JPH09211055A - 基板検査用プローブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ベアボードのショート・オープンの検査を行
う前にプローブが検査すべき導体パターンに確実に接触
しているか否かをチェックするようにした基板検査用プ
ローブ装置を提供する。 【解決手段】 ベアボードの導体パターンに一対のプロ
ーブの先端を接触させて検査を行う基板検査用プローブ
装置の、一対のプローブ５７、５８を弾性を有する線状
部材により形成し、各基端をプローブホルダ４４の上端
部４４ａに固定し、各先端近傍をプローブホルダ４４の
下端部４４ｂのホルダ５５、５６に軸方向に摺動可能に
貫通支持し、先端５７ａ、５８ａが導体パターンに接触
した際に座屈させる構成としたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ベアボードの導体
パターンのショート・オープン等を検査する基板検査用
プローブ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリント回路板は、電子回路部品が実装
されて電子機器に組み込まれ、完成品となるまでに、プ
リン配線板単体（以下「ベアボード」という）の状態で
行うショート・オープンの検査（ベアボードテスト）、
回路部品搭載後に行う搭載の有無、極性の検査（実装検
査）、ハンダ付け後に行うショート・オープンの検査
（インサーキットテスト）、その後機能検査（ファンク
ションテスト）を行い、最後に機器に組み込んでからシ
ステムとしての性能検査等の様々な検査を受ける。

【０００３】ベアボードの検査は、導体パターンやスル
ーホールのショート・オープンを電気的に検査するもの
で、通常ベアボードの所定箇所にスプリング付のコンタ
クトプローブと呼ばれるピンを接触させて、電気的に導
体パターンの接続状態を検出する自動検査機により行わ
れる。また、表面実装用のベアボードは、部品取付用の
孔がないために片面からでは検査することができない箇
所が出てくる。従って、このようなベアボードに対して
は、両面から挟み込んで検査を行う冶具等が使用され
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
コンタクトプローブは、ベアボードの導体パターンにピ
ンの先端をばね力により単に接触させる構成であるため
に確実に接触しているか否かを判別することができず、
導体パターンが短絡しているにも拘わらず短絡していな
いと誤診する虞があり、検査の信頼性に欠けるという問
題がある。

【０００５】本発明は、上述の点に鑑みてなされたもの
で、ベアボードのショート・オープン検査を行う前にプ
ローブが検査すべき導体パターンに確実に接触している
か否かをチェックするようにした基板検査用プローブ装
置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明によれば、水平に支持されたベアボードの任意
の箇所に移動可能な移動体に昇降自在に設けられ、前記
ベアボードの導体パターンに一対のプローブの先端を接
触させて検査を行う基板検査用プローブ装置において、
前記一対のプローブは、弾性を有する線状部材により形
成され、各基端がプローブホルダに固定され、各先端近
傍が筒状のホルダに軸方向に摺動可能に貫通支持され、
各先端が前記導体パターンに接触した際に座屈するよう
に構成したものである。

【０００７】請求項２では、前記一対のプローブは、前
記ベアボードの板面に対して傾斜して配置され、前記導
体パターンに斜め方向から接触するように構成したもの
である。プローブは、弾性を有する線材で形成されてい
るために各先端がベアボードの導体パターンに接触する
と湾曲して座屈する。これによりプローブの各先端が導
体パターンに接触する際にベアボードに与える衝撃が小
さくなると共に、導体パターンに良好に接触する。

【０００８】また、プローブの先端を導体パターンに対
して斜め方向から接触させることにより、接触した際に
座屈し易くなり、ベアボードに与える衝撃が小さくな
る。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下本発明の形態を添付図面に基
づいて詳述する。図１は、本発明に係る基板検査用プロ
ーブ装置を備えた基板検査装置１の正面図、図２は図１
の矢印II−II方向から視た下面図である。図１及び図２
において基板検査装置１は、筺体２と、筺体２上に設置
されたフレーム３と、フレーム３の四隅の各支柱４の上
端に載置固定されたプラテン５と、筺体２上面に且つプ
ラテン５と対向して水平に配設固定されたプラテン６
と、プラテン５及び６に夫々複数台例えば、４台づつ配
置された平面モータ７〜１０及び１１〜１４と、これら
の平面モータ７〜１０及び１１〜１４に取り付けられた
プローブ装置１５〜１８及び１９〜２２と、プラテン５
と６との略中間位置に水平に、且つフレーム３の中央を
左右方向に貫通して配置され、左右両側が各支柱４に支
持されてベアボードを搬送する搬送機構例えば、ベルト
コンベア３０等により構成されている。

【００１０】プラテン５は、平盤状をなし高透磁率を有
する純鉄の厚板により構成されており、下面５ａに所定
の溝幅の溝が、所定のピッチで、横（Ｘ軸）方向、縦
（Ｙ軸）方向に、且つ所定の深さで全面に亘り正確に刻
設されて、多数の歯が形成された歯形板状の鉄心とされ
ている。プラテン６もプラテン５と同様に形成されてお
り、プラテン５の歯形板状の下面５ａと対向する上面６
ａも歯形板状とされている。

【００１１】プラテン５の四隅には、平面モータ７〜１
０を各原点位置（当該プラテン５の四隅）に正確に復帰
させるための原点復帰装置２５（図２）が設けられてい
る。プラテン６にも同様に平面モータ１１〜１４を原点
位置に正確に復帰させるための原点復帰装置（図示せ
ず）が設けられている。更に、筺体２の上面にはプラテ
ン５の両側中央位置に隣接して平面モータ７〜１０をプ
ラテン５に搬入し、又はプラテン５から搬出するための
入出部２６、２６’が設けられている。これらの入出部
２６、２６’は、平面モータ７よりも僅かに大きいアル
ミニウム或いは合成樹脂部材等の非磁性部材の平板によ
り形成されており、下面がプラテン５の下面５ａと同一
面とされている。

【００１２】平面モータ７は、正方形状の非磁性部材例
えば、アルミニウムにより形成されたハウジング４０
（図３）内にプラテン５の下面５ａに沿ってＸ軸方向に
走行するための電磁石と、Ｙ軸方向に沿って走行するた
めの電磁石（図示せず）が収納されている。そして、各
電磁石の鉄心の各上面には夫々所定幅の溝が刻設された
鉄心が設けられ、プラテン５の下面５ａの歯形と対向可
能とされている。平面モータ７は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向
への走行用の各電磁石内に夫々極めて強力な永久磁石
（図示せず）が設けられており、これらの永久磁石は、
前記電磁石と協働して前記Ｘ軸、Ｙ軸方向への推力を得
ると共に、プラテン５と閉磁路を形成して下面５ａにハ
ウジング４０を強力に吸着させる機能を有している。

【００１３】ハウジング４０の上面の所定箇所には夫々
スリットが形成されており、各スリットの中央には夫々
小孔の各一端が開口されている（共に図示せず）。これ
らの小孔の各他端は、ハウジング４０内で纏められ、エ
アホースを介して高圧空気源（図示せず）に接続され
る。そして、前記各小孔から高圧の空気が噴出され、ハ
ウジング４０を前記永久磁石の吸引力に抗してプラテン
５の下面５ａから僅かな間隙（例えば、１０μｍ程度）
を存して水平に離隔させる。これにより平面モータ７
は、プラテン５の下面５ａとの間に前記僅かな間隙を存
して即ち、空間に浮いた状態で自由に走行可能とされ
る。

【００１４】他の平面モータ８〜１４も平面モータ７と
同様に構成されている。そして、上側の４台の平面モー
タ７〜１０は、プラテン５の下側に空間に浮いた状態で
水平に保持される。また、下側の４台の平面モータ１１
〜１４は、プラテン６上に僅かな間隙を存して空間に浮
いた状態で水平に保持される。このようにして、上側の
４台の平面モータ７〜１０は、プラテン５の下側を、下
側の４台の平面モータ１１〜１４は、プラテン６上を、
夫々各別にＸ軸及びＹ軸方向に水平に走行可能とされ
る。

【００１５】平面モータ７〜１０、１１〜１４の各ハウ
ジング４０の下面には、プローブ装置１５〜１８、１９
〜２２が設けられている。これらのプローブ装置１５〜
２２は、ベアボードの導体パターンのショート・オープ
ンを検査するためのもので、各平面モータの走行方向即
ち、Ｘ軸及びＹ軸方向に対して所定の角度例えば、４５
°の角度をなしてハウジング４０に配置されている（図
２）。

【００１６】プローブ装置１５は、図３に示すようにハ
ウジング４０の下面略中央に固定されている。ハウジン
グ４０の下面にはＬ型のブラケット４１が下方に臨んで
垂直に取り付けられており、前端にはＬＭガイド４２が
上下方向及び左右方向に僅かに傾斜して設けられてい
る。即ち、ＬＭガイド４２は、ハウジング４０の下面と
平行をなすベアボードの上面に立てた垂線に対して前後
方向に所定の角度α（例えば、６°程度）をなして基端
が先端よりも後退し（図４）、更に左右方向に所定の角
度β（例えば、４°程度）をなして基端が先端よりも図
中左側に傾斜して（図５）設けられている。そしてＬＭ
ガイド４２にはホルダ４３が上下方向に摺動可能に装着
されており、当該ホルダ４３にはプローブホルダ４４が
固定されている。

【００１７】ブラケット４１の側面４１ａの前側上端及
び下端に左右方向に水平に回転可能に軸支された回転軸
４５、４６の各一端には夫々歯付プーリ４７、４８が固
定されており、歯付プーリ４７の僅か後方の下方位置に
歯付プーリ４９が回転可能に軸支されている。そして、
これらの歯付プーリ４７〜４９には歯付ベルト５０が掛
回されており、当該歯付ベルト５０には歯付プーリ４７
と４８との間にホルダ４３の後端が固定されている。こ
れによりプローブホルダ４４は、歯付プーリ４７の回転
に応じてＬＭガイド４２に沿って昇降可能とされる。

【００１８】ブラケット４１の後部にはプローブ昇降用
駆動モータ５１が収納されており、側面４１ａに穿設さ
れた孔を遊貫した回転軸の先端に歯付プーリ５２が固定
されている。そして、歯付プーリ５２と歯付プーリ４７
の回転軸４５の他端に固定された歯付プーリ５３との間
には歯付ベルト５４が掛回されている。モータ５１の回
転に応じて歯付プーリ４７が回転し、これに応じて歯付
ベルト５０が回転し、プローブホルダ４４が昇降する。

【００１９】プローブホルダ４４は、図４及び図５に示
すように略コ字状をなし、上下両端部４４ａ、４４ｂが
前方に僅かに突出し、中央部４４ｃがホルダ４３に固定
されている。プローブホルダ４４の下端部４４ｂに左右
に並んで且つ上下方向に穿設された２つの小孔には小径
のパイプ状のホルダ５５、５６の上端が嵌合されてい
る。一対のプローブ５７、５８は、細径（直径 0.3 mm
程度）の線状をなし、各下部がホルダ５５、５６を軸方
向に摺動可能に貫通支持され、先端５７ａ、５８ａが各
ホルダ５５、５６の先端から所定の長さ（例えば、４〜
５ mm 程度）突出してベアボードの導体パターンに接触
可能とされ、各上端近傍がピン５９、６０を介して上端
部４４ａに固定され且つ各上端が接続端子６１、６２に
接続されている。

【００２０】プローブ５７、５８は、図５に示すように
前面視略Ｖ状をなし、各先端５７ａ、５８ａが当接する
程度の極めて僅かな間隙を存して対向し、各上端が所定
の角度γ（例えば、８°程度）で開いて配置されてい
る。これらのプローブ５７、５８は、ピアノ線等の弾性
を有する導電線材により形成され、先端５７ａ、５８ａ
が尖っている。そして、モータ５１、及び各接続端子６
１、６２は、制御装置８１（図１）に接続される。

【００２１】他の平面モータ８〜１０、１１〜１４（図
１）に取り付けられたプローブ装置１６〜１８、１９〜
２２もプローブ装置１５と同様に構成されている。そし
て、上側の４台のプローブ装置１５〜１８の中の例え
ば、対向する２台のプローブ装置１６、１７の各ハウジ
ング４０の一側の所定位置には、夫々ベアボードを位置
決め停止させるべく当該ベアボードの所定の箇所を検出
するための位置検出用のカメラ７０が、そのレンズ面を
真下に臨ませて垂直に配置されており、各プローブ装置
１６、１７の近傍には、各プローブの先端の位置を監視
するための監視カメラ７１（図２）が取り付けられてい
る。

【００２２】尚、位置検出用のカメラ７０、監視カメラ
７１は、各プローブ装置に設ける必要はなく、ベルトコ
ンベア３０の上方即ち、ベアボードの上方に位置し且つ
当該ベアボードの前端側に位置する２台のプローブ装置
の中の１台に設ければ十分である。また、下側の４台の
平面モータに取り付けられる各プローブ装置（図示せ
ず）は位置検出用カメラ、監視カメラを設けなくとも良
い。

【００２３】そして、上側の４台の平面モータ７〜１０
は、プラテン５の下方に、各プローブ装置１５〜１８が
夫々当該プラテンの中央に臨み、且つ各プローブの先端
が下方に位置するベルトコンベア３０上に載置されたベ
アボードの上面に対して夫々所定の角度α（約６°）を
なして斜め下方に臨んで配置される（図３）。下側の４
台の平面モータ１１〜１４は、プラテン６上に、各プロ
ーブ装置が夫々当該プラテン６の中央に臨み、且つ各プ
ローブの先端が上方に位置する前記ベアボードの下面に
対して夫々前記所定の角度αをなして斜め上方に臨んで
配置される。

【００２４】上側のプローブ装置１５〜１８は、前述し
たように夫々平面モータ７〜１０のＸ軸、Ｙ軸方向に対
して４５°の角度をなし、且つ各プローブの先端がベア
ボードに立てた垂線に対して前記所定の角度θをなして
傾斜している。従って、これら４台のプローブ装置１５
〜１８は、互いに干渉することなく任意の一点に集中さ
せることができる。即ち、各プローブの先端が、ベアボ
ードの上面の任意の導体パターンの１点Ｐの範囲（直径
約0.1〜0.2 mmの円内）に集中可能とされる。或いは僅
かな間隔ｑ（例えば、0.2 mm 程度）のピッチで交互に
一列に並んで配置可能とされる。下側の４台のプローブ
装置１９〜２２についても同様である。

【００２５】図１に戻り、ベルトコンベア３０は、前行
程からベアボードを当該基板検査装置１内に搬入するた
めのコンベア３０ａ、このコンベア３０ａにより搬入さ
れたベアボードを所定の検査位置まで搬送し、検査中当
該位置に停止保持し、検査終了後搬出するコンベア３０
ｂ、コンベア３０ｂにより搬送されてきたベアボードを
次の行程に搬送するためのコンベア３０ｃ等により構成
されている。

【００２６】更に図１に示すように、筺体２内には、平
面モータ７〜１４を夫々各別に駆動制御するための制御
装置８０、各プローブ装置１５〜２２の駆動用モータを
制御して各プローブを上下動させるための制御装置８
１、平面モータ７〜１０をプラテン５の原点位置に、平
面モータ１１〜１４をプラテン６の原点位置に夫々復帰
させるための各原点復帰装置２５、ベルトコンベア３０
等を制御するための制御装置８２、各プローブ装置１５
〜２２からの信号を入力して基板を検査するための計測
装置８３、及びこれらの各制御装置８０〜８２、計測装
置８３を制御するためのコンピュータ８４等が収納され
ている。

【００２７】また、フレーム３上にはプローブ装置１５
に設けられた監視カメラ７１により撮影したプローブの
先端と検査基板とを表示するディスプレイ装置、検査基
板を検査するための各種の入力データ、検査結果等を表
示するためのディスプレイ装置（何れも図示せず）等が
載置されている。また、検査エラーや平面モータの脱調
等を警告するディスプレ装置も設置されている。更に、
筺体２には検査基板のデータ、検査項目等を入力した
り、コンピュータ８４を制御するための図示しない入力
装置（キーボード）が配置されている。尚、ディスプレ
イ装置は、必ずしも結果を画面に表示するものに限るも
のではなく、ランプ等により表示するようにしても良
い。

【００２８】そして、平面モータ７〜１４は、制御装置
８０に、プローブ装置１５〜２２は、制御装置８１、計
測装置８３に夫々図示しないケーブルにより接続されて
いる。また、平面モータ７〜１４は、夫々エアホースを
介して高圧空気源（共に図示せず）にも接続されてい
る。フレーム３と各平面モータ７〜１４の間にはケーブ
ル保護可撓管９１〜９８（図１、図２）が略水平に取り
付けられている。これらのケーブル保護可撓管９１〜９
８は、各基端がフレーム３に、各先端が夫々平面モータ
７〜１４に固定されており、フレーム３と平面モータ７
〜１４との間における前記ケーブル及びエアホースを収
納し、各平面モータ７〜１４のケーブル及びエアホース
が、他の平面モータ、フレーム３、プラテン６、ベルト
コンベア３０等に干渉することなく、且つ各平面モータ
７〜１４の走行に応じて自由に湾曲して追従し得るよう
に支持している（図２に２点鎖線で示す）。これにより
平面モータ７〜１４は、夫々自由に走行可能とされる。

【００２９】以下に作用を説明する。基板検査装置１
は、待機状態において、図２に示すように平面モータ７
〜１０及び１１〜１４がプラテン５及び６の四隅即ち、
各原点位置に停止している。例えば、平面モータ７〜１
０は、夫々プラテン５の四隅の各原点位置に停止してい
る。尚、これらの平面モータ７〜１０、１１〜１４は、
高圧空気が供給されないときには前述したように永久磁
石によりプラテン５、６に強力に吸着されて保持されて
いる。また、プローブ装置１５〜２２は、夫々プローブ
が後退しており、各先端がベルトコンベア３０から上下
に所定距離離隔している。

【００３０】さて、ベアボードの検査を開始すべく前記
入力装置が操作されると、制御装置８０が平面モータ７
〜１４に駆動電流を供給して、これらの平面モータ７〜
１４を所定の検査位置まで高速走行させ、当該位置に正
確に位置決め停止させる。一方、制御装置８２は、ベル
トコンベア３０ａを駆動してベアボード（図示せず）を
基板検査装置１内に搬入し、更にベルトコンベア３０ｂ
を駆動して当該基板検査装置１の中央に向かって搬送す
る。そして、平面モータ７の位置検出用カメラ７０が前
記ベアボードの所定箇所例えば、前端を検出すると、制
御装置８２がベルトコンベア３０ａ、３０ｂを停止させ
る。これによりベアボードが所定の検査位置に搬送され
る。

【００３１】次に、制御装置８１がプローブ装置１５〜
２２の各駆動用モータを駆動し、各プローブの各先端を
ベアボードの導通パターンの所定の検査箇所に接触させ
る。プローブ装置１５のホルダ４３が下降し、プローブ
５７、５８の各先端５７ａ、５８ａが導体パターンの所
定の箇所に接触すると、当該導体パターンにより導通す
る。即ち、制御装置８１は、プローブ装置１５のプロー
ブ５７と５８とが接触していないことを確認した後、プ
ローブ５７と５８とを所定位置まで下降させて停止さ
せ、次に、計測装置８３が導体パターンによりプローブ
５７と５８とが導通するか否かを確認する。これにより
プローブ５７、５８が導体パターンに接触したことが確
認される。

【００３２】ホルダ４３は、プローブ５７、５８の先端
５７ａ、５８ａが導体パターンに接触してから停止する
までの僅かな間下降し、この結果、プローブ５７、５８
が導体パターンから反力を受ける。プローブ５７、５８
は、弾性を有し、しかも、ベアボードの板面に対して図
４及び図５に示すように斜め方向から導体パターンに接
触するために先端５７ａ、５８ａに反力が加わると、ホ
ルダ５５、５６の上端とピン５９、６０との間部分が図
５に２点鎖線で示すように容易に湾曲して座屈し、先端
５７ａ、５８ａが導体パターンに接触してから停止する
までのストロークを吸収する。しかも、プローブ５７、
５８は、弾性力により先端５７ａ、５８ａがベアボード
に与える影響を小さく、且つ同時に導体パターンに圧接
し、接触不良が防止される。これによりプローブ５７、
５８が導体パターンに接触した状態に保持される。

【００３３】これにより計測装置８３は、ベアボードの
導体パターンの断線、短絡等の検査をする前に、プロー
ブ５７、５８が夫々所定の導体パターンに確実に接触し
たことをワンタッチで判定する。そして、計測装置８３
は、プローブ装置１５〜１８の各プローブがベアボード
の導体パターンの所定の箇所に確実に接触したことを判
定した後、これらのプローブ装置１５〜１８からの信号
により導体パターンのショート・オープンの検査を行
う。

【００３４】制御装置８１は、プローブ装置１５による
当該箇所の検査が終了すると、モータ５１を駆動してホ
ルダ４３を上昇させ、これに伴いプローブ５７、５８が
導体パターンから離隔する。プローブ５７、５８は、先
端５７ａ、５８ａが導体パターンから離隔すると、弾性
力により元の真っ直ぐな形状に復帰する。ホルダ４３が
所定位置まで上昇すると、制御装置８１は、モータ５１
を停止させる。これによりホルダ４３即ち、プローブ５
７、５８は、ベアボードの導体パターンから所定の高さ
だけ離隔する。更に、制御装置８１は、検査後のプロー
ブ５７と５８との短絡を発見するために導体パターンか
ら離隔した後非導通であることを確認する。これにより
検査の信頼性が高められる。他のプローブ装置１６〜１
８についても同様である。

【００３５】次いで、制御装置８０が、各平面モータ７
〜１４をベアボードの次の検査箇所まで高速走行させ
る。制御装置８１は、平面モータ７〜１４が当該検査箇
所に停止すると、プローブ装置１５〜１８の各プローブ
の先端を前記ベアボードの導体パターンの所定の箇所に
接触させる。そして、当該箇所において各プローブの導
通を検出して確実に導体パターンに接触していることを
判定した後、当該導体パターンのショート・オープンを
検査する。このようにしてプローブ装置１５〜２２を移
動させて前記ベアボードの導体パターンのショート・オ
ープン検査を順次実行する。

【００３６】そして、前記ベアボードの導体パターンの
全てのショート・オープン検査が終了すると、制御装置
８１が各プローブ装置を当該ベアボードから離隔させ、
次に搬入されて来るベアボードの検査を行うべく待機す
る。制御装置８２は、前記ベアボードの検査が終了する
と、ベルトコンベア３０ｂ、３０ｃを駆動して当該ベア
ボードを次の行程に搬送する。

【００３７】尚、ベアボードの検査の内容によっては、
上下何れか一側のプローブ装置例えば、上側のプローブ
装置１５〜１８だけで行う場合もあり、更に、４台のプ
ローブ装置１５〜１８の中の所定の２乃至３台のプロー
ブ装置を使用して検査を行う場合もある。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、プ
ローブは、弾性を有する線材で形成されているために各
先端がベアボードの導体パターンに接触すると湾曲して
座屈する。これによりプローブの各先端が導体パターン
に接触する際にベアボードに与える衝撃が小さくなると
共に導体パターンに良好に接触する。従って、ベアボー
ドの導体パターンのショート・オープン検査を行う前に
各プローブの先端が当該導体パターンに確実に接触した
ことを判定することができ、前記導体パターンのショー
ト・オープンを確実に検査することができ、信頼性の向
上が図られる。

【００３９】請求項２では、プローブの先端を導体パタ
ーンに対して斜め方向から接触させることにより、接触
した際に座屈し易くなり、ベアボードに与える衝撃が小
さくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板検査用プローブ装置を備えた
基板検査装置の一実施例を示す正面図である。

【図２】図１の矢線II−II方向から見た下面図である。

【図３】本発明に係る基板検査用プローブ装置の一実施
例を示す側面図である。

【図４】図３のプローブ装置の一部切欠要部拡大図であ
る。

【図５】図４の正面図である。

【符号の説明】

１ 基板検査装置 ５、６ プラテン ７〜１４ 平面モータ １５〜２２ プローブ装置 ３０ ベルトコンベア ４０ ハウジング ４１ ブラケット ４２ ＬＭガイド ４３ ホルダ ４４ プローブホルダ ４７〜４９、５２、５３ 歯付プーリ ５０、５４ 歯付ベルト ５１ モータ ５５、５６ ホルダ ５７、５８ プローブ ６１、６２ 接続端子 ７５、７６ カメラ ８０〜８２ 制御装置 ８３ 計測装置 ８４ コンピュータ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 水平に支持されたベアボードの任意の箇
   所に移動可能な移動体に昇降自在に設けられ、前記ベア
   ボードの導体パターンに一対のプローブの先端を接触さ
   せて検査を行う基板検査用プローブ装置において、 前記一対のプローブは、弾性を有する線状部材により形
   成され、各基端がプローブホルダに固定され、各先端近
   傍が筒状のホルダに軸方向に摺動可能に貫通支持され、
   各先端が前記導体パターンに接触した際に座屈すること
   を特徴とする基板検査用プローブ装置。
2. 【請求項２】 前記一対のプローブは、前記ベアボード
   の板面に対して傾斜して配置され、前記導体パターンに
   斜め方向から接触することを特徴とする請求項１に記載
   の基板検査用プローブ装置。