JP2012094793A - ウエーハ支持プレート及びウエーハ支持プレートの使用方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウエーハを支持し搬送するためのウエーハ支持プレートであって、円形凹部から形成されウエーハを収容して支持するウエーハ支持部と、該円形凹部の底に形成された複数の貫通孔と、該ウエーハ支持部を囲繞し加工装置の搬送手段が作用するフレーム部と、を具備したことを特徴とする。
【選択図】図2
Description
18 チャックテーブル
24 切削手段
28 切削ブレード
30 ウエーハ支持プレート
32 円形凹部(ウエーハ支持部)
33 フレーム部
34 貫通孔
Claims (5)
- ウエーハを支持し搬送するためのウエーハ支持プレートであって、
円形凹部から形成されウエーハを収容して支持するウエーハ支持部と、
該円形凹部の底に形成された複数の貫通孔と、
該ウエーハ支持部を囲繞し加工装置の搬送手段が作用するフレーム部と、
を具備したことを特徴とするウエーハ支持プレート。 - 該円形凹部の底には滑り止めシートが配設されている請求項1記載のウエーハ支持プレート。
- ウエーハを保持する吸引力が作用する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハに所定の加工を施す加工手段と、該チャックテーブルにウエーハを搬入する第1搬送手段と、該チャックテーブルからウエーハを搬出する第2搬送手段とを具備した加工装置における請求項1又は2記載のウエーハ支持プレートの使用方法であって、
ウエーハが収容された該ウエーハ支持プレートの該フレーム部に該第1搬送手段が作用してウエーハを該チャックテーブルの保持面に搬入するウエーハ搬入工程と、
該チャックテーブルの保持面に吸引力を作用させ該円形凹部の底に形成された該複数の貫通孔を介してウエーハを吸引保持する保持工程と、
該加工手段によってウエーハに所定の加工を施す加工工程と、
該チャックテーブルからウエーハを搬出する該第2搬送手段を該ウエーハ支持プレートの該フレーム部に作用させるとともに、該チャックテーブルの保持面に作用する吸引力を解除して該チャックテーブルからウエーハを搬出するウエーハ搬出工程と、
を具備したことを特徴とするウエーハ支持プレートの使用方法。 - 該加工手段はウエーハに切削加工を施す切削ブレードを備えた切削手段から構成され、
該加工工程において、該ウエーハ支持プレートに支持されたウエーハに切削溝を形成する請求項3記載のウエーハ支持プレートの使用方法。 - 該ウエーハ支持プレートの該円形凹部の深さは、ウエーハに形成する切削溝の底からウエーハの裏面までの距離より僅かに浅いことを特徴とする請求項4記載のウエーハ支持プレートの使用方法。
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