KR100722642B1 - 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 슬릿 노즐의 상태를 최적화하여 도포 불균일을 억제하기 위한 것다.

슬릿 노즐(41)에서, 제1 립(410)의 제1 립면(410a)을 제2 립(411)의 제2 립면(411a)보다 단차(D)만큼 낮은 위치에 배치한다. 본 도포 처리에서의 슬릿 노즐(41)의 주사 방향((+X) 방향)과는 역방향((-X) 방향)으로 슬릿 노즐(41)을 주사시키면서, 예비 도포 부재인 롤러(71)에 레지스트액을 도포하여 예비 도포 처리를 행한다. 예비 도포 처리에 의해 정상화된 슬릿 노즐(41)을 (+X) 방향으로 주사하면서 기판(90)에 레지스트액을 도포하여 본 도포 처리를 행한다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법{APPARATUS FOR AND METHOD OF PROCESSING SUBSTRATE}

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 기판 처리 장치의 개략을 도시하는 사시도.

도 2는 주로 개구부 내의 예비 도포 기구의 구성을 도시하는 측면도.

도 3은 예비 도포 위치에 배치된 슬릿 노즐을 도시하는 도면.

도 4는 기판 처리 장치의 동작을 도시하는 흐름도.

도 5는 본 도포 처리를 행한 경우의 도포 불균일의 발생 결과를 도시하는 도면.

도 6은 슬릿 코터의 개략 구성을 도시하는 사시도.

도 7은 노즐 조정부의 구성을 도시하는 측면도.

도 8은 세정액의 공급 계통 및 배출 계통을 도시하는 도면.

도 9는 부착물 제거부의 구성을 상세하게 도시하는 도면.

도 10은 상측 볼트의 배치를 도시하는 도면.

도 11은 슬릿 노즐의 선단부의 정상 상태의 일례를 도시하는 도면.

도 12는 슬릿 노즐의 선단부의 정상 상태의 일례를 도시하는 도면.

도 13은 슬릿 노즐의 선단부의 불량 상태의 일례를 도시하는 도면.

도 14는 슬릿 노즐의 선단부의 불량 상태의 일례를 도시하는 도면.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

41 : 슬릿 노즐

410 : 제1 립

411 : 제2 립

412 : 심 판

41a : 토출구

7 : 예비 도포 기구

71 : 롤러

D : 단차

271 : 블레이드

272 : 블레이드 유지 부재

279 : 상측 볼트

본 발명은 액정용 유리 각형 기판, 반도체 웨이퍼, 필름 액정용 플렉시블 기판, 포토마스크용 기판, 컬러 필터용 기판 등의 기판(이하, 단순히「기판」이라 함)의 표면에 포토레지스트 등의 처리액을 도포하는 기술에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 도포 정밀도를 향상시키기 위해서 노즐의 상태를 정상화시키는 기술에 관 한 것이다.

종래로부터, 기판의 표면에 포토레지스트 등의 처리액을 도포하는 기판 처리 장치가 알려져 있다. 이러한 기판 처리 장치로서 슬릿형상의 토출부를 갖는 슬릿 노즐을 사용하여 도포막을 형성하는 도포 처리(슬릿 코트)를 행하는 슬릿 코터가 알려져 있다. 도포 후에 도포막을 균일화시키기 위한 회전 처리를 행하지 않는 슬릿 코터에 있어서, 도포막 두께의 불균일(이하, 「도포 불균일」이라 함)은 그대로 제품의 배선폭 등의 문제(불량 원인)가 된다.

이 도포 불균일이 생기지 않도록 하기 위해서는 슬릿 노즐이 도포 처리에 적합한 소정 상태로 되어 있는 것이 바람직하다. 보다 구체적으로는, 도 11 및 도 12의 측면도에 도시하는 바와 같이, 슬릿 노즐(341)의 선단부가 그 길이 방향의 전체에 걸쳐 슬릿 노즐(341)의 하단면에 처리액(B)이 존재하지 않는 상태(도 11), 또는 슬릿 노즐(341)의 하단면에 얇고 균일하게 처리액(B)의 액체 고임이 형성되어 있는 상태(도 12)인 것이 이상적이다. 즉, 슬릿 노즐(341)의 선단부가 길이 방향 및 폭방향을 막론하고 균일한 상태로 되어 있는 것이 바람직한 것이 된다.

그러나, 도포 처리를 반복하여 실행하면, 도 13에 도시하는 바와 같이, 슬릿 노즐(341)의 선단부의 측면 등에 처리액(Ba)이 부착하는 경우가 있다. 이와 같이 부착된 처리액(Ba)은 토출구(341a)에서 토출되는 처리액(B)과 간섭하여 도포 처리의 정밀도를 저하시켜 도포 불균일의 원인이 된다. 이것을 해소하기 위해서 슬릿 코터에서는, 세정액을 사용하여 슬릿 노즐의 선단부를 세정하는 세정 처리가 이루어지는 경우도 있다. 단, 이러한 세정 처리를 행해도, 도 14에 도시하는 바와 같 이, 토출구(341a) 내에 세정액(R)(또는, 공기)이 들어가는 경우가 있고, 세정 처리만으로는 슬릿 노즐의 선단부를 균일한 소정 상태로 정리하는 것은 어렵다.

그 때문에, 종래부터 슬릿 노즐의 상태를 회복하는 여러 가지 기술이 알려져 있고, 예컨대 일본 특허 공개 제2002-282760호 공보에 제안되어 있다.

일본 특허 공개 제2002-282760호 공보에는 슬릿 노즐의 측면 등에 발수성 재료를 코팅하여 불필요한 처리액이 부착하지 않도록 가공하는 기술이 기재되어 있다. 그러나, 1m 이상의 슬릿 노즐의 선단만을 코팅하기 때문에, 비용이 증대하여 슬릿 노즐이 고가로 된다는 문제가 있었다. 또한, 코팅 처리는 열처리를 수반하기 때문에 슬릿 노즐에 왜곡이 생길 우려가 있었다.

또한, 슬릿 코터에 있어서는 회전하고 있는 대략 원통형의 롤러의 외주면에 슬릿 노즐을 근접시킨 상태에서 일정한 처리액을 토출시키고, 이에 따라 슬릿 노즐의 선단부를 도 11, 도 12에 도시하는 바와 같은 균일한 소정 상태로 정리하는 것도 이루어지고 있다(예컨대, 일본 특허 공개 제2001-310147호 공보, 일본 특허 공개 제2004-167476호 공보 참조). 이 처리는 원래의 기판에 대한 도포 처리(본 도포 처리)의 전에 행해지기 때문에 「예비 도포 처리(프리디스펜스)」라고 불린다.

그런데, 상기 예비 도포 처리를 단순히 행하는 것만으로는 슬릿 노즐의 상태를 완전히 최적화하는 것은 어렵다. 따라서, 예컨대, 소정 횟수의 처리를 행할 때마다, 또는 소정의 시간이 경과할 때마다 슬릿 노즐의 세정 처리 등을 행할 필요가 있다. 그리고 슬릿 노즐의 세정 처리를 행하고 있는 동안에는 도포 처리가 중단되 기 때문에 스루풋이 저하된다. 따라서, 슬릿 노즐의 상태를 정상화시키는 기술에 대해서는 더욱 개선이 요구되고 있다.

또한 그런데, 예비 도포 처리에 의해 롤러의 외주면에 부착된 처리액은 소정의 세정액과 혼합된 후, 회전하고 있는 롤러의 외주면에 맞닿는 긴 블레이드에 의해서 롤러의 외주면으로부터 긁어 내어져 제거되게 되어 있다. 일반적으로, 이 블레이드는 영율이 610MPa 내지 6530MPa 정도인 폴리에틸렌, 폴리아세탈, 폴리에스테르 등의 플라스틱으로 구성된다.

최근, 기판의 사이즈의 대형화에 수반하여 슬릿 코터의 슬릿 노즐에 요구되는 사이즈도 장대화되고 있고, 이에 따라, 롤러의 길이 방향의 사이즈의 장대화도 진행되고 있다.

그러나, 이와 같이 롤러의 장대화가 진행되면, 롤러의 가공이나 그 부착에 있어서 편심이 생기거나, 부착된 롤러 자중에 의해 롤러의 길이 방향에 있어서 미소한 휘어짐이 생기는 일이 있다. 이에 따라, 엄밀한 레벨(㎛ 레벨)에 있어서는 롤러의 외주면을 길이 방향에 있어서 직선적으로 배치하는 것이 어렵게 되고 있다.

한편으로, 롤러로의 부착물을 제거하기 위한 상기 블레이드는 롤러의 길이 방향을 따라 대략 직선적으로 배치된다. 이 때문에, 롤러의 외주면이 길이 방향에 있어서 비직선이 되면, 외주면의 부분적으로는 블레이드에 의한 롤러로의 압압력이 약해지는 부분이나, 블레이드와 롤러가 접촉하지 않는 부분이 생기게 된다. 그 결과, 롤러의 외주면에서는 부분적으로 블레이드에 의해서 제거할 수 없었던 잔류물이 생기고, 이 잔류물이 슬릿 노즐의 소정 상태로의 조정을 저해하게 된다.

본 발명은, 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로서, 슬릿 노즐의 상태를 최적화하여 도포 불균일을 억제하는 것을 제1 목적으로 한다.

또한, 본 발명은, 롤러의 길이 방향의 전체에 걸쳐 롤러로의 부착물을 제거하는 것을 제2 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 청구항 1의 발명은, 기판에 처리액을 도포하는 기판 처리 장치로서, 기판을 유지하는 유지 수단과, 상기 유지 수단에 유지된 기판을 제1 방향으로 주사하면서 토출구로부터 상기 기판에 대하여 처리액을 토출하는 슬릿 노즐과, 상기 슬릿 노즐에 의해서 처리액이 도포되는 예비 도포 부재와, 상기 슬릿 노즐이 상기 예비 도포 부재의 표면을 상기 제1 방향에 대하여 거의 역방향인 제2 방향으로 주사하도록 상기 슬릿 노즐과 상기 예비 도포 부재의 표면을 상대적으로 이동시키는 이동 수단을 구비하고, 상기 슬릿 노즐은 상기 토출구의 상기 제1 방향측에 위치하는 제1 립면과, 상기 토출구의 상기 제2 방향측에 위치하는 제2 립면을 가지고, 상기 제1 립면은 상기 제2 립면보다도 처리액의 토출 방향으로 돌출하고 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 2의 발명은, 청구항 1의 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 상기 예비 도포 부재는 대략 원통형의 부재이고, 상기 이동 수단은 상기 예비 도포 부재의 표면을 상기 슬릿 노즐이 상기 제2 방향으로 주사하도록 상기 예비 도포 부재를 축심 둘레에서 회전시키는 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 3의 발명은, 청구항 2의 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 상 기 제1 립면을 상기 제2 립면보다도 돌출시키는 조정 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 4의 발명은, 청구항 1 내지 3 중 어느 하나의 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 상기 제1 립면은 상기 제2 립면보다도 30㎛ 이상 돌출되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 5의 발명은, 청구항 2의 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 상기 예비 도포 부재의 표면에 맞닿음으로써 해당 표면으로의 부착물을 제거하는 긴 블레이드를 더 구비하고, 상기 블레이드는 영율이 1MPa 내지 20MPa의 범위 내인 탄성체로 구성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 6의 발명은, 청구항 2의 발명에 따른 기판 처리 장치로서, 상기 예비 도포 부재의 표면에 맞닿음으로써 해당 표면으로의 부착물을 제거하는 긴 블레이드를 더 구비하고, 상기 블레이드는 고무로 구성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 7의 발명은, 슬릿 노즐에 설치된 토출구로부터 처리액을 토출시켜 기판에 처리액을 도포하는 기판 처리 방법으로서, 기판을 유지하는 유지 공정과, 상기 유지 공정에서 유지된 상기 기판에 대하여 상기 슬릿 노즐을 제1 방향으로 주사하면서 상기 기판에 처리액을 도포하는 본 도포 공정과, 상기 슬릿 노즐이 상기 제1 방향의 거의 역방향이 되는 제2 방향으로 주사하도록 예비 도포 부재의 표면을 상대 이동시키면서 상기 예비 도포 부재에 처리액을 도포하는 예비 도포 공정을 갖고, 상기 본 도포 공정 및 상기 예비 도포 공정에서 상기 토출구의 상기 제1 방향측에 설치되는 제1 립면은 상기 토출구의 상기 제2 방향측에 설치되는 제2 립면보다도 낮은 위치에 배치되는 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 8의 발명은, 청구항 7의 발명에 따른 기판 처리 방법으로서, 상기 예비 도포 공정은 상기 본 도포 공정에 앞서 실행되고, 상기 본 도포 공정은 상기 예비 도포 공정의 직후에 실행되는 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 9의 발명은, 기판에 처리액을 도포하는 기판 처리 장치로서, 대략 수평인 제3 방향을 따라서 연장되고, 상기 제3 방향에 직교하는 대략 수평인 제4 방향으로 상기 기판에 대하여 상대 이동하면서 상기 기판에 상기 처리액을 토출 가능한 슬릿 노즐과, 상기 제3 방향을 따라서 연장되고, 외주면에 상기 슬릿 노즐로부터 상기 처리액을 토출시킴으로써 상기 슬릿 노즐의 선단부를 소정 상태로 정리하는 대략 원통형의 롤러와, 상기 제3 방향을 따라서 연장되고 상기 롤러의 상기 외주면에 맞닿음으로써 상기 외주면으로의 부착물을 제거하는 긴 블레이드를 구비하고, 상기 블레이드는 영율이 1MPa 내지 20MPa의 범위 내인 탄성체로 구성된다.

또한, 청구항 10의 발명은, 기판에 처리액을 도포하는 기판 처리 장치로서, 대략 수평인 제3 방향을 따라서 연장되고 상기 제3 방향에 직교하는 대략 수평인 제4 방향으로 상기 기판에 대하여 상대 이동하면서 상기 기판에 상기 처리액을 토출 가능한 슬릿 노즐과, 상기 제3 방향을 따라서 연장되고 외주면에 상기 슬릿 노즐로부터 상기 처리액을 토출시킴으로써 상기 슬릿 노즐의 선단부를 소정 상태로 정리하는 대략 원통형의 롤러와, 상기 제3 방향을 따라서 연장되고 상기 롤러의 상기 외주면에 맞닿음으로써 상기 외주면으로의 부착물을 제거하는 긴 블레이드를 구비하고, 상기 블레이드는 고무로 구성된다.

또한, 청구항 11의 발명은, 청구항 9 또는 10에 기재된 기판 처리 장치에 있어서, 상기 블레이드의 두께가 0.5㎜ 내지 10㎜의 범위 내이다.

또한, 청구항 12의 발명은, 청구항 9 또는 10에 기재된 기판 처리 장치에 있어서, 상기 롤러에 대한 상기 블레이드의 압압력을 상기 제3 방향에서 부분적으로 조정 가능한 조정 수단을 더 구비하고 있다.

또한, 청구항 13의 발명은, 청구항 12에 기재된 기판 처리 장치에 있어서, 상기 조정 수단은 상기 롤러에 대한 상기 블레이드의 각도를 상기 제3 방향에서 부분적으로 변경함으로써 상기 압압력을 조정한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해서, 첨부의 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

<1. 제1 실시형태>

<1-1. 기판 처리 장치의 구성>

도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판 처리 장치인 슬릿 코터(1)의 개략을 도시하는 사시도이다. 한편, 도 1에 있어서, 도시 및 설명의 형편 상, Z축 방향이 연직 방향을 나타내고, XY 평면이 수평면을 나타내는 것으로서 정의하지만, 그들은 위치 관계를 파악하기 위해서 편의상 정의하는 것으로, 이하에 설명하는 각 방향을 한정하는 것은 아니다. 이하의 도면에 관해서도 마찬가지이다.

슬릿 코터(1)는 도포 처리부(2)와 제어부(8)로 크게 나뉘고, 액정 표시 장치의 화면 패널을 제조하기 위한 각형 유리 기판을 피처리 기판(이하, 단순히「기판」이라 함 : 90)으로 하고 있고, 기판(90)의 표면에 형성된 전극층 등을 선택적으 로 에칭하는 프로세스에 있어서 기판(90)의 표면에 처리액으로서의 레지스트액을 도포하는 도포 처리 장치로서 구성되어 있다. 따라서, 이 실시형태에서는 슬릿 노즐(41)은 레지스트액을 토출하게 되어 있다. 한편, 슬릿 코터(1)는 액정 표시 장치용 유리 기판뿐만 아니라 일반적으로, 플랫 패널 디스플레이용의 여러 가지 기판에 처리액을 도포하는 장치로서 변형 이용할 수도 있다.

도포 처리부(2)는 기판(90)을 재치하여 유지하기 위한 유지대로서 기능하는 동시에, 부속하는 각 기구의 기대로서도 기능하는 스테이지(3)를 구비한다. 스테이지(3)는 직방체형상을 갖는 예컨대, 일체의 석제로서, 그 상면(유지면(30)) 및 측면은 평탄면으로 가공되어 있다.

스테이지(3)의 상면은 수평면으로 되어 있고, 기판(90)의 유지면(30)으로 되어 있다. 유지면(30)에는 도시하지 않은 다수의 진공 흡착구가 분포되어 형성되어 있고, 슬릿 코터(1)에 있어서 기판(90)을 처리하는 동안, 기판(90)을 흡착함으로써 기판(90)을 소정의 수평 위치에 유지한다. 또한, 유지면(30)에는 도시하지 않은 구동 수단에 의해서 상하로 승강이 자유로운 복수의 리프트 핀(LP)이 적절한 간격을 두고 설치되어 있다. 리프트 핀(LP)은 기판(90)을 제거할 때에 기판(90)을 밀어 올리기 위해서 사용된다.

유지면(30) 중 기판(90)의 유지 에리어(기판(90)이 유지되는 영역)를 사이에 둔 양 단부에는 대략 수평 방향으로 평행하게 신장되는 한 쌍의 주행 레일(31)이 고정 설치된다. 주행 레일(31)은 가교 구조(4)의 양 단부의 최하측에 고정 설치되는 도시하지 않은 지지 블록과 함께, 가교 구조(4)의 이동을 안내(이동 방향을 소 정의 방향으로 규정)하고, 가교 구조(4)를 유지면(30)의 상측에 지지하는 리니어 가이드를 구성한다.

스테이지(3)의 상측에는 이 스테이지(3)의 양측 부분으로부터 대략 수평으로 놓여진 가교 구조(4)가 설치되어 있다. 가교 구조(4)는, 예컨대 카본 파이버 보강 수지를 골재로 하는 노즐 지지부(40)와, 그 양단을 지지하는 승강 기구(43, 44)로 주로 구성된다.

노즐 지지부(40)에는 슬릿 노즐(41)이 부착되어 있다. 도 1에 있어서 Y축 방향으로 길이 방향을 갖는 슬릿 노즐(41)에는 슬릿 노즐(41)로 레지스트액을 공급하는 배관이나 레지스트용 펌프 등을 포함하는 레지스트 공급 기구(도시 생략)가 접속되어 있다. 슬릿 노즐(41)은 기판(90)의 표면을 주사하면서 레지스트용 펌프에 의해 공급된 레지스트액을 기판(90)의 표면의 소정의 영역(이하, 「레지스트 도포 영역」이라 함)에 토출함으로써 기판(90)에 레지스트액을 도포한다. 한편, 레지스트 도포 영역이란, 기판(90)의 표면 중에서 레지스트액을 도포하고자 하는 영역으로서, 통상, 기판(90)의 전체 면적으로부터 끝가장자리를 따른 소정폭의 영역을 제외한 영역이다.

또한, 슬릿 노즐(41)은 기판(90)뿐만 아니라 프리디스펜스 롤러(71)(도 2)의 표면을 주사하면서 레지스트액을 도포한다. 슬릿 코터(1)에서의 이들의 동작의 상세는 후술한다.

승강 기구(43, 44)는 슬릿 노즐(41)의 양측에 분리되어, 노즐 지지부(40)에 의해 슬릿 노즐(41)과 연결되어 있다. 승강 기구(43, 44)는 주로 AC 서보 모터 (43a, 44a) 및 도시하지 않은 볼 나사로 이루어지고, 제어부(8)로부터의 제어 신호에 기초하여 가교 구조(4)의 승강 구동력을 생성한다. 이에 따라, 승강 기구(43, 44)는 슬릿 노즐(41)을 병진적으로 승강시킨다. 또한, 승강 기구(43, 44)는 슬릿 노즐(41)의 YZ 평면 내에서의 자세를 조정하기 위해서도 사용된다.

가교 구조(4)의 양 단부에는 스테이지(3)의 양측의 가장자리측을 따라 각각 고정자(스테이터 : 50a)와 이동자(50b) 및 고정자(51a)와 이동자(51b)를 구비하는 한 쌍의 AC 코어리스 리니어 모터(이하, 단순히「리니어 모터」라고 함 : 50, 51)가 각각 고정 설치된다. 또한, 가교 구조(4)의 양 단부에는 각각 스케일부와 검출자를 구비한 리니어 인코더(52, 53)가 각각 고정 설치된다. 리니어 인코더(52, 53)는 리니어 모터(50, 51)의 위치를 검출한다. 이들 리니어 모터(50, 51)와 리니어 인코더(52, 53)가 주로, 가교 구조(4)가 주행 레일(31)에 안내되면서 스테이지(3) 상을 이동하기 위한 주행 기구를 구성한다. 제어부(8)는 리니어 인코더(52, 53)로부터의 검출 결과에 기초하여 리니어 모터(50, 51)의 동작을 제어하고, 스테이지(3) 상에서의 가교 구조(4)의 이동, 결국은 슬릿 노즐(41)에 의한 기판(90)의 주사를 제어한다.

도포 처리부(2)의 유지면(30)에 있어서, 유지 에리어의 (-X) 방향측에는 개구(32)가 설치되어 있다. 개구(32)는 슬릿 노즐(41)과 동일하게 Y축 방향으로 길이 방향을 갖고, 또한 그 길이 방향 길이는 슬릿 노즐(41)의 길이 방향 길이와 거의 동일하다.

도 2는 주로 개구(32) 내의 예비 도포 기구(7)의 구성을 도시하는 측면도이 다. 도 1에 있어서는 도시를 생략하고 있지만, 개구(32)의 하측의 도포 처리부(2)의 내부에는 예비 도포 기구(7)가 설치되어 있다.

예비 도포 기구(7)는 기판(90)으로의 레지스트액의 도포(본 도포 처리)에 앞서 행해지는, 예비 도포 처리(후술함) 시에 사용된다. 예비 도포 기구(7)는 케이스체(70), 프리디스펜스 롤러(이하, 단순히「롤러」라고 함 : 71), 회전 기구(72) 및 부착물 제거부(74)를 구비하고 있다. 부착물 제거부(74)는 액 제거용 블레이드(73)를 갖고 있다.

케이스체(70)는 도 2에 도시하는 바와 같이, 상면으로부터 롤러(71)의 일부가 노출되도록 배치되는 대략 상자형의 부재이다. 케이스체(70)의 내부에는 롤러(71)의 도포면의 일부가 잠기게 하기에 적당한 양의 세정액이 저장된다. 한편, 상세한 것은 도시하지 않지만, 저장되는 세정액은 세정액 공급부로부터 공급되고, 오버 플로우 또는 드레인에 의해서 케이스체(70) 밖으로 배출된다. 또한, 세정액은 레지스트액의 용제 성분을 포함하는 휘발성의 액체가 바람직하지만, 물론 이것에 한정되는 것이 아니다.

원통형의 롤러(71)는 그 원통면이 예비 도포 처리에 있어서 슬릿 노즐(41)에 의해서 주사됨으로써 레지스트액이 도포되는 도포면을 구성하고 있다. 즉, 롤러(71)는 본 발명에서의 예비 도포 부재에 상당한다. 롤러(71)의 원통 중심은 축심(P)이고, 롤러(71)는 축심(P)이 Y축 방향을 따르도록 배치된다. 롤러(71)의 축심(P)에는 회전 기구(72)로부터 회전 구동력이 전달된다.

회전 기구(72)는 상세한 것은 도시하지 않지만, 회전 구동력을 생성하는 회 전 모터 및 해당 회전 구동력을 전달하는 링크 부재 등으로 구성되는 기구이다. 해당 회전 모터에 의해서 생성된 회전 구동력은 링크 부재를 통해 롤러(71)에 전달되고, 롤러(71)는 도 2에 있어서 시계 회전으로 회전한다. 이에 따라, 롤러(71)의 도포면과 슬릿 노즐(41)이 상대적으로 이동한다.

또한, 회전 기구(72)가 롤러(71)를 회전시킴으로써 롤러(71)의 도포면이 이 저장된 세정액에 잠긴다. 또한, 도포면 중 세정액에 잠겨있는 부분은 롤러(71)가 회전함으로써 세정액으로부터 끌어올려진다.

이와 같이, 예비 도포 기구(7)에서는 롤러(71)의 도포면이 세정액에 잠김으로써 예비 도포 처리에 있어서 도포면에 도포된 레지스트액이 세정되어 제거된다. 한편, 도포면을 세정하는 기구로서는 이러한 침지 세정 기구에 한정되는 것이 아니라, 예컨대 케이스체(70) 내에 도포면을 향하여 세정액을 토출하는 노즐을 설치해도 된다.

케이스체(70)의 내부에는 액 제거용 블레이드(73)를 갖는 부착물 제거부(74)가 고정 설치되어 있다. 블레이드(73)는 롤러(71)의 도포면을 향하여 약간 압압된 상태에서 Y축 방향으로 균일하게 맞닿아 있다. 이 상태에서 롤러(71)가 회전하면, 블레이드(73)와 도포면은 상대적으로 이동하고, 블레이드(73)는 도포면의 부착물을 긁어 내면서 제거한다.

예비 도포 기구(7)가 예비 도포 처리를 행할 때에는 주행 기구 및 승강 기구(43, 44)에 의해서 슬릿 노즐(41)은 도 2에 도시하는 위치(이하, 「예비 도포 위치」라 함)에 배치된다. 즉, 예비 도포 처리에 있어서 슬릿 노즐(41)은 거의 정지된 상태가 된다.

도 3은 예비 도포 위치에 배치된 슬릿 노즐(41)을 도시하는 도면이다. 슬릿 노즐(41)은 노즐 지지부(40)의 하측에 부착되어 있고, 제1 립(410), 제2 립(411) 및 심 판(412)을 구비한다.

제1 립(410)과 제2 립(411)은, 도 3에 도시하는 바와 같이 대략 동일 형상의 부재이고, 이들이 거의 대향하도록 영합하여 슬릿 노즐(41)을 구성하고 있다. 제1 립(410)의 하단은 대략 수평 방향으로 배치되는 제1 립면(410a)으로 되어 있다. 마찬가지로, 제2 립(411)의 하단은 대략 수평 방향으로 배치되는 제2 립면(411a)으로 되어 있다. 또한, 제1 립면(410a) 및 제2 립면(411a)은 모두 슬릿 노즐(41)이 레지스트액을 도포하는 경우에 있어서 도포 대상물(기판(90) 또는 롤러(71))의 표면에 대향하는 면이다.

슬릿 코터(1)에서는 제1 립(410)과 제2 립(411) 사이에 형성되는 공간이, 슬릿 노즐(41) 내에서의 레지스트액의 유로(도시 생략)가 되고, 해당 유로의 (-Z) 방향의 개구부가 토출구(슬릿 : 41a)를 형성한다. 이러한 구조에 의해, 제1 립면(410a)은 토출구(41a)의 (+X) 방향측에 배치되고, 제2 립면(411a)은 토출구(41a)의 (-X) 방향측에 배치된다.

도 3에 도시하는 바와 같이, 제1 립(410)은 심 판(412)을 통해 노즐 지지부(40)에 부착되어 있다. 따라서, 제1 립면(410a)은 심 판(412)의 Z축 방향의 두께분(단차(D))만큼 제2 립면(411a)보다 (-Z) 방향으로 돌출하고 있다. 이와 같이, 두께가 상이한 심 판(412)을 사용함으로써 심 판(412)은 제1 립면(410a)과 제2 립 면(411a)의 단차를 조정하는 조정 기구로서 기능한다. 한편, 본 실시형태에서의 슬릿 코터(1)에서는 Z축 방향이 수직 방향을 나타내고 있기 때문에 제1 립면(410a)은 제2 립면(411a)보다 낮은 위치에 배치되어 있다.

슬릿 코터(1)에서는 도시하지 않은 공급구로부터 슬릿 노즐(41)에 레지스트액이 공급되고, 이 레지스트액이 슬릿 노즐(41) 내의 유로를 흘러 토출구(41a)로부터 (-Z) 방향으로 토출된다. 즉, 제1 립면(410a)은 제2 립면(411a)보다 단차(D)만큼 (-Z) 방향으로 돌출하고 있고, 슬릿 코터(1)에 있어서 레지스트액의 토출 방향은 (-Z) 방향이기 때문에, 제1 립면(410a)은 제2 립면(411a)보다 토출 방향으로 돌출되어 있게 된다. 이것은, 바꾸어 말하면 도포 처리(본 도포 처리 및 예비 도포 처리)에 있어서, 슬릿 노즐(41)의 제1 립면(410a)은 제2 립면(411a)보다도 도포 대상물에 근접하는 것을 의미한다.

도 1에 되돌아가, 제어부(8)는 프로그램에 따라서 각종 데이터를 처리하는 연산부(80), 프로그램이나 각종 데이터를 저장하는 기억부(81)를 내부에 구비한다. 또한, 전면에는 오퍼레이터가 슬릿 코터(1)에 대하여 필요한 지시를 입력하기 위한 조작부(82) 및 각종 데이터를 표시하는 표시부(83)를 구비한다.

제어부(8)는 도 1에 있어서는 도시하지 않은 케이블에 의해 도포 처리부(2)에 부속하는 각 기구와 전기적으로 접속되어 있다. 제어부(8)는 조작부(82)로부터의 입력 신호나, 도시하지 않은 각종 센서 등으로부터의 신호에 기초하여 승강 기구(43, 44)에 의한 승강 동작, 주행 기구에 의한 슬릿 노즐(41)의 주사 동작, 나아가서는 회전 기구(72)에 의한 슬릿 노즐(41)의 주사 동작을 제어한다.

기억부(81)의 구체적 예로서는 데이터를 일시적으로 기억하는 RAM, 판독 전용의 ROM 및 자기 디스크 장치 등이 해당된다. 단, 기억부(81)는 가요성의 광자기 디스크나 메모리 카드 등의 기억 매체 및 그들의 판독 장치에 의해 대용되어도 된다. 또한, 조작부(82)에는 버튼 및 스위치류(키보드나 마우스 등을 포함함) 등이 해당되지만, 터치 패널 디스플레이와 같이 표시부(83)의 기능을 겸비한 것이어도 된다. 표시부(83)에는 액정 디스플레이나 각종 램프 등이 해당한다.

<1-2. 기판 처리 장치의 동작>

다음에, 슬릿 노즐(41)에 의한 레지스트액의 도포 동작에 대해서 개략적으로 설명한다. 한편, 특별히 한정하지 않는 한 이하의 동작은 제어부(8)로부터의 제어 신호에 의해서 제어된다.

도 4는 슬릿 코터(1)의 동작을 도시하는 흐름도이다. 슬릿 코터(1)에 있어서, 오퍼레이터 또는 도시하지 않은 반송 기구에 의해 기판(90)이 리프트 핀(LP)에 수수된다. 리프트 핀(LP)은 기판(90)을 수취하면, 하강을 개시하여 스테이지(3) 내에 매몰함으로써 수취한 기판(90)을 유지면(30)에 재치한다. 이에 따라, 기판(90)이 스테이지(3)의 유지면(30)의 소정 위치에 재치되어, 더욱 흡착 유지된다(단계 S1).

이러한 기판(90)의 반입 처리와는 별도로, 슬릿 코터(1)에서는 본 도포 처리에 앞서 슬릿 노즐(41)의 선단부의 상태를 회복시키기 위한 최적화 처리, 즉 예비 도포 처리가 실행된다(단계 S2).

예비 도포 처리에서는, 우선, 리니어 모터(50, 51)가 슬릿 노즐(41)을 X축 방향으로 이동시키고 예비 도포 기구(7)의 롤러(71)의 상측에 배치시킨다. 다음에, 승강 기구(43, 44)가 슬릿 노즐(41)의 YZ 평면 내에서의 자세를 조정하면서, 슬릿 노즐(41)을 롤러(71)의 도포면에 근접시킨다. 이에 따라, 슬릿 노즐(41)이 예비 도포 위치(도 2 및 도 3)로 이동한다.

슬릿 노즐(41)의 예비 도포 위치로의 이동이 완료하면, 제어부(8)로부터의 제어 신호에 따라 레지스트 공급 기구가 슬릿 노즐(41)에 대하여 레지스트액의 공급을 행하고, 이것에 의해서 슬릿 노즐(41)의 토출구(41a)에서 레지스트액이 토출된다. 그리고, 레지스트액의 토출에 동기하여 회전 기구(72)가 롤러(71)를 회전시킴으로써 도포면으로의 레지스트액의 도포, 결국은 예비 도포 처리가 실행된다.

이 때, 슬릿 노즐(41)은 거의 정지 상태에 있지만, 회전 기구(72)가 롤러(71)를 회전시킴으로써 슬릿 노즐(41)과 도포면이 상대적으로 이동한다. 즉, 슬릿 코터(1)에서는 회전 기구(72)에 의한 도포면의 회전에 의해서 예비 도포 처리에서의 슬릿 노즐(41)의 주사가 실현되고 있다.

예비 도포 처리에서의 도포면의 회전 방향은, 도 2 및 도 3에서의 시계 회전 방향이다. 따라서, 예비 도포 처리에서의 슬릿 노즐(41)과 도포면의 상대적인 이동방향은 곡선적이다. 그러나, 롤러(71)에 있어서 레지스트액이 도포되는 부분(도포의 순간에 주사가 행해지고 있는 부분)은, 롤러(71)의 최고 도달점(가장 Z축 방향의 좌표가 큰 점)이다. 따라서, 예컨대 도포면이 회전 운동하고 있는 경우라도, 도포의 순간에서의 슬릿 노즐(41)의 주사 방향은 회전 방향에 대한 접선 방향, 즉 (-X) 방향이라고 간주할 수 있다.

후술하지만, 슬릿 코터(1)에서는 본 도포 처리에 있어서 슬릿 노즐(41)이 (+X) 방향으로 기판(90)을 주사한다. 따라서, 예비 도포 처리에서의 슬릿 노즐(41)의 주사 방향은 본 도포 처리에서의 주사 방향의 거의 역방향이다. 즉, 본 실시형태에서의 슬릿 코터(1)의 예비 도포 처리에서는, 제1 립(410)이 주사 방향에 대하여 뒤쪽에 배치되고, 제2 립(411)이 주사 방향에 대하여 앞쪽에 배치된다.

도포면 중 레지스트액이 도포된 영역은 롤러(71)의 회전에 의해 순차 케이스체(70)의 하부에 저장되어 있는 세정액에 잠긴다. 즉, 도포면에 도포된 레지스트액은 바로 세정액에 의해서 세정 제거된다. 또한, 롤러(71)가 회전함으로써 세정액에 잠겨 있던 도포면이 세정액으로부터 끌어 올려져 도포면의 세정 처리가 종료된다.

도포면 중 세정 처리가 종료된 영역은, 롤러(71)의 회전에 따라 블레이드(73)에 의해 부착물(주로 세정액이나 레지스트액의 잔류물 등)이 제거된다. 이렇게 하여 블레이드(73)에 의한 제거 처리가 행해진다.

예비 도포 처리에 의해서 롤러(71)의 도포면 중 레지스트액이 도포된 영역은, 이렇게 하여 도포된 레지스트액이 제거되고, 다시 레지스트액이 도포되는 위치(최고 도달점)로 되돌아간다. 이에 따라, 롤러(71)의 도포면에 의해서 슬릿 노즐(41)이 오염되지 않게 되어 있다.

슬릿 노즐(41)로부터 소정량의 레지스트액의 토출이 행해지고, 예비 도포 처리가 종료되면, 리니어 모터(50, 51)가 슬릿 노즐(41)을 도포 개시 위치로 이동시키는 동시에 승강 기구(43, 44)가 소정의 높이로 슬릿 노즐(41)의 높이를 조절한 다. 도포 개시 위치란, 기판(90)의 레지스트 도포 영역의 (-X)측 단변에 슬릿 노즐(41)이 거의 따르는 위치이다.

이들의 위치 조정이 완료되는 대로 레지스트 공급 기구가 슬릿 노즐(41)에 레지스트액을 공급하면서 리니어 모터(50, 51)가 가교 구조(4)를 소정의 속도로 (+X) 방향으로 이동시킴으로써 기판(90)으로의 레지스트액의 도포, 즉 본 도포 처리가 행해진다(단계 S3). 이와 같이, 본 실시형태에서의 슬릿 코터(1)에서는 본 도포 처리에 있어서 슬릿 노즐(41)의 주사 방향은 (+X) 방향이고, 예비 도포 방향의 주사 방향인 (-X) 방향과는 역방향이 된다.

한편, 본 실시형태에서의 슬릿 코터(1)에서는 슬릿 노즐(41)을 예비 도포 위치로부터 도포 개시 위치에 이동시키는 동안에, 레지스트 공급 기구로부터 레지스트액을 소량 토출하여 슬릿 노즐(41)의 선단부에 레지스트액의 액체 고임을 형성하도록 하고 있다. 이에 따라, 슬릿 노즐(41)이 기판(90)에 근접할 때에 Y축 방향으로 균일한 메니스커스가 형성되고, 더욱 도포 정밀도가 향상된다.

여기서, 본 실시형태에서의 슬릿 코터(1)와 같은 예비 도포 처리(단계 S2) 및 본 도포 처리(단계 S3)를 행한 경우의 효과에 대해서 다른 방법과 비교하면서 설명한다.

도 5는 본 도포 처리를 행한 경우의 도포 불균일의 발생 결과를 도시한 도면이다. 한편, 예비 도포 처리에 있어서, 예비 도포 부재인 롤러의 최고 도달점에 슬릿 노즐의 선단을 맞추는 것과, 해당 롤러와 슬릿 노즐의 거리는, 모든 경우에 동일한 조건으로 하고 있다. 또한, 롤러 회전 방향 중, 「순방향」이란, 예비 도 포 처리의 주사 방향이 본 도포 처리의 주사 방향과 거의 일치하고 있는 경우를 나타내고, 「역방향」이란, 예비 도포 처리의 주사 방향이 본 도포 처리의 주사 방향과 거의 역방향인 경우를 나타낸다. 또한, 「립 단차」란 본 실시형태에서의 단차(D)에 상당하는 값으로서, 본 도포 처리에 있어서 주사 방향 앞쪽에 배치되는 프론트 립(제1 립(410)에 상당함)이 뒤쪽에 배치되는 리어 립(제2 립(411)에 상당함)에 대하여 어느 만큼 토출 방향으로 돌출하고 있는지를 나타내는 값이다. 또한, 도 5에서의 도포 불균일 발생 상황이란 기호에 따라 이하의 결과를 나타낸다.

× : 1매째의 기판으로부터 라인 불균일이 발생하였다. △ : 여러 매 도포 후에 라인 불균일이 발생하였다. ○ : 100매 연속 처리한 경우에 드물게 라인 불균일이 발생하였다. ◎ : 100매 연속 처리한 경우라도 라인 불균일은 발생하지 않았다. 여기서 100매 연속 처리란, 도중에 슬릿 노즐의 세정 처리를 행하지 않고 연속 처리하는 것을 의미하고, 본 도포 처리만을 연속적으로 행한다는 의미가 아니다.

립 단차가「0」인 경우(도 5에 있어서 번호 1, 6)에는, 예비 도포 처리에서의 주사 방향에 의존하지 않고, 여러 매 도포 후에 라인 불균일이 발생하였다. 이것은 슬릿 노즐의 립면 중 어느 것도 돌출하지 않은 경우이므로, 종래의 장치에서의 처리에 거의 상당한다. 도 5에 도시하는 결과로부터도 종래의 장치에서는 소정 매수를 처리할 때마다 슬릿 노즐의 세정 처리를 행하는 것이 필요한 것을 알 수 있다. 이러한 결과가 되는 이유로서는, 슬릿 노즐의 립의 건조 상태에 의존하여 슬릿 노즐 선단부 측면에 레지스트액이 부착, 또는 예비 도포 부재인 롤러와의 액 제 거 후나 슬릿 노즐과 기판의 근접 전후에, 슬릿 노즐의 선단부에 균일한 액체 고임이 형성되지 않는 등의 이유에 의해서 기판과 레지스트액의 접촉 형상이 안정되지 않기 때문이라고 생각된다.

립 단차가「마이너스」이고 「순방향」인 경우(도 5에 있어서 번호 2, 3)에는, 여러 매 도포 후에 라인 불균일이 발생하였다. 이것은 리어 립측의 레지스트액이 불균일이 되고, 결과적으로 라인 불균일이 발생하기 때문이라고 생각된다. 즉, 프론트 립을 리어 립에 비교해서 퇴출시킨 경우(프론트 립쪽이 높은 위치에 있는 경우)에는, 예비 도포 처리의 주사 방향을 본 도포 처리의 주사 방향에 일치시킨 후에, 소정 매수마다 세정 처리를 행함으로써 종래의 장치와 동일한 정도의 처리를 행할 수 있다.

그러나, 립 단차가「마이너스」이고 「역방향」인 경우(도 5에 있어서 번호 7, 8)에는, 1매째부터 라인 불균일이 발생하고, 종래의 장치보다도 도포 정밀도가 저하된다. 이것은 예비 도포 처리에 의해서 리어 립 측면에 레지스트액이 불균일하게 급격히 상승되어 라인 불균일의 발생을 오히려 촉진시키기 때문이라고 생각된다.

립 단차가「플러스」이고「순방향」인 경우(도 5에 있어서 번호 4, 5)에는, 1매째부터 라인 불균일이 발생하고, 종래의 장치보다도 도포 정밀도가 저하된다. 이것은 예비 도포 처리에 의해서 리어 립측의 레지스트액이 불균일해지고, 결과적으로 라인 불균일의 발생을 오히려 촉진하기 때문이라고 생각된다.

한편, 본 실시형태에서의 슬릿 코터(1)와 마찬가지로, 립 단차를「플러스」 로 하고, 예비 도포 처리에서의 주사 방향을「역방향」으로 한 경우(도 5에 있어서 번호 9, 10), 종래의 장치에 비교해서 도포 불균일의 발생을 격감시킬 수 있었다. 구체적으로는 립 단차를「30㎛」로 하면, 100매 연속 처리할 때에 드물게 라인 불균일이 발생하는 정도로까지 도포 불균일이 억제된다. 특히, 립 단차를「70㎛」로 한 경우에는 100매 연속 처리해도 라인 불균일이 발생하지 않았다.

이상, 도 5를 사용하여 설명한 바와 같이, 립 단차를「플러스」로 할 뿐으로 도포 정밀도가 향상되는 것은 아니고, 도 5에 도시하는 번호 4, 5의 경우 등에 있어서는 개악이 될 수도 있다. 도포 불균일을 억제하기 위해서는 립 단차를「플러스」로 한 후에 예비 도포 처리에서의 슬릿 노즐의 주사 방향을 본 도포 처리에서의 슬릿 노즐의 주사 방향의 역방향으로 하는 것이 필요하다.

본 실시형태에서의 슬릿 코터(1)는 이 조건을 만족하고 있기 때문에, 종래의 장치에 비교해서 도포 불균일의 발생을 억제할 수 있다. 한편, 슬릿 노즐에 있어서 립 단차를 설치하는 것은, 장치 구성을 쓸데없이 복잡화시키는 것이 아니다. 또한, 예비 도포 처리에서의 슬릿 노즐의 주사 방향을 변경했다고 해도, 이것에 의한 비용상승은 거의 없다. 즉, 슬릿 코터(1)는 비용의 증대를 억제하면서 실현 가능하다.

또한, 도 5에 의하면 슬릿 코터(1)는 단차(D)를「30㎛ 이상」으로 함으로써, 종래의 장치에 비교해서 도포 불균일이 억제되지만, 「70㎛ 이상」으로 하는 것이 더욱 바람직하다. 한편, 도 5에는 도시하고 있지 않지만, 립 단차의 상한값으로서는 「200㎛ 이하」에서 도포 불균일이 억제되는 효과가 있고, 바람직하게는「100㎛ 이하」이었다.

도 4에 되돌아가, 슬릿 노즐(41)이 (+X) 방향으로 이동하여 레지스트 도포 영역의 (+X)측 단변에 도달하면 단계 S3의 본 도포 처리가 종료된다. 또한, 본 도포 처리가 종료되면, 리니어 모터(50, 51)가 가교 구조(4)를 이동시킴으로써 슬릿 노즐(41)은 대기 위치로 복귀한다. 한편, 대기 위치란 슬릿 노즐(41)이 처리를 하지 않고 대기하는 위치로서, 기판(90)이 반출입될 때에 기판(90)과 슬릿 노즐(41)이 간섭하지 않는 위치이다.

슬릿 노즐(41)이 대기 위치로 이동하면, 스테이지(3)의 유지면(30)이 기판(90)의 흡착을 정지하여 기판(90)이 장치 밖으로 반출된다(단계 S4). 또한, 슬릿 코터(1)는 계속하여 처리하는 다른 기판(90)이 존재하는지 여부를 판정하고(단계 S5), 다른 기판(90)이 존재하는 경우에는 단계 S1로 되돌아가 처리를 반복한다. 한편, 처리해야 할 다른 기판(90)이 존재하지 않는 경우에는 처리를 종료한다.

이상과 같이, 본 실시형태에서의 슬릿 코터(1)는 슬릿 노즐(41)의 제1 립면(410a)이 제2 립면(411a)보다도 레지스트액의 토출 방향((-Z) 방향)으로 돌출하고 있고, 본 도포 처리에 있어서 기판(90)을 (+X) 방향으로 주사하면서 토출구(41a)에서 기판(90)에 대하여 처리액을 토출함과 동시에, 예비 도포 처리에 있어서, 슬릿 노즐(41)이 롤러(71)의 도포면을 (+X) 방향에 대하여 거의 역방향의 (-X) 방향으로 주사하도록 회전 기구(72)에 의해 슬릿 노즐(41)과 롤러(71)를 상대적으로 이동시킴으로써 비용을 더하는 일 없이 도포 불균일을 억제할 수 있다.

또한, 롤러(71)는 대략 원통형의 부재이고, 회전 기구(72)는 롤러(71)의 도 포면을 슬릿 노즐(41)이 (-X) 방향으로 주사하도록, 롤러(71)를 축심 둘레로 회전시킴으로써, 예컨대 판형상의 예비 도포 부재에 예비 도포하는 경우에 비교해서 장치의 소형화를 도모할 수 있다.

또한, 제1 립면(410a)을 제2 립면(411a)보다도 돌출하게 하는 조정 수단으로서 심 판(412)을 구비함으로써, 예컨대, 사용하는 레지스트액의 종류에 따라서 위치 조정(높이 위치를 조정)할 수 있다.

또한, 본 도포 처리가 개시되기 직전에 예비 도포 처리를 행함으로써, 슬릿 노즐(41)이 예비 도포 처리에 의해서 최적화된 상태에서 본 도포 처리를 개시할 수 있기 때문에 보다 고정밀도로 본 도포 처리를 행할 수 있다.

<1-3. 변형예>

이상, 본 발명의 제1 실시형태에 관해서 설명해 왔지만, 본 발명은 상기 제1 실시형태에 한정되는 것이 아니라 여러 가지 변형이 가능하다.

예컨대, 예비 도포 부재는 롤러(71)와 같이 원통 형상인 것에 한정되는 것이 아니다. 예컨대, 대략 수평 방향에 배치되는 판형상 부재라도 된다. 이러한 판형상 부재를 예비 도포 부재로서 사용하는 경우에는, 예비 도포 처리에 있어서 리니어 모터(50, 51)가 슬릿 노즐(41)과 예비 도포 부재를 상대적으로 이동시켜도 된다.

또한, 도 4에 도시하는 처리 순서는 이것에 한정되는 것이 아니다. 예컨대, 단계 S1의 기판(90)을 유지하는 처리는 단계 S2의 예비 도포 처리 후에 행해도 되고, 이들 처리가 동시 병행적으로 실행되어도 된다. 즉, 동일한 효과가 얻어지는 순서라면, 어떠한 순서로 이들 처리가 실행되어도 된다.

또한, 제1 립면(410a)을 제2 립면(411a)보다도 토출 방향으로 돌출시키기 위한 방법으로서는, 상기 실시형태에 나타내는 바와 같이 심 판(412)을 사용하는 형태에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 제1 립(410)을 제2 립(411)보다도 (-Z) 방향으로 긴 부재로서 미리 제조해도 되고, 조정 나사와 같은 기구를 설치하여 제1 립(410)을 (-Z) 방향으로 돌출시키도록 구성해도 된다.

<2. 제2 실시형태>

<2-1. 기판 처리 장치의 개요>

도 6은 본 발명의 제2 실시형태에 따른 기판 처리 장치인 슬릿 코터(210)의 개략 구성을 도시하는 사시도이다. 슬릿 코터(210)는 기판(290)의 표면에 처리액인 레지스트액을 도포하는 슬릿 코트라고 하는 도포 처리를 행하는 도포 처리 장치이고, 기판(290)의 표면에 형성된 전극층 등을 선택적으로 에칭하는 프로세스 등에 이용된다. 슬릿 코터(210)의 도포 대상이 되는 기판(290)은 대표적으로는 액정 표시 장치의 화면 패널을 제조하기 위한 각형의 유리 기판이지만, 반도체 기판, 필름 액정용 플렉시블 기판, 포토마스크용 기판, 컬러 필터용 기판 등의 다른 기판이라도 된다.

도 6에 도시하는 바와 같이 슬릿 코터(210)는 장치 전체를 제어하는 제어부(201)와, 도포 처리를 실시하는 도포 처리부(202)로 크게 나뉜다. 제어부(201)는 도포 처리부(202)의 각 부와 전기적으로 접속되어 있고, 도포 처리부(202)의 각 부의 동작을 총괄적으로 제어한다. 제어부(201)는 CPU, RAM 및 ROM 등으로 구성되는 마이크로 컴퓨터를 구비하고 있다. 제어부(201)에 의한 각종 제어 기능은 CPU가 소정의 프로그램이나 데이터에 따라서 RAM을 이용하면서 연산 처리를 행함으로써 실현된다. 또한, 제어부(201)에는 오퍼레이터로부터의 입력 조작을 접수하는 조작부(211)와 각종 데이터를 표시하는 표시부(212)가 설치되어 있고, 이들은 유저 인터페이스로서 기능한다.

도포 처리부(202)는 주로, 기판(290)을 유지하기 위한 스테이지(203)와, 스테이지(203)에 유지된 기판(290)에 대하여 레지스트액을 토출하는 토출 기구(204)와, 토출 기구(204)를 소정의 방향으로 이동시키는 이동 기구(205)로 구성된다.

한편, 이하의 설명에 있어서는 편의상, X축 방향을 안쪽 방향(+X측이 정면측, -X측이 배면측)으로 하고, Y축 방향을 좌우 방향(정면측에서 보았을 때, +Y측이 우측, -Y측이 좌측)으로 한다.

스테이지(203)는 대략 직방체의 형상을 갖는 화강암 등의 석재로 구성되어 있고, 그 상면은 대략 수평으로 평탄하게 가공되어 기판(290)의 유지면(230)으로서 기능한다. 유지면(230)에는 다수의 진공 흡착구가 분산되어 형성되어 있다. 이들 진공 흡착구에 의해 기판(290)이 흡착됨으로써, 도포 처리 시에 기판(290)이 소정의 위치에 수평 상태로 유지된다.

토출 기구(204)는 주로, 레지스트액을 토출하는 슬릿 노즐(241)과, 슬릿 노즐(241)을 지지하는 노즐 지지부(242)와, 노즐 지지부(242)의 양단을 지지하여 승강시키는 2개의 승강 기구(243)로 구성된다.

슬릿 노즐(241)은 도면 외의 공급 기구로부터 공급되는 레지스트액을 슬릿형 상의 토출구로부터 기판(290)의 상면으로 토출한다. 이 슬릿 노즐(241)은 그 토출구가 유지면(230)에 대하여 대략 평행한 Y축 방향을 따라서 연장되고, 또한, 연직 하측(-Z측)을 향하여 레지스트액을 토출 가능하게 노즐 지지부(242)에 의해서 지지된다. 노즐 지지부(242)는 Y축 방향을 길이 방향으로 하는 카본 파이버 보강 수지 등의 판형상 부재로 구성된다.

2개의 승강 기구(243)는 노즐 지지부(242)의 좌우 양단부에 연결되어 있다. 이들 승강 기구(243)는 각각, AC 서보 모터 및 볼 나사 등을 구비하고, 노즐 지지부(240) 및 그것에 지지된 슬릿 노즐(241)을 연직 방향(Z축 방향)으로 승강 가능하게 되어 있다. 이들 2개의 승강 기구(243)에 의해 슬릿 노즐(241)과 기판(290)의 간격(갭)이나, 기판(290)에 대한 슬릿 노즐(241)의 자세 등이 조정된다.

도 6에 도시하는 바와 같이, 이들 슬릿 노즐(241), 노즐 지지부(242) 및 2개의 승강 기구(243)를 포함하는 토출 기구(204)의 전체에 의해 스테이지(203)의 좌우 양단부를 Y축 방향을 따라서 건너지르는 가교 구조가 형성된다. 이동 기구(205)는 이러한 가교 구조를 갖는 토출 기구(204)의 전체를 X축 방향을 따라서 이동시킨다.

도면에 도시하는 바와 같이, 이동 기구(205)는 좌우 대칭(+Y측과 -Y측에서의 대칭) 구조가 되어 있고, 좌우의 각각에 있어서 토출 기구(204)의 이동을 X축 방향으로 안내하는 주행 레일(251)과, 토출 기구(204)를 이동하기 위한 이동력을 발생하는 리니어 모터(252)와, 토출 기구(204)의 위치를 검출하기 위한 리니어 인코더(253)를 구비하고 있다.

2개의 주행 레일(251)은 각각, 스테이지(203)의 Y축 방향의 단부(좌우 단부)에 X축 방향을 따라서 연장하여 설치되어 있다. 이들 2개의 주행 레일(251)을 따라 2개의 승강 기구(243)의 하단부가 각각 안내됨으로써, 토출 기구(204)의 이동 방향이 X축 방향으로 규정된다.

2개의 리니어 모터(252)는 각각, 고정자(252a)와 이동자(252b)를 갖는 AC 코어리스 리니어 모터로 구성된다. 고정자(252a)는 스테이지(203)의 Y축 방향의 측면(좌우 측면)에 X축 방향을 따라서 설치된다. 한편, 이동자(252b)는 승강 기구(243)의 외측에 대하여 고정 설치되어 있다. 리니어 모터(252)는 이들 고정자(252a)와 이동자(252b) 사이에 생기는 자력에 의해서 토출 기구(204)를 이동한다.

또한, 2개의 리니어 인코더(253)는 각각, 스케일부(253a)와 검출부(253b)를 갖고 있다. 스케일부(253a)는 스테이지(203)에 고정 설치된 리니어 모터(252)의 고정자(252a)의 하부에 X축 방향을 따라서 설치된다. 한편, 검출부(253b)는 승강 기구(243)에 고정 설치된 리니어 모터(252)의 이동자(252b)의 더욱 외측에 고정 설치되어 스케일부(253a)에 대향 배치된다. 리니어 인코더(253)는 스케일부(253a)와 검출부(253b)의 상대적인 위치 관계에 기초하여, X축 방향에서의 토출 기구(204)의 위치(보다 구체적으로는 슬릿 노즐(241)의 토출구의 위치)를 검출한다.

이상과 같은 구성에 의해서, 슬릿 노즐(241)은 기판(290)이 유지되는 유지면(230)의 상부 공간을 유지면(230)에 대하여 평행한 X축 방향으로, 유지면(230)에 대하여 상대적으로 이동 가능하게 된다.

이 슬릿 노즐(241)은 도포 처리를 행하기 전에는 기판(290)의 반입이 가능하 도록 기판(290)을 유지해야 할 소정의 위치보다도 배면측(-X측)의 소정의 대기 위치(231)로 대피된다(도 6에 도시하는 상태).

도포 처리에 있어서는, 우선, 기판(290)이 반입되어 스테이지(203)의 유지면(230)에 유지된다. 이어서, 슬릿 노즐(241)이 기판(290)의 배면측(-X측)의 단부의 직상 위치까지 이동됨과 동시에, 슬릿 노즐(241)의 토출구로부터 레지스트액의 토출이 개시된다. 그리고, 이 레지스트액을 토출한 상태를 유지한 채로 슬릿 노즐(241)은 정면측(+X측)을 향하여 소정의 속도로 이동된다. 이에 따라, 기판(290)에 대한 슬릿 노즐(241)에 의한 주사(토출 주사)가 이루어진다.

그리고, 슬릿 노즐(241)이 기판(290)의 정면측(+X측)의 단부의 직상 위치까지 이동하면, 토출 주사는 완료하고 슬릿 노즐(241)로부터의 레지스트액의 토출이 정지된다. 이러한 처리에 의해서 기판(290)의 대략 전면에 걸쳐 균일하게 레지스트액이 도포되고, 기판(290)의 표면 상에 소정의 막두께의 레지스트액의 층이 형성된다. 그 후, 슬릿 노즐(241)은 다시 대기 위치(231)로 대피되고, 스테이지(203)로부터 처리 후의 기판(290)이 반출된다. 이에 따라, 하나의 기판(290)에 대한 일련의 도포 처리가 완료되게 된다. 이러한 도포 처리에 관한 제어는 제어부(201)에 의해서 이루어지게 된다.

<2-2. 노즐 조정부>

또한, 슬릿 코터(210)는 상술한 일련의 도포 처리(본 도포 처리)를 행하기 전에, 슬릿 노즐(241)의 선단부를 균일한 정상 상태로 조정하는 처리인 노즐 조정 처리를 행하는 노즐 조정부(206)를 구비하고 있다. 노즐 조정부(206)는 대기 위치 (231)에 대피 중인 슬릿 노즐(241)에 대하여 처리가 가능하도록, 대기 위치(231)의 하측(-Z측)에 배치된다. 이 노즐 조정부(206)도 제어부(201)와 전기적으로 접속되고, 제어부(201)에 의해서 제어된다.

도 7은 노즐 조정부(206)의 구성을 도시하는 -Y측으로부터의 측면도이다. 노즐 조정 처리는 슬릿 노즐(241)을 세정액으로 세정하는 세정 처리와, 슬릿 노즐(241)에 일정량의 레지스트액을 토출시키는 예비 도포 처리의 2단계로 행해진다. 이 때문에, 노즐 조정부(206)는 도면에 도시하는 바와 같이 세정 처리를 행하는 세정 처리부(261)와, 예비 도포 처리를 행하는 예비 도포 기구(262)를 구비하고 있다. 세정 처리부(261)는 슬릿 노즐(241)의 선단부의 형상에 맞춘 세정 공간(261a)을 갖고 있고, 그 세정 공간(261a)으로의 대향면에는 세정액을 분출하는 복수의 분출구가 배치되어 있다.

또한, 예비 도포 기구(262)는 주로, 슬릿 노즐(241)로부터의 레지스트액의 토출 대상이 되는 프리디스펜스 롤러(이하, 단순히「롤러」라고 함 : 263)와, 그 롤러(263)의 주위를 둘러싸는 케이스체(264)를 구비하여 구성된다.

롤러(263)는, 직경이 예컨대 100㎜ 내지 120㎜, 길이 방향의 사이즈가 슬릿 노즐(241)의 Y축 방향의 사이즈보다도 약간 커지는 대략 원통형의 부재이고, 그 길이 방향(축심(263a)이 연장되는 방향)이 Y축 방향을 따르도록 배치되어 있다. 롤러(263)의 재질은 철이고, 그 외주면을 포함하는 표면에는 경질흑도금이 실시되어 있다. 롤러(263)는, 도면 외의 구동 장치에 의해 축심(263a)을 중심으로 하여 회전 가능하게 되어 있고, 그 회전 방향은 도면 중에서 화살표 Ar로 도시하는 방향( 도 7에 있어서 시계 회전)으로 되어 있다.

케이스체(264)는 상자형의 부재이고, 그 상부에는 개구부가 형성되어 있다. 롤러(263)는 그 상부가 케이스체(264)의 개구부에서 외측으로 노출하도록 케이스체(264) 내에 배치된다. 또한, 롤러(263)의 외주면의 최상부(263b)는, 스테이지(203)에 배치되는 기판(290)의 높이와 대략 일치되어 있다. 예비 도포 처리를 행할 때에는, 이 최상부(263b)에 대하여 슬릿 노즐(241)로부터 레지스트액이 토출된다. 한편으로, 케이스체(264)의 내부에는 소정량의 세정액(281)이 저장되어 있고, 롤러(263)의 하부는 이 세정액(281)에 침지된다.

또한, 예비 도포 기구(262)는 롤러(263)의 외주면에 부착한 부착물을 제거하기 위한 부착물 제거부(207)를 구비하고 있다. 부착물 제거부(207)는 Y축 방향을 따라서 연장되는 긴 블레이드(닥터 블레이드 : 271)를, 롤러(263)의 외주면에 맞닿게 한 상태로 구비하고 있다. 이 블레이드(271)가 롤러(263)의 회전에 의해 롤러(263)의 외주면을 주사함으로써, 롤러(263)의 외주면으로의 부착물이 긁어 내어지게 되어 있다. 이 부착물 제거부(207)에 대한 상세에 대해서는 후술한다.

이러한 구성을 갖는 노즐 조정부(206)에 의해 실시되는 노즐 조정 처리도 제어부(201)의 제어에 의해서 이루어지게 된다. 노즐 조정 처리에 있어서는, 우선, 세정 처리를 행하기 위해서, 슬릿 노즐(241)이 그 선단부가 세정 처리부(261)의 세정 공간(261a)에 들어가는 위치(도 7에 있어서 파선으로 도시하는 위치)까지 이동된다. 그리고, 세정 처리부(261)의 복수의 분출구로부터 슬릿 노즐(241)의 선단부에 대하여 세정액이 분출된다. 이에 따라, 슬릿 노즐(241)의 선단부의 측면 등에 부착된 레지스트액이 제거된다.

세정 처리가 완료되면, 다음에, 예비 도포 처리를 행하기 위해서 슬릿 노즐(241)은 롤러(263)의 외주면의 최상부(263b)의 직상 위치(도 7에 있어서 실선으로 도시하는 위치)까지 이동되고, 롤러(263)의 외주면과 소정의 갭을 두고 배치된다. 이어서, 롤러(263)의 회전이 개시되고, 이 회전하고 있는 롤러(263)의 외주면에 대하여 슬릿 노즐(241)로부터 일정 시간, 일정량의 레지스트액이 토출된다. 이에 따라, 예비 도포 처리가 실행되어, 도 11 또는 도 12에 도시한 바와 같이 슬릿 노즐(241)의 선단부가 균일한 소정 상태로 조정된다. 이에 따라, 노즐 조정 처리는 완료된다.

예비 도포 처리에 있어서 롤러(263)의 외주면 중 레지스트액이 토출된 부분(이하, 「주목면」이라고 함)은 롤러(263)의 회전에 의해 케이스체(264)의 하부에 저장되어 있는 세정액(281)에 순차로 침지된다. 이에 따라, 주목면에 부착한 레지스트액과 세정액(281)이 혼합하여 주목면에서 레지스트액이 거의 제거된다.

또한, 롤러(263)가 회전하면, 세정액(281)에 침지된 주목면은 세정액(281)으로부터 끌어 올려진 후, 블레이드(271)에 의해서 주사된다. 이에 따라, 주목면으로의 부착물(주로 세정액이나 레지스트액의 잔류물 등)이 블레이드(271)에 의해 긁어 내어지고 주목면에서 부착물이 제거된다. 이러한 처리에 의해, 레지스트액의 토출 대상이 되는 롤러(263)의 외주면의 최상부(263b)는 항상 부착물이 존재하지 않는 상태가 되게 된다.

이렇게 하여 블레이드(271)에 의해서 긁어 내어진 소취물(搔取物)은, 롤러 (263)와 블레이드(271)에 의해서 형성되는 공간(265)에 축적한다. 이 축적한 소취물을 방치해 두면 블레이드(271)의 긁어냄 성능에 악영향을 주기 때문에, 케이스체(264)의 내부의 적당한 위치에는, 소취물이 축적되는 공간(265)에 대하여 세정액(282)을 분출하여 소취물을 하측으로 떨어뜨리는 세정 노즐(266)이 설치되어 있다.

이 세정 노즐(266)은, 도 8에 도시하는 바와 같이 Y축 방향을 따라서 배치되고, 공간(265)의 Y축 방향의 전체에 걸쳐 세정액(282)을 분출 가능하게 되어 있다. 세정 노즐(266)에는 제어부(201)에 의해서 개폐 제어 가능한 제어 밸브(284)를 통해 세정액 공급부(283)로부터 세정액이 공급된다. 이에 따라, 세정 노즐(266)에 의한 세정액(282)의 분출은 제어부(201)에 의해 제어되게 되어 있다.

또한 그런데, 예비 도포 처리를 반복하면, 케이스체(264) 내에 저장된 세정액(281)이 레지스트액에 의해서 점차로 오염되고, 세정액(281)의 세정 능력이 저하되게 된다. 이 때문에, 슬릿 코터(210)에서는 케이스체(264) 내에 저장된 세정액(281)을 정기적으로 교환할 수 있게 되어 있다.

즉, 도 8에 도시하는 바와 같이, 케이스체(264)의 Y축 방향의 양측면에는 세정액(281)을 공급하기 위한 공급구(264a)가 설치되어 있고, 한편 케이스체(264)의 하부에는 세정액(281)을 배출하기 위한 배출구(264b)가 설치되어 있다. 공급구(264a)는 제어 밸브(285)를 통해 세정액 공급부(283)와 접속되고, 배출구(264b)는 제어 밸브(286)를 통해 슬릿 코터(210)의 외부까지 유도되어 있다. 제어 밸브(285) 및 제어 밸브(286)의 양쪽은 제어부(201)에 의해서 개폐 제어 가능하게 되고, 이들 제어 밸브(285, 286)의 개폐에 의해서 케이스체(264) 내에 저장된 세정액 (281)의 교환이 이루어지게 되어 있다. 한편, 세정액(281)의 액면의 높이는 케이스체(264)의 하면에 형성되는 오버 플로우관(264c)에 의해서 항상 일정하게 유지되게 되어 있다.

세정 노즐(266)로부터 세정액(282)을 분출하는 타이밍이나, 케이스체(264)에 저장되는 세정액(281)을 교환하는 타이밍은 특별히 한정되지 않지만, 예컨대, 기동 시, 정지 시, 동작 중단 시, 소정의 매수의 기판을 처리할 때마다 등 슬릿 코터(210)의 동작에서의 소정의 이벤트마다 행하면 된다.

<2-3. 부착물 제거부>

다음에, 부착물 제거부(207)에 관해서 더욱 상세하게 설명한다. 도 9는 부착물 제거부(207)의 구성을 상세하게 도시하는 도면이다. 도면에 도시하는 바와 같이 부착물 제거부(207)는 탄성체의 블레이드(271)와, 블레이드(271)를 유지하는 금속제의 블레이드 유지 부재(272)로 구성된다.

탄성체의 블레이드(271)의 구체적인 소재로서는, 실리콘 고무(실리콘 수지), EPDM(Ethylene Propylene Diene Methylene Linkage/에틸렌프로필렌디엔 3원 공중합체/에틸렌프로필렌 고무), 부틸 고무, 불소 고무, 파플로(등록 상표) 및 칼레즈(등록 상표) 등의 합성 고무를 채용하는 것이 바람직하다.

이 블레이드(271)의 소재의 영율로서 바람직한 범위는 1MPa 내지 20MPa(즉 1MPa 이상 또한 20MPa 이하)이고, 보다 바람직한 범위는 6MPa 내지 20MPa이다. 또한 특히, 블레이드(271)로서 실리콘 고무를 채용하는 경우에 있어서는 그 영율로서 바람직한 범위는 6MPa 내지 9.5MPa이다.

플라스틱이 아니라, 경도가 비교적 작아지는 이러한 탄성 소재를 블레이드(271)로서 채용함으로써 블레이드(271)가 비교적 용이하게 변형하게 된다. 이 때문에, 도 9에 도시하는 바와 같이, 블레이드(271)는 맞닿음에 의해서 XZ 평면 내에서 변형함으로써 롤러(263)의 외주면에 대하여 선접촉이 아니라 면접촉할 수 있고, 롤러(263)의 외주면의 부착물을 긁어 내는 성능을 대폭 향상시킬 수 있다.

또한, 블레이드(271)는 그 Y축 방향에서도 비교적 용이하게 변형할 수 있다. 이 때문에, 편심이나 자중을 원인으로 롤러(263)의 외주면에 「팽창」이나 「휘어짐」이 있고, 롤러(263)의 외주면이 Y축 방향을 따른 직선 상에 배치되어 있지 않아도, 맞닿아 있는 롤러(263)의 외주면의 Y축 방향의 형상(「팽창」이나 「휘어짐」)에 맞추어 블레이드(271)가 변형한다. 그 결과, Y축 방향에 있어서 블레이드(271)와 롤러(263)의 외주면이 접촉하지 않는 부분이 없어지고, 블레이드(271)가 롤러(263)의 외주면의 Y축 방향의 전체에 걸쳐 접촉하게 된다. 즉, 롤러(263)의 외주면의 Y축 방향의 전체에 부착물이 블레이드(271)에 의해 제거되게 된다.

이 블레이드(271)의 두께(도 9에서의 부호 271t로 나타내는 길이)는 0.5㎜ 내지 10㎜(즉, 0.5㎜ 이상 또한 10㎜ 이하)의 범위 내인 것이 바람직하다. 블레이드(271)의 두께를 작게 하면 블레이드(271)의 내구성이 낮아지고, 빈번하게 블레이드(271)를 교환할 필요가 있다. 한편, 블레이드(271)의 두께를 크게 하면 내구성은 향상되지만, 블레이드(271)의 Y축 방향에서의 변형 성능이 저하된다. 블레이드(271)의 두께가 상기 범위에 있음으로써, 이러한 블레이드(271)의 내구성과 변형 성능의 밸런스를 취할 수 있게 된다.

그런데, 롤러(263)의 외주면에 대한 블레이드(271)의 압압력은, 블레이드(271)의 케이스체(264)에 대한 상대적인 각도(이하, 「배치 각도」라 함)를 변경함으로써 조정할 수 있게 되어 있다. 즉, 케이스체(264)와 롤러(263)의 상대적인 배치 관계는 고정적이기 때문에, 블레이드(271)의 배치 각도는 롤러(263)에 대한 블레이드(271)의 각도를 규정하고, 나아가서는 롤러(263)에 대한 블레이드(271)의 압압력을 규정하게 된다. 이 블레이드(271)의 배치 각도는 블레이드(271)를 유지하는 블레이드 유지 부재(272)에 의해 변경 가능하게 되어 있다.

도 9에 도시하는 바와 같이, 블레이드 유지 부재(272)는 주로 블레이드(271)를 두 개의 갈고리(273a, 273b)에 의해 직접적으로 유지하는 제1 유지부(273)와, 제1 유지부(273)를 지지하는 제2 유지부(274)와, 케이스체(264)에 대해서 고정 설치되는 제3 유지부(275)로 구성된다.

제2 유지부(274)와 제3 유지부(275)는 상호간의 각도를 조정 가능하도록 각도 조정 나사(276)를 통하여 고정되어 있다. 따라서, 각도 조정 나사(276)를 조절함으로써 제2 유지부(274)와 거기에 유지되는 제1 유지부(273)와, 또한 그 제1 유지부(273)에 유지되는 블레이드(271)에 대해서, 케이스체(264)에 대한 상대적인 각도(즉, 「배치 각도」)가 조정되게 된다.

또한, 이 블레이드(271)의 배치 각도는 Y축 방향에서 부분적으로 변경하는 것도 가능하게 되어 있다. 도면에 도시하는 바와 같이, 제1 유지부(273)는 상하 2개의 볼트(277, 279) 및 용수철(278)에 의해, 제2 유지부(274)에 지지된다. 하측 볼트(277)는 제1 유지부(273)를 비결합으로 관통하고, 그 선단부가 제2 유지부 (274)에 대하여 고정되어 있다. 그리고, 이 하측 볼트(277)의 헤드부와 제1 유지부(273)의 하면 사이에는 용수철(278)이 배치되고, 이것에 의해 제1 유지부(273)에는 제2 유지부(274)에 대하여 접근하는 방향의 가압력이 주어진다.

한편, 상측 볼트(279)는 제2 유지부(274)에 형성되는 나사산에 결합되면서 제2 유지부(274)를 관통하고, 그 선단부가 제1 유지부(273)의 상부에 맞닿아 있다. 즉, 상측 볼트(279)는 용수철(278)에 의한 가압력에 거역하도록 제1 유지부(273)에 맞닿게 된다.

또한, 이 상측 볼트(279)가 맞닿는 제1 유지부(273)의 상부측의 갈고리(273a)는, 예컨대 2㎜ 정도의 비교적 얇은 스테인레스판으로 구성되고, 상측 볼트(279)에 의한 압압력에 의해서 탄성적으로 변형 가능하게 되고 있다. 이 때문에, 상측 볼트(279)를 조이면, 거기에 맞닿아 있는 부분의 갈고리(273a)가 변형하고, 또한 그 변형된 갈고리(273a)에 유지된 부분의 블레이드(271)도 변형하여 하측을 향하게 된다. 즉, 상측 볼트(279)를 조이는 정도를 조정함으로써, Y축 방향에서 그 상측 볼트(279)의 맞닿음 부분에만 관한 블레이드(271)의 배치 각도를 조정할 수 있게 된다.

도 10의 블레이드(271)의 배면도에 도시하는 바와 같이, 이러한 상측 볼트(279)는 Y축 방향의 복수의 부분에서 소정의 간격마다 배치되어 있다. 따라서, 이 상측 볼트(279)가 배치되는 위치마다 국소적으로 블레이드(271)의 배치 각도를 조정할 수 있게 된다. 즉, Y축 방향의 전체에 관한 블레이드(271)의 배치 각도는 각도 조정 나사(276)에 의해서 변경할 수 있고, Y축 방향의 부분적인 블레이드(271) 의 배치 각도는 상측 볼트(279)에 의해서 변경할 수 있게 된다.

이와 같이, 블레이드(271)의 배치 각도가 Y축 방향에서 부분적으로 변경할 수 있음으로써, 블레이드(271)의 롤러(263)에 대한 압압력도 Y축 방향에서 부분적으로 조정할 수 있게 된다. 블레이드(271)로서 상기와 같은 탄성 소재를 채용하였다고 해도, 시간 경과적인 열화 등에 의해 롤러(263)의 외주면에 대한 블레이드(271)의 압압력이 Y축 방향에서 일정해지지 않고 국소적으로 압압력이 약해질 가능성이 있다. 이 때문에, 이러한 부분에 관해서는 롤러(263)에 대한 블레이드(271)의 압압력이 높아지도록 조정하면, 이 부분에서도 확실히 부착물을 제거할 수 있다. 따라서, 롤러(263)로의 부착물을 Y축 방향의 전체에 걸쳐 더욱 확실하게 제거할 수 있게 된다.

<3. 그 밖의 실시형태>

또한, 제1 실시형태에 있어서는, 도 2에 도시하는 부착물 제거부(74)로서, 도 9에 도시하는 제2 실시형태의 부착물 제거부(207)와 동일한 구성을 채용해도 된다. 이 경우는, 제1 실시형태의 블레이드(73)로서 제2 실시형태의 블레이드(271)와 동일한 소재가 채용되게 된다. 이 구성의 채용에 의해, 제1 실시형태의 예비 도포 부재인 롤러(71)에 있어서「팽창」이나「휘어짐」이 있었다고 해도 롤러(71)의 표면의 부착물을 확실히 제거하는 것이 가능해진다.

청구항 1 내지 8에 기재된 발명에서는, 유지된 기판을 제1 방향으로 주사하면서 토출구로부터 기판에 대하여 처리액을 토출하는 슬릿 노즐의 제1 립면은, 제2 립면보다도 처리액의 토출 방향으로 돌출하고 있고, 예비 도포 부재의 표면을 제1 방향에 대하여 거의 역방향인 제2 방향으로 주사하도록 슬릿 노즐과 예비 도포 부재의 표면을 상대적으로 이동시킴으로써 도포 불균일을 억제할 수 있다.

청구항 2에 기재된 발명에서는, 예비 도포 부재는 대략 원통형의 부재이고, 이동 수단은 예비 도포 부재의 표면을 슬릿 노즐이 제2 방향으로 주사하도록 예비 도포 부재를 축심 둘레로 회전시킴으로써 장치의 소형화를 도모할 수 있다.

청구항 3에 기재된 발명에서는, 제1 립면을 제2 립면보다도 돌출시키는 조정 수단을 더 구비함으로써, 예컨대, 사용하는 처리액의 종류에 따라서 위치 조정할 수 있다.

청구항 8에 기재된 발명에서는, 예비 도포 공정은 본 도포 공정에 앞서 실행되고, 본 도포 공정은 예비 도포 공정의 직후에 실행됨으로써 슬릿 노즐의 상태가 최적화된 직후에 기판으로의 본 도포 처리를 행함으로써 고정밀도로 처리액을 도포할 수 있다.

청구항 5, 6 및 9 내지 13의 발명에 의하면, 블레이드가 롤러의 외주면의 형상에 따라 변형 가능하기 때문에, 롤러에 있어서 자중에 의한 휘어짐이나 편심이 생겼다고 해도, 제3 방향의 전체에 걸쳐 블레이드가 롤러의 외주면에 접촉할 수 있다. 이 때문에, 제3 방향의 전체에 걸쳐 롤러로의 부착물을 제거할 수 있다.

또한, 특히 청구항 11의 발명에 의하면, 블레이드의 내구성과 변형 성능의 밸런스를 취할 수 있다.

또한, 특히 청구항 12 및 13의 발명에 의하면, 롤러에 대한 블레이드의 압압 력을 제3 방향에서 부분적으로 조정 가능하기 때문에, 제3 방향 중 어느 하나에 있어서 블레이드의 압압력이 약한 부분이 있었다고 해도 이것을 조정할 수 있고, 제3 방향의 전체에 걸쳐 롤러로의 부착물을 제거할 수 있다. 또한 특히 청구항 13의 발명에 의하면 이 압압력을 용이하게 변경할 수 있다.

Claims (13)

1. 기판에 처리액을 도포하는 기판 처리 장치로서,

   기판을 유지하는 유지 수단과,

   상기 유지 수단에 유지된 기판을 제1 방향으로 주사하면서 토출구로부터 상기 기판에 대하여 처리액을 토출하는 슬릿 노즐과,

   예비도포처리에 있어서, 상기 슬릿 노즐에 의해서 처리액이 도포되는 예비 도포 부재와,

   상기 예비도포처리에 있어서, 상기 슬릿 노즐이 상기 예비 도포 부재의 표면을 상기 제1 방향에 대하여 거의 역방향인 제2 방향으로 주사하도록 상기 슬릿 노즐과 상기 예비 도포 부재의 표면을 상대적으로 이동시키는 이동 수단을 구비하고,

   상기 슬릿 노즐은

   상기 토출구의 상기 제1 방향측에 위치하는 제1 립면과,

   상기 토출구의 상기 제2 방향측에 위치하는 제2 립면을 가지고,

   상기 제1 립면은 상기 제2 립면보다도 처리액의 토출방향으로 돌출하고,

   상기 예비도포처리에 있어서, 상기 제1 립면 및 상기 제2 립면은 상기 예비도포부재의 표면에 근접하여 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 예비 도포 부재는 대략 원통형의 부재이고,

   상기 이동 수단은 상기 예비 도포 부재의 표면을 상기 슬릿 노즐이 상기 제2 방향으로 주사하도록 상기 예비 도포 부재를 축심 둘레로 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 제1 립면을 상기 제2 립면보다도 돌출시키는 조정 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 립면은 상기 제2 립면보다도 30㎛ 이상 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
5. 제2항에 있어서, 상기 예비 도포 부재의 표면에 맞닿음으로써 해당 표면으로의 부착물을 제거하는 긴 블레이드를 더 구비하고,

   상기 블레이드는 영율이 1MPa 내지 20MPa의 범위 내인 탄성체로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
6. 제2항에 있어서, 상기 예비 도포 부재의 표면에 맞닿음으로써 해당 표면으로의 부착물을 제거하는 긴 블레이드를 더 구비하고,

   상기 블레이드는 고무로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
7. 슬릿 노즐에 설치된 토출구로부터 처리액을 토출시켜 기판에 처리액을 도포하는 기판 처리 방법으로서,

   기판을 유지하는 유지 공정과,

   상기 유지 공정에서 유지된 상기 기판에 대하여 상기 슬릿 노즐을 제1 방향으로 주사하면서 상기 기판에 처리액을 도포하는 본 도포 공정과,

   상기 슬릿 노즐이 상기 제1 방향의 거의 역방향이 되는 제2 방향으로 주사하도록 예비 도포 부재의 표면을 상대 이동시키면서 상기 예비 도포 부재에 처리액을 도포하는 예비 도포 공정을 갖고,

   상기 본 도포 공정 및 상기 예비 도포 공정에서,

   상기 토출구의 상기 제1 방향측에 설치되는 제1 립면은 상기 토출구의 상기 제2 방향측에 설치되는 제2 립면보다도 낮은 위치에 배치되고,

   상기 예비도포공정에 있어서, 상기 제1 립면 및 상기 제2 립면은 상기 예비도포부재의 표면에 근접하여 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
8. 제7항에 있어서, 상기 예비 도포 공정은 상기 본 도포 공정에 앞서 실행되고,

   상기 본 도포 공정은 상기 예비 도포 공정의 직후에 실행되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
9. 기판에 처리액을 도포하는 기판 처리 장치로서,

   대략 수평인 제3 방향을 따라서 연장되고 상기 제3 방향에 직교하는 대략 수평인 제4 방향으로 상기 기판에 대하여 상대 이동하면서 상기 기판에 상기 처리액을 토출 가능한 슬릿 노즐과,

   상기 제3 방향을 따라서 연장되고 외주면에 상기 슬릿 노즐로부터 상기 처리액을 토출시킴으로써 상기 슬릿 노즐의 선단부를 소정 상태로 조정하는 대략 원통 형의 롤러와,

   상기 제3 방향을 따라서 연장되고 상기 롤러의 상기 외주면에 맞닿음으로써 상기 외주면으로의 부착물을 제거하는 긴 블레이드를 구비하고,

   상기 블레이드는 영율이 1MPa 내지 20MPa의 범위 내인 탄성체로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
10. 기판에 처리액을 도포하는 기판 처리 장치로서,

    대략 수평인 제3 방향을 따라서 연장되고 상기 제3 방향에 직교하는 대략 수평인 제4 방향으로 상기 기판에 대하여 상대 이동하면서 상기 기판에 상기 처리액을 토출 가능한 슬릿 노즐과,

    상기 제3 방향을 따라서 연장되고 외주면에 상기 슬릿 노즐로부터 상기 처리액을 토출시킴으로써 상기 슬릿 노즐의 선단부를 소정 상태로 조정하는 대략 원통형의 롤러와,

    상기 제3 방향을 따라서 연장되고 상기 롤러의 상기 외주면에 맞닿음으로써 상기 외주면으로의 부착물을 제거하는 긴 블레이드를 구비하고,

    상기 블레이드는 고무로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
11. 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 블레이드의 두께가 0.5㎜ 내지 10㎜의 범위 내인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
12. 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 롤러에 대한 상기 블레이드의 압압력을 상기 제3 방향에서 부분적으로 조정 가능한 조정 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
13. 제12항에 있어서, 상기 조정 수단은 상기 롤러에 대한 상기 블레이드의 각도를 상기 제3 방향에서 부분적으로 변경함으로써 상기 압압력을 조정하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.

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