JP2008290166A - テープ研磨装置及びガイド工具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明によるテープ研磨装置の研磨ヘッドは、研磨テープ(22)をワーク表面に押し当てるガイド工具(26)と、ガイド工具を保持する工具保持部材(27)とを有する。ガイド工具(26)は、研磨テープと当接し、研磨テープを研磨ヘッドの昇降方向にガイドするガイド面(26b)を有し、当該ガイド面は、昇降方向の最下端に位置する頂点を原点とし、原点からの昇降方向の高さ距離をYとし、原点を通り前記昇降方向と直交する方向の原点からの距離をXとし、nを次数とし、aを定数とした場合に、以下に示す高次関数
Y=a×Xn
で規定される放物面として形成される。
【選択図】 図4
Description
さらに、本発明の目的は、テープエッジによる損傷が発生しにくいガイド工具を提供することにある。
前記研磨ヘッドは、研磨テープをワーク表面に押し当てるガイド工具と、ガイド工具を保持する工具保持部材とを有し、
前記ガイド工具は、研磨テープと当接し、研磨テープを研磨ヘッドの昇降方向にガイドするガイド面を有し、当該ガイド面は、昇降方向の最下端に位置する頂点を原点とし、原点からの昇降方向の高さ距離をYとし、原点を通り前記昇降方向と直交する方向の原点からの距離をXとし、nを次数とし、aを定数とした場合に、以下に示す高次関数
Y=a×Xn
で規定される放物面として形成されていることを特徴とする。
実施例の説明において詳細に説明するように、ガイド面の形状を3乗以上の高次関数で規定される放物面とすることにより、ガイド面の頂点から突起欠陥の大きさ程度の距離だけ横方向に変位しても昇降方向の変位量はわずかであり、研磨テープの幅程度の距離だけ横方向に変位した位置における昇降方向の変位量は急激に増大する。従って、高次関数の次数は3以上の値とすることにより、球形ボールを用いる場合と比較して、格段の効果が達成される。
本発明によるガイド工具は、円柱状の本体と、その先端側に形成した放物面状のガイド面とにより構成されるので、円柱状のワークを用いてNC旋盤により容易に製造することが可能である。特に、NC旋盤の加工処理においては、バイトの軌跡を規定するパラメータを入力するだけで、所望の高次関数にしたがったガイド面を形成することができるので、極めて有益である。
当該ガイド工具は、研磨テープと当接するガイド面を有し、当該ガイド面は、テープ研磨装置に装着された際、研磨ヘッドの昇降方向の最下端に位置する頂点を原点とし、原点からの昇降方向の高さ距離をYとし、原点を通り前記昇降方向と直交する方向の原点からの距離をXとし、nを次数とし、aを定数とした場合に、以下に示す高次関数
Y=a×Xn
で規定される放物面として形成されていることを特徴とする。
Y=aXn
ここで、ガイド面の昇降方向の最下端に位置する頂点を原点とし、Yは原点からの昇降方向の高さ距離とし、Xは原点を通り前記昇降方向と直交する横方向の原点からの距離とし、nを次数とし、aを定数とする。
また、上述した実施例では、供給リールと巻取りリールとがテープカセット内に収納された例について説明したが、本発明は、これらのリールがカセット内に収納されていない場合にも勿論適用されるものである。
さらに、上述した実施例では、研磨ヘッドがテープカセットに一体的に設けられた場合について説明したが、テープカセットを用いず、研磨ヘッドが独立して昇降動作するテープ研磨装置にも適用することが可能である。
2 突起欠陥
3 研磨テープ
11 基台
12 ステージ
13 カラーフィルタ基板
14 Yステージ
15 Xステージ
16 修正ヘッド
17 顕微鏡装置
18 テープ研磨装置
20 テープカセット
21
22 研磨テープ
23 供給リール
24 巻取りリール
25a,25b ガイドローラ
26 ガイド工具
27 保持部材
Claims (5)
- 研磨テープを収納した供給リールと、研磨テープを巻き取る巻取りリールと、供給リールと巻取りリールとの間に位置し、研磨テープをワークに対して押し当てる研磨ヘッドと、研磨ヘッドを昇降させる手段とを有し、走行する研磨テープにより、ワーク表面に存在する突起欠陥を修正するテープ研磨装置において、
前記研磨ヘッドは、研磨テープをワーク表面に押し当てるガイド工具と、ガイド工具を保持する工具保持部材とを有し、
前記ガイド工具は、研磨テープと当接し、研磨テープを研磨ヘッドの昇降方向にガイドするガイド面を有し、当該ガイド面は、昇降方向の最下端に位置する頂点を原点とし、原点からの昇降方向の高さ距離をYとし、原点を通り前記昇降方向と直交する方向の原点からの距離をXとし、nを次数とし、aを定数とした場合に、以下に示す高次関数
Y=a×Xn
で規定される放物面として形成されていることを特徴とするテープ研磨装置。 - 走行する研磨テープにより、ワーク表面に存在する突起欠陥を修正するテープ研磨装置において、
研磨テープを収納した供給リール、研磨テープを巻き取る巻取りリール、供給リールと巻取りリールとの間に位置し、研磨テープをワークに対して押し当てる研磨ヘッド、並びに、前記供給リール、巻取りリール及び研磨ヘッドを支持するカセット本体を有するテープカセットと、テープカセットを交換可能に保持する研磨装置本体と、研磨装置本体を昇降させる手段とを具え、
前記研磨ヘッドは、研磨テープをワーク表面に押し当てるガイド工具と、ガイド工具を保持する工具保持部材とを有し、
前記ガイド工具は、研磨テープと当接し、研磨テープを研磨ヘッドの昇降方向にガイドするガイド面を有し、当該ガイド面は、昇降方向の最下端に位置する頂点を原点とし、原点からの昇降方向の高さ距離をYとし、原点を通り前記昇降方向と直交する方向の原点からの距離をXとし、nを次数とし、aを定数とした場合に、以下に示す高次関数
Y=a×Xn
で規定される放物面として形成されていることを特徴とするテープ研磨装置。 - 請求項1又は2に記載のテープ研磨装置において、前記ガイド工具のガイド面の形状を規定する関数の次数nを、3以上としたことを特徴とするテープ研磨装置。
- 請求項1、2又は3に記載のテープ研磨装置において、前記ガイド工具は、円柱状の工具本体と、工具本体の先端に形成したガイド面とを有し、ガイド面の外形は、NC工作機械の旋削加工により形成したことを特徴とするテープ研磨装置。
- 走行する研磨テープにより、ワーク表面に存在する突起欠陥を研磨するテープ研磨装置の研磨ヘッドの先端に配置され、走行する研磨テープをワーク表面に向けて押し当てるガイド工具において、
当該ガイド工具は、円柱状の工具本体と、工具本体の先端に形成され、研磨テープと当接するガイド面とを有し、当該ガイド面は、テープ研磨装置に装着された際、研磨ヘッドの昇降方向の最下端に位置する頂点を原点とし、原点からの昇降方向の高さ距離をYとし、原点を通り前記昇降方向と直交する方向の原点からの距離をXとし、nを次数とし、aを定数とした場合に、以下に示す高次関数
Y=a×Xn
で規定される放物面として形成されていることを特徴とするガイド工具。
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JP2007136128A JP2008290166A (ja) | 2007-05-23 | 2007-05-23 | テープ研磨装置及びガイド工具 |
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JP2007136128A JP2008290166A (ja) | 2007-05-23 | 2007-05-23 | テープ研磨装置及びガイド工具 |
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- 2007-05-23 JP JP2007136128A patent/JP2008290166A/ja active Pending
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