JPH08233891A - ベアボード支持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ベアボードの検査時にベアボードの反りを防
止する。 【構成】 水平に支持されたベアボードの任意の箇所に
移動可能な移動体に設けた検査用プローブ装置のプロー
ブをベアボードの導体パターンの所定箇所に接触させて
検査を行う基板検査装置の、前記移動体の前記プローブ
装置の近傍にベアボード１００に臨んで所定の間隔を存
して取り付けられ、平板状をなし内部に高圧空気が導入
される空気室５６ａとこの空気室に連通し且つベアボー
ドに臨む面に開口する複数の小室５６ｂ、５７ａが形成
されたベアボード支持部５１と、ベアボード支持部の各
小室に夫々回転可能に収納されて高圧空気により開口端
から突出してベアボードに当接して支持する複数のボー
ル５８とを備えた構成としたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線板（以下
「ベアボード」という）の導体パターンを検査する際に
ベアボードの反りを防止するベアボード支持装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】プリント回路板は、電子回路部品が実装
されて電子機器に組み込まれ、完成品となるまでに、各
段階で様々の検査を受ける。即ち、プリン配線板単体の
状態で行うショート、オープンの検査（ベアボードテス
ト）、回路部品搭載後に行う搭載の有無、極性の検査
（実装検査）、ハンダ付け後に行うショート、オープン
の検査（インサーキットテスト）、その後機能検査（フ
ァンクションテスト）を行い、最後に機器に組み込んで
からシステムとしての性能検査が行われる。

【０００３】ベアボードの検査は、導体パターンやスル
ーホールのショート、オープンを電気的に検査するもの
で、通常ベアボードの所定箇所にスプリング付のコンタ
クトプローブと呼ばれるピンを接触させて、電気的に導
体パターンの接続状態を検出する自動検査装置により行
われる。また、表面実装用のベアボードは、部品取付用
の孔がないために片面からでは検査することができない
箇所が出てくる。従って、このようなベアボードに対し
ては、両面から挟み込んで検査を行う冶具等が使用され
る。

【０００４】ベアボード自動検査装置としては、ベルト
コンベア等の搬送機構を備え、ベアボードを検査部に搬
入し、検査終了後次工程に搬送するようにしたものがあ
る。このような自動検査装置では、ベアボードの左右両
側部を搬送機構に載置して水平に支持し、検査時にプロ
ーブが搬送機構に干渉しないようにしている。一方、ベ
アボードは、通常複数枚（例えば、６枚分）が一体に形
成されて一枚の大きなボードになっているために、前記
搬送機構に載置された際に自重により僅かに反りを起こ
す。更に、検査時にスプリング等のばね力により導体パ
ターンにプローブを接触させるためにベアボードに荷重
が加わり、反りが大きくなり、プローブの接触が不安定
になり接触不良を起こし易く、特に、板厚の薄いベアボ
ードにおいては著しい。

【０００５】そこで、ベアボード検査部の下方にベアボ
ードを支持するための支持棒を備えたベアボード支持機
構を設け、検査時にベアボードを下側から複数箇所で支
持して水平に保持し、プローブが導体パターンに接触し
た際にベアボードが反ることを防止するようにしてい
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ベアボード支持機構は、ベアボードの下面を複数箇所で
支持棒等により押し上げて支持するようにしているため
に、プローブが接触するベアボードの各検査箇所の下
面、或いはその近傍を支持することが困難である。しか
も、ベアボードの搬入搬出の際には支持棒を下げ、検査
時には上げる必要があるために、構造が複雑となり、ベ
アボードの多数の各検査箇所毎に、或いはその近傍に支
持棒等を配置することは極めて困難であり、更に大きさ
の異なる種々のベアボードに良好に対処することは不可
能である。また、ベアボードの下側から支持棒等により
支持する構造では、両面に導体パターンが形成されたベ
アボードの検査を行うことができないという問題もあ
る。

【０００７】本発明は、上述の点に鑑みてなされたもの
で、ベアボードの検査プローブ装置を移動する移動体に
設けられ、プローブがベアボードの導体パターンに接触
した際に当該ベアボードの反りを防止するようにしたベ
アボード支持装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明によれば、水平に支持されたベアボードの任意
の箇所に移動可能な移動体に設けた検査用プローブ装置
のプローブを前記ベアボードの導体パターンの所定箇所
に接触させて検査を行う基板検査装置の、前記移動体の
前記プローブ装置の近傍に前記ベアボードに臨んで所定
の間隔を存して取り付けられ、平盤状をなし内部に高圧
空気が導入される空気室と当該空気室に連通し且つ前記
ベアボードに臨む面に開口する複数の小室が形成された
ベアボード支持部と、前記ベアボード支持部の各小室に
夫々回転可能に収納され前記高圧空気により各開口端か
ら突出して前記ベアボードに当接して支持する複数のボ
ールとを備えた構成としたものである。

【０００９】請求項２では、前記移動体は、前記ベアボ
ードの上下両側に配置され、前記ベアボード支持装置
は、前記各移動体に夫々前記ベアボードに臨んで設けら
れ当該ベアボードを上下両側から支持する構成としたも
のである。請求項３では、前記ベアボード支持装置は、
前記ベアボード支持部を昇降させる駆動機構を更に備
え、当該駆動機構は、少なくとも前記プローブを導体パ
ターンに接触させる時に前記ベアボード支持部を前記ベ
アボードに当接させる構成としたものである。

【００１０】請求項４では、前記ボールを絶縁性を有す
る部材で形成したものである。

【００１１】

【作用】ベアボード支持装置は、プローブ装置を備えた
移動体と共にベアボードの検査すべき所定箇所に移動
し、各ボールが当該ベアボードに当接して支持する。こ
の状態においてプローブ装置のプローブがベアボードの
導体パターンに接触する。ベアボード支持装置は、ベア
ボードのプローブが接触する近傍を支持しており、従っ
て、プローブが導体パターンに接触した際にベアボード
の反りが防止される。これによりプローブが導体パター
ンに良好に接触する。

【００１２】請求項２では、ベアボードの上下両側に配
置された移動体に夫々ベアボードに臨んでベアボード支
持装置を設けてベアボードを上下両側からサンドイッチ
状に支持する。これによりベアボードが水平に支持され
る。請求項３では、ベアボード支持装置は、駆動機構に
より昇降され、少なくとも前記プローブが導体パターン
に接触する時に前記ベアボード支持部を前記ベアボード
に当接させて支持する。

【００１３】請求項４では、ベアボードに当接するボー
ルは、絶縁性を有しており、導体パターン間を短絡する
ことはない。

【００１４】

【実施例】以下本発明の一実施例を添付図面に基づいて
詳述する。図１は、ベアボード検査プローブ装置を搭載
した移動体に本発明に係るベアボード支持装置を搭載し
た基板検査装置１の正面図、図２は、図１の側面図、図
３は、図２の矢印III−III方向から視た下面図である。
図１乃至図３において基板検査装置１は、筺体２と、筺
体２上に設置されたフレーム３と、フレーム３の四隅の
各支柱４の上端に水平に載置固定されたプラテン５と、
筺体２上面に且つプラテン５と対向して水平に配設固定
されたプラテン６と、プラテン５及び６に夫々複数台例
えば、４台づつ配置された平面モータ７〜１０及び１１
〜１４と、これらの平面モータ７〜１０及び１１〜１４
に取り付けられたプローブ装置１５〜１８及び１９〜２
２と、プラテン５と６との略中間位置に水平に、且つフ
レーム３の中央を左右方向に貫通して配置され、左右両
側が各支柱４に支持されてベアボードを水平に搬送する
搬送機構例えば、ベルトコンベア３０等により構成され
ている。

【００１５】プラテン５は、平盤状をなし高透磁率を有
する純鉄の厚板により構成されており、下面５ａに所定
の溝幅の溝が、所定のピッチで、横（Ｘ軸）方向、縦
（Ｙ軸）方向（図３）に、且つ所定の深さで全面に亘り
正確に刻設されて、多数の歯が形成された歯形板状の鉄
心とされている。プラテン６もプラテン５と同様に形成
されており、プラテン５の歯形板状の下面５ａと対向す
る上面６ａ（図２）が歯形板状とされている。

【００１６】プラテン５の四隅には、平面モータ７〜１
０を各原点位置（当該プラテン５の四隅）に正確に復帰
させるための原点復帰装置２５（図３）が設けられてい
る。プラテン６にも同様に平面モータ１１〜１４を原点
位置に正確に復帰させるための原点復帰装置（図示せ
ず）が設けられている。更に、筺体２の上面にはプラテ
ン５の両側中央位置に隣接して平面モータ７〜１０をプ
ラテン５に搬入し、又はプラテン５から搬出するための
入出部２６、２６’が設けられている。これらの入出部
２６、２６’は、平面モータ７よりも僅かに大きいアル
ミニウム或いは合成樹脂部材等の非磁性部材の平板によ
り形成されており、下面がプラテン５の下面５ａと同一
面とされている。

【００１７】平面モータ７は、正方形状の非磁性部材例
えば、アルミニウムにより形成されたハウジング４０
（図３）内にプラテン５の下面５ａに沿ってＸ軸方向に
走行するための電磁石と、Ｙ軸方向に沿って走行するた
めの電磁石（図示せず）が収納されている。そして、各
電磁石の鉄心の各上面には夫々所定幅の溝が刻設された
鉄心が設けられ、プラテン５の下面５ａの歯形と対向可
能とされている。更に、平面モータ７は、Ｘ軸方向、Ｙ
軸方向への走行用の各電磁石内に夫々極めて強力な永久
磁石（図示せず）が配設されており、これらの永久磁石
は、前記電磁石と協働して前記Ｘ軸、Ｙ軸方向への推力
を得ると共に、プラテン５と閉磁路を形成して当該プラ
テン５の下面５ａにハウジング４０を強力に吸着させる
機能を有している。

【００１８】ハウジング４０の上面の所定箇所には夫々
スリットが形成されており、各スリットの中央には夫々
小孔の各一端が開口されている（共に図示せず）。これ
らの小孔の各他端は、ハウジング内で纏められ、エアホ
ースを介して高圧空気源（図示せず）に接続される。そ
して、前記各小孔から高圧の空気が噴出され、ハウジン
グ４０を前記永久磁石の吸引力に抗してプラテン５の下
面５ａから僅かな間隙（例えば、１０μｍ程度）を存し
て水平に離隔させる。これにより平面モータ７は、プラ
テン５の下面５ａとの間に前記僅かな間隙を存して即
ち、空間に浮いた状態で自由に走行可能とされる。

【００１９】他の平面モータ８〜１４も平面モータ７と
同様に構成されている。そして、上側の４台の平面モー
タ７〜１０は、プラテン５の下側に空間に浮いた状態で
水平に保持される。また、下側の４台の平面モータ１１
〜１４は、プラテン６上に僅かな間隙を存して空間に浮
いた状態で水平に保持される。このようにして、上側の
４台の平面モータ７〜１０は、プラテン５の下側を、下
側の４台の平面モータ１１〜１４は、プラテン６上を、
夫々各別にＸ軸及びＹ軸方向に水平に走行可能とされ
る。

【００２０】平面モータ７〜１０、１１〜１４の下面に
は、ベアボードの導体パターンの断線、短絡を検査する
プローブ装置１５〜１８、１９〜２２が搭載されてい
る。これらのプローブ装置１５〜２２は、各平面モータ
７〜１４の走行方向即ち、Ｘ軸及びＹ軸方向に対して所
定の角度例えば、４５°の角度をなして（図３）配置さ
れている。

【００２１】図４及び図５に平面モータ７に取り付けら
れたプローブ装置１５とベアボード支持装置５０を示
す。図においてブラケット４１は、上面がハウジング４
０の下面に前記４５°の角度をなして固定されており、
前端面４１ａの一側には上下方向にＬＭガイド４２が固
定されている。プローブ装置１５のプローブホルダ４３
は、ＬＭガイド４２に昇降可能に装着されており、当該
プローブホルダ４３にプローブ４４が設けられている。
ブラケット４１内には駆動用モータ４５が収納されてお
り、当該モータ４５の軸は、前端面４１ａに穿設された
軸孔を遊貫し、伝達機構４６を介してプローブホルダ４
３に連結されている。モータ４５は、プローブホルダ４
３を下降又は上昇させ、プローブ４４をベアボード１０
０の導体パターン（図示せず）に接触又は離隔させる。

【００２２】ベアボード支持装置５０は、支持部本体５
１と駆動機構５２とにより構成されており、支持部本体
５１は、ブラケット４１の側壁４１ｂの前端近傍に上下
方向に設けられたＬＭガイド５３に昇降可能に装着され
ている。支持部本体５１は、平面視略正方形の盤状をな
し、プローブ装置１５のプローブホルダ４３の下方に配
置され、先端の隅部は、プローブ４４が遊貫して昇降可
能な切欠５１ａ（図５、図６）が設けられている。

【００２３】支持部本体５１は、図７に示すように上板
５５、中板５６、底板５７及びボール５８等により構成
されている。上板５５は、上面一側にアーム５５ａが一
体に形成されおり（図６）、中央寄りの所定位置に穿設
された孔５５ｂには継手５９が気密に螺着されている。
中板５６は上面に略外径に沿って凹部５６ａが設けられ
ており、当該凹部５６ａの底面には孔５６ｂが所定の間
隔で格子状に複数例えば、８個穿設されている。この孔
５６ｂは、凹部５６ａの底から下面に臨んで拡径する円
錐形状をなしている。

【００２４】底板５７は、中板５６の各孔５６ｂと対応
して孔５７ａが穿設されており、これらの孔５７ａは、
下面から上面に臨んで拡径する円錐形状をなしている。
更にこれらの孔５７ａの下面の開口端には図８に示すよ
うに切欠５７ｂが複数例えば、周方向に沿って等間隔で
４箇所設けられている。ボール５８は、中板５６と底板
５７の対向する各孔５６ｃと孔５７ａとにより形成され
る各小室内に僅かな間隙を存して回転可能に収納されて
おり、一部（下部）が孔５７ａの開口端から底板５７の
下面から僅かに突出している。この状態において孔５７
ａの各切欠５７ｂは、ボール５８により塞がれることは
ない。

【００２５】中板５６と底板５７とはねじ６０により気
密に固定され、中板５６と上板５５とは、ねじ６１によ
り気密に固定される。中板５６の凹部５６ａは、上板５
５により気密に閉塞されて空気室（以下「空気室５６
ａ」という）とされる。この空気室５６ａは、上板５５
の継手５９に連通されている。そして、底板５７の各孔
５７ａの各切欠５７ｂは、図７に矢印で示すように前記
高圧空気の排出口とされる。

【００２６】尚、上板５５及び中板５６は、アルミニウ
ム部材等の軽量な金属部材により、底板５７は、軽量且
つベアボードの導体パターンの短絡を防止するために絶
縁部材例えば、樹脂部材により形成されており、ボール
５８は、軽量且つ前記導体パターンの短絡を防止するた
めに絶縁性、及び耐摩耗性を有する例えば、セラミック
部材により形成されている。

【００２７】上板５５のアーム５５ａは、前述したよう
にＬＭガイド５３に昇降可能に装着されており、当該ア
ーム５５ａの上端にはラック６３（図４、図９）が固定
されている。ブラケット４１の側壁４１ｂの略中央には
長手方向に沿って略水平に回転軸６４が配置され軸受６
５、６５により回転可能に支持されている。この回転軸
６４の一端にはラック６３と噛合するギヤ６６が、他端
にはウォーム６７が固定されている。

【００２８】ブラケット４１内には図５に示すように駆
動用のモータ６８が収納されており、その回転軸は、側
壁４１ｂに穿設された軸孔を遊貫して側方に突出し、ウ
ォーム６７と噛合するギヤ６９が固定されている（図１
０）。モータ６８の回転は、ギヤ６９、ウォーム６７、
回転軸６４、ギヤ６６を介してラック６３に伝達され、
支持部本体５１を水平に昇降させる。これらのラック６
３、回転軸６４、ギヤ６６、６７、６９及びモータ６８
により駆動機構５２が構成されている。

【００２９】また、ラック５３の上端にはドッグ７０
（図４）が固定されており、ブラケット４１の側壁４１
ｂの上端所定位置にはドッグ７０を検出するためのセン
サ７１が固定されている。このセンサ７１は、支持部本
体５１を上動させてベアボードから離隔させるときにそ
の上限位置を検出して、当該位置に停止させるためのも
のである。そして、プローブ４４、モータ４５、６８、
センサ７１等は、後述する制御装置８１（図１）に接続
される。また、支持部本体５１の継手５９は、エアホー
スを介して基板検査装置１の外部に設置されている高圧
空気原（共に図示せず）に接続される。

【００３０】他の平面モータ８〜１０、１１〜１４（図
１）に取り付けられたプローブ装置１６〜１８、１９〜
２２もプローブ装置１５と同様に構成されている。そし
て、これらの各平面モータ８〜１０、１１〜１４の各ハ
ウジングには夫々各プローブ装置１６〜１８、１９〜２
２と共に前述したベアボード支持装置５０が設けられて
いる。そして、上側の４台の平面モータ７〜１０は、プ
ラテン５の下方に、各プローブ装置１５〜１８が夫々当
該プラテンの中央に臨み（図３）、且つ各プローブの先
端が下方に位置するベルトコンベア３０上に載置された
ベアボードの上面に対して夫々所定の角度をなして斜め
下方に臨んで配置される（図４）。下側の４台の平面モ
ータ１１〜１４は、プラテン６上に、各プローブ装置１
９〜２２が夫々当該プラテン６の中央に臨み、且つ各プ
ローブの先端が上方に位置する前記ベアボードの下面に
対して夫々前記所定の角度をなして斜め上方に臨んで配
置される。

【００３１】上側のプローブ装置１５〜１８は、前述し
たように夫々平面モータ７〜１０のＸ軸、Ｙ軸方向に対
して４５°の角度をなして中央に臨み、且つ各プローブ
の先端がベアボードに立てた垂線に対して前記所定の角
度をなして傾斜している。従って、これら４台のプロー
ブ装置１５〜１８は、図１１に示すように互いに干渉す
ることなく任意の一点に集中させることができ、各プロ
ーブ４４の先端が、ベアボードの上面の任意の箇所の極
めて小さい範囲（直径約0.1〜0.2 mmの円内）に集中可
能とされる。そして、この集中した状態において各ベア
ボード支持装置５０は、僅かな間隙を存して離隔し互い
に干渉することがない。尚、プローブ装置１５〜１８
は、僅かな間隔（約0.2 mm）で一列に並んで配置するこ
とも可能とされる。下側の４台のプローブ装置１９〜２
２についても同様である。

【００３２】図１に戻り、ベルトコンベア３０は、前工
程からベアボードを基板検査装置１内に搬入するための
コンベア３０ａ、このコンベア３０ａにより搬入された
ベアボードを所定の検査位置まで搬送し、当該検査位置
に停止保持し、検査終了後搬出するコンベア３０ｂ、コ
ンベア３０ｂにより搬送されてきたベアボードを次の工
程に搬送するためのコンベア３０ｃにより構成されてい
る。コンベア３０ａ、３０ｃは、ベアボードの左右両側
を載置して水平に搬送し、コンベア３０ｂは、ベアボー
ドの左右両側を載置すると共にこれら両側部の上面を押
さえ付けて挟持し、停止位置に固定して検査中に位置ず
れすることを防止する。

【００３３】更に図１及び図２に示すように、筺体２内
には、平面モータ７〜１４を夫々各別に制御するための
制御装置８０、各プローブ装置１５〜２２の駆動用モー
タを制御して各プローブを上下動させるための制御装置
８１、平面モータ７〜１０をプラテン５の原点位置に、
平面モータ１１〜１４をプラテン６の原点位置に夫々復
帰させるための各原点復帰装置２５（図３）、コンベア
３０等を制御するための制御装置８２、各プローブ装置
１５〜２２からの信号を入力してベアボードを検査する
ための計測装置８３、及び各制御装置８０〜８２、計測
装置８３を制御するためのコンピュータ８４等が収納さ
れている。

【００３４】また、フレーム３上には所定のプローブ装
置に設けられた監視カメラ（図示せず）により撮影した
プローブの先端と検査基板とを表示するディスプレイ装
置、ベアボードを検査するための各種の入力データ、検
査結果等を表示するためのディスプレイ装置（何れも図
示せず）が載置されている。また、検査エラーや平面モ
ータの脱調等を警告するディスプレ装置も設置されてい
る。更に、筺体２には検査基板のデータ、検査項目等を
入力したり、コンピュータ８４を制御するための図示し
ない入力装置（キーボード）が配置されている。

【００３５】そして、平面モータ７〜１４は、制御装置
８０に、プローブ装置１５〜２２は、制御装置８１、計
測装置８３に夫々図示しないケーブルにより接続されて
いる。また、平面モータ７〜１４は、夫々エアホースを
介して高圧空気源（共に図示せず）にも接続されてい
る。フレーム３と各平面モータ７〜１４の間にはケーブ
ル保護可撓管９１〜９８（図１〜図３）が略水平に取り
付けられている。これらのケーブル保護可撓管９１〜９
８は、各基端がフレーム３に、各先端が夫々平面モータ
７〜１４に固定されており、フレーム３と平面モータ７
〜１４との間における前記ケーブル及びエアホース、ベ
アボード支持装置５０のエアホース等を収納し、各平面
モータ７〜１４のケーブル及びエアホース等が、他の平
面モータ、フレーム３、プラテン６、ベルトコンベア３
０等に干渉することなく、且つ各平面モータ７〜１４の
走行に応じて自由に湾曲して追従し得るように支持して
いる（図３に２点鎖線で示す）。これにより平面モータ
７〜１４は、夫々ベアボードの任意の位置に自由に走行
可能とされる。

【００３６】以下に作用を説明する。基板検査装置１
は、待機状態において、図１乃至図３に示すように平面
モータ７〜１０及び１１〜１４がプラテン５及び６の四
隅即ち、各原点位置に停止している。例えば、平面モー
タ７〜１０は、図３に示すように夫々プラテン５の四隅
の各原点位置に停止している。尚、これらの平面モータ
７〜１０、１１〜１４は、高圧空気が供給されないとき
には前述したように永久磁石によりプラテン５、６に強
力に吸着されて保持されている。また、プローブ装置１
５〜２２は、夫々プローブが後退して各先端がコンベア
３０から上下に所定距離離隔している。

【００３７】さて、ベアボードの検査を開始すべく前記
入力装置が操作されると、制御装置８０が平面モータ７
〜１４に駆動電流を供給して、これらの平面モータ７〜
１４を所定の検査位置まで高速走行させ、当該位置に正
確に位置決め停止させる。一方、制御装置８２は、コン
ベア３０ａを駆動してベアボード（図示せず）を基板検
査装置１内に搬入し、更にコンベア３０ｂを駆動して当
該基板検査装置１の中央に向かって搬送する。そして、
所定の平面モータに設けられている位置検出用カメラが
前記ベアボードの所定箇所例えば、前端を検出すると、
制御装置８２がコンベア３０ａ、３０ｂを停止させ、コ
ンベア３０ｂにベアボードを挟持固定する。これにより
ベアボードが検査位置に搬送される。

【００３８】尚、以後説明を分かり易くするためにベア
ボードの上下に対向して配置されている２台の平面メイ
ンモータ７、１１に設けられているプローブ装置１５、
１９及びベアボード支持装置５０、５０について説明す
る。次に、制御装置８１は、プローブ装置１５のベアボ
ード支持装置５０のモータ６８を駆動して、図４の２点
鎖線で示す下限位置まで支持部本体５１を下降させると
共に、支持部本体５１の空気室５６ａ（図７）に高圧空
気を供給する。空気室５６ａ内に導入された高圧空気
は、各孔５６ｂと５７ａとにより形成された各小室内に
入り込み、各ボール５８を各孔５７ａの開口端に押し付
けてベアボード１００の上面に当接させると共に、これ
らの孔５７ａの各切欠５７ｂから図７の矢印のように吹
き出してベアボード１００の上面を押圧する（図１
２）。

【００３９】下側のプローブ装置１９のベアボード支持
装置５０も上側のベアボード支持装置５０と同様に高圧
空気により各ボール５８をベアボード１００の下面に当
接させると共に、吹き出した空気により当該ベアボード
１００の下面を押圧する。このようにして図１２に２点
鎖線で示すように上下に対向して配置されたプローブ装
置１５、１９の各ベアボード支持装置５０、５０により
ベアボード１００を上下両側からサンドイッチ状に挟ん
で水平に支持する。

【００４０】次に、制御装置８１がプローブ装置１５の
駆動用モータ４５を駆動し、プローブ４４の先端をベア
ボード１００の導体パターンの所定の検査箇所に接触さ
せる。このとき導体パターンが上面にのみ形成されてい
るベアボードである場合、或いは両面に導体パターンが
形成されている場合でも、下側のプローブ装置１９のプ
ローブを下面の導体パターンに接触させる必要がない場
合には、プローブを当該ベアボード１００から離隔させ
ておく。ベアボード１００は、上下に配置されている支
持装置５０、５０により水平に支持されており、従っ
て、上側のプローブ装置１５のプローブ４４が導体パタ
ーンに接触しても下方に湾曲する（反る）ことが防止さ
れる。これによりプローブ４４を導体パターンに確実に
接触させることができる。ベアボード支持装置５０のボ
ール５８は、絶縁性の部材により形成されており、従っ
て、ベアボードの導体パターン間を短絡させることがな
く、プローブ装置１５による検査に支障を来すことはな
い。

【００４１】制御装置８１は、ベアボード１００の或る
箇所の検査が終了すると、プローブ装置１５のモータ４
５を駆動してプローブ４４を上昇させてベアボード１０
０から離隔させた後、平面モータ７、１１を駆動して次
の検査箇所に移動させる。このとき上下のベアボード支
持装置５０、５０は、各ボール５８が夫々ベアボード１
００の上下両面に高圧空気により当接されている。しか
しながら、これらのボール５８は、前述したように回転
可能に収納されており、従って、平面モータ７、１１の
移動に伴いベアボード１００の上下両面を軽く当接しな
がら転動する。これによりベアボード支持装置５０は、
ベアボードの表面や導体パターンを傷付けることなくベ
アボード１００に対して移動することができる。このよ
うにプローブ装置１５による或る箇所の検査終了後、ベ
アボード支持装置５０をベアボードから離隔させること
なく次の検査箇所に移動させることにより、測定時間の
短縮が図られる。

【００４２】制御装置８１は、ベアボード１００の全て
の検査箇所の検査が終了すると、プローブ装置１５のプ
ローブ４４を当該ベアボード１００から離隔させると共
に、ベアボード支持装置５０のモータ６８（図５）を駆
動して上限位置まで上動させ当該ベアボード１００から
離隔させた後、次に搬入されてくるベアボードの検査開
始位置に移動させて待機する。或いは、プラテン５の原
点に復帰させる。そして、検査が終了したベアボード
は、コンベア３０ｂ、３０ｃにより搬出されて次の工程
に搬送される。

【００４３】尚、ベアボードの検査の内容によっては、
前述したように上下何れか一側のプローブ装置例えば、
上側のプローブ装置１５〜１８だけで行う場合もあり、
更に４台のプローブ装置１５〜１８の中の２又は３台の
プローブ装置を使用して検査を行う場合もある。このと
き下側のプローブ装置１９〜２２も上側のプローブ装置
１５〜１８と対応して移動させ、上側及び下側のベアボ
ード支持装置５０によりベアボードを上下両側から支持
する。

【００４４】また、上記実施例では、ベアボードの導体
パターンの全ての検査箇所の検査が終了した後ベアボー
ド支持装置を当該ベアボードから離隔させるようにした
が、これに限るものではなく、１つの検査が終了する度
にベアボード支持装置をベアボードから離隔させて移動
体を次の検査箇所に移動させ、当該検査箇所においてベ
アボード支持装置をベアボードに当接させるようにして
も良いことは勿論である。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、検
査プローブ装置を搭載する移動体にベアボード支持装置
を設けることにより、他の部材と干渉することなく常に
ベアボードのプローブ装置の検査位置近傍を支持するこ
とができ、且つ導体パターンの何れの検査箇所も良好に
支持することができ、しかも、ベアボード及び導体パタ
ーンに傷を付けることがない。また、導体パターンの異
なる各種のベアボードに対しても何等支承無く対処する
ことができ、更に、両面に導体パターンが形成されたベ
アボードの検査装置にも適用することができ、汎用性に
優れている。更に構造が簡単である。

【００４６】請求項２では、ベアボードの上下両側に配
置された移動体に夫々ベアボードに臨んでベアボード支
持装置を設けてベアボードを上下両側からサンドイッチ
状に支持することにより、ベアボードを水平に支持する
ことができ、この結果、導体パターンにプローブを良好
に接触させることができ、検査精度及び信頼性が向上す
る。

【００４７】請求項３では、ベアボード支持装置を駆動
機構により昇降可能とし、少なくともプローブが導体パ
ターンに接触する時にベアボード支持部をベアボードに
当接させて支持することにより、測定時間の短縮を図る
ことが可能となる。請求項４では、ベアボードに絶縁性
のボールを当接させることにより検査時に導体パターン
間を短絡することがなく、導体パターンの断線、短絡の
検査を正確に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るベアボード支持装置を備えた基板
検査装置の一実施例を示す正面図である。

【図２】図１の側面図である。

【図３】図２の矢線III−III方向から見た下面図であ
る。

【図４】本発明に係るベアボード支持装置と検査プロー
ブ装置を搭載した移動体の側面図である。

【図５】図４の底面図である。

【図６】図４のベアボード支持装置の平面図である。

【図７】図６の矢線VII-VIIに沿う断面図である。

【図８】図７の底面図である。

【図９】図４の矢線IX-IXに沿う断面図である。

【図１０】図４の後端面図である。

【図１１】図３の４台の平面モータを集中させた場合の
各プローブ装置及びベアボード支持装置の位置関係を示
す拡大図である。

【図１２】本発明に係るベアボード支持装置によりベア
ボードを支持する場合の説明図である。

【符号の説明】

１ 基板検査装置 ２ 筺体 ３ フレーム ４ 支柱 ５、６ プラテン ７〜１４ 平面モータ １５〜２２ プローブ装置 ２５ 原点復帰装置 ２６、２６’ 入出部 ３０ ベルトコンベア ４０ ハウジング ４１ ブラケット ４２、５３ ＬＭガイド ４３ プローブホルダ ４４ プローブ ４５、６８ 駆動モータ ５０ ベアボード支持装置 ５１ 支持部本体 ５２ 駆動機構 ５５ 上板 ５６ 中板 ５７ 底板 ５８ ボール ５９ 継手 ６３ ラック ６４ 回転軸 ６６ モータ ６７〜６９ ギヤ ７０ ドッグ ７１ センサ ８０〜８２ 制御装置 ８３ 計測装置 ８４ コンピュータ ９１〜９８ ケーブル保護可撓管

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 水平に支持されたベアボードの任意の箇
   所に移動可能な移動体に設けた検査用プローブ装置のプ
   ローブを前記ベアボードの導体パターンの所定箇所に接
   触させて検査を行う基板検査装置の、 前記移動体の前記プローブ装置の近傍に前記ベアボード
   に臨んで所定の間隔を存して取り付けられ、平盤状をな
   し内部に高圧空気が導入される空気室と当該空気室に連
   通し且つ前記ベアボードに臨む面に開口する複数の小室
   が形成されたベアボード支持部と、 前記ベアボード支持部の各小室に夫々回転可能に収納さ
   れ前記高圧空気により各開口端から突出して前記ベアボ
   ードに当接して支持する複数のボールとを備えたことを
   特徴とするベアボード支持装置。
2. 【請求項２】 前記移動体は、前記ベアボードの上下両
   側に配置され、前記ベアボード支持装置は、前記各移動
   体に夫々前記ベアボードに臨んで設けられ当該ベアボー
   ドを上下両側から支持することを特徴とする請求項１に
   記載のベアボード支持装置。
3. 【請求項３】 前記ベアボード支持装置は、前記ベアボ
   ード支持部を昇降させる駆動機構を更に備え、当該駆動
   機構は、少なくとも前記プローブを導体パターンに接触
   させる時に前記ベアボード支持部を前記ベアボードに当
   接させることを特徴とする請求項１又は２に記載のベア
   ボード支持装置。
4. 【請求項４】 前記ボールは、絶縁性を有することを特
   徴とする請求項１に記載のベアボード支持装置。