JP2002026089A - レーザクリーナ付きプローバ及びプローブカードのクリーニング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プローバの稼働率低下を招くことなく、良好
なプローブカードの測定針のクリーニングを行うことの
できるレーザクリーナ付きプローバを提供する。 【解決手段】 プローバ本体２０側でＩＣウエハ１８の
電気的特性を測定するプローブカード１０の測定針１４
に異物が付着した或いは付着した可能性がある場合、カ
ードチェンジャ４４により使用済みプローブカード１０
をプローバ本体２０から回収しレーザクリーナ２２に移
送すると共に、クリーニング済みプローブカード１０を
収納しているストッカからクリーニング済みプローブカ
ード１０を取り出しプローバ本体２０に装着する。レー
ザクリーナ２２に移送された使用済みのプローブカード
１０の測定針１４に付着した異物は、実質的閉鎖空間内
でレーザ光を照射することにより焼却除去され、ストッ
カに保管される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザクリーナ付
きプローバ及びプローブカードのクリーニング方法、特
にプローバの稼働効率低下を防止しつつプローブカード
の測定針のクリーニングを行うことのできるレーザクリ
ーナ付きプローバ及びそのクリーニング方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ウエハ上に多数個形成された半導体ＩＣ
の電気的な特性試験を行うために、プローバテスタシス
テム（以下、単にプローバという）が用いられている。
このプローバは、各半導体ＩＣの電極パターンに応じて
配置された複数の導電体の測定針を有するプローブカー
ドを有している。図５には、プローブカードの一例が示
されている。図に示すように、表面及び内部にプリント
配線が設けられたプローブカード基板１０にはその中央
部に円形開口部１０ａが設けられている。そして、プロ
ーブカード基板１０の下面側には前記開口部１０ａの周
辺に合わせてセラミックス等からなる固定リング１２が
配置されている。さらに、前記プローブカード基板１０
の下面側には、図示するように、複数の測定針１４が固
定リング１２の周囲に沿って固定されており、その固定
された基端が前記プリント配線端子に接続されている。
また、測定針１４のアーム部１４ａが前記開口部１０ａ
に向かって伸張されている。各測定針１４のアーム部１
４ａはその先端がプローブカード基板１０とほぼ垂直に
なるように略Ｌ字型に折り曲げられ、ウエハの電極パッ
ドに接触する触針部１４ｂを構成している。各測定針１
４のアーム部の一部である中間節部は、前記固定リング
１２に樹脂部１６で固定保持され、各測定針１４がしっ
かりと位置決め保持されている。

【０００３】従って、このプローブカード１０をプロー
バに取り付け、実際にウエハの導通検査あるいは機能測
定を行う場合には、前記測定針１４の触診部１４ｂをウ
エハの各電極パッドに導き、前記アーム部１４ａのバネ
性を利用して所定圧力で触診部１４ｂを電極パッドに押
圧する。この結果、触診部１４ｂと電極パッドとの接触
が良好に行われ、ＩＣ等の導通検査あるいは機能測定を
効率よくかつ安定して行うことが可能となる。

【０００４】なお、このようなプローブカード１０の測
定針１４先端は測定されるＩＣチップの電極パターンと
正確に対応したパターンで配置されなければならない。
また、その高さ精度も厳しく管理されなければならな
い。同様に、各電極パッドと良好な電気的導通を確保す
るために、その先端の接触抵抗も正しく管理されなけれ
ばならない。

【０００５】しかし、前述したように、実際に導通検査
あるいは機能測定を行う場合には、先端部分が細く、略
Ｌ字型に曲げられたプローブカード１０の測定針１４を
ＩＣウエハ等の電極パッドに押圧している。その押圧時
に測定針１４が電極パッド上を滑り電極パッドの母材
（例えば、アルミニウムや金）を削り取ってしまうと共
に、削り取ったカス（異物）が測定針１４に付着してし
まう場合がある。この場合、前記異物により測定針１４
の接触抵抗が大きくなり以降のプローブカード１０によ
る正確な導通検査あるいは機能測定ができなくなってし
まう。これに対して、本出願人は、先の出願において、
例えば、レーザー光を使用して測定針１４に付着した異
物のみを焼却除去するクリーニング方法を提案してい
る。レーザー光を使用したクリーニングは、測定針１４
に磨耗や変形等のダメージを与えず、プローブカード１
０の機能維持を行うことができるので、有効な方法であ
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、プローブカー
ド１０の機能維持を全体的に均一に行う場合、レーザー
光を使用したクリーニングは、個々の測定針１４に対し
て行う必要がある。測定針１４の１本あたりに必要なク
リーニング時間は１秒程度であり、この処理を数百本の
測定針１４に対して行うと、数分から数十分の処理時間
が必要になってしまう。その結果、クリーニング処理中
はプローバが停止することになり、プローバの稼働率を
著しく低下させてしまうという問題がある。レーザ光照
射装置を複数準備し同時に複数の測定針にレーザ光を照
射することにより処理時間を短縮することも考えられる
が、装置構成が大掛かりになると共に、コストも増加し
好ましい方法ではない。

【０００７】本発明は、このような問題を解決すること
を課題としてなされたものであり、プローバの稼働率低
下を招くことなく、プローブカードの測定針のクリーニ
ングを良好に行うことのできるレーザクリーナ付きプロ
ーバ及びプローブカードのクリーニング方法を提供する
ことを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記のような目的を達成
するために、本発明は、被測定物の電気的特性をプロー
ブカードの測定針を介して測定するプローバ本体部と、
前記被測定物に直接接触する測定針に付着した異物を実
質的閉鎖空間内でレーザ光を照射することにより焼却除
去するレーザクリーナと、少なくともクリーニング済み
プローブカードを収納するカード収納ストッカと、使用
済みプローブカードをプローバ本体から回収し前記レー
ザクリーナに移送すると共に、前記カード収納ストッカ
に収納されたクリーニング済みプローブカードをプロー
バ本体に装着するカードチェンジャと、を含むことを特
徴とする。

【０００９】ここで、使用済みプローブカードとは、実
際に使用していなくても、クリーニングが必要な状態の
プローブカードも含むものとする。

【００１０】この構成によれば、カードチェンジャによ
り迅速にクリーニング済みプローブカードがプローバ本
体に供給されるので、プローバの稼働率が低下しない。
また、使用済みプローブカードは、プローバの稼動とは
独立して実質的閉鎖空間内でレーザ光の照射によるクリ
ーニングを受けるので、十分なクリーニングを受けるこ
とができる。さらに、実質的閉鎖空間内でクリーニング
を行うので、焼却除去した異物のカス等がプローバ本体
側に飛散することを確実に防止することができる。

【００１１】上記のような目的を達成するために、本発
明は、上記構成において、前記カード収納ストッカは、
同種類のプローブカードを複数枚収納していることを特
徴とする。

【００１２】この構成によれば、常に最良の状態のプロ
ーブカードをプローバに供給し、プローバの稼動率を維
持することができる。また、同一種類のプローブカード
を複数準備し、プローブカードによる測定を行い、プロ
ーブカード間で測定結果の比較を行うことにより、各種
不良を迅速に発見できる。例えば、複数のプローブカー
ドで同一の測定部分に対し同一の不良が発見されている
場合には、被測定物の設計や製造に起因する不良である
と判断可能であり、１枚のプローブカードで、複数の被
測定物の測定を行った時に、同一の測定部分に対し同一
の不良が発見されている場合には、そのプローブカード
１０の不良であることが容易かつ迅速に発見することが
可能になる。

【００１３】上記のような目的を達成するために、本発
明は、上記構成において、前記カード収納ストッカは、
異種類のプローブカードを複数枚収納していることを特
徴とする。

【００１４】この構成によれば、被測定物の機種切換が
行われても、迅速にプローブカードの換装を済ませるこ
とができるので、プローバの稼働率低下を防止できる。

【００１５】上記のような目的を達成するために、本発
明は、上記構成において、前記カードチェンジャは、カ
ード交換タイミングを任意に選択可能であることを特徴
とする。

【００１６】ここで、カードの交換は、予め設定された
所定数の被測定物に対する測定終了後でも良いし、被測
定物の測定結果に基づいて行ってもよい。

【００１７】この構成によれば、最適なタイミングで測
定機能の安定したクリーニング済みプローブカードをプ
ローバに供給することが可能で、信頼度の高い測定を効
率的に行うことができる。

【００１８】上記のような目的を達成するために、本発
明は、上記構成において、前記カード収納ストッカは、
酸化抑制ガスを充填可能な実質的密閉空間を形成可能で
あることを特徴とする。

【００１９】ここで酸化抑制ガスとは、例えば、Ｎ_２ガ
ス等である。この構成によれば、クリーニング済みプロ
ーブカードを長期間安定して、その機能維持を行うこと
ができる。

【００２０】また、上記のような目的を達成するため
に、本発明のプローブカードのクリーニング方法は、プ
ローバ本体に装着されたプローブカードの測定針を介し
て被測定物の電気的特性を測定するステップと、測定結
果に基づいて測定針の異物付着の有無を判定するステッ
プと、判定結果に基づき使用済みプローブカードをプロ
ーバ本体から回収しレーザクリーナに移送すると共に、
カード収納ストッカに収納されたクリーニング済みプロ
ーブカードをプローバ本体に装着するステップと、レー
ザクリーナに移送された使用済みプローブカードの測定
針に付着した異物を実質的閉鎖空間内でレーザ光を照射
することにより焼却除去するステップと、異物を焼却除
去したプローブカードをカード収納ストッカに移送する
ステップと、を含むことを特徴とする。

【００２１】この構成によれば、最適なタイミングで測
定機能の安定したクリーニング済みプローブカードをプ
ローバに供給することが可能で、信頼度の高い測定を効
率的に行うことができる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
（以下、実施形態という）を図面に基づき説明する。

【００２３】図１には、本実施形態に係るレーザクリー
ナ付きプローバ（以下、単にプローバという）１６の構
成概念を説明する側面図が示され、図２には、図１に示
すプローバ１６の主要構成部の位置関係を説明する上面
図が示されている。図１には、被測定物、例えばＩＣウ
エハ１８の電気的特性の測定を行うプローバ本体部２０
と、当該プローバ本体部２０で使用された使用済み（所
定回数の測定を終了したものや測定精度が不安定になっ
たもの等）のプローブカード１０に付着した異物（ＩＣ
ウエハ１８の電極パッドから削り取り、付着した例え
ば、アルミニウムや金の削りカスやその他の塵等）の焼
却除去を行うレーザクリーナ２２が示されている。

【００２４】前記プローバ本体部２０は、図示しない搬
送装置により外部から投入されてＩＣウエハ１８を支持
固定可能なワークチャック２４を有する昇降回転テーブ
ル２６と、当該昇降回転テーブル２６を支持するＸＹテ
ーブル２８を含んでいる。また、前記ワークチャック２
４の上方には、プローブカード１０を固定支持すると共
に、図示しない電流計や電圧計、導通チェック装置等と
プローブカード１０を電気的に接続するチャックコネク
タ３０が配置されている。なお、プローバ本体部２０は
チャックコネクタ３０のみを露出させ他の部分はケース
３２の内部に収納されている。従って、ＩＣウエハ１８
を搬送する搬送装置は、その搬送経路をケース３２に形
成された開口（不図示）を介して内部まで延ばしてい
る。搬送装置によって、ワークチャック２４に供給され
たＩＣウエハ１８は、昇降回転テーブル２６によるＺ方
向（上下方向）、θ方向（水平面内の回転）及びＸＹテ
ーブル２８によるＸＹ方向（水平面内の前後左右）を適
宜動作制御することにより、チャックコネクタ３０に固
定支持されたプローブカード１０に対して所定の位置に
移動し、各種測定を行うことができる。

【００２５】例えば、ワークチャック２４はプローブカ
ード１０から離れた位置で、搬送装置からＩＣウエハ１
８を受け取り、まず、Ｘ，Ｙ，θ方向の動作により受け
取ったＩＣウエハ１８をプローブカード１０の直下に位
置決めする。つまり、ＩＣウエハ１８上の電極パッドと
プローブカード１０の測定針１４が１：１で対応するよ
うに位置決めする。その後、Ｚ方向の移動でＩＣウエハ
１８上の電極パッドとプローブカード１０の測定針１４
とを接触させ、各種測定を実行する。所定の測定が終了
した後は、前述と逆の動作により、搬送装置によりＩＣ
ウエハ１８をプローバ１６の外部に排出する。この動作
を順次繰り返す。なお、搬送装置は、プローバ１６に対
するＩＣウエハ１８の搬入と搬出を同一の装置で行って
もよいし、搬入と搬出を専用の搬送装置によって行って
もよい。

【００２６】一方、前記プローバ本体部２０に隣接して
配置されたレーザクリーナ２２は、開閉自在な扉３４ａ
を有し、実質的な閉鎖空間を形成可能なチャンバ３４の
内部に配置されている。レーザクリーナ２２は、クリー
ニング対象である使用済みのプローブカード１０を支持
固定するカードチャック３６を有するＸＹテーブル３８
と、その下方に配置され、レーザ発生装置４０を昇降自
在に支持するＺ方向昇降装置４２を含んでいる。

【００２７】使用済みプローブカード１０（実際に使用
していなくても、クリーニングが必要な状態のプローブ
カードも含む）が後述するカードチェンジャによってカ
ードチャック３６に供給されると、当該カードチャック
３６はプローブカード１０を固定し、ＸＹテーブル３８
により、クリーニング開始位置、すなわち、レーザ発生
装置４０の発生するレーザ光のフォーカス可能位置にプ
ローブカード１０のクリーニング対象の測定針１４を移
動させる。レーザ発生装置４０のレーザ光のフォーカス
調整はＺ方向昇降装置４２によって行う。本実施形態の
場合、レーザ発生装置４０はＺ方向のみ移動可能な構成
なので、１本の測定針１４のクリーニングが終了したら
ＸＹテーブル３８の駆動によりプローブカード１０を移
動し順次測定針１４のクリーニングを継続して行う。

【００２８】本実施形態の特徴的事項は、使用済みのプ
ローブカード１０をプローバ本体２０から回収し前記レ
ーザクリーナ２２に移送すると共に、クリーニングが完
了しているプローブカード１０を収納したカード収納ス
トッカから取りだしプローバ本体２０に迅速に供給しプ
ローバ２０の稼動を継続するカードチェンジャを有して
いるところである。

【００２９】図２は、プローバ１６を上面から見た場合
のチャックコネクタ３０とカードチャック３６の配置位
置を示していると共に、カードチェンジャ４４及びクリ
ーニング済みのプローブカード１０を収納保管しておく
カード収納ストッカ（以下、単にストッカという）４６
の配置位置と概略構成が示されている。なお、図２にお
いて、ケース３２やチャンバ３４は図示を省略してい
る。

【００３０】カードチェンジャ４４は、昇降自在かつ旋
回自在な本体部４８の上部にリンク機構で構成される伸
縮自在なアーム５０を有している。アーム５０の先端に
は、アーム５０に対して自由に回転するチャック爪５０
ａを有しプローブカード１０の外周部分（部品が実装さ
れていない部分等）を把持可能になっている。なお、プ
ローブカード１０に、チャック爪５０ａで把持する専用
の把持部を形成しておいてもよい。

【００３１】一方、ストッカ４６は、例えば、昇降自在
な積層ラック４６ａを有し、クリーニング済みのプロー
ブカード１０を複数枚収納可能になっている。このスト
ッカ４６には、同一種類のプローブカード１０を複数収
納してもよいし、異種（測定針１４のピッチが異なるも
のや本数が異なるもの等）のプローブカード１０を複数
収納してもよい。積層ラック４６ａは、クリーニング済
みのプローブカード１０の取り出し指令を受けると、プ
ローブカード１０の取り出しのために延びてきたアーム
５０の対面位置に指定されたプローブカード１０を乗降
移動しアーム５０による取り出しを可能にする。

【００３２】図２は、アーム５０が僅かに縮みストッカ
４６内部にチャック爪５０ａを挿入し、指定されたプロ
ーブカード１０を把持している状態が示されている。こ
の後、アーム５０は更に縮みつつ、時計回り方向に旋回
し、チャックコネクタ３０にクリーニング済みのプロー
ブカード１０を渡すために、アーム５０を延ばす。同様
に、チャックコネクタ３０から使用済みのプローブカー
ド１０を回収する場合や、レーザクリーナ２２のカード
チャック３６に使用済みのプローブカード１０を供給し
たり、クリーニング済みのプローブカード１０をレーザ
クリーナ２２からストッカ４６に搬送する場合もアーム
５０の伸縮や本体部４８の昇降、旋回を適宜行い、最短
の経路で、プローブカード１０の搬送を行う。

【００３３】なお、図２においては、２本のアーム５０
によりプローブカード１０を把持する構成を示している
が、１本のアーム５０で把持動作を行ってよいし、使用
済み把持用とクリーニング済み把持用を個別に用意し、
チャックコネクタ３０から使用済みのプローブカード１
０を回収したら直ちにクリーニング済みのプローブカー
ド１０の供給を行うようにすれば、プローブカード１０
の換装に必要な時間を更に短縮することができる。ま
た、ストッカ４６は、実質的な密閉空間を形成可能なハ
ウジング４６ｂを有し、内部には、プローブカード１０
（特に測定針１４）の保管時の酸化を抑制する酸化抑制
ガス（例えば、Ｎ_２）が充填されプローブカード１０の
保管時に長時間の品質維持、機能維持を行っている。な
お、ハウジング４６ｂはプローブカード１０の出し入れ
時のアーム５０の挿入を許容するために開閉自在なシャ
ッタを有しているが図示を省略している。

【００３４】このように、カードチェンジャ４４は、使
用済みで異物が付着したまたは付着した可能性のあるプ
ローブカード１０をプローバ本体部２０から取り出し、
迅速にクリーニング済みのプローブカード１０をプロー
バ本体部２０に装着するので、プローバ１６の稼働率低
下を防止することができる。また、ストッカ４６に異種
のプローブカード１０を収納している場合には、測定対
象の切換、すなわち、ＩＣウエハ１８の機種切換が発生
した場合でも、プローバ１６の稼働効率低下を防止する
ことができる。

【００３５】図３には、プローバ１６のプローバ本体部
２０側の動作手順を示すフローチャートが示されてい
る。まず、プローバ１６による測定開始を指示するスタ
ートスイッチ等が押下されると、測定準備が行われる
（Ｓ１００）。この測定準備では、カードチェンジャ４
４のアーム５０によりクリーニング済みのプローブカー
ド１０がストッカ４６から取り出され、チャックコネク
タ３０に供給される。そして、クリーニング済みのプロ
ーブカード１０の装着が確認されたら、搬送装置によっ
てプローバ本体部２０に供給されたＩＣウエハ１８に対
する実際の導通試験等の電気的特性試験が開始され（Ｓ
１０１）、測定結果の良否判定が行われる（Ｓ１０
２）。測定結果が予め定めされた測定値範囲にある場
合、ＩＣウエハ１８が良品であると判断して、その測定
データを図示しない制御部のメモリ等に蓄積し、測定デ
ータとして蓄積管理する。さらに、図示しない制御部
は、プローバ本体部２０に装着されたプローブカード１
０による測定が所定回数（例えば、１０００回）終了し
たか否かの判断を行う（Ｓ１０３）。もし、装着された
プローブカード１０により所定回数の測定が終了してい
ない場合、（Ｓ１０１）に戻り、次にプローバ本体部２
０に供給されるＩＣウエハ１８に対する測定を継続して
行う。一方、装着されたプローブカード１０により所定
回数の測定が終了した場合プローブカード１０の測定針
１４には、異物が付着している可能性があると判断し
て、すなわち、測定針１４のクリーニングが必要な時期
であると判断して、プローブカード１０の交換を行う
（Ｓ１０４）。つまり、アーム５０により使用済みのプ
ローブカード１０をチャックコネクタ３０から取り外
し、直ちに、ストッカ４６から取り出したクリーニング
済みのプローブカード１０をチャックコネクタ３０に装
着し、前述したように、測定準備を行い、測定を継続し
て行う。

【００３６】また、（Ｓ１０２）で測定結果が良好でな
い、つまり測定結果が予め定めされた測定値範囲に入ら
ない場合、ＩＣウエハ１８の不良部分が同一の場所（同
一の測定針１４による測定個所）で連続して発生してい
るか否かの判断を行う（Ｓ１０５）。不良位置が同一で
ない場合、ＩＣウエハ１８が不良であると判断し、その
測定結果を記録しＩＣウエハ１８を不良処理すると共
に、プローバ本体部２０の処理は、（Ｓ１０３）に移行
し、前述の処理を継続して行う。また、（Ｓ１０５）に
おいて、ＩＣウエハ１８の同一部分で不良が連続して発
生した場合（例えば、５回）、プローブカード１０の測
定針１４に異物が付着した結果、測定不良が連続して発
生していると判断し、ＩＣウエハ１８の測定回数に関わ
りなく（Ｓ１０４）に移行して、プローブカード１０の
交換を行い、クリーニング済みのプローブカード１０に
よる測定を行う。つまり、同一種類のプローブカード１
０を複数準備し、プローブカード１０による測定を行
い、プローブカード１０間で測定結果の比較を行うこと
により、各種不良を迅速に発見できる。例えば、複数の
プローブカード１０で同一の測定部分に対し同一の不良
が発見されている場合には、被測定物の設計や製造に起
因する不良であると判断可能であり、１枚のプローブカ
ードで、複数のＩＣウエハの測定を行った時に、同一の
測定部分に対し同一の不良が発見されている場合には、
そのプローブカードの不良であることが容易かつ迅速に
発見することが可能になる。

【００３７】このように、プローブカード１０の交換タ
イミングは、予め設定されたクリーニング必要予想タイ
ミングと、実際の測定結果に基づく異物確認による交換
タイミングとを併用することにより、最適なタイミング
でプローブカード１０の交換を行い、常に測定に適した
状態のプローブカード１０によるＩＣウエハ１８の電気
特性の測定を効率良く行うことができる。

【００３８】図４には、レーザクリーナ２２側の動作手
順を示すフローチャートが示されている。図示しない制
御部は、レーザクリーナ２２のカードチャック３６に使
用済みのプローブカード１０が供給されたか否かの判断
を常時行っている（Ｓ２００）。使用済みのプローブカ
ード１０の供給が確認されたらＸＹテーブル３８により
プローブカード１０を所定の位置に順次移動させつつ、
レーザ発生装置４０によりクリーニングを行う（Ｓ２０
１）。基本的には、全部の測定針１４に対して均等にレ
ーザ照射を行いクリーニングを行うが、例えば、図３の
フローチャートの（Ｓ１０５）で異物付着が確認された
場合、測定結果に基づき、異物が付着した測定針１４が
特定できるので、その部分を集中的（他の部分より長時
間のレーザ照射）にクリーニングするようにしてもよ
い。

【００３９】レーザ照射によるクリーニングが終了した
プローブカード１０は、カードチェンジャ４４のアーム
５０によりストッカ４６に収納し（Ｓ２０２）、そのプ
ローブカード１０に関するクリーニング回数や集中クリ
ーニング位置等のプローブカード１０に関するカード履
歴を図示しない制御部のメモリに保存する（Ｓ２０
３）。

【００４０】このように、クリーニング済みのプローブ
カード１０のカード履歴を保存することにより、複数枚
のプローブカード１０の集中管理を行うことが可能にな
り、カードチェンジャ４４によるプローブカード１０の
交換要求に対して迅速に対応し、要求されるプローブカ
ード１０を供給することができる。

【００４１】なお、本実施形態の図１及び図２で説明し
たレーザクリーナ付きプローバの構成は、一例であり、
プローバ本体部のＸＹテーブルの構成や昇降回転テーブ
ルの構成、レーザクリーナのＸＹテーブルの構成や昇降
装置の構成、カードチェンジャの構成等は任意であり、
カードチェンジャにより、使用済みのプローブカードの
回収及びストッカに収納されたクリーニング済みのプロ
ーブカードの供給を迅速に行える構成であれば、本実施
形態と同様な効果を得ることができる。

【００４２】また、プローバ本体部やレーザクリーナの
における処理手順も一例であり、プローバ本体部におけ
るＩＣウエハの測定効率を維持できる手順であればよ
い。

【００４３】

【発明の効果】本発明によれば、カードチェンジャによ
り迅速にクリーニング済みプローブカードをプローバ本
体部に供給することができるので、プローバの稼働率低
下を防止することができる。また、使用済みプローブカ
ードは、プローバの稼動とは独立して実質的閉鎖空間内
でレーザ光の照射によるクリーニングを受けることがで
きるので、十分なクリーニングを受けることができる。
さらに、実質的閉鎖空間内でクリーニングを行うので、
焼却除去した異物のカス等がプローバ本体側に飛散する
ことを確実に防止し、常に最適な状態のプローブカード
による良好な被測定物の測定を効率的に行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施形態に係るレーザクリーナ付き
プローバの構成概念を説明する側面図である。

【図２】 本発明の実施形態に係るレーザクリーナ付き
プローバの構成概念を説明する上面図である。

【図３】 本発明の実施形態に係るレーザクリーナ付き
プローバのプローバ本体部側の処理手順を説明するフロ
ーチャートである。

【図４】 本発明の実施形態に係るレーザクリーナ付き
プローバのレーザクリーナ側の処理手順を説明するフロ
ーチャートである。

【図５】 プローブカードの構成を説明する説明図であ
る。

【符号の説明】

１０ プローブカード、１４ 測定針、１６ プローバ
（レーザクリーナ付きプローバ）、１８ ＩＣウエハ、
２０ プローバ本体部、２２ レーザクリーナ、２４
ワークチャック、２６ 昇降回転テーブル、２８ ＸＹ
テーブル、３０チャックコネクタ、３２ ケース、３４
チャンバ、３６ カードチャック、３８ ＸＹテーブ
ル、４０ レーザ発生装置、４２ Ｚ方向昇降装置、４
４ カードチェンジャ、４６ ストッカ、４８ 本体
部、５０ アーム。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 滝沢 広幸 東京都板橋区板橋１丁目10番14号 株式会 社東京カソード研究所内 (72)発明者 船生 一正 東京都板橋区板橋１丁目10番14号 株式会 社東京カソード研究所内 (72)発明者 竹内 修 東京都板橋区板橋１丁目10番14号 株式会 社東京カソード研究所内 (72)発明者 八木 康夫 東京都板橋区板橋１丁目10番14号 株式会 社東京カソード研究所内 Ｆターム(参考） 2G003 AA10 AG04 AG19 AH04 2G011 AA02 AA15 AB06 AC13 AD01 AE03 AF07 2G032 AA00 AF01 AF03 AL00 AL03 4M106 AA01 BA01 DD03 DD10 DD18 DJ38

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定物の電気的特性をプローブカード
   の測定針を介して測定するプローバ本体部と、 前記被測定物に直接接触する測定針に付着した異物を実
   質的閉鎖空間内でレーザ光を照射することにより焼却除
   去するレーザクリーナと、 少なくともクリーニング済みプローブカードを収納する
   カード収納ストッカと、 使用済みプローブカードをプローバ本体から回収し前記
   レーザクリーナに移送すると共に、前記カード収納スト
   ッカに収納されたクリーニング済みプローブカードをプ
   ローバ本体に装着するカードチェンジャと、 を含むことを特徴とするレーザクリーナ付きプローバ。
2. 【請求項２】 請求項１記載のプローバにおいて、 前記カード収納ストッカは、同種類のプローブカードを
   複数枚収納していることを特徴とするレーザクリーナ付
   きプローバ。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２記載のプローバ
   において、 前記カード収納ストッカは、異種類のプローブカードを
   複数枚収納していることを特徴とするレーザクリーナ付
   きプローバ。
4. 【請求項４】 請求項１から請求項３のいずれかに記載
   のプローバにおいて、 前記カードチェンジャは、カード交換タイミングを任意
   に選択可能であることを特徴とするレーザクリーナ付き
   プローバ。
5. 【請求項５】 請求項１から請求項４のいずれかに記載
   のプローバにおいて、 前記カード収納ストッカは、酸化抑制ガスを充填可能な
   実質的密閉空間を形成可能であることを特徴とするレー
   ザクリーナ付きプローバ。
6. 【請求項６】 プローバ本体に装着されたプローブカー
   ドの測定針を介して被測定物の電気的特性を測定するス
   テップと、 測定結果に基づいて測定針の異物付着の有無を判定する
   ステップと、 判定結果に基づき使用済みプローブカードをプローバ本
   体から回収しレーザクリーナに移送すると共に、カード
   収納ストッカに収納されたクリーニング済みプローブカ
   ードをプローバ本体に装着するステップと、 レーザクリーナに移送された使用済みプローブカードの
   測定針に付着した異物を実質的閉鎖空間内でレーザ光を
   照射することにより焼却除去するステップと、異物を焼
   却除去したプローブカードをカード収納ストッカに移送
   するステップと、 を含むことを特徴とするプローブカードのクリーニング
   方法。