JP2021027246A - 研削砥石、及び調整方法 - Google Patents
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- 238000000227 grinding Methods 0.000 title claims abstract description 224
- 239000004575 stone Substances 0.000 title claims abstract 5
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 30
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 37
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 103
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 85
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 16
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 14
- 230000035515 penetration Effects 0.000 abstract description 7
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 17
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 17
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Dicing (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
Description
本発明の実施形態1に係る研削砥石を図面に基いて説明する。図1は、実施形態1に係る研削砥石により保持テーブルの保持面が平坦化される切削装置の構成例を示す斜視図である。図2は、実施形態1に係る研削砥石の平面図である。図3は、図2に示された研削砥石を裏側からみた平面図である。図4は、図2中のIV−IV線に沿う断面図である。図5は、実施形態1に係る研削砥石の円形基台を裏側みた斜視図である。
装置準備ステップST1は、前述した切削装置1を準備するステップである。実施形態1では、装置準備ステップST1は、タッチパネル302を操作して、調整内容情報を制御ユニット400に入力する。調整内容情報は、研削砥石101で保持面13を研削する際の研削砥石101の下端の所定の高さ位置であるZ軸方向の高さ、及び研削砥石101で保持面13を研削する際に研削砥石101即ち切削ユニット20をY軸方向にインデックス送りするインデックス送り量を含んでいる。
砥石準備ステップST2は、前述した研削砥石101を準備するステップである。実施形態1に係る調整方法は、装置準備ステップST1において、切削装置1を準備し、砥石準備ステップST2において、研削砥石101を準備すると、砥石装着ステップST3に進む。
図7は、図6に示された調整方法の砥石装着ステップ後の研削砥石を断面で示す切削ユニットの側面図である。砥石装着ステップST3は、切削装置1の切削ブレード21に代えて、スピンドル22に研削砥石101を装着するステップである。
図8は、図6に示された平坦化ステップを保持テーブルを断面で示す側面図である。平坦化ステップST4は、調整内容情報に含まれるZ軸方向の位置に研削砥石101の下端を位置付けた研削砥石101を回転させつつ移動ユニット40で切削ユニット20を保持テーブル10に対して相対移動させるもことで、保持面13を研削して平坦化するステップである。
本発明の実施形態1の変形例1に係る研削砥石を図面に基いて説明する。図9は、実施形態1の変形例1に係る研削砥石の円形基台を裏側みた斜視図である。なお、図9は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態1の変形例2に係る研削砥石を図面に基いて説明する。図10は、実施形態1の変形例2に係る研削砥石の平面図である。なお、図10は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
10 保持テーブル
13 保持面
20 切削ユニット(切削手段)
21 切削ブレード
22 スピンドル
40 移動ユニット(移動手段)
101,101−1,101−2 研削砥石
110,110−1 円形基台
112 第1面
113 第2面
114 外周側面
115 貫装孔
120,120−2 砥石
131 研削液吐出口
132 研削液供給溝(研削液供給口)
133,133−1 研削液供給路
ST1 装置準備ステップ
ST2 砥石準備ステップ
ST3 砥石装着ステップ
ST4 平坦化ステップ
Claims (2)
- 研削砥石であって、
スピンドルが貫装される貫装孔が中央に形成され、円形の第1面と、該第1面の背面の円形の第2面と、該第1面から該第2面に至る外周側面と、を含む円形基台と、
該円形基台の該外周側面に配設された多孔質の砥石と、を備え、
該円形基台には、該外周側面に開口した複数の研削液吐出口と、該第1面に開口した研削液供給口と、一端が該研削液供給口に連通するとともに他端が複数の該研削液吐出口に連通する研削液供給路と、が形成された研削砥石。 - 切削装置の保持テーブルの保持面を平坦化する調整方法であって、
被加工物を保持する保持面を含む保持テーブルと、該保持テーブルで保持された被加工物を切削する切削ブレードと該切削ブレードが固定されるスピンドルとを有した切削手段と、該保持テーブルと該切削手段とを相対移動させる移動手段と、を備えた切削装置を準備する装置準備ステップと、
該スピンドルが貫装される貫装孔が中央に形成され、第1面と、該第1面の背面の第2面と、該第1面から該第2面に至る外周側面と、を含む円形基台と、該円形基台の該外周側面に配設された多孔質の砥石と、を備え、該円形基台には、該外周側面に開口した複数の研削液吐出口と、該第1面に開口した研削液供給口と、一端が該研削液供給口に連通するとともに他端が複数の該研削液吐出口に連通する研削液供給路と、が形成された研削砥石を準備する砥石準備ステップと、
該切削装置の該切削ブレードに代えて、該スピンドルに該研削砥石を装着する砥石装着ステップと、
所定の高さ位置に位置付けた該研削砥石を回転させつつ該移動手段で該切削手段を該保持テーブルに対して相対移動させることで該保持面を研削して平坦化する平坦化ステップと、を備え、
該平坦化ステップでは、該研削液供給口に研削液を供給することで、該研削砥石の回転に伴い該研削液が該研削液吐出口から流出して多孔質の該砥石を介して該砥石と該保持面とが接触する領域に供給される、調整方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019145442A JP7373938B2 (ja) | 2019-08-07 | 2019-08-07 | 調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019145442A JP7373938B2 (ja) | 2019-08-07 | 2019-08-07 | 調整方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021027246A true JP2021027246A (ja) | 2021-02-22 |
JP7373938B2 JP7373938B2 (ja) | 2023-11-06 |
Family
ID=74664827
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2019145442A Active JP7373938B2 (ja) | 2019-08-07 | 2019-08-07 | 調整方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7373938B2 (ja) |
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Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7276243B2 (ja) | 2020-05-12 | 2023-05-18 | Tdk株式会社 | バッテリパック |
-
2019
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Publication number | Publication date |
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JP7373938B2 (ja) | 2023-11-06 |
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A621 | Written request for application examination |
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