JP2011005611A - 研磨装置および研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ワーク表面に存在する突起欠陥を効率的に修正できる研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨装置1は、走行する研磨テープにより、基板2表面に存在する突起欠陥を修正する研磨装置である。研磨装置1は、研磨テープを基板2に対して押し当てて突起欠陥を研磨除去可能な研磨ユニット20と、片面に粘着性を有する片面粘着テープを基板2に対して押し当てて突起欠陥を粘着除去可能な粘着ユニット40とを備える。
【選択図】図1
【解決手段】研磨装置1は、走行する研磨テープにより、基板2表面に存在する突起欠陥を修正する研磨装置である。研磨装置1は、研磨テープを基板2に対して押し当てて突起欠陥を研磨除去可能な研磨ユニット20と、片面に粘着性を有する片面粘着テープを基板2に対して押し当てて突起欠陥を粘着除去可能な粘着ユニット40とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、研磨装置および研磨方法に関し、特に、走行する研磨テープによりワーク表面に存在する突起欠陥を修正する研磨装置および研磨方法に関する。
カラー液晶表示装置のTFT(Thin Film Transistor)基板およびCF(Color Filter)基板の製造に際しては、ガラス基板上に各種の膜が成膜される。成膜のための処理装置の可動部分から発生する金属粉や、成膜材料の破片などが、基板表面に異物として付着する場合がある。異物が付着した状態のままTFT基板やCF基板の製造を進めると、異物が突起欠陥となって、画素欠けなどの不具合を生じさせてしまう。
このような不具合を防止するために、TFT基板やCF基板の製造工程においては、基板表面に異物が付着していないか、随時基板表面のモニタリングが行なわれる。異物が付着して基板表面に突起欠陥が発生している場合には、研磨装置を用いて突起欠陥を研磨除去して、基板表面を平坦に修正する処理が行なわれている。この研磨処理においては、研磨テープを送りつつ押圧手段を用いて突起欠陥に押し付けることにより、突起欠陥の研磨除去が行なわれる。
従来、研磨装置に関し、研磨後に残存する凸状残部を一層小さくできると共にテープエッジによる損傷が発生しにくい研磨装置が提案されている(たとえば、特許文献1参照)。
ワーク表面に存在する突起欠陥を研磨装置によって修正する場合、突起欠陥をワーク表面に押し付けるようにして研磨テープによる研磨が行なわれる。このとき、研磨テープにより研磨された突起欠陥の破片が周辺に飛散したり、研磨テープの走行に伴ってワーク表面の異物そのものが別の位置へ飛ばされたり、研磨テープにより異物が引き摺られワーク表面に引き摺り傷が発生したりするなどし、ワークの表面の平坦度を逆に悪化させる問題があった。
本発明は上記の問題に鑑みてなされたものであり、その主たる目的は、ワーク表面に存在する突起欠陥を効率的に修正できる研磨装置および研磨方法を提供することである。
本発明に係る研磨装置は、走行する研磨テープにより、ワーク表面に存在する突起欠陥を修正する研磨装置である。研磨装置は、研磨テープをワークに対して押し当てて突起欠陥を研磨除去可能な研磨ヘッドと、片面に粘着性を有する片面粘着テープをワークに対して押し当てて突起欠陥を粘着除去可能な粘着ヘッドとを備える。
上記研磨装置において好ましくは、供給リールと、巻取リールと、制御部と、検出部と、判断部とを備える。供給リールは、片面粘着テープを収納している。巻取リールは、片面粘着テープを巻き取る。制御部は、片面粘着テープが供給リールから巻取リールへ向かう方向への片面粘着テープの走行を制御する。検出部は、片面粘着テープを突起欠陥に接触させることにより突起欠陥が除去されたか否かを検出する。判断部は、検出部の検出結果に基づいて、研磨テープにより突起欠陥を研磨除去するか否かを判断する。
本発明に係る研磨方法は、走行する研磨テープにより、ワーク表面に存在する突起欠陥を修正する研磨方法である。研磨方法は、突起欠陥を検出する工程と、粘着ヘッドを突起欠陥に押し当て、片面粘着テープを突起欠陥に接触させる工程と、片面粘着テープを接触させた後の突起欠陥を観察する工程と、観察する工程の観察結果に基づいて、研磨テープにより突起欠陥を研磨除去するか否かを判断する工程とを備える。
本発明の研磨装置および研磨方法によると、ワーク表面に存在する突起欠陥を、効率的に修正することができる。
以下、図面に基づいてこの発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において、同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。
なお、以下に説明する実施の形態において、各々の構成要素は、特に記載がある場合を除き、本発明にとって必ずしも必須のものではない。また、以下の実施の形態において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、上記個数などは例示であり、本発明の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。
図1は、本実施の形態に係る研磨装置1の全体構成を示す模式図である。図1に示すように、研磨装置1は、ベースとなる基台11と、基台11上に固定配置されたステージ12とを備える。修正対象である突起欠陥が表面に形成されているワークの一例としての基板2は、ステージ12上に載置される。基台11上には、Yステージ14が配置されている。Yステージ14は、二本のYレールを含み、Y方向(すなわち、図1中に示すX方向およびZ方向の両方に直交する方向である、紙面と直交する方向)に移動可能に設けられている。
Yステージ14上には、ガントリー(構台)構造のXステージ13が配置されている。Xステージ13は、Xレールを含み、図1中に示すX方向に移動可能に設けられている。Yステージ14及びXステージ13は、たとえば、リニアモータやACサーボモータとレール機構とを含んで構成される。
Xステージ13には、突起欠陥を修正する修正ヘッド16が取り付けられている。修正ヘッド16は、Yステージ14のY方向への移動に伴ってXステージ13と共にY方向に移動可能であり、かつ、Xステージ13のX方向への移動に伴ってX方向に移動可能とされている。修正ヘッド16は、XY平面上の任意の位置に移動可能である。修正ヘッド16は、ステージ12上に固定された基板2に対してX方向およびY方向に相対移動可能であり、基板2の表面上の任意の位置に移動可能に設けられている。
修正ヘッド16は、基板2の表面を観察する観察部17を含む。観察部17は、たとえば顕微鏡装置などの任意の光学機器を有する。観察部17は、基板2の表面に存在する突起欠陥を検出すると共に、検出された突起欠陥の高さ(つまり、基板2の表面に対し突起欠陥の頂部が突出する長さであって、突起欠陥のZ方向の値)を検出可能に設けられている。たとえば、CCDカメラを有する観察部17の場合、CCDカメラのピント調節によって突起欠陥の高さを検出することができる。
修正ヘッド16はまた、観察部17により検出された基板2表面の突起欠陥を研磨テープにより研磨して除去する、研磨ユニット20を含む。修正ヘッド16はまた、基板2表面の突起欠陥に片面粘着テープを接触させ、突起欠陥を片面粘着テープに付着させて除去する、粘着ユニット40を含む。
研磨ユニット20および粘着ユニット40には、昇降機構(図1中には不図示)が連結されている。この昇降機構により、研磨ユニット20および粘着ユニット40は、X方向およびY方向と直交するZ方向(突起欠陥の高さ方向)に自在に移動することができる。昇降機構は、研磨ヘッドおよび粘着ヘッドをZ方向に昇降させる昇降手段としての機能を有する。
図2は、研磨ユニット20の構成を示す模式図である。研磨ユニット20は、修正ヘッド16に装着され、修正ヘッド16のZ方向の昇降とともにZ方向に移動可能とされており、基板2と研磨ユニット20との間の距離を自在に調整可能とされている。研磨ユニット20は、修正ヘッド16に着脱自在に装着されている。そのため、研磨テープ22を使い切った場合には、研磨ユニット20全体を交換することにより、新たな研磨テープ22を遅滞なく供給して、突起欠陥の高効率な研磨が可能とされている。
図2に示すように、研磨ユニット20は、本体部21を備える。本体部21には、研磨テープ22を収納した供給リール23と、研磨テープ22を巻き取る巻取リール24とが、本体部21に対して回転自在に装着されている。本体部21にはまた、一対のガイドローラ25a,25bが回転自在に設けられている。これら二個のガイドローラ25a,25b間に、研磨ヘッド28が設けられている。研磨ヘッド28は、供給リール23と巻取リール24との間に位置する。研磨ヘッド28は、研磨テープ22をワークである基板2に対して押し当てるガイド工具26と、ガイド工具26を保持する保持部材27とを有する。保持部材27は、本体部21に固着されている。
本体部21は、たとえばカセット状に形成され、内部に供給リール23、巻取リール24および各リールを駆動する駆動装置を収容する構造とすることができる。巻取リール24が回転して研磨テープ22を走行させるとともに、研磨ユニット20が下降して研磨テープ22を突起欠陥に押圧することにより、突起欠陥が研磨される。
図3は、粘着ユニット40の構成を示す模式図である。粘着ユニット40は、図2に示す研磨ユニット20と同様の構成を備えている。つまり、粘着ユニット40は、修正ヘッド16に装着され、修正ヘッド16のZ方向の昇降とともにZ方向に移動可能とされており、基板2と粘着ユニット40との間の距離を自在に調整可能とされている。
図3に示すように、粘着ユニット40は、本体部41を備える。本体部41には、片面粘着テープ42を収納した供給リール43と、片面粘着テープ42を巻き取る巻取リール44とが、本体部41に対して回転自在に装着されている。本体部41にはまた、一対のガイドローラ45a,45bが回転自在に設けられている。これら二個のガイドローラ45a,45b間に、粘着ヘッド48が設けられている。粘着ヘッド48は、供給リール43と巻取リール44との間に位置する。粘着ヘッド48は、片面粘着テープ42をワークである基板2に対して押し当てるガイド工具46と、ガイド工具46を保持する保持部材47とを有する。保持部材47は、本体部41に固着されている。
片面粘着テープ42とは、基材とするテープの片側の粘着面に粘着剤を塗布したものである。粘着剤の塗布された粘着面において、片面粘着テープ42は粘着性を有している。粘着ヘッド48は、片面粘着テープ42に粘着剤が塗布されておらず粘着性を有しない側の、片面粘着テープ42の裏面に接触している。粘着ヘッド48によって、片面粘着テープ42の粘着面が突起欠陥に押し付けられて、突起欠陥が粘着面に付着する。
図4は、研磨装置1のハードウェア構成を示すブロック図である。図1に示す修正ヘッド16をX,Y方向にそれぞれ移動させるXステージ13およびYステージ14、ならびに、修正ヘッド16に装着された研磨ユニット20および粘着ユニット40をZ方向に移動させる昇降機構15は、駆動部31によって駆動される。駆動部31がXステージ13、Yステージ14および昇降機構15をそれぞれ駆動することにより、研磨ユニット20および粘着ユニット40は基板2に対して相対移動して、基板2に対する研磨ユニット20および粘着ユニット40のX,YおよびZ方向の位置決めが行なわれる。
研磨ユニット20および粘着ユニット40の基板2に対する相対位置は、エンコーダ32によって検出される。具体的には、エンコーダ32は、Yステージ14に対するXステージ13のX方向における移動距離を検出してXステージ13のX方向位置に変換する、Xエンコーダを含む。またエンコーダ32は、基台11に対するYステージ14のY方向における移動距離を検出してYステージ14のY方向位置に変換する、Yエンコーダを含む。またエンコーダ32は、修正ヘッド16に対する研磨ユニット20および粘着ユニット40のZ方向における移動距離を検出して研磨ユニット20および粘着ユニット40のZ方向位置に変換する、Zエンコーダを含む。
エンコーダ32によって、研磨ユニット20および粘着ユニット40のXYZ座標が求められる。駆動部31は、エンコーダ32から入力された研磨ユニット20および粘着ユニット40の現在位置情報と、研磨ユニット20および粘着ユニット40を移動させる目標位置情報とに基づいて、Xステージ13、Yステージ14および昇降機構15を駆動する。このようにして、研磨ユニット20および粘着ユニット40は目標とする位置へ移動する。
研磨ユニット20に含まれる、図2に示す供給リール23および巻取リール24は、本体部21に設けられた駆動軸29a,29bとそれぞれ係合する。供給リール23および巻取リール24は、回転する駆動軸29a,29bによって回転駆動される。粘着ユニット40に含まれる、図3に示す供給リール43および巻取リール44は、本体部41に設けられた駆動軸49a,49bとそれぞれ係合する。供給リール43および巻取リール44は、回転する駆動軸49a,49bによって回転駆動される。
この駆動軸29a,29b,49a,49bの回転運動は、制御部34によって制御される。制御部34は、研磨テープ22および片面粘着テープ42の走行を制御する。供給リール23を回転駆動する駆動軸29aと、巻取リール24を回転駆動する29bとは、各々独立に回転可能に設けられている。供給リール43を回転駆動する駆動軸49aと、巻取リール44を回転駆動する49bとは、各々独立に回転可能に設けられている。
制御部34が駆動軸29b,49bを回転駆動することにより、巻取リール24,44が駆動軸29b,49bと一体として、図2および図3に示す反時計回り方向に回転する。巻取リール24の回転によって、供給リール23から巻取リール24へ向かう方向へ研磨テープ22を所定の速度で走行させると共に、突起欠陥の研磨が終了した研磨テープ22が順次巻取リール24に巻き取られる。巻取リール44の回転によって、供給リール43から巻取リール44へ向かう方向へ片面粘着テープ42を所定の速度で走行させると共に、突起欠陥の粘着除去が終了した片面粘着テープ42が順次巻取リール44に巻き取られる。
一方、制御部34が駆動軸29a,49aを回転駆動することにより、供給リール23,43が駆動軸29a,49aと一体として、図2および図3に示す時計回り方向に回転する。供給リール23の回転によって、巻取リール24から供給リール23へ向かう方向へ、研磨テープ22を所定の速度で走行させる。供給リール43の回転によって、巻取リール44から供給リール43へ向かう方向へ、片面粘着テープ42を所定の速度で走行させる。
観察部17による基板2の表面の観察結果は、検出部36に入力される。粘着ユニット40による突起欠陥の修正前後において、観察部17が基板2の表面観察を行なうことにより、突起欠陥が片面粘着テープ42に付着して基板2の表面から除去されたか否かを、検出部36が検出する。
判断部38は、検出部36の検出結果に基づいて、研磨テープ22により突起欠陥を研磨除去するか否かを判断する。突起欠陥の研磨除去が必要であると判断部38が判断した場合、判断部38から駆動部31および制御部34へ信号が送られる。そして、Xステージ13およびYステージ14により修正ヘッド16のXY平面上の位置決めが行なわれ、その位置で昇降機構15が研磨ユニット20をZ方向に移動させる。研磨ユニット20の昇降移動に応じて、研磨ヘッド28も昇降する。制御部34からの指令によって研磨テープ22が走行している状態で、研磨ヘッド28を下降させ基板2に近接させて、研磨テープ22を突起欠陥に押し付けることにより、突起欠陥は研磨されて基板2の表面から除去される。
以上の構成を備える研磨装置1を用いて、走行する研磨テープ22により基板2表面に存在する突起欠陥を修正する研磨方法について、以下説明する。図5は、研磨方法全体を説明する流れ図である。図5に示すように、まず工程(S10)において、加工対象となる基板2を準備し、ステージ12(図1参照)上に載置する。次に工程(S20)において、観察部17を用い基板2の表面を観察して、基板2の表面上に存在する突起欠陥を探す。
次に工程(S30)において、突起欠陥が検出されたか否かを判断する。たとえば、工程(S20)において基板2表面の一定範囲を観察部17により走査し、その範囲内で突起欠陥が存在するか否かを工程(S30)において判断することができる。また、工程(S20)において基板2の全体を観察部17により走査してもよい。
工程(S30)で突起欠陥が検出された場合、次に工程(S31)において、片面粘着テープ42を突起欠陥に接触させる。このとき、図6に示すように、観察部17により検出された突起欠陥4のXY座標に基づき、粘着ヘッド48が突起欠陥4の上方に位置するように、修正ヘッド16を移動させる。続いて図7に示すように粘着ユニット40を下降させ、粘着ヘッド48が突起欠陥4に接近するように粘着ユニット40を移動させて、粘着ヘッド48を突起欠陥4に押し当て、粘着剤が付着した片面粘着テープ42の粘着面を突起欠陥4に接触させる。なお図6は、粘着ヘッド48を突起欠陥4の上方に移動させた状態を示す模式図である。図7は、片面粘着テープ42を突起欠陥4に接触させた状態を示す模式図である。
次に工程(S32)において、片面粘着テープ42を基板2の表面3から離隔させる。図8に示すように、粘着ユニット40を上昇させ、粘着ヘッド48が基板2の表面3から離れる方向に移動させる。このとき、突起欠陥4が基板2の表面3に固着しておらず、突起欠陥4が基板2の表面3から容易に分離可能である場合には、突起欠陥4が片面粘着テープ42の粘着面に付着した状態で、突起欠陥4は片面粘着テープ42とともに上昇する。その結果、基板2の表面3から突起欠陥4が除去される。なお図8は、片面粘着テープ42に付着した突起欠陥4を粘着ヘッド48とともに上方に移動させた状態を示す模式図である。
一方、突起欠陥4が基板2の表面3に固着している場合には、粘着ユニット40を基板2から離れる方向に移動させ、粘着ヘッド48を上方に移動させても、図9に示すように、突起欠陥4は基板2の表面3上に残存する。つまり、片面粘着テープ42の粘着面を突起欠陥4に付着させても、突起欠陥4が基板2の表面3から除去されなかったことになる。なお図9は、粘着ヘッド48を上方へ移動させたとき突起欠陥4が基板2上に残存した状態を示す模式図である。
図4に戻って、次に工程(S33)において、片面粘着テープ42を付着させた後の突起欠陥4を、観察部17によって観察する。検出部36(図3参照)は、観察部17からの出力に基づいて、片面粘着テープ42を突起欠陥4に付着させることによって突起欠陥4が除去されたか否かを検出する。つまり、片面粘着テープ42を突起欠陥4に接触させた後に、観察部17によって基板2の表面3上に突起欠陥4が観察されなかった場合、検出部36は、突起欠陥4が除去されたことを検出する。また、片面粘着テープ42を突起欠陥4に接触させた後に、基板2の表面3上に残存している突起欠陥4が観察部17によって観察された場合、検出部36は、突起欠陥4が除去されていないことを検出する。
次に工程(S34)において、工程(S33)の観察結果に基づいて、研磨テープ22により突起欠陥4を研磨除去するか否かを判断する。図3に示す判断部38は、検出部36の検出結果に基づいて、突起欠陥4の研磨が必要か否かを判断する。具体的には、片面粘着テープ42の突起欠陥4への接触によって突起欠陥4が除去されたことを検出部36が検出した場合には、突起欠陥4の研磨除去は不要であると判断される。また、片面粘着テープ42の突起欠陥4への接触によって突起欠陥4が除去されなかったことを検出部36が検出した場合には、研磨テープ22による突起欠陥4の研磨除去が必要であると判断される。
突起欠陥4の研磨除去が不要であると判断された場合、工程(S20)に戻って、次の一定範囲の基板2の表面観察が行なわれる。突起欠陥4の研磨除去が必要と判断された場合、次に工程(S35)において、観察部17により検出された突起欠陥4のXY座標に基づき、研磨ヘッド28が突起欠陥4の上方に位置するように、修正ヘッド16を移動させる。続いて、観察部17を用いて検出された突起欠陥4の高さ情報に基づき、必要な距離だけ研磨ユニット20を下降させ、研磨テープ22を走行させながら突起欠陥4を研磨する。突起欠陥4が良好に研磨除去された場合、研磨を終了し、その後工程(S20)に戻って、次の一定範囲の基板2の表面観察が行なわれる。なお、工程(S35)の後に、再度観察部17により突起欠陥4を観察し、追加の研磨が必要か否かを判断して、必要ならば工程(S35)に戻って突起欠陥4の研磨を再度行なうようにしてもよい。
工程(S20)で基板2の表面3を観察した結果に基づき、工程(S30)において突起欠陥4が検出されないと判断された場合、次に工程(S40)において、基板2の表面3の全体を観察終了したか判断する。表面3全体が観察されていない場合、工程(S20)に戻って、次の一定範囲の基板2の表面観察が行なわれる。工程(S40)で基板2の表面3全体が観察されたと判断される場合、続いて工程(S50)において基板2をステージ12から取り外し、研磨装置1を用いた基板2の表面3の突起欠陥4の修正が終了する。
以上説明したように、本実施の形態の研磨方法では、片面粘着テープ42を突起欠陥4に接触させ、突起欠陥4を粘着面に付着させて、突起欠陥4が粘着除去されたか否かを検出して、突起欠陥4の研磨除去の要否が判断される。本実施の形態の研磨装置1は、片面粘着テープ42を突起欠陥4に接触させることにより突起欠陥4が除去されたか否かを判断する検出部36と、検出部36の検出結果に基づいて突起欠陥4の研磨除去の要否を判断する判断部38とを備える。
このようにすれば、研磨テープ22を用いた突起欠陥4の研磨除去に先立ち、片面粘着テープ42に突起欠陥4を付着させて除去する動作が行なわれるので、研磨除去される対象となる突起欠陥4を減少させることができる。そのため、突起欠陥4の研磨時に発生し得る、破片の飛散、突起欠陥4の移動または引き摺り傷の発生などを抑制することができる。また、突起欠陥4を修正するために必要とする研磨テープ22の長さを低減することができるので、研磨テープ22の消費量を低減し、突起欠陥4の修正のために必要とするコストを低減することができる。
したがって、本実施の形態の研磨方法および研磨装置1では、基板2の表面3に存在する突起欠陥4を効率的に修正することができ、突起欠陥4の研磨に伴う基板2の表面3の平坦度の悪化を抑制することができるので、基板2の歩留まりを向上させることができる。
加えて、研磨対象となる突起欠陥4は、片面粘着テープ42の接触によって除去されなかった、基板2の表面3に強固に付着した突起欠陥4に限られる。そのため、研磨時に突起欠陥4が別の位置へ飛ばされたり、研磨テープにより突起欠陥4が引き摺られることが抑制される。したがって、突起欠陥4の研磨時における突起欠陥4の移動や基板2の表面3への引き摺り傷の発生を、一層抑制することができる。
なお、これまでの説明においては、基板2の表面3に対し上下方向に粘着ヘッド48を移動させて突起欠陥4の粘着除去を行なったが、片面粘着テープ42の粘着面を突起欠陥4に接触させた状態を保ちながら、片面粘着テープ42を往復走行させてもよい。つまり、片面粘着テープ42が供給リール43から巻取リール44へ向かう方向(順方向)、および片面粘着テープ42が巻取リール44から供給リール43へ向かう方向(逆方向)へ、片面粘着テープ42を突起欠陥4に接触させつつ往復走行させてもよい。
この場合は、片面粘着テープ42から突起欠陥4へ、基板2に対し突起欠陥4を相対的に揺動させる力が作用する。そのため、基板2の表面3に付着した状態の突起欠陥4に対し、突起欠陥4を基板2の表面3から引き剥がし、突起欠陥4を基板2から分離させる力が加えられる。したがって、片面粘着テープ42によって基板2の表面3から突起欠陥4をより効率よく除去することができ、突起欠陥4の研磨時における突起欠陥4の移動や基板2の表面3への引き摺り傷の発生をさらに抑制することができる。
以上のように本発明の実施の形態について説明を行なったが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。この発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 研磨装置、2 基板、3 表面、4 突起欠陥、11 基台、12 ステージ、13 Xステージ、14 Yステージ、15 昇降機構、16 修正ヘッド、17 観察部、20 研磨ユニット、21,41 本体部、22 研磨テープ、23,43 供給リール、24,44 巻取リール、25a,25b,45a,45b ガイドローラ、26,46 ガイド工具、27,47 保持部材、28 研磨ヘッド、29a,29b,49a,49b 駆動軸、31 駆動部、32 エンコーダ、34 制御部、36 検出部、38 判断部、40 粘着ユニット、42 片面粘着テープ、48 粘着ヘッド。
Claims (3)
- 走行する研磨テープにより、ワーク表面に存在する突起欠陥を修正する研磨装置において、
前記研磨テープを前記ワークに対して押し当てて前記突起欠陥を研磨除去可能な研磨ヘッドと、
片面に粘着性を有する片面粘着テープを前記ワークに対して押し当てて前記突起欠陥を粘着除去可能な粘着ヘッドとを備える、研磨装置。 - 前記片面粘着テープを収納した供給リールと、
前記片面粘着テープを巻き取る巻取リールと、
前記片面粘着テープが前記供給リールから前記巻取リールへ向かう方向への前記片面粘着テープの走行を制御する制御部と、
前記片面粘着テープを前記突起欠陥に接触させることにより前記突起欠陥が除去されたか否かを検出する検出部と、
前記検出部の検出結果に基づいて、前記研磨テープにより前記突起欠陥を研磨除去するか否かを判断する判断部とを備える、請求項1に記載の研磨装置。 - 走行する研磨テープにより、ワーク表面に存在する突起欠陥を修正する研磨方法において、
前記突起欠陥を検出する工程と、
粘着ヘッドを前記突起欠陥に押し当て、片面粘着テープを前記突起欠陥に接触させる工程と、
前記片面粘着テープを接触させた後の前記突起欠陥を観察する工程と、
前記観察する工程の観察結果に基づいて、前記研磨テープにより前記突起欠陥を研磨除去するか否かを判断する工程とを備える、研磨方法。
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JP2009153887A JP2011005611A (ja) | 2009-06-29 | 2009-06-29 | 研磨装置および研磨方法 |
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2009
- 2009-06-29 JP JP2009153887A patent/JP2011005611A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
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---|---|---|---|---|
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CN112757129B (zh) * | 2021-01-27 | 2022-09-30 | 上海松森特殊金属有限公司 | 一种汽车金属配件精磨加工机 |
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