシ50aはこれに限られるものではなく、実処理用ブラシ50bをそのまま流用してもよい。なお、以下において、特にことわりがなければ、ブラシ50は、教示用ブラシ50aおよび実処理用ブラシ50bの両方を指すものとする。
また、本実施の形態では、実処理用ブラシ50bの位置教示方法を、実処理用ブラシ50bを配置する際に基準となる、実処理用ブラシ50bの基準位置を算定する方法として説明する。そこで、以下に実処理用ブラシ50bの基準位置の算定方法を具体的に説明するが、本実施の形態では、実処理用ブラシ50bの基準位置を、鉛直成分と、水平成分に分けて算定する。
<1.2.1.鉛直方向の位置教示方法>
図5は、オフセットの鉛直成分を取得するための手順を示す流れ図である。また、図6ないし図8は、オフセットの鉛直成分の取得について説明するための、洗浄処理ユニットSSを上から見た図である。
図5は、オフセットの鉛直成分を取得するための手順を示す流れ図である。また、図6ないし図8は、オフセットの鉛直成分の取得について説明するための、洗浄処理ユニットSSを上から見た図である。
なお、あらかじめスピンベース20には基板Wが載置されているものとするが、基板Wの代わりに、基板Wと同一形状および大きさを有する円盤状部材(以下、「教示用基板」とも称する。)を載置しておいてもよい。
まず初めに、オペレータは、アーム51の先端部付近に教示用ブラシ50aを取り付ける(ステップS11)。ここでは、実処理用ブラシ50bそのものである教示用ブラシ50aを使用した場合について説明する。
ステップS11にて、教示用ブラシ50aを取り付けた後、オペレータは、操作部82を介して回動モータ53を駆動させる。そして、教示用ブラシ50aを昇降させたときに、光学式センサ6を検出できる位置に、教示用ブラシ50aを回動移動させる(図6参照)。
そして、オペレータは、昇降駆動機構54を駆動することによって、教示用ブラシ50aの底面と基板Wの表面とが接する位置に、目視により確認しつつ、教示用ブラシ50aを配置させる(ステップS12,図7参照)。この、図7に示す教示用ブラシ50aの位置が、教示用ブラシ50aの鉛直方向における基準位置となる。
なお、ステップS12において、目視の代わりに、例えば、教示用ブラシ50aに押圧センサを設け、教示用ブラシ50aと基板Wとが当接したことを検出してもよい。あるいは、導体の教示用ブラシ50aと導体の教示用基板とを組み合わせ、教示用ブラシ50aと教示用基板とが当接したことを電流測定により検出してもよい。これらの方法によれば、定量的に教示用ブラシ50aの鉛直方向における基準位置を決定することができる。
次に、基板処理装置1は、ステップS12における教示用ブラシ50aの位置を、エンコーダ55に検知させ、教示用ブラシ50aの鉛直方向における基準位置の鉛直成分(Zsv)を取得する(ステップS13)。なお、この取得された教示用ブラシ50aの基準位置情報の鉛直成分(Zsv)は、演算部80によって処理され、記憶部81に格納される。
次に、オペレータは、操作部82を介して昇降駆動機構54を駆動することによって、教示用ブラシ50aを上方へ移動させる。教示用ブラシ50aを上方移動させる前は、照射部60が照射する光は、教示用ブラシ50aによって、遮光されているため、受光部61はOFF状態(図7参照)であるが、教示用ブラシ50aの底部の高さ位置が、照射部60が照射する光の光軸の高さ位置よりも上方へ到達すると、受光部61はON状態となる(図8参照)。このように、基板処理装置1は、教示用ブラシ50aの底面(先端)が所定の位置を通過したことを、光学式センサ6に検出させる(ステップS14)。
次に、基板処理装置1は、ステップS14にて光学式センサ6が教示用ブラシ50aの通過を検出したときの教示用ブラシ50aの位置を、エンコーダ55によって検知させる。そして、基板処理装置1は、検出位置情報取得部801によって、エンコーダ55が検知したときの教示用ブラシ50aの位置情報(鉛直方向における第1検出位置情報)の鉛直成分(Z1)を取得する(ステップS15)。この取得された鉛直成分(Z1)は、検出位置情報取得部801によって処理され、記憶部81に格納される。
なお、ステップS12およびステップS13と、ステップS14およびステップS15とを実行する順序は、これに限られるものではなく、先にステップS14およびステップS15を実行した後に、ステップS12およびステップS13を実行してもよい。
次に、基板処理装置1は、オフセット取得部802によって、記憶部81に格納された鉛直方向における第1検出位置情報の鉛直成分と、教示用ブラシ50aの鉛直方向における基準位置情報の鉛直成分との差分を、オフセットの鉛直成分(Z1−Zsv)として算出する(ステップS16)。なお、算出されたオフセットの鉛直成分は、オフセット取得部802によって処理され、記憶部81に格納される。
以上のような流れで、基板処理装置1は、オフセットの鉛直成分を取得する。次に、ステップS16にて取得されたオフセットの鉛直成分を用いて、実処理用ブラシ50bの基準位置の鉛直成分を算定する方法について説明する。
図9は、実処理用ブラシ50bの鉛直方向における基準位置の鉛直成分を算定する手順を示す流れ図である。また、図10および図11は、実処理用ブラシ50bの鉛直方向における基準位置の算定について説明するための、洗浄処理ユニットSSを上から見た図である。
まず、オペレータは、アーム51に取り付けられている教示用ブラシ50aを取り外し、実処理用ブラシ50bを取り付ける(ステップS21)。そして、オペレータは、操作部82を介して回動モータ53および昇降駆動機構54を駆動することによって、ステップS14にて光学式センサ6により検出された位置(鉛直方向の第1検出位置)の下方(または上方)の近傍の位置に、実処理用ブラシ50bを移動させる(ステップS22、図10参照)。
なお、この近傍の位置は、オペレータの目視によって判断してもよいが、先に取得した鉛直方向における第1検出位置情報から、近傍の位置を適当に算定して、実処理用ブラシ50bを移動させてもよい。これにより、目視および手動による操作を減らすことができる。
次に、基板処理装置1は、昇降駆動機構54を駆動することによって、実処理用ブラシ50bを上昇(または下降)させる。図10および図11に示すように、実処理用ブラシ50bを、第1検出位置よりもやや下方の位置から上方へ移動させると、受光部61の状態がOFF状態(図10参照)からON状態(図11参照)となる。このように、基板処理装置1は、実処理用ブラシ50bの底面(先端)が所定の位置を通過したことを、光学式センサ6に検出させる(ステップS23)。
次に、基板処理装置1は、ステップS23にて光学式センサ6が、実処理用ブラシ50bの通過を検出したときの、実処理用ブラシ50bの位置を、エンコーダ55に検知させる。そして、基板処理装置1は、検出位置情報取得部801によって、エンコーダ55が検知した実処理用ブラシ50bの位置情報(鉛直方向における第2検出位置情報)の鉛直成分(Z2)を取得する(ステップS24)。この取得された鉛直成分(Z2)は、検出位置情報取得部801によって処理され、記憶部81に格納される。
次に、基板処理装置1は、基準位置算定部803よって、記憶部81に格納された鉛直方向における第2検出位置情報の鉛直成分と、すでに算定したオフセットの鉛直成分とから、実処理用ブラシ50bの鉛直方向における基準位置を算定する(ステップS25)。具体的には、鉛直方向における第2検出位置情報の鉛直成分(Z2)からオフセットの鉛直成分(Z1−Zsv)を減算して、実処理用ブラシ50bの基準位置情報の鉛直成分(Z2−(Z1−Zsv))を算定する。
そして、この実処理用ブラシ50bの基準位置の鉛直成分は、基準位置算定部803によって処理され、記憶部81に記憶される(ステップS26)。
以上が、実処理用ブラシ50bの鉛直方向の位置教示方法の説明である。
<1.2.2. 水平方向の位置教示方法>
次に水平方向における基準位置の算定方法について説明する。
次に水平方向における基準位置の算定方法について説明する。
図12は、オフセットの水平成分を取得するための手順を示す流れ図である。また、図13および14は、オフセットの水平成分の取得について説明するための、洗浄処理ユニットSSを上から見た図である。
まず、オペレータは、教示用ブラシ50aをアーム51の先端部近傍に取り付ける(ステップS31)。
そして、オペレータは、操作部82を介して昇降駆動機構54を駆動することによって、教示用ブラシ50aの下端が、照射部60から発せられる光の軸よりも低い位置になるように、教示用ブラシ50aを昇降移動させる。なお、前述した第1検出位置の鉛直成分(Z1)から、教示用ブラシ50aの高さ位置を算出するようにしてもよい。
次に、回動モータ53を駆動することによって、教示用ブラシ50aを、水平方向における基準位置に、例えば、目視により確認しつつ配置させる(ステップS32)。なお、本実施の形態では、教示用ブラシ50aの水平方向における基準位置を、基板Wの周縁の位置であって、教示用ブラシ50aの底面が基板Wの上方から外れない限界の位置としている(図13参照)。
次に、基板処理装置1は、ステップS12における教示用ブラシ50aの位置を、エンコーダ55に検知させ、教示用ブラシ50aの水平方向における基準位置の水平成分(θsh)を取得する(ステップS33)。なお、この取得された教示用ブラシ50aの基準位置の水平成分(θsh)は、演算部80によって処理され、記憶部81に格納される。
次に、オペレータは、操作部82を介して回動モータ53を駆動することによって、教示用ブラシ50aを回動移動させる。教示用ブラシ50aが回動移動する前(基準位置に配置されているとき)、照射部60が照射する光は、教示用ブラシ50aによって遮光されることはないため、受光部61はON状態(図13参照)であるが、教示用ブラシ50aの側面が、照射部60の照射する光軸と重なると、受光部61はOFF状態(図14参照)となる。このように、基板処理装置1は、教示用ブラシ50aの側面(先端)が所定の位置を通過したことを、光学式センサ6に検出させる(ステップS34)。
次に、基板処理装置1は、ステップS34にて光学式センサ6が教示用ブラシ50aの通過を検出したときの教示用ブラシ50aの位置を、エンコーダ55によって検知させる。そして、基板処理装置1は、検出位置情報取得部801によって、エンコーダ55が検知したときの教示用ブラシ50aの位置情報(水平方向における第1検出位置情報)の水平成分(θ1)を取得する(ステップS35)。この取得された水平成分(θ1)は、検出位置情報取得部801によって処理され、記憶部81に格納される。
ここで、本実施の形態では、水平方向における第1検出位置情報の水平成分(θ1)と、鉛直方向における第1検出位置情報の鉛直成分(Z1)とを組み合わせた位置情報(θ1,Z1)が、本発明における第1検出位置情報となる。
なお、ステップS32およびステップS33と、ステップS34およびステップS35とを実行する順序は、これに限られるものではなく、先にステップS34およびステップS35を実行して、ステップS32およびステップS33を実行してもよい。
次に、基板処理装置1は、オフセット取得部802によって、記憶部81に格納された水平方向における第1検出位置情報の水平成分と、教示用ブラシ50aの鉛直方向における基準位置情報の水平成分との差分を、オフセットの水平成分(θ1−θsh)として算出する(ステップS36)。なお、算出されたオフセットの水平成分は、オフセット取得部802によって処理され、記憶部81に格納される。
以上のような流れで、基板処理装置1は、オフセットの水平成分を取得する。次に、ステップS36にて取得されたオフセットの水平成分を用いて、実処理用ブラシ50bの水平方向における基準位置の水平成分を算定する方法について説明する。
なお、本実施の形態では、取得されたオフセットの水平成分(θ1−θsh)と、すでに算定されたオフセットの鉛直成分(Z1−Zsv)とを組み合わせた差分情報(θ1−θsh,Z1−Zsv)が、本発明におけるオフセットとなる。
図15は、実処理用ブラシ50bの基準位置の水平成分を算定する手順を示す流れ図である。図16および図17は、実処理用ブラシ50bの水平方向における基準位置の水平成分の算定方法を説明するための、洗浄処理ユニットSSを上から見た図である。
まず、オペレータは、アーム51に取り付けられている教示用ブラシ50aを取り外し、実処理用ブラシ50bを取り付ける(ステップS41)。そして、オペレータは、操作部82を介して回動モータ53および昇降駆動機構54を駆動させることによって、実処理用ブラシ50bを、ステップS34にて光学式センサ6により検出された位置(水平方向における第1検出位置)の近傍の位置であって、当該検出された位置よりも基板Wの周縁側に移動させる(ステップS42,図16参照)。
なお、この近傍の位置は、オペレータの目視によって判断してもよいが、先に取得した水平方向における第1検出位置情報から、近傍の位置を適当に算定して、実処理用ブラシ50bを移動させてもよい。これにより、目視および手動による操作を減らすことができる。
次に、基板処理装置1は、回動モータ53を駆動することによって、実処理用ブラシ50bを回動移動させる。図16および図17に示すように、実処理用ブラシ50bを(−X)側から(+X)側へ回動移動させると、照射部60により照射された光が、実処理用ブラシ50bによって遮られ、受光部61に光が到達できなくなる。このように、基板処理装置1は、実処理用ブラシ50bの側面(先端)が所定の位置に到達したことを、光学式センサ6に検出させる(ステップS43)。
次に、基板処理装置1は、ステップS23にて光学式センサ6が、実処理用ブラシ50bの側面を検出したときの、実処理用ブラシ50bの位置を、エンコーダ55に検知させる。そして、基板処理装置1は、検出位置情報取得部801によって、エンコーダ55が検知した実処理用ブラシ50bの位置情報(水平方向における第2検出位置情報)の水平成分(θ2)を取得する(ステップS44)。この取得された水平成分(θ2)は、検出位置情報取得部801によって処理され、記憶部81に格納される。
ここで、本実施の形態では、水平方向における第2検出位置情報の水平成分(θ2)と、すでに算定されている鉛直方向における第2検出位置情報の鉛直成分(Z2)とを組み合わせた位置情報(θ2,Z2)が、本発明における第2検出位置情報となる。
次に、基板処理装置1は、基準位置算定部803によって、記憶部81に格納された水平方向における第2検出位置情報の水平成分と、すでに算定したオフセットの水平成分とから、実処理用ブラシ50bの基準位置の水平成分を算定する(ステップS45)。具体的には、水平方向における第2検出位置情報の水平成分(θ2)からオフセットの水平成分(θ1−θsh)を減算することによって、実処理用ブラシ50bの基準位置の水平成分(θ2−(θ1−θsh))を算定する。
そして、この実処理用ブラシ50bの基準位置の水平成分は、基準位置算定部803によって処理され、記憶部81に記憶される(ステップS46)。さらに、基板処理装置1の洗浄処理ユニットSSは、この記憶された実処理用ブラシ50bの水平成分およびステップS26で取得された鉛直成分の情報を元に、実処理用ブラシ50bの基準位置を算定する。本実施の形態の場合、実処理用ブラシ50bの基準位置は、(θ2−(θ1−θsh),Z2−(Z1−Zsv))と算定される。
以上のように、算定された実処理用ブラシ50bの基準位置情報は、記憶部81に格納される。そして、洗浄処理ユニットSSが基板Wを洗浄処理する際には、制御部8によって、この基準位置情報が参照される。そして、実処理用ブラシ50bを基準位置へ移動させて、洗浄処理ユニットSSは、基板Wの洗浄を実行する。
なお、上記実施の形態では、X方向に沿って配置された光学式センサ6を使った位置教示の方法について説明したが、Y方向に沿って配置された光学式センサ6を使って、同様に教示用ブラシ50aを使用したオフセット取得、および実処理用ブラシ50bの基準位置の算定を行ってもよい。または、両方の光学式センサ6を使って、実処理用ブラシ50bの基準位置を算定することによって、実処理用ブラシ50bの位置教示の精度を高めることができる。
<1.3. 本実施の形態の効果>
教示用ブラシ50aを使用して、オフセットを取得することによって、実処理用ブラシ50bの基準位置を、半自動的に算定できる。したがって、目視や手動による操作を減らすことができるため、基板製造の効率を向上させることができる。
教示用ブラシ50aを使用して、オフセットを取得することによって、実処理用ブラシ50bの基準位置を、半自動的に算定できる。したがって、目視や手動による操作を減らすことができるため、基板製造の効率を向上させることができる。
また、光学式センサ6を使用することによって、実処理用ブラシ50bの交換時に目視確認なしに位置調整が可能となる。また、測定器等を用いなくとも位置調整が可能である。
また、基板処理装置1が、実処理用ブラシ50bの先端を光学式センサ6によって検出することによって、交換される各実処理用ブラシ50bの個体差に合わせて、基準位置を算定することができる。
また、実処理用ブラシ50bの基準位置を算定する際に、実処理用ブラシ50bを基板Wに接触させる必要がないため、基板Wや実処理用ブラシ50bに異物が付着するのを抑制できる。したがって、実処理用ブラシ50bの交換時に、基板Wや実処理用ブラシ50bを無駄にすることを抑制でき、コストを低減できる。
また、光学式センサ6は、基板Wのチャックピン21への載置異常を検出することも可能であり、ブラシ50の通過を検出する機能との兼用が可能である。したがって、基板処理装置1の製造コストを低減できる。
<2. 第2の実施の形態>
上記実施の形態では、実処理用ブラシ50bの位置を制御部8に教示する方法について説明した。しかし、基板処理装置1は、所定の構成を付加されることによって、さらに有用な機能を発揮できる。
上記実施の形態では、実処理用ブラシ50bの位置を制御部8に教示する方法について説明した。しかし、基板処理装置1は、所定の構成を付加されることによって、さらに有用な機能を発揮できる。
図18は、第2の実施の形態に係る制御部8aの構成を示すブロック図である。なお、第1の実施の形態と同様の構成については、適宜同符号を付し、説明を省略する。以下の実施の形態でも同様とする。
図18に示すように、制御部8aの備える演算部80aは、比較部804を備える。比較部804は、2以上の記憶部81に格納されたブラシ50の位置情報を比較する機能を有している。
図19は、実処理用ブラシ50bの検出位置の異常を検知するための手順を示す流れ図である。以下に述べる動作を実行することで、基板処理装置1の各部の故障やブラシ50の磨耗または破損等に起因するブラシ50の検出位置の異常を自動的に検出することが可能である。
なお、第1の実施の形態で説明した、実処理用ブラシ50bの光学式センサが検出する位置(鉛直方向における第2検出位置および水平方向における第2検出位置)の情報は、検出位置情報取得部801によってすでに取得され、第2検出位置情報(θ2,Z2)として記憶部81に格納されているものとする。
まず初めに、制御部8aは、所定の時間が経過したかどうかを判断する(ステップS51)。このステップS51により、定期的にブラシ50の配置位置の異常を検出することが可能となる。なお、この所定の時間は、タイマによって測定されてもよいし、実処理用ブラシ50bによってスクラブ処理した基板Wの枚数で測定されてもよい。
次に、基板処理装置1が、ステップS51で所定の時間が経過したと判断した場合(YESの場合)には、図9に示すステップS22からステップS24および図15に示すステップS42からステップS44と同様の動作を実行することによって、現在使用中の実処理用ブラシ50bを光学式センサ6によって再度検出させる(ステップS52)。
そして、ステップS52において光学式センサ6が検出したときの実処理用ブラシ50bの位置を、エンコーダ55によって検知し、比較検出位置情報として取得する(ステップS53)。この比較検出位置情報は、検出位置情報取得部801によって処理され、記憶部81に格納される。
次に、比較部804は、記憶部81に格納されている比較位置情報と、以前に取得した第2検出位置情報とを比較する(ステップS54)。具体的には、比較位置情報と第2検出位置情報とを比較して、鉛直成分について所定の長さ以上、あるいは水平成分について所定の角度以上ズレているかどうかを比較する。
ステップS54において、所定の値以上ズレていると判断された場合(YESの場合)には、さらに、実処理用ブラシ50bの交換が必要か否かが判断される(ステップS55)。具体的には、実処理用ブラシ50bの使用期間が、耐用期間を超えたかどうかで判断する。実処理用ブラシ50bに除去が困難な汚染物が付着した場合や、実処理用ブラシ50bが洗浄処理によって摩耗した場合等に、実処理用ブラシ50bを交換する必要があるが、このステップS55の動作を実行することで、基板処理装置1は、実処理用ブラシ50bを交換するべき時期を自動的に判断することができる。
なお、一般的に、この実処理用ブラシ50bの耐用期間は、ステップS51の判断基準となる所定の時間よりも長い時間に設定される。
一方、ステップS54において、所定の値以上ズレていないと判断された場合(NOの場合)には、ステップS51に戻って、以降の動作が繰り返される。
ステップS55において、実処理用ブラシ50bの交換が必要と判断された場合(YESの場合)、基板処理装置1は、表示部83に交換が必要である旨の表示等を行い、動作を終了する。一方、ステップS55において、実処理用ブラシ50bの交換が必要でないと判断された場合(NOの場合)には、制御部8によって、表示部83に警告メッセージが表示される(ステップS56)。
オペレータは、表示部83に警告メッセージが表示されていることを確認することで、基板処理装置1の異常を確認できる。光学式センサ6により検出される実処理用ブラシ50の検出位置がズレる原因としては、例えば、アーム51、支持軸52、回動モータ53、昇降駆動機構54の各接続部分における螺子の緩みが考えられる。また、これ以外にも、実処理用ブラシ50bに異物が付着していることによって、実処理用ブラシ50bの検出位置がズレる場合等があげられる。
警告を確認したオペレータは、上記に挙げたような異常の原因部分について、基板処理装置1の調整(部品交換等)を行う(ステップS57)。調整が終わると、基板処理装置1は、再度ステップS51に戻って、以降の動作を繰り返し実行する。
以上のように、定期的に光学式センサ6によって実処理用処理ツール50bを検出させて、比較検出位置情報を自動的に取得し、この比較検出位置情報と、記憶部81に既に格納している検出位置情報とを比較部804によって比較することで、オペレータは、基板処理装置1の異常を自動的に察知可能となる。また、基板Wのスクラブ処理を、実処理用ブラシ50bが好適な状態で実行できる。これにより、基板製造の均一化、効率化をはかることができる。
<3. 第3の実施の形態>
上記実施の形態では、ブラシ50に関しての位置教示や、ブラシ50の位置の警告を行う基板処理装置1の動作について説明したが、これらの動作はもちろんブラシ50に限られるものではない。例えば、洗浄液を吐出するノズル40の位置教示も同様に行うことが可能である。
上記実施の形態では、ブラシ50に関しての位置教示や、ブラシ50の位置の警告を行う基板処理装置1の動作について説明したが、これらの動作はもちろんブラシ50に限られるものではない。例えば、洗浄液を吐出するノズル40の位置教示も同様に行うことが可能である。
すなわち、図示しないノズルの移動機構を設け、ノズルをX,Y,Zの各方向に移動可能に構成する。そして、第1の実施の形態で説明したように、教示用ノズルを使用してオフセットを取得する。そして、教示用ノズルから実処理用ノズルに取り換えて、実処理用ノズルの基準位置を算定する。これにより、実処理用ノズルの位置を制御部8に教示する精度を向上させることができる。また、目視および手動操作による人為的な誤差の発生を抑制でき、基板処理の均一化を実現できる。
また、第2の実施の形態で述べたような構成は、ノズルに対しても適用可能である。すなわち、上記と同様の機能を基板処理装置に持たせることによって、ノズルの位置に関する異常を自動的に検出してオペレータに伝達することができる。
<4. 変形例>
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
例えば、上記実施の形態では、光学式センサ6は、基板Wのスピンベース20に対する載置位置のズレを検出する機能と、検査対象物(ブラシ50等)の先端が所定の位置を通過したことを検出する機能とを併せ持つと説明した。しかし、これに限られるものではなく、もちろん光学式センサ6を、それぞれの用途に合わせて別々に設けてもよい。
また、上記実施の形態では、ブラシ50の水平方向の移動について回動モータ53を使用していたが、X方向とY方向との両方に独立して移動可能な移動機構を設けてもよい。このような場合であっても、同様の効果を得ることができる。
また、ブラシ50(またはノズル40)の各位置情報を取得する上で、位置教示用の補助治具を使用して、位置教示が実行されてもよい。補助治具を使用することによって、オペレータが、目視による作業を、より正確に行うことが可能となる。また、例えば配置される位置との関係で、光学式センサ6によって検出できないような処理ツールであっても、適切な補助治具を使用することで、検出することが可能となる。
また、上記実施の形態では、実処理用ブラシ50bや実処理用ノズルの鉛直方向における基準位置の算定を行ってから、水平方向における基準位置の算定を行うとしているが、算定する順序はこの逆でもよい。また、実処理用ブラシ50bおよび実処理用ノズルの鉛直方向および水平方向における基準位置を同時に算定できるように、基板処理装置を構成してもよい。
また、上記実施の形態では、洗浄処理ユニットSSに備えられるブラシ50やノズル40の位置教示について説明した。しかし、上記の位置教示技術は、基板にレジストを塗布する装置に使用される吐出ノズルや、その他の工作機械における磨耗や交換を伴う各処理ツールの位置教示にも適用することが可能である。
1 基板処理装置
4 洗浄リンス機構
40 ノズル
5 スクラブ機構
50 ブラシ
50a 教示用ブラシ
50b 実処理用ブラシ
51 アーム
52 支持軸
53 回動モータ
54 昇降駆動機構
55 エンコーダ
6 光学式センサ
8,8a 制御部
80,80a 演算部
801 検出位置情報取得部
802 オフセット取得部
803 基準位置算定部
804 比較部
81 記憶部
W 基板
4 洗浄リンス機構
40 ノズル
5 スクラブ機構
50 ブラシ
50a 教示用ブラシ
50b 実処理用ブラシ
51 アーム
52 支持軸
53 回動モータ
54 昇降駆動機構
55 エンコーダ
6 光学式センサ
8,8a 制御部
80,80a 演算部
801 検出位置情報取得部
802 オフセット取得部
803 基準位置算定部
804 比較部
81 記憶部
W 基板
Claims (6)
- 所定の処理ツールにより基板に処理を行う基板処理装置であって、
処理ツールを移動させる移動手段と、
前記移動手段によって移動される処理ツールの位置情報を検知する位置情報検知手段と、
前記位置情報検知手段によって検知された処理ツールの位置情報を記憶する記憶手段と、
処理ツールによる遮光の有無を検知することによって、前記移動手段により移動する処理ツールの先端が所定位置を通過したことを検出する光学検出手段と、
前記移動手段によって移動される処理ツールの先端が前記所定位置に到達したことを前記光学検出手段が検出したときに、前記位置情報検知手段によって検知される前記処理ツールの位置情報を検出位置情報として取得する検出位置情報取得手段と、
教示用処理ツールが基準位置に位置するときの位置情報と、前記検出位置情報取得手段によって取得される前記教示用処理ツールの検出位置情報との差分をオフセットとして取得するオフセット取得手段と、
前記検出位置情報取得手段によって取得される実処理用処理ツールの検出位置情報と、前記オフセットとから前記実処理用処理ツールの基準位置を算定して、前記記憶手段に格納する基準位置算定手段と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記検出位置情報取得手段によって実処理用処理ツールの検出位置情報を取得した後であって、前記検出位置情報取得手段によって再度取得される前記実処理用処理ツールの比較検出位置情報と、前記検出位置情報とを比較する比較手段をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置であって、
前記実処理用処理ツールは、基板を洗浄するブラシであることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置であって、
前記実処理用処理ツールは、所定の処理液を吐出するノズルであることを特徴とする基板処理装置。 - 所定の処理ツールの位置を教示する処理ツール位置教示方法であって、
(a) 教示用処理ツールを基準位置に配置する工程と、
(b) 前記(a)工程にて前記教示用処理ツールを前記基準位置に配置したときの、前記教示用処理ツールの位置情報を取得する工程と、
(c) 前記教示用処理ツールを移動させつつ、前記教示用処理ツールの先端が所定の位置を通過したことを、光学検出手段によって検出する工程と、
(d) 前記(c)工程にて前記光学検出手段が検出したときの、前記教示用処理ツールの位置情報を第1検出位置情報として取得する工程と、
(e) 前記(b)工程にて取得される位置情報と前記(d)工程にて取得される第1検出位置情報との差分をオフセットとして取得する工程と、
(f) 実処理用処理ツールを移動させつつ、前記実処理用処理ツールの先端が前記所定の位置を通過したことを、前記光学検出手段によって検出させる工程と、
(g) 前記(f)工程にて前記光学検出手段が検出したときの、前記実処理用処理ツールの位置情報を第2検出位置情報として取得する工程と、
(h) 前記(e)工程にて取得されるオフセットと前記(g)工程にて取得される第2検出位置情報とから前記実処理用処理ツールの基準位置を算定する工程と、
を有することを特徴とする処理ツール位置教示方法。 - 請求項5に記載の処理ツール位置教示方法であって、
(i) 前記(h)工程が実行された後であって、移動される前記実処理用処理ツールの先端が前記光学検出手段によって検出されたときの前記実処理用処理ツールの位置情報を比較検出位置情報として取得する工程と、
(j) 前記(h)工程にて取得される第2検出位置情報と前記(i)工程にて取得される比較検出位置情報とを比較する工程と、
をさらに有することを特徴とする処理ツール位置教示方法。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011077245A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置およびティーチング方法 |
JP2011211093A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置のためのティーチング方法 |
JP2015220402A (ja) * | 2014-05-20 | 2015-12-07 | 株式会社荏原製作所 | 基板洗浄装置および基板洗浄装置で実行される方法 |
JP2017045922A (ja) * | 2015-08-28 | 2017-03-02 | 株式会社Screenホールディングス | ティーチング方法、治具、および、基板処理装置 |
TWI610723B (zh) * | 2014-06-25 | 2018-01-11 | 斯克林集團公司 | 基板處理裝置、治具、及教導方法 |
JP7508426B2 (ja) | 2021-09-14 | 2024-07-01 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 洗浄装置 |
-
2007
- 2007-10-19 JP JP2007272445A patent/JP2009099906A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011077245A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置およびティーチング方法 |
JP2011211093A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置のためのティーチング方法 |
JP2015220402A (ja) * | 2014-05-20 | 2015-12-07 | 株式会社荏原製作所 | 基板洗浄装置および基板洗浄装置で実行される方法 |
US10018545B2 (en) | 2014-05-20 | 2018-07-10 | Ebara Corporation | Substrate cleaning apparatus and method executed in the same |
TWI610723B (zh) * | 2014-06-25 | 2018-01-11 | 斯克林集團公司 | 基板處理裝置、治具、及教導方法 |
JP2017045922A (ja) * | 2015-08-28 | 2017-03-02 | 株式会社Screenホールディングス | ティーチング方法、治具、および、基板処理装置 |
JP7508426B2 (ja) | 2021-09-14 | 2024-07-01 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 洗浄装置 |
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