KR970011745B1

KR970011745B1 - 전기적 프로우빙 시험 장치

Info

Publication number: KR970011745B1
Application number: KR1019880015747A
Authority: KR
Inventors: 타다시 오비가네; 히사시 고이께; 스미 타나카
Original assignee: 도오교오 에레구토론 가부시끼가이샤; 고다까 토시오
Priority date: 1987-11-30
Filing date: 1988-11-29
Publication date: 1997-07-15
Also published as: US4950982A; JPH01143981A; KR890008960A; JPH0833433B2

Abstract

내용없음

Description

전기적 프로우빙 시험 장치

제1도는, 본 발명의 실시예에 의한 1로우터 2스테이지형의 프로우빙 시험 장치를 도식적으로 나타낸 평면도,

제2도는, 본 발명의 실시예의 의한 프로우빙 시험 장치의 로우딩/언로우딩 유니트의 내부 기구를 측면쪽에서 보아서 도식적으로 나타낸 도면,

제3도는, 본 발명의 실시예에 의판 프로우빙 시험 장치의 로우딩/언로우딩 유니트를 앞쪽에서 보아서, 그의 이동 기구를 설명하기 위한 정면도,

제4도는, 본 발명의 실시예에 의한 프로우빙 시험 장치의 로우딩/언로우딩 유니트를 측면쪽에서 보아서, 그의 이동 기구를 설명하기 위한 부분의 측면도,

제5도는, 본 발명에서 로우딩/언로우딩 유니트의 슬라이드 레일을 나타낸 횡단면도,

제6도는, 본 발명에서 슬라이드 레일을 측면쪽에서 보아서, 그의 이동 스트로우크에 대하여 설명하기 위한 측면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 웨이퍼 프로우빙 장치11 : 로우딩/언로우딩 유니트

12 : 캐스터(caster)13 : 카세트 수납부

14 : 모우터15 : 가이드 축

16 : 얹어 놓는대17 : 웨이퍼 카세트

20 : 웨이퍼21 : 진공 흡착 핀세트

21a : 흡착부22 : 모우터

23 : 수평 회전축24 : 수직지지 로드

25 : 프리 어라이 먼트 스테이지26 : 모우터

27 : 핸들링 아암28 : 모우터

29 : 지지 기둥30 : 아암

31 : 마이크로 스코우프32 : 키이 보오드

33 : 전원40a : 제1의 검사 스테이지 유니트

40b : 제2의 검사 스테이지 유니트42 : 검사 스테이지

50 : 외부 케이스체51 : 고정 베이스

52 : 가동 베이스60 : 슬라이드 레일

61 : 가동측 플레이트62 : 고정측 플레이트

63 : 중간 플레이트64 : 보올

64a : 가이드 부재64b : 가이드 부재

64c : 보강 부재64d : 호울더 부재

65 : 고정판66 : 보울트

67 : 보울트68 : 캐스터

본 발명은, 반도체 웨이퍼, 액정 표시체(LCD), 프린트 기판 등의 전기적 특성을 검사하기 위한 프로우빙 시험 장치에 관한 것으로서, 특히, 로우딩/언로우딩 유니트를 검사 스테이지 유니트에서 분리할 수 있도록 조립된 전기적 프로우빙 시험 장치에 관한 것이다.

종래에 있어서, IC 또는 LSI 등의 반도체 디바이스, LCD, 및 프린트 기판은, 그의 제조 공정에 있어서 여러 회수에 걸쳐 전기적 특성을 평가하기 위한 시험을 받는다.

예를들면, 반도체 웨이퍼에 형성된 디바이스 패턴의 회로를 통전 시험하는 웨이퍼 테스트에 있어서는, 웨이퍼 프로우빙 장치의 프로우브침을 디바이스 패턴의 전극의 각각에 접촉시키고, 프로우브침을 통하여 회로에 고주파 전류를 흘려서, 디바이스 패턴마다 전기적 특성을 시험한다.

웨이퍼 테스트에 사용되는 웨이퍼 프로우빙 장치는, 일본국 실개소 60-401045호 공보, 및 특개소 61-168236호 공보 등에 개시되어 있다.

이들의 장치는, 하나의 로우딩/언로우딩 유니트에 대하여 하나의 검사 스테이지 유니트를 갖는 소위 1로 우터·1스테이지형이다.

또한, 일본국 특개소 61-168236호 공보에는, 하나의 로우딩/언로우딩 유니트를복수개의 검사 스테이지 유니트로서 공용하는 소위/로우터·멀티 스테이지형의 웨이퍼 프로우빙 장치가 개시되어 있다.

이와같은 웨이퍼 프로우빙 장치의 검사 스테이지 유니트는, 반도체 웨이퍼의 전기적 특성을 스테이지 위에서 검사하기 위한 것이고, 또한, 로우딩/언로우딩 유니트는 웨이퍼 카세트에서 검사 스테이지 유니트에 반도체 웨이퍼를 반입 또는 반출하기 위한 것이다.

검사 스테이지 유니트 및 로우딩/언로우딩 유니트는, 양쪽이 모두 방대한 수의 배선을 갖고 있기 때문에, 배선의 변경등의 보존 작업에 장시간을 필요로 한다.

이로 인하여, 양쪽 유니트를 각각 독립적인 복스에 수납하여, 보존 작업의 간이화를 도모하고 있다.

그런데, 종래의 1로우터·멀티 스테이지형의 웨이퍼 프로우빙 장치 예를 들면 1로우터·2스테이지형의 장치에서는, 검사 스테이지 유니트의 양쪽면측에 로우딩/언로우딩 유니트가 존재하기 위하여, 작업 스페이스가 현저하게 좁아져서, 검사 스테이지 유니트 및 로우딩/언로우딩 유니트의 보존 작업이 곤란함으로, 작업에 장시간을 필요로 하였다.

예를들면, 로우딩/언로우딩 유니트의 내부 기구의 조정 작업을 행할 경우에는, 작업 스페이스가 로우딩/언로우딩 유니트의 앞면쪽에만 고정되어 있었다.

이로 인하여, 보존해야할 부분이 검사 스테이지 유니트의 측면쪽에 위치할 경우에, 로우딩/언로우딩 유니트가 장애가 되어, 작업자의 일손이 보존해야할 부분에 미치지 못하므로, 보존할 수 없는 부분이 발생하였다.

또한, 1로우터 1스테이지형의 프로우빙 장치에 있어서도, 검사 스테이지 유니트를 보존할 때에, 로우딩/언로우딩 유니트가 장애가 되어, 보존을 행하기 위한 작업 스페이스가 대폭적으로 제한된다.

이로 인하여, 검사 스테이지 유니트 및 로우딩/언로우딩 유니트의 상호 인접면에 위치하는 기구의 조정이 곤란하였다.

본 발명의 목적은, 보존이 불가능한 장소를 실질적으로 발생하는 일이 없이, 용이하게 보존 작업을 할 수가 있는 전기적 프로우빙 시험 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 실시예에 의하면, 적어도 하나의 계통의 독립 케이스체에 형성되고, 다수개의 프로우브를 스테이지 위의 피검사체에 접촉시켜서 전기적 특성을 시험하기 위한 검사 스테이지 유니트와, 적어도 하나의 계통의 독립 케이스체에 형성되고, 상기 피검사체를 소정의 수납 장소에서 상기 검사 스테이지 유니트의 스테이지에 반입하거나, 또는 상기 검사 스테이지 유니트의 스테이지에서 소정의 수납 장소에 반출하기 위한 로우딩/언로우딩 유니트와를 갖고, 상기 로우딩/언로우딩 유니트가 상기 검사 스테이지 유니트에서 이탈하여 이동할 수 있도록 양쪽 유니트가 조립되어 있다.

또한, 본 발명의 전기적 프로우빙 장치를, 반도체 웨이퍼를 검사하기 위한 웨이퍼 프로우빙 장치에 적용하여도 좋고, 또한, 액정 표시체(LCD)를 검사하기 위한 LCD 프로우빙 장치에 적용하여도 좋다.

상기한 로우딩/언로우딩 유니트의 양쪽에 각각 검사 스테이지 유니ㅌ를 배열 설치하고, 로우딩/언로우딩 유니트만을 앞쪽 방향으로 인출할 수가 있도록 슬라이드 수단을 형성하는 것이 바람직하다.

즉, 한쌍의 검사 스테이지 유니트의 상호간에 1대의 로우딩/언로우딩 유니트가 배치된 1로우터 2스테이지형의 프로우빙 장치로 한다.

이 경우에, 로우딩/언로우딩 유니트의 접속 케이블을 충분하게 길게 하여둘 필요가 있다.

로우딩/언로우딩 유니트를 검사 스테이지 유니트에서 이탈시키면, 한쌍의 검사 스테이지 유니트의 상호간에 충분한 작업 공간이 확보되는 것이 된다.

또한, 상기한 로우딩/언로우딩 유니트는, 소정의 수납 장소 및 검사 스테이지 사이에서 피검사체를 반송하는 수단과, 소정의 수납 장소에서 검사 스테이지에 피검사체를 주고 받기전에 피검사체를 프리어라이 먼트하는 수단과, 를 갖고 있고, 상기한 반송수단 및 프리어라이 먼트수단이 가동 베이스 위에 형성되고, 가동 베이스가 유니트의 앞쪽 방향으로 슬라이드 이동할 수 있는 것이 바람직하다.

이 경우에, 휘일이 가동 베이측 부재의 앞쪽 바닥부에 착설되고, 로우딩/언로우딩 유니트가 휘일 주행할 수 있도록 되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 로우딩/언로우딩 유니트의 슬라이드는 수단을, 보올 가이드와 보올 가이드를 안내하기 위한 레일 부재로서 구성하는 것이 바람직하다.

또한, 보올 가이드에 대신하여 로울러 가이드를 사용하여도 좋다.

또한, 로우딩/언로우딩 유니트의 접속 케이블이, 나선 형상 또는 절첩 형상으로 수납되고, 사용시에는 이것이 연장되도록 되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 케이블 사이를 접속한다거나, 연장 케이블 등을 사용하여도 좋다.

[실시예]

다음에, 본 발명의 여러가지의 실시예에 대하여 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

제1도에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼 프로우빙 장치(10)는, 하나의 계통의 유니트 복스로 형성된 로우딩/언로우딩 유니트(11)와, 2계통의 유니트 복스로 형성된 검사 스테이지 유니트(40a),(40b)와, 로 구성되어 있다.

로우딩/언로우딩 유니트(11)는, 반송이 가능한 독립의 유니트 복스로서 반출 반입이 가능하게 만들어져 있고, 사용시에는 제1및 제2의 검사 스테이지 유니트(40a),(40b) 상호간에 반입되고, 보존시에는 검사 스테이지 유니트(40a),(40b) 상호간에서 반출되도록 되어 있다.

4개의 가이드 축(15)이 로우딩/언로우딩 유니트(11)의 앞면쪽에 배열설치되고, 2개의 웨이퍼 카세트(17)가 가이드 축(15)을 따라 승강하여 반송되도록 되어 있다.

또한, 진공 흡착 핀세트(21)가 로우딩/언로우딩 유니트(11)의 뒷면쪽에 형성되고, 카세트(17)내의 웨이퍼(20)가 핀세트(21)에 의하여 프리 어라이 먼트 스테이지(25)에 빼내어지도록 되어 있다.

한편, 검사 스테이지 유니트(40a),(40b)는, 핸들링 아암(27) 및 검사 스테이지(42)를 각각 갖고 있다.

이 아암(27)은, 모우터(28)에 연결되어 있고, 수평면내에서 360°로 회전할 수 있도록 되어 있다.

로우딩/언로우딩 유니트(11)의 케이스체의 상부 뒷면쪽에는 지지 기둥(29)이 세워져 설치되고, 지지 기둥(29)을 중심으로 하여 수평면에서 360°로 회전이 가능하게 아암(30)이 지지 기둥(29)에 착설되어 있다.

이 아암(30)의 앞쪽 끝단부에는 칩(디바이스 패턴)을 확대 관찰하기 위한 마스크로 스코우프(31)가 형성되어 있고, 이 마스크로 스코우프(31)는 약 20mm 정도 위아래로 동작할 수 있도록 되어 있다.

제2도에 나타낸 바와 같이, 로우딩/언로우딩 유니트(11)의 내부의 앞면쪽에는, 카세트 수납부(13)가 형성되어 있다.

이 카세트 수납부(13)에는 모우터(14)에 의하여 구동되는 4개의 가이드 축(15)이 수직으로 설치되고, 2대의 얹어 놓는대(16)가 각각 2개의 가이드 축(15)을 따라 위아래 방향으로 안내되도록 되어 있다.

각 얹어 놓는대(16)에는 카세트(17)가 얹어 놓여지도록 되어 있다.

또한, 1개의 카세트(17)에는 예를들면 25매의 반도체 웨이퍼(20)가 수납되도록 되어 있다.

진공 흡착 핀세트(21)는, 수직 지지로드(24)를 개재하여 수평 회전축(23)에 연결되어 있다.

이 수평 회전축(23)은 모우터(22)의 구동축에 연결되어 있다.

이와같이 구성되어 있기 때문에, 진공 흡착 핀세트(21)는 평행으로 슬라이드가 가능하다.

제1도에 나타낸 바와 같이, 핀세트(21)의 앞쪽 끝단부에 대략 ㄷ자 형상의 흡착부(21a)가 형성되고, 이 흡착부(21a)에 진공 펌프(도시않됨)가 연이어 통하고 있다.

프리 어라이 먼트 스테이지(25)는, 그의 윗면에 웨이퍼(20)를 흡착하여 고정하기 위한 진공 흡착 기구(도시않됨)를 갖고 있다.

또한, 프리 어라이 먼트 스테이지(25)의 위치 맞춤 기구는, 모우터(26), 보올 스크루우, 및 타이밍 벨트에 의하여 구성되고, 프리 어라이 먼트 스테이지(25)가 Z축 방향으로 승강함과 동시에, 축 주위에서도 회전하도록 되어 있다.

또한, 발광/수광 센서(도시않됨)가 프리 어라이 먼트 스테이지(25)의 근방에 형성되어, 스테이지(25)위의 웨이퍼(20)의 위치를 검출하도록 되어 있다.

키이 보오드(32)가 로우딩/언로우딩 유니트(11)의 상부에 형성되고, 이것이 CPU(도시않됨)의 입력부에 접속되어 있다.

CPU는, 센서(도시않됨) 등으로부터의 각종 정보를 받아들이면, 소정의 시퀸스 제어 프로 그래밍을 따라 로우딩/언로우딩 유니트(11)의 각 동작을 제어하도록 되어 있다.

또한, 유니트(11)의 바닥부에는 전원(33)이 배치되고, 제1 및 제2의 검사 스테이지 유니트(40a),(40b)에 각각 급진되도록 되어 있다.

다음에, 제1 및 제2의 검사 스테이지 유니트(40a),(40b)에 대하여 설명한다.

또한, 제1 및 제2의 유니트(40a),(40b)는 실질적으로 동일한 기구인 것이어서, 한쪽의 설명은 생략한다.

제1의 검사 스테이지 유니트(40a)는, 예를들면 깊이 1000mm, 폭 620mm, 높이 1200mm인 독립된 케이스체로서 구성되고, 이 케이스체의 바닥면의 4모서리에 각각 캐스터(12)가 착설되어 있다.

각 캐스터(12)는 스톱퍼 기구(도시않됨)를 구비한다.

이 스톱퍼 기구는 예를들면 정해진 위치에 반송되었을 때에 높이의 조정을 나사 맞춤 수단으로 실행하여 고정하는 기구이다.

제1의 검사 스테이지 유니트(40a)의 양쪽면에는, 양쪽면의 어느 쪽에도 로우딩/언로우딩 유니트(11)를 죠인트할 수 있도록, 케이스체의 8개소에 보울트의 붙이고 떼기 수단(도시않됨)이 형성되어 있다.

이 8개소로서는, 예를들면 제1의 검사 스테이지 유니트(40a)의 케이스체 측면의 4모서리 및 4변 중앙이다.

검사 스테이지 유니트(40a)는, 검사 스테이지(42)를 X축 방향, Y축 방향, Z축 방향 및 방향인 4개의 축방향으로 각각 구동시키기 위한 복수의 구동기구(도시않됨)를 갖는다.

이중에 특히, X축 방향 및 Y축 방향의 구동 범위는 제1의 검사 스테이지 유니트(40a)의 중심 위치에 대하여 대칭의 동작이 가능하다.

또한 파인 어라이 먼트(fine alignment)도 실행되도록 되어 있다.

예를들면 웨이퍼에 형성되는 스크라이브 라인(scribe line) 또는 테스트칩 패턴을 레이저 광에 의하여 조사하고 이미지 센서로서 촬상하여 정확한 어라이 먼트를 실시 가능하게 하고 있다.

또한, 프로우브 카아드(도시않됨)가 검사 스테이지(42)에 대면 하도록 형성되어 있다.

프로우브 카아드는 다수개의 프로우브 침을 갖고 있고, 검사 스테이지(42)를 상승시키면, 각 프로우브 침이 웨이퍼 칩의 각 전극에 각각 접촉하도록 되어 있다.

또한, 위에서 설명한 핸들링 아암(27)을 위아래 한쌍으로 형성하고, 검사가 완료된 웨이퍼(20)를 흡착하여 검사 스테이지(42)로부터 프리 어라이 먼트 스테이지(25)에 반출함과 동시에, 새로운 웨이퍼(20)를 흡착하여 스테이지(25)로부터 스테이지(42)에로 반입하도록 하여도 좋다.

이와 같이 하면, 웨이퍼 반송에 있어서의 드루프트(through put)의 대폭적인 향상을 도모할 수가 있다.

다음에, 제3도 내지 제6도를 참조하면서, 로우딩/언로우딩 유니트(11)의 슬라이드 이동기구에 대하여 설명한다.

제3도에 나타낸 바와 같이, 고정 베이스(51)가 유니트(11)의 외부 케이스체(50)에 고정되고, 이 고정 베이스(51)에 대하여 가동 베이스(52)가 장치의 뒷면쪽으로부터 앞면쪽으로 향하여 슬라이드 이동하도록 슬라이드 레일(60)이 형성되어 있다.

가동 베이스(52)는, 예를 들면 주물로 형성되어 있고, 웨이퍼 카세트(17), 진공 흡착 핀세트(21), 프리 어라이 먼트 스테이지(25)를 지지하도록 되어 있다.

제5도에 나타낸 바와 같이, 슬라이드 레일(60)은, 가동축 플레이트(61)와 고정측 플레이트(62)와, 중간 플레이트(63)와, 보올(64)을 보호 지지하는 보올 가이드와, 를 갖고 있다.

가동측 플레이트(61)는, 앞에서 설명한 가동 베이스(52)의 양쪽면에 고정되는 것으로서, 보올(64)을 갖는 가이드를 위아래로 2단을 갖고 있다.

고정측 플레이트(62)도, 가동측 플레이트(61)와 마찬가지로 구성되어 있다.

이 고정측 플레이트(62)는, 앞에서 설명한 고정 베이스(51)에 고정되어 있다.

또한, 보올 가이드의 외부 가이드 부재(64a)가, 가동측 플레이트(61) 및 고정측 플레이트(62)의 각각의 안쪽면에 고정 부착되어 있다.

중간 플레이트(63)는, 가동측 플레이트(61)와 고정측 플레이트(62)와의 사이에 형성되어 있다.

중간 플레이트(63)의 양쪽면에는, 각각 보올 가이드의 내부 가이드 부재(64b)가 고정 부착되어 있다.

이들의 내부 가이드 부재(64b)는, 각각 보강 부재(64c)에 의하여 안쪽에서 보강되어 있다.

보올(64)은, 호울더 부재(64d)에 의하여 각각 보호 지지되어 있다.

즉, 각 보올(64)은 호울더 부재(64d)에 의하여 보호 지지되면서 내부, 외부 가이드 부재(64a),(64d)의 상호 간극을 이동하도록 되어 있다.

다음에, 제6도를 참조하면서 로우딩/언로우딩 유니트(11)의 이탈 기구에 대하여 설명한다.

슬라이드 레일(60)은, 보올(64)에 의하여 중간 플레이트(63)가 고정측 플레이트(62)에 대하여 슬라이드 이동이 가능하고, 또한 가동측 플레이트(61)가 중간 플레이트(63)에 대하여 슬라이드 이동이 가능하다.

이로 인하여, 로우딩/언로우딩 유니트(11)를 인출하였을 경우에, 제6도에 나타낸 바와 같이, 이동 스트로우크(L)를 확보할 수가 있다.

여기에서, 로우딩/언로우딩 유니트(11)의 깊이 방향의 길이는 약 1000mm, 이동 스트로우크(L)는 약 740mm이다.

또한, 슬라이드 레일(60)을 가장 짧게한 경우의 길이는 약 710mm이다.

이 슬라이드 레일(60)에 의하여 가동 베이스(42) 및 그 위에 지지되는 상당 중량의 각 부재를 확실하게 지지하기 위하여, 제4도에 나타낸 바와 같이, 레일(60)을 프로우빙 장치의 앞쪽으로 옮겨서 장착하도록 하고 있다.

고정판(65)이, 4개의 보울트(66)에 의하여 가동 베이스(52)의 앞쪽에 고정되어 있다.

또한, 고정판(65)은, 로우딩/언로우딩 유니트(11)를 이탈시킨 상태에서 복귀시킬 경우에, 고정 베이스(51)의 앞면에 맞닿는 것으로서, 스톱퍼 기능의 역할을 완수하도록 되어 있다.

로우딩/언로우딩 유니트(11)를 이탈시켜서 검사 스테이지 유니트(40a),(40b)를 보존 작업 할때를 제외하고, 고정판(65)은 보울트(67)에 의하여 고정 베이스(51)의 앞면에 고정되어 있다.

제1도의 화살표 A방향으로 로우딩/언로우딩 유니트(11)를 인출하면, 고정판(65) 아래끝단의 캐스터(68)가 바닥면에 접촉하면서 구른다.

이로 인하여, 로우딩/언로우딩 유니트(11)의 앞쪽이 캐스터(68)에 의하여 지지되기 때문에, 이탈시에 유니트(11)가 가이드 레일(60)만으로 한쪽만 지지되는 것을 방지할 수가 있다.

또한, 로우딩/언로우딩 유니트(11)는, 제1 및 제2의 검사 스테이지 유니트(40a),(40b)에 대하여 전기 케이블 및 베큠 케이블(도시않됨)에 의하여 접속되어 있다.

이로 인하여, 로우딩/언로우딩 유니트(11)를 인출할 경우에는, 이동 스트로우크(L) 만큼 유니트(11)가 이동하더라도 지장이 없도록, 미리 연장 케이블을 접속하여 둔다거나, 케이블을 절첩하여 수납하여 둔다거나, 또는 케이블을 나선 형상으로 신축이 자유롭게 수납하여 둘 필요한 있다.

다음에, 실시예의 웨이퍼 프로우빙 장치를 보존할 경우에 대하여 구체적으로 설명한다.

이와같은 종류의 웨이퍼 프로우빙 장치에서는 정기적 또는 비정기적으로 보존을 필요로 한다.

장치의 회로 기판위의 각종 센서, 예를들면 투과형 센서의 빛의 강도를 조정하기 위하여 트리머를 돌려서 조정할 필요가 있다.

또한, 카세트(17)가 승강 이동할 때에, 확실하게 진공 흡착 핀세트(21)가 웨이퍼(20) 사이에 삽입될 수 있도록, 반송 위치 검출용 센서의 조정을 필요로 하고, 예를들면 포토 인터럽터의 경우에는, 셔터의 위치 조정의 보존이 필요하게 된다.

또한, 프리 어라이 먼트 스테이지(25)에서 웨이퍼(20)의 편심량을 검출하기 위한 센서의 조정, 가동 부분에 그리이스를 칠함, 반송용 벨트의 장력 조정, 부품의 쓰러짐 수정등의 각종 보존 작업을 필요로 한다.

한편, 검사 스테이지 유니트(40a),(40b)에 있어서는, 핸들링 아암(27)을 위한 위치 센서의 조정, 가동 부분에 그리이스를 칠하기 등의 보존 작업을 필요로 한다.

위에서 설명한 각종 보존 작업을 실행할 필요가 발생하였을 때에, 다음의 순서에 따라 로우딩/언로우딩 유니트(11)를 인출한다.

우선, 보울트(67)를 풀려서, 앞면쪽의 고정판(65)을 고정 베이스(51)로부터 해제한다.

이어서, 로우딩/언로우딩 유니트(11)를 제1도의 화살표 A방향으로 인출한다.

이때에, 유니트(11)의 주요 부품을 얹어 실어서 고정하고 있는 가동 베이스(52)는, 케이스체(50)에 고정된 고정 베이스(51)와의 사이에, 슬라이드 레일(60)을 구비하고 있는 것이어서, 이 슬라이드 레일(60)의 작용에 의하여 가동 베이스(52)를 원활하게 이동시킬 수가 있다.

즉, 가동 베이스(52)를 앞쪽으로 인출하면, 가동 베이스(52)에 고정되어 있는 가동측 플레이트(61)가 중간 플레이트(63)에 대하여 보올(64)을 통하여 이동함과 동시에, 중간 플레이트(63)가 케이스체(50)에 고정된 고정측 플레이트(62)에 대하여 보올(64)을 통하여 이동한다.

이와같이, 보올(64)을 통하여 이동시키기 때문에, 유니트(11)의 대다수의 부품이 얹어 실어지는 가동 베이스(52)(중량물)를 원활하게 이동시킬 수가 있다.

또한, 상기한 실시예에 의하면, 슬라이드 레일(60)이 중간 플레이트(63)를 갖고 있는 것이어서, 레일(60)의 전체 길이 보다도 긴 이동 스트로우크를 확보할 수가 있다.

즉, 상기한 실시예에 의하면, 로우딩/언로우딩 유니트(11)를 약 740mm의 스트로우크에서 앞쪽으로 인출 할 수가 있다.

또한, 상기한 실시예에 의하면, 캐스터(68)를 가동 베이스(52)의 앞쪽에 형성하고, 유니트(11)의 중량의 일부를 캐스터(68)에 부담시키고 있는 것이어서, 유니트(11)가 한쪽만 지지된 상태로 되지 않으므로, 레일(60)에 과잉된 구부러짐 모우먼트가 걸리지 않는다.

이와같이, 로우딩/언로우딩 유니트(11)를 앞쪽으로 인출함으로써, 유니트(11)의 양쪽면에 넓은 작업 스페이스를 확보할 수가 있다.

또한, 한쌍의 검사 스테이지 유니트(40a),(40b)의 상호간에도 넓은 작업 스페이스를 확보할 수가 있다.

따라서, 유니트(11),(40a),(40b)의 각부의 모서리에 걸쳐 충분하게 보존할 수가 있다.

또한, 상기한 실시예에서는, 1로우터·2스테이지형인 프로우빙 장치에 대하여 설명하였으나, 이것에 한정되는 것만이 아니고 1로우터·1스테이지형인 프로우빙 장치나 그 밖의 형의 1로우터·멀티 스테이지형인 프로우빙 장치에도 적용할 수가 있다.

또한, 상기한 실시예에서는, 웨이퍼 프로우빙 장치에 대하여 설명하였으나, 이것에 한정되는 것만이 아니고, LCD를 검사하기 위한 LCD 프로우빙 장치에 본 발명을 적용하여도 좋다.

또한, 로우딩/언로우딩 유니트의 이동 기구에 보올 가이드 및 가이드 레일의 조합 기구를 채용하였으나, 이것에 한정되는 것만이 아니고, 로울러 가이드, 리니어 가이드 등의 다른 이동 기구를 채용하여도 좋다.

다음에, 본 발명의 효과에 대하여 총괄적으로 설명한다.

본 발명에 의하면 로우딩/언로우딩 유니트를 검사 스테이지 유니트로부터 이탈시키고, 양쪽 유니트의 접속 부분에 충분하게 넓은 스페이스를 확보할 수가 있는 것이어서, 양쪽 유니트의 접속 부분에 존재하는 기구를 각각 충분하게 보존 작업을 할 수가 있다.

이로 인하여, 장치의 보존 작업에 소요되는 시간을 대폭적으로 단축할 수가 있다.

또한, 보존이 불가능한 장소를 실질적으로 없앨 수가 있으므로, 장치 각부의 모서리에 걸쳐서 충분하게 보수할 수가 있다.

Claims

각 시스템의 독립적인 구성부분으로서 형성되고, 웨이퍼가 장착된 상태하에서 웨이퍼의 전기적 특성을 테스트하는데 사용되는 한쌍의 검사 스테이지 유니트(40a),(40b); 및 하나의 시스템의 독립적인 구성부분으로서 형성되고, 카셋트로부터 웨이퍼를 로우드하고 검사된 웨이퍼를 상기 검사 스테이지 유니트(40a),(40b)중의 한쪽으로부터 하나씩 언로우드하는데 사용되며, 상기 검사 스테이지 유니트(40a),(40b)중의 상기 한쪽의 측부와 결합되고 상기 2개의 시스템의 상기 검사 스테이지 유니트(40a),(40b) 사이에 배열 설치되는 로우딩/언로우딩 유니트(11)를 포함하여 구성되며, 상기 로우딩/언로우딩 유니트(11)는, 상기 검사 스테이지 유니트(40a),(40b)의 상기 한쪽으로부터 상기 로우딩/언로우딩 유니트(11)를 분리 및 이동하기 위한 수단, 및 웨이퍼가 상기 웨이퍼 카셋트로부터 상기 한쪽의 검사 스테이지 유니트(40a),(40b)로 이송되기 전에 웨이퍼를 프리 어라이먼트하기 위한 수단을 포함하여 구성되는 전기적 프로우빙 시험장치.
제1항에 있어서, 상기 검사 스테이지 유니트(40a),(40b)는 반도체 웨이퍼의 프로우빙 시험을 할 수 있으며, 상기 검사 스테이지 유니트(40a),(40b)의 스테이지(42)로 반도체 웨이퍼를 반송할 수 있는 핸들링 아암(27)을 포함하여 구성되는 전기적 프로우빙 시험장치.
제1항에 있어서, 상기 분리 및 이동하기 위한 수단은, 상기 로우딩/언로우딩 유니트(11)를 상기 검사 스테이지 유니트(40a),(40b)로부터 슬라이딩시키기 위하여, 보올 가이드 및 상기 보올 가이드를 안내하기 위한 레일부재를 포함하여 구성되는 수단을 포함하는 전기적 프로우빙 시험장치.