JP6243346B2 - 基板生産状況監視装置 - Google Patents
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Description
2:カメラ部
3:動画保存用コンピュータ 4:外部ストレージメモリ
5:インプロセス品質管理システム(IPQCシステム)
51:データベースサーバ 52:データベース部
53:入出力装置
9:基板生産ライン
91、91A:部品実装機
911:部品供給フィーダ 912:部品供給リール
915:装着ヘッド 916、917:装着ノズル
92:基板外観検査機 93:リフロー機
94:ホストコンピュータ 99:共通ベース
Claims (8)
- 基板に所定の作業を施す基板用作業機器に設けられ、前記作業の実施状況を動画で撮像して動画データを出力するカメラ部と、
前記動画データを受け取り、保存して、表示するデータ操作部と、
前記基板用作業機器内で前記作業の実施条件が変化する変化事象、および前記作業が作業エラーとなる兆候を示すエラー兆候事象の少なくとも一方をトリガー事象として検出するトリガー事象検出部と、
前記トリガー事象検出部が前記トリガー事象を検出すると、前記カメラ部に動画撮像を開始させ、前記データ操作部に当該動画データを所定データ長単位で一時記憶させる撮像開始手段と、を備えた基板生産状況監視装置。 - 請求項1において、
前記作業エラーを検出する作業エラー検出部と、
前記作業エラー検出部が前記作業エラーを検出すると、当該作業エラーを検出した時点での前記所定データ長単位の前記動画データを前記データ操作部に保存させるデータ保存手段と、をさらに備えた基板生産状況監視装置。 - 請求項2において、
前記作業エラー検出部が前記作業エラーを検出すると、当該作業エラーを検出した時点での前記所定データ長単位の前記動画データを前記データ操作部に表示させるエラー時表示手段をさらに備えた基板生産状況監視装置。 - 請求項2または3において、前記撮像開始手段は、相対的に小記憶容量のバッファメモリに前記動画データを一時記憶し、前記データ保存手段は、相対的に大記憶容量の外部ストレージメモリに前記動画データを保存する基板生産状況監視装置。
- 請求項1〜4のいずれか一項において、
前記トリガー事象検出部が前記変化事象を検出してから所定時間が経過した後、および、前記トリガー事象検出部が検出していた前記エラー兆候事象が消失して正常動作範囲内に戻った後に、前記カメラ部に前記動画撮像を終了させ、前記データ操作部に前記動画データの一時記憶を終了させる撮像終了手段をさらに備えた基板生産状況監視装置。 - 請求項1〜5のいずれか一項において、
前記エラー兆候事象を発生させる要因の候補である要因候補、および当該要因候補を解消する対策の候補である対策候補を保持したデータベース部と、
前記トリガー事象検出部が前記エラー兆候事象を検出すると、当該エラー兆候事象を検出した時点での前記所定データ長単位の前記動画データを前記データ操作部に表示させ、当該エラー兆候事象に係る前記要因候補および前記対策候補を前記データベース部に表示させる兆候時表示手段と、をさらに備えた基板生産状況監視装置。 - 請求項1〜6のいずれか一項において、
前記基板用作業機器は、基板を搬送経路に沿って搬入し位置決めし搬出する基板搬送装置と、複数の部品を保持する部品供給リールを装備した部品供給フィーダを複数有して前記部品を供給する部品供給装置と、前記部品供給装置から前記部品を吸着して位置決めされた基板に装着する装着ノズルおよび前記装着ノズルを保持して移動する装着ヘッドを有する部品移載装置と、を備えた部品実装機を含み、
前記カメラ部は、前記部品実装機に設けられ、前記装着ノズルによる前記部品の吸着および装着の少なくとも一方の実施状況を動画で撮像して前記動画データを出力し、
前記変化事象は、前記部品供給フィーダ、前記装着ノズル、および前記装着ヘッドのいずれかを変更した事象、あるいは、前記部品供給リールを交換して部品ロットを変更した事象、あるいは、前記基板搬送装置、前記部品供給装置、および前記部品移載装置の少なくとも一装置で所定稼働時間が経過した事象、のいずれかを含み、
前記エラー兆候事象は、前記装着ノズルが前記部品を吸着するときの吸着精度低下、および前記装着ノズルが前記部品を装着するときの装着精度低下のいずれかを含む基板生産状況監視装置。 - 請求項7において、
前記基板用作業機器は、前記基板に装着された前記部品の位置および姿勢を検査する基板外観検査機を含み、
前記基板外観検査機は、前記トリガー事象検出部として前記部品が装着精度低下となる前記エラー兆候事象を検出し、前記作業エラーを検出する作業エラー検出部として前記部品が未装着または装着精度エラーとなる前記作業エラーを検出する基板生産状況監視装置。
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