JPH07209384A

JPH07209384A - プローブ移動式基板検査装置

Info

Publication number: JPH07209384A
Application number: JP6005999A
Authority: JP
Inventors: Isao Okano; 勲岡野; Takashi Horii; 隆堀井; Hiroshi Suzuki; 弘鈴木
Original assignee: OKANO DENKI KK
Current assignee: OKANO DENKI KK
Priority date: 1994-01-24
Filing date: 1994-01-24
Publication date: 1995-08-11

Abstract

(57)【要約】【目的】プローブ移動式基板検査装置の小型化、構造
の簡素化、及び低コスト化を図る。【構成】フレーム３に水平に配設された平盤状のプラ
テン５と、各プラテン上を無軌道に移動可能な複数の平
面モータ７〜１０と、各平面モータに取り付けられ検査
すべき基板の所定箇所に各プローブの先端が夫々当接可
能なプローブ装置１５〜１８と、各平面モータ及び各プ
ローブ装置を夫々制御する制御手段８０〜８２及び各プ
ローブ装置からの信号を入力して検査を行う計測手段８
３とを備えた構成としたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、平面モータを使用して
プローブを移動させ基板の検査を行うプローブ移動式基
板検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】実装基板、ベアボード、ハイブリッドＩ
Ｃ等を含む各種のプリント基板の配線状態や実装状態を
検査する基板検査装置として、プローブを移動させなが
ら検査を行うようにしたプローブ移動式基板検査装置が
ある。このプローブ移動式基板検査装置としては、例え
ば、図１１に示すように基台１００上に４台のヘッド１
０１〜１０４をヘッド移動機構１０５〜１０８によりＸ
軸、Ｙ軸方向に夫々移動可能に配設し、ベルトコンベア
等の搬送装置により基台１００の所定位置に搬送されて
きた検査すべき基板（以下「検査基板」という）（共に
図示せず）の所定の検査箇所に、各ヘッド１０１〜１０
４に設けたプローブ１０１ａ〜１０４ａの各先端を接触
させて検査を行うようにしたものがある。

【０００３】ヘッド移動機構１０５は、ヘッド１０１を
Ｘ、Ｙ軸方向に移動させるためのモータＭＸ１、ＭＹ１
を備えており、当該ヘッド１０１を基台１００上の任意
の位置に移動させるようになっている。他のヘッド移動
機構１０６〜１０８もヘッド移動機構１０５と同様に各
ヘッド１０５〜１０８を夫々Ｘ、Ｙ方向に移動させるた
めのモータＭＸ２〜ＭＸ４、ＭＹ２〜ＭＹ４を備えてい
る。また、各プローブ１０１ａ〜１０４ａは、夫々Ｘ軸
及びＹ軸方向に対して４５°の角度に、且つ検査基板に
対して所定の角度をなしてヘッド１０１〜１０４に配設
されると共に昇降可能とされている。各ヘッド１０１〜
１０４は、基板から同じ高さに配置されて同一条件で検
査基板の検査箇所に当接可能とされている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成のプローブ移動式検査装置は、各ヘッド毎に即ち、ヘ
ッド１０１〜１０４に夫々ヘッド移動機構１０５〜１０
８を設ける必要があるために装置が非常に大型となる。
例えば、図１１に２点鎖線で示すように大きさが４６０
mm×４１０mm程度の基板を検査する場合、基板検査装置
は、２０００mm×１７００mm程度の大きさとなる。この
ため広い設置面積が必要となり、設置場所を確保するこ
とが困難であるという問題がある。

【０００５】更に、各ヘッド移動機構は、対応する各ヘ
ッドを夫々Ｘ、Ｙ軸方向に各別に移動させるために夫々
２台の駆動用モータを必要とし、従って、４台のヘッド
の場合には８台のモータが、基板の両面を検査するため
に８台のヘッドを使用する場合には１６台のモータが必
要である。しかも、基板の所定の検査位置に迅速に、且
つ精度良くプローブを移動させ、当該位置に停止させる
ためには、ヘッドの移動速度を高くし、且つ位置決め精
度を高くする必要がある。このためヘッド移動機構が非
常に複雑となり高価になるという問題がある。

【０００６】本発明は、上述の点に鑑みてなされたもの
で、装置の小型化を図り、迅速且つ高精度な位置決めを
可能とし、検査効率の大幅な向上を図るようにしたプロ
ーブ移動式基板検査装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明によれば、装置本体に水平に配設された平盤状
のプラテンと、前記プラテン上を無軌道に移動可能な複
数の平面モータと、前記各平面モータに取り付けられ検
査すべき基板の所定箇所に各プローブの先端が夫々当接
可能なプローブ装置と、前記各平面モータ及び前記各プ
ローブ装置を夫々制御する制御手段と、前記各プローブ
装置から信号を入力して検査を行う計測手段とを備えた
構成としたものである。

【０００８】

【作用】制御手段は、各平面モータを検査位置まで迅速
に走行させ、当該検査位置に正確に位置決め停止させ
る。次いで、各プローブ装置を制御して検査位置に搬送
されてきた検査基板の所定の検査箇所に夫々各プローブ
を接触させて所定の検査を行う。制御装置は、検査終了
後、各プローブ装置を検査基板から離隔させ、次の検査
位置に各平面モータを移動させる。このようにして制御
手段は、迅速に、且つ正確に検査を実施する。平面モー
タは、プローブ装置を搭載し、プラテンに対して無軌道
に走行可能とされているために、プローブ装置の送り機
構は不要となり、構成が簡単となる。

【０００９】

【実施例】以下本発明の一実施例を添付図面に基づいて
詳述する。図１は、本発明に係るプローブ移動式基板検
査装置（以下単に「基板検査装置」という）１の正面か
ら見た外観を示し、図２及び図３は、図１の基板検査装
置１のカバーを取り外した状態の正面及び側面を示す。
図１乃至図３において基板検査装置１は、筺体２と、筺
体２上に設置されたフレーム３と、フレーム３の四隅の
各支柱４の上端に載置固定されたプラテン５と、筺体２
上面に且つプラテン５と対向して水平に配設固定された
プラテン６と、プラテン５及び６に夫々複数台例えば、
４台づつ配置された平面モータ７〜１０及び１１〜１４
と、これらの平面モータ７〜１０及び１１〜１４に取り
付けられたプローブ装置１５〜１８及び１９〜２２と、
プラテン５と６との略中間位置に水平に、且つフレーム
３の中央を左右方向に貫通して配置され、左右両側が各
支柱４に支持されて検査基板を搬送する搬送装置例え
ば、ベルトコンベア３０等により構成されている。

【００１０】プラテン５は、平盤状をなし高透磁率を有
する純鉄の矩形例えば、正方形の厚板により構成されて
おり、図７に示すように下面５ａに所定の溝幅の溝５ｂ
が、所定のピッチで、横（Ｘ軸）方向、縦（Ｙ軸）方向
（図４）に、且つ所定の深さで全面に亘り正確に刻設さ
れて、各溝５ｂ間に正方形状の歯５ｃが多数形成された
歯形板状の鉄心とされている。プラテン６もプラテン５
と同様に形成されており、プラテン５の歯形板状の下面
５ａと対向する上面６ａ（図３）も歯形板状とされてい
る。

【００１１】プラテン５の四隅には、平面モータ７〜１
０を各原点位置（当該プラテン５の四隅）に正確に復帰
させるための原点復帰装置２５（図４）が設けられてい
る。プラテン６にも同様に平面モータ１１〜１４を原点
位置に正確に復帰させるための原点復帰装置（図示せ
ず）が設けられている。更に、筺体２の上面にはプラテ
ン５の両側中央位置に隣接して平面モータ７〜１０をプ
ラテン５に搬入し、又はプラテン５から搬出するための
入出部２６、２６’が設けられている。これらの入出部
２６、２６’は、平面モータ７よりも僅かに大きいアル
ミニウム或いは合成樹脂部材等の非磁性部材の平板によ
り形成されており、下面がプラテンの下面５ａと同一面
とされている。

【００１２】平面モータ７は、図５及び図６に示すよう
に正方形状の非磁性部材例えば、アルミニウムにより形
成されたハウジング４０にプラテン５の下面５ａをＸ軸
方向に走行するための２組の電磁石４１、４２と、Ｙ軸
方向に走行するための２組の電磁石４３、４４とが収納
されている。そして、１組の電磁石４１は、２個の電磁
石４１Ａと４１ＢとがＸ軸方向に沿って並設されて構成
されており、これらの電磁石４１Ａと４１Ｂとの間には
非磁性部材により形成されたスペーサ４１Ｃが介在され
ている。

【００１３】更に、電磁石４１Ａは、一対の電磁石４１
ａと４１ａ’とがＸ軸方向に沿って並設されて構成さ
れ、且つこれらの電磁石４１ａと４１ａ’との間にはス
ペーサ４１ｓが介在されている。そして、電磁石４１ａ
の鉄心４１ｃ、４１ｃ’の各端面（上面）には夫々所定
幅の溝が刻設された鉄心４１ｄが設けられ、プラテン５
の下面５ａの歯形５ｃと対向可能とされている（図
７）。更に、電磁石４１ａの鉄心４１ｃと４１ｃ’との
間には極めて強力な永久磁石４１ｅが介在されている。
この永久磁石４１ｅは、電磁石４１ａと協働して前記Ｘ
軸方向への推力を得ると共に、鉄心４１ｃ、４１ｃ’及
びプラテン５とにより閉磁路を形成してプラテン５にハ
ウジング４０を強力に吸着させる機能を有している。電
磁石４１ａ’も電磁石４１ａと同様に構成されている。

【００１４】電磁石４１Ｂも電磁石４１Ａと同様に構成
されており、他の組の各電磁石４２〜４４も電磁石４１
と同様に構成されている。そして、これらの電磁石は、
後述する制御装置８０（図２）に接続される。ハウジン
グ４０の上面４０ａの所定箇所には夫々スリット４０ｃ
が形成されており、各スリット４０ｃの中央には夫々小
孔４０ｄの各一端が開口されている。これらの小孔４０
ｄの各他端は、ハウジング４０内で纏められ、エアホー
スを介して高圧空気源（図示せず）に接続される。そし
て、これらの各小孔４０ｄから高圧の空気が噴出され、
ハウジング４０を前記各組の電磁石４１〜４４の各永久
磁石の吸引力に抗してプラテン５の下面５ａから僅かな
間隙ｄ（例えば、１０μｍ程度）を存して水平に離隔さ
せる（図７）。これにより平面モータ７は、プラテン５
の下面５ａとの間に僅かな間隙ｄを存し即ち、空間に浮
いた状態で自由に走行可能とされる。

【００１５】他の平面モータ８〜１４も平面モータ７と
同様に構成されている。そして、上側の４台の平面モー
タ７〜１０は、永久磁石の磁気吸引力によりプラテン５
の下側に水平に保持される。また、下側の４台の平面モ
ータ１１〜１４は、プラテン６上に僅かな間隙を存して
空間に浮いた状態で水平に保持される。このようにし
て、上側の４台の平面モータ７〜１０は、プラテン５の
下側を、下側の４台の平面モータ１１〜１４は、プラテ
ン６上を、夫々各別にＸ軸及びＹ軸方向に水平に走行可
能とされる。

【００１６】平面モータ７のハウジング４０の下面４０
ｂには、図８乃至図１０に示すようにプローブ装置１５
が設けられている。このプローブ装置１５は、実装基板
と称される回路部品（ＩＣ、抵抗素子、コンデンサ等の
種々の回路素子）を実装したプリント基板の断線、短絡
或いは半田付け状態等を検査するためのローデットボー
ド用のプローブ装置で、平面モータ７の走行方向即ち、
Ｘ軸及びＹ軸方向に対して所定の角度例えば、４５°の
角度をなして（図４）ハウジング４０に配置されてい
る。

【００１７】ブラケット５０〜５２は、各上端がハウジ
ング４０の下面４０ｂに固定されて垂下されており、ブ
ラケット５０、５１は、所定の間隔で対向し、ブラケッ
ト５２は、ブラケット５０、５１の後方に位置してい
る。ブラケット５０にはＬＭガイド５３を介してホルダ
５４が上下動可能に装着されており、当該ホルダ５４の
先端にはホルダ５５を介してプローブ５６が取り付けら
れている。このプローブ５６は、プラテン５の下面５ａ
に立てた垂線（ベルトコンベア３０により水平に搬送さ
れてきた検査基板に立てた垂線）に対して所定の角度θ
（例えば、９°）をなして先端が外方に傾斜した状態で
上下動するように取り付けられており、先端５６ａが針
状をなしている。

【００１８】プローブ５６の後端とホルダ５５の上端と
の間にはスプリング５７が縮設されており、プローブ５
６を所定のばね力で押し下げている。そして、プローブ
５６は、スプリング５７のばね力に抗して所定のストロ
ーク上方に移動可能とされている。このスプリング５７
は、プローブ５６の先端５６ａを検査基板に所定のばね
力で圧接（接触）させると共に、プローブ５６に逃げを
許容して当該プローブ５６及び検査基板に不要な押圧力
が加わることを防止している。

【００１９】ブラケット５０の上下両端の内側には夫々
歯付プーリ６０、６１及びアイドルプーリ６２が回転可
能に軸支されており、更に歯付プーリ６０の回転軸に
は、ブラケット５０の外側に歯付プーリ６３が一体的に
回転可能に固定されている。歯付プーリ６０〜６２との
間にはタイミングベルト６４が掛回されており、当該タ
イミングベルト６４の所定箇所に前記ホルダ５５が固定
されている。また、ブラケット５２には駆動用モータ６
５が取り付けられており、その回転軸には歯付プーリ６
６が取り付けられている。そして、歯付プーリ６３と６
６との間にはタイミングベルト６７が掛回されている。
モータ６５が回転すると、タイミングベルト６７を介し
てプーリ６０が回転し、更にタイミングベルト６３が回
転し、これに応じてホルダ５５即ち、プローブ５６が上
下動する。

【００２０】尚、ブラケット５１にもＬＭガイドを介し
てプローブ５６とは異なる検査用のプローブを当該プロ
ーブ５６と同様に上下動可能に装着し、そのホルダをタ
イミングベルト６４の所定箇所例えば、プローブ５６の
ホルダ５５の取り付け位置と略１８０°ずれた位置に取
り付け、検査対象に応じてプローブ５６と選択的に使用
するようにしても良い。このようにすると１台のプロー
ブ装置１５で異なる２種類の検査機能を持たせることが
可能である。

【００２１】また、ハウジング４０の一側の所定位置に
は、検査基板を位置決め停止させるべく当該基板の所定
の箇所を検出するための位置検出用のカメラ７５が、そ
のレンズ面を真下に臨ませて垂直に配置されており、ホ
ルダ７６を介して取り付けられている。また、プローブ
５６の近傍には、当該プローブ５６の先端５６ａの位置
を監視するための監視カメラ７７が配置されており、ホ
ルダ７８を介してハウジング４０に取り付けられてい
る。

【００２２】他の平面モータ８〜１４に取り付けられた
プローブ装置１６〜１８もプローブ装置１５と同様に構
成されている。尚、位置検出用のカメラ７５は、全ての
プローブ装置に設ける必要はなく、ベルトコンベア３０
（図２）の上方即ち、検査基板の上方に位置し、且つ当
該検査基板の前端側に位置する２台のプローブ装置の中
の１台に設ければ十分である。また、監視カメラ７７
は、図１０に示すように４台のプローブ装置１５〜１８
の中の対向する２台例えば、プローブ装置１５と１８と
に取り付ければ十分である。また、下側の４台のプロー
ブ装置１９〜２２には位置検出用カメラ、監視カメラ等
は特に設けなくとも良い。

【００２３】そして、上側の４台の平面モータ７〜１０
は、プラテン５の下方に、各プローブ装置１５〜１８が
夫々当該プラテンの中央に臨み（図４）、且つ各プロー
ブの先端が下方に位置するベルトコンベア３０上に載置
された検査基板の上面に対して夫々前記所定の角度θを
なして斜め下方に臨んで配置される（図２、図８）。下
側の４台の平面モータ１１〜１４は、プラテン６上に、
各プローブ装置１９〜２２が夫々当該プラテン６の中央
に臨み、且つ各プローブの先端が上方に位置する前記検
査基板の下面に対して夫々前記所定の角度θをなして斜
め上方に臨んで配置される（図２）。

【００２４】上側のプローブ装置１５〜１８は、前述し
たように夫々平面モータ７〜１０の走行方向に対して４
５°の角度をなし、且つ各プローブの先端が検査基板面
に立てた垂線に対して所定の角度θをなして傾斜してい
る。従って、これら４台のプローブ装置１５〜１８は、
互いに干渉することなく各プローブの先端が、図１０に
示すように検査基板の上面の任意の１点Ｐに接触可能と
される。同様に、下側の４台のプローブ装置１９〜２２
も互いに干渉することなく各プローブの先端が検査基板
の下面の任意の一点に接触可能とされる。

【００２５】図２に戻り、ベルトコンベア３０は、前行
程から検査基板を当該機盤検査装置１内に搬入するため
のコンベア３０ａ、このコンベア３０ａにより搬入され
た検査基板を所定の検査位置まで搬送し、検査中当該位
置に停止保持し、検査終了後搬出するコンベア３０ｂ、
コンベア３０ｂにより搬送されてきた検査基板を次の行
程に搬送するためのコンベア３０ｃ等により構成されて
いる。

【００２６】更に図２及び図３に示すように、筺体２内
には、平面モータ７〜１４を夫々各別に制御するための
駆動装置８０、各プローブ装置１５〜２２の駆動用モー
タを制御して各プローブを上下動させるための制御装置
８１、平面モータ７〜１０をプラテン５の原点位置に、
平面モータ１１〜１４をプラテン６の原点位置に夫々復
帰させるための各原点復帰装置２５（図４）、ベルトコ
ンベア３０等を制御するための制御装置８２、各プロー
ブ装置１５〜２２からの信号を入力して基板を検査する
ための計測装置８３、及びこれらの各制御装置８０〜８
２、計測装置８３を制御するためのコンピュータ８４等
が収納されている。

【００２７】また、図１に示すようにフレーム３上には
プローブ装置１５に設けられた監視カメラ７７（図８）
により撮影したプローブの先端と検査基板とを表示する
ディスプレイ装置８５、検査基板を検査するための各種
の入力データ、検査結果等を表示するためのディスプレ
イ装置８６が載置されている。また、検査エラーや平面
モータの脱調等を警告するディスプレ装置８７も設置さ
れている。更に、筺体２には検査基板のデータ、検査項
目等を入力したり、コンピュータ８４を制御するための
図示しない入力装置（キーボード）が配置されている。

【００２８】そして、平面モータ７〜１４は、制御装置
８０に、プローブ装置１５〜２２は、制御装置８１、計
測装置８３に夫々図示しないケーブルにより接続されて
いる。また、平面モータ７〜１４は、夫々エアホースを
介して高圧空気源（共に図示せず）にも接続されてい
る。フレーム３と各平面モータ７〜１４の間にはケーブ
ル保護可撓管９１〜９８（図２〜図４）が略水平に取り
付けられている。これらのケーブル保護可撓管９１〜９
８は、各基端がフレーム３に、各先端が夫々平面モータ
７〜１４に固定されており、フレーム３と平面モータ７
〜１４との間における前記ケーブル及びエアホースを収
納し、各平面モータのケーブル及びエアホースが、他の
平面モータ、フレーム３、プラテン６、ベルトコンベア
３０等に干渉することなく、且つ各平面モータ７〜１４
の走行に応じて自由に湾曲して追従し得るように支持し
ている（図４に２点鎖線で示す）。これにより平面モー
タ７〜１４は、夫々自由に走行可能とされる。

【００２９】これにより基板検査装置１は、図４に２点
鎖線で示す検査可能な領域Ａ即ち、平面モータ７〜１０
をプラテン５の各原点位置（四隅）に復帰させた状態に
おけるプローブ装置１５〜１８の各プローブの先端によ
り囲まれる領域の大ききさに対して小型となる。例え
ば、大きさが４６０mm×４１０mm程度の検査基板を検査
する場合、基板検査装置１は、１５００mm×１２００mm
程度の大きさとなり、図１１に示す従来構造の基板検査
装置に比べて小型化が図られる。

【００３０】以下に作用を説明する。基板検査装置１
は、待機状態において、図２及び図３に示すように平面
モータ７〜１０及び１１〜１４がプラテン５及び６の四
隅即ち、各原点位置に停止している。例えば、平面モー
タ７〜１０は、図４に示すように夫々プラテン５の四隅
の各原点位置に停止している。尚、これらの平面モータ
７〜１０、１１〜１４は、高圧空気が供給されないとき
には前述したように永久磁石によりプラテン５、６に強
力に吸着されて保持されている。また、プローブ装置１
５〜２２は、夫々プローブが後退しており、各先端がベ
ルトコンベア３０から離隔している。

【００３１】さて、基板検査を開始すべく前記入力装置
が操作されると、制御装置８０が平面モータ７〜１４に
駆動電流を供給して、これらの平面モータ７〜１４を所
定の検査位置まで高速走行させ、当該位置に正確に位置
決め停止させる。一方、制御装置８２は、ベルトコンベ
ア３０ａを駆動して検査基板即ち、ローデットボード
（図示せず）を基板検査装置１内に搬入し、更にベルト
コンベア３０ｂを駆動して当該基板検査装置１の中央に
向かって搬送する。そして、平面モータ７の位置検出用
カメラ７５（図１０）が前記ローデットボードの所定箇
所例えば、前端を検出すると、制御装置８２がベルトコ
ンベア３０ａ、３０ｂを停止させる。これによりローデ
ットボードが所定の検査位置に搬送される。

【００３２】次に、制御装置８１がプローブ装置１５〜
２２の各駆動用モータを駆動し、各プローブの各先端を
ローデットボードの所定の検査箇所に接触させる。この
とき各プローブは、前述したようにスプリングのばね力
により略均一の押圧力で前記検査箇所を傷付けること無
く、且つ電気的に接触不良を起こすことなく接触する。
計測装置８３は、各プローブ装置１５〜２２から入力さ
れる信号に基づいて前記ローデットボードを検査する。

【００３３】制御装置８１は、当該箇所の検査が終了す
ると、各プローブをローデットボードから離隔させる。
次いで、制御装置８０が、各平面モータ７〜１４を当該
ローデットボードの次の検査箇所まで高速走行させる。
制御装置８１は、平面モータ７〜１４が当該検査箇所に
停止すると、プローブ装置１５〜２２の各プローブの先
端をローデットボードの前記検査箇所に接触させる。こ
のようにしてプローブ装置１５〜２２を移動させてロー
デットボードの各検査箇所を順次検査する。

【００３４】そして、前記ローデットボードの全ての検
査箇所の検査が終了すると、制御装置８１が各プローブ
を当該ローデットボードから離隔させ、次のローデット
ボードの検査を行うべく待機する。制御装置８２は、前
記ローデットボードの検査が終了すると、ベルトコンベ
ア３０ｂ、３０ｃを駆動して当該ローデットボードを次
の行程に搬送する。このようにしてローデットボードの
検査が迅速に行なわれる。

【００３５】尚、ローデットボードの検査の内容によっ
ては、上下何れか一側のプローブ装置例えば、上側のプ
ローブ装置だけで行う場合もあり、更に、４台のプロー
ブ装置１５〜１８の中の所定の２乃至３台のプローブ装
置を使用して検査を行う場合もある。また、例えば、平
面モータ７を点検するために基板検査装置１から取り外
す場合には、高圧空気を供給して当該平面モータ７をプ
ラテン５の下面５ａから離隔させた状態で図４に示す入
出部２６まで移動させる。入出部２６は、非磁性部材に
より構成されており、従って、当該入出部２６からは平
面モータ７を容易に外すことができる。そして、平面モ
ータ７を外した後高圧空気の供給を停止する。また、プ
ラテン５に平面モータ７を装着する場合には上述と反対
の手順で行う。他の平面モータについても同様である。

【００３６】尚、上記実施例においては、各プラテン
５、６に夫々４台づつ平面モータを設けた場合について
記述したが、これに限るものではなく、４台以上設けて
も良い。しかしながら、平面モータの形状、或いは操作
性等の点からみて４台程度が好ましい。尚、実施例は、
上下２基のプラテンを設けた場合について記述したが、
これに限るものではなく、上又は下の１基だけでもよ
い。また、平面モータ、プローブ装置は、４台共同一形
状でも良く、或いは対称形状でも良い。

【００３７】また、平面モータに取り付けるプローブ装
置は、種々のものが可能であり、前記ローデットボード
用に限らず、部品を実装しない回路基板であるベアボー
ド用のプローブ装置を取り付けても良い。更に、部品を
ベアボードに実装する装置としての部品装着用ヘッドを
取り付けても良い。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、プ
ラテンに対して無軌道に走行可能な平面モータにプロー
ブ装置を設けることにより、プローブ装置の送り機構が
不要となり、基板検査装置の構造が極めて簡単となると
共に小型化及び低コスト化を図ることが可能となる。更
に、平面モータによりプローブ装置を検査位置に迅速に
移動させ、且つ正確に位置決め制御することができるた
めに、検査効率及び検査精度の向上を図ることが可能と
なる。更に、摩耗したり、破損する部材が無いために耐
久性が大幅に向上し、しかも、メンテナンスが不要であ
る。また、操作が容易である等の優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るプローブ移動式基板検査装置の一
実施例を示す外観図である。

【図２】図１の基板検査装置のカバーを外した状態の正
面図である。

【図３】図２の側面図である。

【図４】図３の矢線ＩＶ−ＩＶ方向から見た端面図であ
る。

【図５】図４の平面モータの平面図である。

【図６】図５の矢線ＶＩ−ＶＩに沿う断面図である。

【図７】図４のプラテンと平面モータとの関係を示す断
面図である。

【図８】図４の平面モータに設けられたプローブ装置の
側面図である。

【図９】図８の正面図である。

【図１０】図４の平面モータを検査位置に移動させた状
態を示す一部省略平面図である。

【図１１】従来のプローブ移動式基板検査装置の概要を
示す骨子図である。

【符号の説明】

１プローブ移動式基板検査装置２筺体３フレーム４支柱５、６プラテン７〜１４平面モータ１５〜２２プローブ装置２５原点復帰装置２６、２６’ 入出部３０ベルトコンベア４０ハウジング４１〜４４電磁石５０〜５２ブラケット５６プローブ６５モータ７５、７７カメラ８０〜８２制御装置８３計測装置８４コンピュータ８５〜８７ディスプレイ装置９１〜９８ケーブル保護可撓管

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】装置本体に水平に配設された平盤状のプ
ラテンと、前記プラテン上を無軌道に移動可能な複数の平面モータ
と、前記各平面モータに取り付けられ検査すべき基板の所定
箇所に各プローブの先端が夫々当接可能なプローブ装置
と、前記各平面モータ及び前記各プローブ装置を夫々制御す
る制御手段と、前記各プローブ装置から信号を入力して検査を行う計測
手段とを備えたことを特徴とするプローブ移動式基板検
査装置。
【請求項２】前記各プローブ装置は、前記プラテンの
Ｘ−Ｙ方向の走行直交座標軸に対して所定の角度傾けて
配置されていることを特徴とする請求項１に記載のプロ
ーブ移動式基板検査装置。
【請求項３】前記プラテンは、上下に所定の間隔を存
して水平に且つ互いに対向して２基配設され、これらの
各プラテンに夫々複数の平面モータが配置されているこ
とを特徴とする請求項１に記載のプローブ移動式基板検
査装置。
【請求項４】前記平面モータは、各プラテンに４台設
けられていることを特徴とする請求項１又は３に記載の
プローブ移動式基板検査装置。