JP5442031B2 - 異物除去装置 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態の異物除去装置Sの概略斜視図である。
次に、上記異物除去装置Sを使用してワーク表面に存在する異物Aを除去する方法について、図3及び図4を参照しながら、一例を挙げて説明する。図3は、ワーク表面の異物Aを粘着除去する工程図である。図4は、ワーク表面の異物Aを研磨除去する工程図である。なお、図3及び図4中の実線矢印は押付ヘッド15の移動方向を示している。図4(c)中の破線矢印はテープTの走行方向を示している。これらは後に参照する図6,7及び図11,12においても同様である。
図5は、実施形態2に係る修正ユニット10の概略構成図である。この実施形態2では、修正ユニット10の構成が実施形態1と異なる他は実施形態1と同様に構成されている。なお、以降の実施形態及び参考形態では、構成の異なる箇所についてのみ説明し、同一の構成箇所は、図1から図4に基づく実施形態1の説明に譲ることにして、その詳細な説明を省略する。
上記異物除去装置Sを使用してワーク表面に存在する異物Aを除去する方法について、図6及び図7を参照しながら、一例を挙げて説明する。図6は、ワーク表面の異物Aを粘着除去する工程図である。図7は、ワーク表面の異物Aを研磨除去する工程図である。なお、図7(b)中の白抜き矢印は回転体26の回転方向を示している。
図8は、参考形態の異物除去装置Sの概略斜視図である。
上記異物除去装置Sを使用してワーク表面に存在する異物Aを除去する方法について、図11及び図12を参照しながら、一例を挙げて説明する。図11は、ワーク表面の異物Aを粘着除去する工程図である。図12は、ワーク表面の異物Aを研磨除去する工程図である。
上記各実施形態では、異物除去装置Sと別個の異物検査装置によってワーク表面に存在する異物を検査するとしたが、異物除去装置Sにおいて走査ヘッド8をワーク全面を走査するように移動させ、高さ計測機構9によりワーク表面に存在する異物を検査しても構わない。
S 異物除去装置
T テープ
T1 研磨テープ
T2 粘着テープ
W ワーク
12 繰出しリール
13 巻取りリール
15,25 押付ヘッド
15a,25a,35a,45a 先端部
16 ヘッド本体
17 軟質弾性部材
20 エアシリンダ(調圧機構)
26 回転体
27 研磨用押圧子
28 粘着用押圧子
30 研磨ユニット
32 研磨用繰出しリール
33 研磨用巻取りリール
35 研磨用押付ヘッド
40 粘着ユニット
42 粘着用繰出しリール
43 粘着用巻取りリール
45 粘着用押付ヘッド
Claims (5)
- 研磨材及び粘着剤を表面に有するテープを走行させてワーク表面の異物に押し付け可能に、且つ該異物に対する上記テープの接触状態を、異物を研磨除去する点接触状態又は線接触状態と、異物を粘着除去する面接触状態とに切り替え可能に構成されている
ことを特徴とする異物除去装置。 - 請求項1に記載の異物除去装置において、
上記研磨材及び粘着剤を表面に有するテープが巻回された繰出しリールと、
上記繰出しリールから繰り出されたテープを巻き取る巻取りリールと、
上記繰出しリールと上記巻取りリールとの間に配置され、上記テープを異物に押し付ける押付ヘッドとを備え、
上記押付ヘッドは、上記テープに接する先端部を、上記テープを異物に押し付けたときに変形しない硬い状態と、上記テープを異物に押し付けたときに該異物の形状に合わせて弾性変形する柔らかい状態とに切り替え可能に構成されている
ことを特徴とする異物除去装置。 - 請求項2に記載の異物除去装置において、
上記押付ヘッドは、先端に開口を有する筒状のヘッド本体と、該ヘッド本体の先端内部に上記開口から一部突出するように収容された軟質弾性部材とを備え、
上記ヘッド本体の内部は、内部圧力を調整する調圧機構に接続され、
異物を研磨除去する場合には、上記調圧機構により上記ヘッド本体の内部圧力を高めて上記軟質弾性部材を圧縮硬化させる一方、異物を粘着除去する場合には、上記調圧機構により上記ヘッド本体の内部圧力を下げて、上記テープを異物に押し付けたときに該異物の形状に合わせて上記軟質弾性部材を弾性変形可能にする
ことを特徴とする異物除去装置。 - 請求項2に記載の異物除去装置において、
上記押付ヘッドは、回転可能に支持された回転体と、該回転体の外周面に突設された研磨用押圧子及び粘着用押圧子とを備え、
上記研磨用押圧子は、上記テープを異物に押し付けたときに変形しない硬質部材により構成され、
上記粘着用押圧子は、上記テープを異物に押し付けたときに該異物の形状に合わせて弾性変形する軟質弾性部材により構成され、
上記回転体を回転させることにより、上記押付ヘッドの先端部を上記研磨用押圧子と上記粘着用押圧子とに切り替え可能に構成されている
ことを特徴とする異物除去装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の異物除去装置において、
上記テープの表面には、研磨材がテープ表面の全体に対し50%以上且つ80%以下の面積に亘って粘着剤により固定され、
上記研磨材が固定されていないテープ表面部分では、上記粘着剤が露出している
ことを特徴とする異物除去装置。
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