KR20230085863A - 드레싱 공구 및 드레싱 방법 - Google Patents

Abstract

(과제) 연삭 휠에 포함되는 연삭 지석의 하면(연삭면)의 드레싱뿐만 아니라, 그 외측면의 드레싱이 가능한 드레싱 공구를 제공한다. (해결 수단) 연삭 지석의 하면의 드레싱에 이용되는 제1 드레싱부 및 연삭 지석의 외측면의 드레싱에 이용되는 제2 드레싱부 중 한 쪽을, 제1 드레싱부 및 상기 제2 드레싱부 중 다른 쪽과 비교하여, 상면이 낮고, 또한, 외주 단부가 외측에 위치되도록 설치한다. 이 드레싱 공구를 이용하는 것에 의해, 연삭 지석의 하면 및 외측면의 양쪽의 드레싱을 다른 시기 또는 동시에 실시하는 것이 가능해진다.

Description

드레싱 공구 및 드레싱 방법{DRESSING TOOL AND DRESSING METHOD}

본 발명은, 연삭 휠에 포함되는 연삭 지석의 드레싱에 이용되는 드레싱 공구와, 이 드레싱 공구를 이용하여 연삭 휠에 포함되는 연삭 지석을 드레싱하는 드레싱 방법에 관한 것이다.

IC(Integrated Circuit) 등의 디바이스의 칩은, 휴대 전화 및 퍼스널 컴퓨터 등의 각종 전자 기기에 있어서 불가결한 구성 요소이다. 이와 같은 칩은, 예를 들어, 표면 측에 다수의 디바이스가 형성된 웨이퍼를 개개의 디바이스를 포함하는 영역마다 분할하는 것에 의해 제조된다.

또한, 웨이퍼는, 칩의 소형화 및 경량화 등을 목적으로 하여, 그 분할 전에 박화되는 경우가 많다. 웨이퍼를 박화하는 방법으로는, 연삭 장치에 의한 웨이퍼의 이면 측의 연삭을 들 수 있다. 이 연삭 장치는, 예를 들어, 웨이퍼의 표면 측을 유지하는 척 테이블과, 척 테이블의 상방에 설치되고, 또한, 연삭 휠이 하단부에 장착된 스핀들을 갖는 연삭 유닛을 구비한다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).

연삭 휠은, 일반적으로, 환형으로 이산하여 배치되고, 또한, 각각이 직방체 형상의 형상을 갖는 복수의 연삭 지석을 포함한다. 또한, 연삭 지석은, 비트리파이드 본드 또는 레진 본드 등의 결합재에 분산된 다이아몬드 또는 입방정 질화붕소(cBN: cubic Boron Nitride) 등의 지립을 갖는다. 또한, 연삭 휠에는, 일반적으로, 순수 등의 액체(연삭수)를 공급하기 위한 연삭수 공급 노즐이 설치되어 있다.

그리고, 연삭 장치에 있어서 웨이퍼를 박화할 때에는, 척 테이블 및 스핀들의 양쪽을 회전시키고, 또한, 연삭수 공급 노즐로부터 웨이퍼의 이면에 연삭수를 공급한 상태에서, 웨이퍼의 이면과 복수의 연삭 지석의 각각의 연삭면을 접촉시킨다. 이에 의해, 복수의 연삭 지석의 각각의 하면(연삭면)에 노출된 지립에 의해 웨이퍼의 이면 측을 연삭하여 웨이퍼를 박화할 수 있다.

또한, 신품(미사용)의 연삭 지석에 있어서는, 그 하면에 노출되는 지립이 불충분한 경우가 있다. 또한, 연삭 휠에 있어서는, 복수의 연삭 지석의 각각의 하면이 고르지 않은 경우, 즉 동일 평면 상에 위치하지 않는 경우도 있다. 이들의 경우, 웨이퍼의 연삭 효율이 저하될 우려가 있다.

그 때문에, 연삭 장치에 있어서는, 웨이퍼를 연삭하기에 앞서, 복수의 연삭 지석의 각각의 하면 측을 깎음으로써 하면에 지립을 충분히 노출시키고, 또한, 이들의 하면을 고르게 하는 처리(하면 드레싱)가 실시되는 경우가 많다. 이러한 연삭 지석의 하면 드레싱은, 예를 들어, 연삭 휠을 회전시키면서 복수의 연삭 지석의 각각의 하면을 드레싱 공구(드레서 보드)의 드레싱부(드레스부)에 접촉시키는 것에 의해 실시된다(예를 들어, 특허문헌 2 참조).

또한, 웨이퍼의 연삭에 의해 발생한 연삭 부스러기가 연삭 지석의 하면에 부착되면, 연삭 지석의 하면에 지립이 충분히 노출되지 않는(클로깅(clogging)하는) 경우가 있다. 또한, 연삭을 반복하여 행하는 것에 의해 하면에 노출된 지립이 마모되는(덜링(dulling)하는) 경우도 있다. 이러한 경우에도 연삭 지석의 하면 드레싱이 실시되는 경우가 있다.

특허문헌 1: 일본 공개특허공보 2014-124690호 특허문헌 2: 일본 공개특허공보 2009-142906호

연삭 유닛의 스핀들에 대한 연삭 휠의 장착은, 일반적으로, 수작업으로 실시된다. 그 때문에, 연삭 휠은, 연삭 휠의 중심이 스핀들의 회전축이 되는 직선으로부터 어긋난 상태로 스핀들에 장착될 우려가 있다.

이러한 상태에서 스핀들을 회전시키면, 스핀들의 회전축이 되는 직선과 직교하는 방향을 따라 스핀들이 진동하는 경우가 있다. 그리고, 스핀들이 진동한 상태로 스핀들과 함께 회전하는 연삭 휠의 복수의 연삭 지석에 의해 웨이퍼의 이면 측을 연삭하면, 웨이퍼의 가공 정밀도가 저하될 우려가 있다.

예를 들어, 웨이퍼의 외주 단부를 잔존시켜, 그 박화에 따른 강성의 저하를 억제하기 위해서, 웨이퍼의 이면에 오목부가 형성되도록 웨이퍼의 이면 측이 연삭되는 경우가 있다. 이러한 연삭은, TAIKO 연삭이라고도 불리고, 연삭 지석의 외측면을 웨이퍼의 외주 단부에 접촉시키면서 실시된다.

여기서, 연삭 지석을 포함하는 연삭 휠이 선단부에 장착되는 스핀들이 진동한 상태로 TAIKO 연삭이 행해지면, 잔존하는 웨이퍼의 외주 단부를 원하는 형상으로 할 수 없어, 즉, 웨이퍼의 가공 정밀도가 저하되어, 웨이퍼가 균열되기 쉬워진다.

이러한 웨이퍼의 가공 정밀도의 저하는, 복수의 연삭 지석 중 스핀들의 회전축이 되는 직선으로부터의 거리가 긴 연삭 지석의 외측면 측을 깎음으로써 억제할 수 있다. 그 때문에, 웨이퍼의 가공 정밀도의 저하를 억제하기 위해서는, 연삭 휠의 중심과 복수의 연삭 지석의 각각의 외측면과의 간격이 동일해지도록, 이들 외측면을 고르게 하는 처리(외측면 드레싱)를 실시하는 것이 유효하다.

이상의 점을 감안하여, 본 발명의 목적은, 연삭 휠에 포함되는 연삭 지석의 하면(연삭면)의 드레싱뿐만 아니라, 그 외측면의 드레싱이 가능한 드레싱 공구와, 이 드레싱 공구를 이용하여 연삭 지석의 하면 및 외측면의 양쪽을 드레싱하는 드레싱 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 의하면, 연삭 휠에 포함되는 연삭 지석의 드레싱에 이용되는 드레싱 공구로서, 상기 연삭 지석의 하면의 드레싱에 이용되는 제1 드레싱부와, 상기 연삭 지석의 외측면의 드레싱에 이용되는 제2 드레싱부와, 상기 제1 드레싱부와 상기 제2 드레싱부가 상면에 고정된 지지 플레이트를 구비하고, 상기 제1 드레싱부 및 상기 제2 드레싱부 중 한 쪽은, 상기 제1 드레싱부 및 상기 제2 드레싱부 중 다른 쪽과 비교하여, 상면이 낮고, 또한, 외주 단부가 외측에 위치되도록 설치되어 있는, 드레싱 공구가 제공된다.

예를 들어, 본 발명의 드레싱 공구에 있어서는, 상기 제2 드레싱부의 상면은, 상기 제1 드레싱부의 상면보다 높은 위치에 있고, 상기 제1 드레싱부의 외주 단부는, 상기 제2 드레싱부의 외주 단부보다 외측에 있다.

이 경우, 상기 지지 플레이트는, 원판 형상의 본체부와, 그 본체부의 상면으로부터 돌출되고, 또한, 상기 본체부보다 직경이 작은 원판 형상의 볼록부를 포함하고, 상기 제2 드레싱부는, 상기 볼록부의 상면에 고정되고, 상기 제1 드레싱부는, 상기 본체부의 상기 상면에 고정되어 있는 것이 바람직하다.

또는, 본 발명의 드레싱 공구에 있어서는, 상기 제1 드레싱부의 상면은, 상기 제2 드레싱부의 상면보다 높은 위치에 있고, 상기 제2 드레싱부의 외주 단부는, 상기 제1 드레싱부의 외주 단부보다 외측에 있다.

이 경우, 상기 지지 플레이트는, 원판 형상의 본체부와, 그 본체부의 상면으로부터 돌출되고, 또한, 상기 본체부보다 직경이 작은 원판 형상의 볼록부를 포함하고, 상기 제1 드레싱부는, 상기 볼록부의 상면에 고정되고, 상기 제2 드레싱부는, 상기 본체부의 상기 상면에 고정되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기한 드레싱 공구를 이용하여 상기 연삭 휠에 포함되는 상기 연삭 지석을 드레싱하는 드레싱 방법으로서, 유지면의 중심을 통과하는 직선을 회전축으로 하여 회전 가능한 척 테이블의 상기 유지면에 있어서 상기 드레싱 공구를 유지하는 유지 단계와, 제1 방향을 따라 연장되는 스핀들의 선단부에 상기 연삭 휠을 장착하는 장착 단계와, 상기 유지 단계 및 상기 장착 단계 후에, 회전하는 상기 연삭 지석의 궤적과 상기 제1 드레싱부가 상기 제1 방향에 있어서 중첩된 상태로, 상기 스핀들과 상기 척 테이블을 회전시키면서, 상기 연삭 지석의 상기 하면과 상기 제1 드레싱부의 상기 상면을 접촉시키도록 상기 연삭 휠과 상기 척 테이블을 상기 제1 방향을 따라 접근시키는 것에 의해, 상기 연삭 지석의 상기 하면을 드레싱하는 하면 드레싱 단계와, 상기 유지 단계 및 상기 장착 단계 후에, 상기 연삭 지석과 상기 제2 드레싱부가 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향에 있어서 중첩된 상태로, 적어도 상기 연삭 휠을 회전시키면서, 상기 연삭 지석의 상기 외측면과 상기 제2 드레싱부의 측면을 접촉시키도록 상기 연삭 휠과 상기 척 테이블을 상기 제2 방향을 따라 접근시키는 것에 의해, 상기 연삭 지석의 상기 외측면을 드레싱하는 외측면 드레싱 단계를 구비하는 드레싱 방법이 제공된다.

본 발명의 드레싱 공구에 있어서는, 연삭 지석의 하면의 드레싱에 이용되는 제1 드레싱부 및 연삭 지석의 외측면의 드레싱에 이용되는 제2 드레싱부 중 한 쪽이, 제1 드레싱부 및 상기 제2 드레싱부 중 다른 쪽과 비교하여, 상면이 낮고, 또한, 외주 단부가 외측에 위치되도록 설치되어 있다. 그 때문에, 이 드레싱 공구를 이용하는 것에 의해, 연삭 지석의 하면 및 외측면의 양쪽의 드레싱을 다른 시기 또는 동시에 실시하는 것이 가능해진다.

도 1은, 연삭 장치의 일례를 모식적으로 도시하는 일부 단면 측면도이다.
도 2(A)는, 드레싱 공구의 제1 예를 모식적으로 도시하는 사시도이고, 도 2(B)는, 드레싱 공구의 제1 예를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 3(A)는, 연삭 휠의 일례를 모식적으로 도시하는 사시도이고, 도 3(B)는, 연삭 휠의 일례를 모식적으로 도시하는 하면도이다.
도 4는, 드레싱 방법의 일례를 모식적으로 도시하는 흐름도이다.
도 5는, 유지 단계 및 장착 단계 후의 연삭 장치의 일례를 모식적으로 도시하는 일부 단면 측면도이다.
도 6(A) 및 도 6(B)의 각각은, 하면 드레싱 단계의 일례의 모습을 모식적으로 도시하는 일부 단면 측면도이다.
도 7(A) 및 도 7(B)의 각각은, 외측면 드레싱 단계의 일례의 모습을 모식적으로 도시하는 일부 단면 측면도이다.
도 8은, 하면 드레싱 및 외측면 드레싱을 동시에 실시하는 모습을 모식적으로 도시하는 일부 단면 측면도이다.
도 9(A)는, 드레싱 공구의 제2 예를 모식적으로 도시하는 사시도이고, 도 9(B)는, 드레싱 공구의 제2 예를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 10(A)는, 드레싱 공구의 제3 예를 모식적으로 도시하는 사시도이고, 도 10(B)는, 드레싱 공구의 제3 예를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 11(A) 및 도 11(B)의 각각은, 하면 드레싱 단계의 다른 예의 모습을 모식적으로 도시하는 일부 단면 측면도이다.
도 12(A) 및 도 12(B)의 각각은, 외측면 드레싱 단계의 다른 예의 모습을 모식적으로 도시하는 일부 단면 측면도이다.
도 13(A)는, 드레싱 공구의 제4 예를 모식적으로 도시하는 사시도이고, 도 13(B)는, 드레싱 공구의 제4 예를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 14(A)는, 드레싱 공구의 제5 예를 모식적으로 도시하는 사시도이고, 도 14(B)는, 드레싱 공구의 제5 예를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 15(A)는, 드레싱 공구의 제6 예를 모식적으로 도시하는 사시도이고, 도 15(B)는, 드레싱 공구의 제6 예를 모식적으로 도시하는 단면도이다.

첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명한다. 도 1은, 연삭 장치의 일례를 모식적으로 도시하는 일부 단면 측면도이다. 또한, 도 1에 도시되는 X축 방향 및 Y축 방향은, 수평면 상에 있어서 서로 직교하는 방향이며, 또한, Z축 방향은, X축 방향 및 Y축 방향에 직교하는 방향(연직 방향)이다.

도 1에 도시하는 연삭 장치(2)는, 각 구성 요소를 지지하는 베이스(4)를 갖는다. 이 베이스(4)의 상면에는, 각각이 X축 방향을 따라 연장되는 한 쌍의 가이드 레일(6)이 설치되어 있다. 그리고, 한 쌍의 가이드 레일(6)의 위에는, X축 방향을 따라 슬라이드 가능한 양태로 직방체 형상의 이동 플레이트(8)가 장착되어 있다.

또한, 한 쌍의 가이드 레일(6)의 사이에는, X축 방향을 따라서 연장되는 나사 축(10)이 배치되어 있다. 그리고, 나사 축(10)의 일단부에는, 나사 축(10)을 회전시키기 위한 펄스 모터(12)가 연결되어 있다. 또한, 나사 축(10)의 나사산이 형성된 외주면 상에는, 나사 축(10)의 회전에 따라 순환하는 다수의 볼을 수용하는 너트(14)가 설치되어, 볼 나사가 구성되어 있다.

또한, 너트(14)는 이동 플레이트(8)의 하면 측에 고정되어 있다. 그 때문에, 펄스 모터(12)로 나사 축(10)을 회전시키면, 너트(14)와 함께 이동 플레이트(8)가 X축 방향을 따라 이동한다. 또한, 이동 플레이트(8) 상에는, 이동 플레이트(8)와 함께 X축 방향을 따라 이동하는 원판 형상의 척 테이블(16)이 설치되어 있다.

이 척 테이블(16)은, 세라믹스로 이루어지는 원판 형상의 프레임(18)을 갖는다. 그리고, 프레임(18)의 상면 측에는, 소정의 깊이를 갖는 원판 형상의 오목부가 형성되어 있다. 또한, 프레임(18)의 내부에는, 오목부의 바닥면에 있어서 개구되는 유로(도시하지 않음)가 형성되어 있다. 또한, 이 유로는, 이젝터 등의 흡인원(도시하지 않음)과 연통한다.

또한, 프레임(18)의 상면 측에 형성되어 있는 오목부에는, 이 오목부의 직경과 대략 동일한 직경을 갖는 원판 형상의 포러스판(20)이 고정되어 있다. 이 포러스판(20)은, 예를 들어, 다공질 세라믹스로 이루어진다. 또한, 포러스판(20)은, 원추의 측면에 대응하는 형상(중심이 외주보다 돌출되는 형상)의 상면(유지면)(16a)을 갖는다.

그리고, 프레임(18)의 내부에 형성되어 있는 유로에 연통되는 흡인원을 동작시키면, 포러스판(20)의 상면 근방의 공간에 흡인력이 작용한다. 이에 의해, 척 테이블(16)의 유지면(16a)에 있어서 웨이퍼 또는 드레싱 공구 등을 유지할 수 있다.

도 2(A)는, 척 테이블(16)의 유지면(16a)에 있어서 유지되는 드레싱 공구의 일례를 모식적으로 도시하는 사시도이고, 도 2(B)는, 척 테이블(16)의 유지면(16a)에 있어서 유지되는 드레싱 공구의 일례를 모식적으로 도시하는 단면도이다. 도 2(A) 및 도 2(B)에 도시하는 드레싱 공구(1)는, 원판 형상의 지지 플레이트(3)를 구비한다.

이 지지 플레이트(3)는, 예를 들어, 폴리염화비닐로 이루어진다. 또한, 지지 플레이트(3)의 상면에는, 후술하는 연삭 지석(58)의 하면(연삭면)의 드레싱에 이용되는 제1 드레싱부(5)와, 그 외측면의 드레싱에 이용되는 제2 드레싱부(7)가 고정된다. 예를 들면, 제1 드레싱부(5) 및 제2 드레싱부(7)는, 공지의 접착제를 통해, 지지 플레이트(3)의 상면에 부착된다.

제1 드레싱부(5)는, 그 외경이 지지 플레이트(3)의 직경보다 짧은 원통 형상의 형상을 가진다. 또한, 제1 드레싱부(5)의 폭(지지 플레이트(3)의 직경 방향에서의 길이)은, 연삭 지석(58)의 폭(연삭 지석(58)의 내측면과 외측면과의 간격)보다 길다.

제2 드레싱부(7)는, 그 직경이 제1 드레싱부(5)의 내경과 대략 동일한 원판 형상의 형상을 가지며, 제1 드레싱부(5)의 내측에 설치되어 있다. 즉, 드레싱 공구(1)에 있어서는, 제1 드레싱부(5)의 외주 단부가 제2 드레싱부(7)의 외주 단부보다 외측에 있다.

또한, 제2 드레싱부(7)의 상면은, 제1 드레싱부(5)의 상면보다 높은 위치에 있다. 또한, 제1 드레싱부(5) 및 제2 드레싱부(7)는, 제1 드레싱부(5)의 내주 및 외주 그리고 제2 드레싱부(7)의 외주의 각각이, 평면에서 보아, 지지 플레이트(3)의 외주와 동심원 형상이 되도록 설치되어 있다.

그리고, 제1 드레싱부(5) 및 제2 드레싱부(7)의 각각은, 예를 들어, 탄화규소(SiC)로 이루어지는 그린 카보런덤(GC) 지립 또는 산화알루미늄(Al₂O₃)으로 이루어지는 화이트 알런덤(WA) 지립을 비트리파이드 본드 또는 레진 본드로 이루어지는 결합재에 혼련한 후에 소성하는 것에 의해 형성된다.

또한, 제2 드레싱부(7)는 제1 드레싱부(5)와 비교하여 경도가 높아지도록 형성되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 제1 드레싱부(5)에 포함되는 지립의 입도는 ?3000∼?4000이고, 또한, 제2 드레싱부(7)에 포함되는 지립의 입도는 ?80∼?2000이다.

구체적으로는, 웨이퍼의 연삭에 이용되는 연삭 지석(58)의 하면(연삭면)의 상태를 균일하게 하기 위해, 제1 드레싱부(5)에 포함되는 지립의 입경은 작은 것이 바람직하다. 한편, 연삭 지석(58)의 외측면 측을 효율적으로 연삭하기 위해, 제2 드레싱부(7)에 포함되는 지립의 입경은 큰 것이 바람직하다.

또한, 도 1에 도시하는 바와 같이, 척 테이블(16)의 하방에는 척 테이블(16)을 회전시키는 펄스 모터 등의 회전 구동원(22)이 설치되어 있다. 그리고, 이 회전 구동원(22)이 동작하면, 유지면(16a)의 중심을 통과하는 직선을 회전축으로 하여 척 테이블(16)이 회전한다. 또한, 이 직선은, 유지면(16a)과 대응하는 형상의 측면을 갖는 가상의 원추의 바닥면의 중심을 통과한다.

또한, 척 테이블(16)의 하방이면서 회전 구동원(22)의 주위에는, 척 테이블(16)을 회전 가능하게 지지하는 원통 형상의 베어링(24)이 설치되어 있다. 이 베어링(24)은, 원통 형상의 지지판(26)에 의해 지지되어 있다.

또한, 지지판(26)의 아래에는, 지지판(26)의 둘레 방향을 따라 대략 등간격으로 고정 지지 기구(28a), 제1 가동 지지 기구(28b) 및 제2 가동 지지 기구(28c)가 설치되어 있다. 고정 지지 기구(28a)는, 소정 길이의 고정 축부를 갖는다. 그리고, 이 고정 축부의 상부는 지지판(26)에 고정되고, 또한, 고정 축부의 하부는 이동 플레이트(8)에 고정되어 있다.

또한, 제1 가동 지지 기구(28b) 및 제2 가동 지지 기구(28c)의 각각은, 상부에 수나사가 형성된 가동축부를 갖는다. 그리고, 각 가동축부의 상부는 지지판(26)의 나사 구멍에 나사 결합되고, 또한, 각 가동축부의 하부는 이동 플레이트(8)에 회전 가능한 양태로 지지되어 있다.

또한, 각 가동축부는, 펄스 모터(도시하지 않음)에 연결되어 있다. 그리고, 이 펄스 모터에 의해 가동축부를 회전시키면, 지지판(26)의 가동축부와 나사 결합하는 나사 구멍 근방의 부분이 상승 또는 하강한다. 이것에 의해, 지지판(26)의 기울기가 변경된다.

또한, 지지판(26)의 기울기가 변경되면, 척 테이블(16)의 기울기도 변경된다. 그 때문에, 연삭 장치(2)에 있어서는, 제1 가동 지지 기구(28b) 및 제2 가동 지지 기구(28c)를 동작시키는 것에 의해, 척 테이블(16)의 기울기를 조정할 수 있다.

또한, 베이스(4)의 단부 상에는, Z축 방향으로 연장되는 벽부(30)가 설치되어 있다. 이 벽부(30)의 척 테이블(16) 측의 면에는, 각각이 Z축 방향을 따라 연장되는 한 쌍의 가이드 레일(32)이 설치되어 있다. 그리고, 한 쌍의 가이드 레일(32)의 표면에는, Z축 방향을 따라 슬라이드 가능한 양태로 직방체 형상의 이동 플레이트(34)가 장착되어 있다.

또한, 한 쌍의 가이드 레일(32)의 사이에는, Z축 방향을 따라 연장되는 나사 축(36)이 배치되어 있다. 그리고, 나사 축(36)의 일단부(상단부)에는, 나사 축(36)을 회전시키기 위한 펄스 모터(38)가 연결되어 있다. 또한, 나사 축(36)의 나사산이 형성된 외주면 상에는, 나사 축(36)의 회전에 따라 순환하는 다수의 볼을 수용하는 너트(40)가 설치되고, 볼 나사가 구성되어 있다.

또한, 이 너트(40)는, 이동 플레이트(34)의 이면 측에 고정되어 있다. 그 때문에, 펄스 모터(38)로 나사 축(36)을 회전시키면, 너트(40)와 함께 이동 플레이트(34)가 Z축 방향을 따라 이동한다. 또한, 이동 플레이트(34)의 표면 측에는, 고정구(42)를 통해, 연삭 유닛(44)이 고정되어 있다.

이 연삭 유닛(44)은, Z축 방향을 따라 연장되는 원통 형상의 스핀들 하우징(46)을 갖는다. 그리고, 스핀들 하우징(46)에는, 원기둥 형상의 스핀들(48)의 일부가 회전 가능하게 수용되어 있다. 또한, 스핀들(48)의 기단부(상단부)에는, 펄스 모터 등의 회전 구동원(도시하지 않음)이 설치되어 있다.

또한, 스핀들(48)의 선단부(하단부)는, 스핀들 하우징(46)의 하면으로부터 하방으로 돌출하고 있고, 이 선단부에는 원판 형상의 마운트(50)가 설치되어 있다. 이 마운트(50)의 외주 단부에는, 마운트(50)의 둘레 방향을 따라 대략 등간격으로 복수의 관통 구멍(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 그리고, 마운트(50), 즉, 스핀들(48)의 선단부에는, 각 관통 구멍에 삽입되는 볼트를 이용하여 연삭 휠이 장착된다.

도 3(A)는, 스핀들(48)의 선단부에 장착되는 연삭 휠의 일례를 모식적으로 도시하는 사시도이고, 도 3(B)는, 스핀들(48)의 선단부에 장착되는 연삭 휠의 일례를 모식적으로 도시하는 하면도이다. 도 3(A) 및 도 3(B)에 도시하는 연삭 휠(52)은, 원통 형상의 형상을 구비하는 휠 베이스(54)를 갖는다.

이 휠 베이스(54)는, 예를 들어, 스테인리스강 또는 알루미늄 등의 금속 재료로 이루어지고, 그 외경이 마운트(50)의 직경과 대략 같다. 또한, 휠 베이스(54)의 상면에는, 볼트와 나사 결합 가능한 복수의 나사 구멍(56)이 형성되어 있다. 그리고, 각 나사 구멍(56)은, 상술한 바와 같이, 마운트(50)에 연삭 휠(52)을 장착할 때에 이용된다.

또한, 휠 베이스(54)의 하면에는, 휠 베이스(54)의 둘레 방향을 따라 대략 등간격으로 복수의 연삭 지석(58)이 고정되어 있다. 각 연삭 지석(58)은, 직방체를 원호를 따라 만곡시킨 것과 같은 형상을 갖는다. 또한, 각 연삭 지석(58)은, 예를 들어, 기공이 내재하는 비트리파이드 본드 또는 레진 본드 등의 본드재와, 본드재에 분산된 다이아몬드 또는 입방정 질화붕소(cBN: cubic Boron Nitride) 등의 지립을 갖는다.

도 4는, 연삭 장치(2)에 있어서, 드레싱 공구(1)를 이용하여 연삭 휠(52)에 포함되는 연삭 지석(58)을 드레싱하는 드레싱 방법의 일례를 모식적으로 도시하는 흐름도이다. 이 방법에 있어서는, 우선, 척 테이블(16)의 유지면(16a)에 있어서 드레싱 공구(1)를 유지하고(유지 단계: S1), 스핀들(48)의 선단부에 연삭 휠(52)을 장착한다(장착 단계: S2).

또한, 유지 단계(S1) 및 장착 단계(S2)의 전후는 한정되지 않는다. 즉, 유지 단계(S1)이 실시된 후에 장착 단계(S2)가 실시되어도 좋고, 장착 단계(S2)가 실시된 후에 유지 단계(S1)가 실시되어도 좋다. 도 5는, 유지 단계(S1) 및 장착 단계(S2) 후의 연삭 장치의 일례를 모식적으로 도시하는 일부 단면 측면도이다.

이 유지 단계(S1)에 있어서는, 우선, 지지 플레이트(3)의 하면의 중심과 척 테이블(16)의 유지면(16a)의 중심에 일치시키도록 드레싱 공구(1)를 척 테이블(16)에 반입한다. 그리고, 척 테이블(16)의 프레임(18)의 내부에 형성되어 있는 유로에 연통되는 흡인원을 동작시키는 것에 의해, 드레싱 공구(1)의 지지 플레이트(3)에 흡인력을 작용시킨다.

이에 의해, 지지 플레이트(3)가 척 테이블(16)의 유지면(16a)을 따르도록 탄성 변형한다. 즉, 지지 플레이트(3)의 하면이 원추의 측면에 대응하는 형상이 되고, 척 테이블(16)의 유지면(16a)이 지지 플레이트(3)에 의해 덮인다. 그 결과, 척 테이블(16)의 유지면(16a)에 있어서 드레싱 공구(1)가 유지된다.

또한, 장착 단계(S2)에 있어서는, 우선, 나사 구멍(56)이 마운트(50)의 외주 단부에 형성되어 있는 관통 구멍과 중첩되도록 연삭 휠(52)을 마운트와 중첩한다. 그리고, 이 관통 구멍을 통해 볼트(도시하지 않음)와 나사 구멍(56)을 나사 결합시킨다. 이에 의해, 스핀들(48)의 선단부에 연삭 휠(52)이 장착된다.

이어서, 연삭 지석(58)의 하면을 드레싱함과 함께(하면 드레싱 단계: S3), 연삭 지석(58)의 외측면을 드레싱한다(외측면 드레싱 단계: S4). 또한, 하면 드레싱 단계(S3) 및 외측면 드레싱 단계(S4)의 전후는 한정되지 않는다.

즉, 하면 드레싱 단계(S3)가 실시된 후 외측면 드레싱 단계(S4)가 실시될 수도 있고, 외측면 드레싱 단계(S4)가 실시된 후 하면 드레싱 단계(S3)가 실시될 수도 있다.

도 6(A) 및 도 6(B)의 각각은, 드레싱 공구(1)를 이용하여 실시되는 하면 드레싱 단계(S3)의 모습을 모식적으로 도시하는 일부 단면 측면도이다. 이 하면 드레싱 단계(S3)에 있어서는, 우선, 스핀들(48)의 회전에 따라 회전하는 연삭 지석(58)의 궤적과 제1 드레싱부(5)가 Z축 방향(제1 방향)에 있어서 중첩되도록, 척 테이블(16)의 X축 방향에 있어서의 위치를 조정한다(도 6(A) 참조).

또한, 이 조정에 있어서는, 제1 드레싱부(5)의 상면의 내측 가장자리와 외측 가장자리를 최단 거리로 연결하고, 또한, Z축 방향에 직교하는 선분과, 회전하는 연삭 지석(58)의 궤적을 Z축 방향에 있어서 중첩할 필요가 있다. 즉, Z축 방향에 직교하는 좌표 평면(XY 좌표 평면)에 있어서의 당해 선분의 좌표와 당해 궤적의 좌표를 중첩시킬 필요가 있다. 그 때문에, 필요하다면, 이 조정에 앞서 제1 가동 지지 기구(28b) 및/또는 제2 가동 지지 기구(28c)를 동작시켜 척 테이블(16)의 기울기가 조정되어도 좋다.

그리고, 스핀들(48)과 척 테이블(16)을 회전시키면서, 연삭 지석(58)의 하면과 제1 드레싱부(5)의 상면을 접촉시키도록 연삭 휠(52)과 척 테이블(16)을 Z축 방향을 따라 접근시킨다. 즉, 연삭 휠(52)을 하강시킨다(도 6(B) 참조). 이것에 의해, 연삭 지석(58)의 하면이 드레싱된다.

도 7(A) 및 도 7(B)의 각각은, 드레싱 공구(1)를 이용하여 실시되는 외측면 드레싱 단계(S4)의 모습을 모식적으로 도시하는 일부 단면 측면도이다. 이 외측면 드레싱 단계(S4)에 있어서는, 우선, 연삭 지석(58)과 제2 드레싱부(7)가 X축 방향(제2 방향)에 있어서 중첩되도록, 연삭 휠(52)의 Z축 방향에 있어서의 위치를 조정한다(도 7(A) 참조). 구체적으로는, 제1 드레싱부(5)의 상면보다 높고, 또한, 제2 드레싱부(7)의 상면보다 낮은 위치에 연삭 지석(58)의 하면을 위치시키도록, 연삭 휠(52)의 Z축 방향에서의 위치를 조정한다.

또한, 이 조정에 있어서는, 제2 드레싱부(7)의 측면의 하단과 상단을 최단 거리로 연결하고, 또한, Z축 방향을 따라 직선적으로 연장되는 선분과, 연삭 지석(58)을 X축 방향에 있어서 중첩할 필요가 있다. 즉, X축 방향에 직교하는 좌표 평면(YZ 좌표 평면)에 있어서의 당해 선분의 좌표와 연삭 지석(58)의 좌표를 중첩시킬 필요가 있다. 그 때문에, 필요하다면, 이 조정에 앞서, 제1 가동 지지 기구(28b) 및/또는 제2 가동 지지 기구(28c)를 동작시켜 척 테이블(16)의 기울기가 조정되어도 좋다.

그리고, 스핀들(48)을 회전시키면서, 연삭 지석(58)의 외측면과 제2 드레싱부(7)의 측면을 접촉시키도록 연삭 휠(52)과 척 테이블(16)을 X축 방향을 따라 접근시킨다(즉, 척 테이블(16)을 X축 방향을 따라 이동시킨다(도 7(B) 참조). 이에 의해, 연삭 지석(58)의 외측면이 드레싱된다.

또한, 연삭 지석(58)의 외측면의 드레싱은, 척 테이블(16)을 회전시키면서, 즉, 드레싱 공구(1)를 회전시키면서 실시되어도 좋다. 또한, 이 경우에는, 연삭 지석(58)의 하면 드레싱과, 그 외측면 드레싱이 동시에 실시되어도 좋다. 도 8은, 연삭 지석(58)의 하면 드레싱과 외측면 드레싱을 동시에 실시하는 모습을 모식적으로 도시하는 일부 단면 측면도이다.

구체적으로는, 스핀들(48)과 척 테이블(16)을 회전시키면서, 연삭 지석(58)의 하면과 제1 드레싱부(5)의 상면을 접촉시키도록 연삭 휠(52)을 하강시키고, 또한, 연삭 지석(58)의 외측면과 제2 드레싱부(7)의 측면을 접촉시키도록 척 테이블(16)을 X축 방향을 따라 이동시킨다. 이에 의해, 연삭 지석(58)의 하면의 드레싱과, 그 외측면의 드레싱이 동시에 실시된다.

상술한 바와 같이, 드레싱 공구(1)에 있어서는, 연삭 지석(58)의 하면(연삭면)의 드레싱에 이용되는 제1 드레싱부(5)가, 그 외측면의 드레싱에 이용되는 제2 드레싱부(7)와 비교하여, 상면이 낮고, 또한, 외주 단부가 외측에 위치되도록 설치되어 있다. 그 때문에, 이 드레싱 공구(1)를 이용하는 것에 의해, 연삭 지석(58)의 하면 및 외측면의 양쪽의 드레싱을 다른 시기 또는 동시에 실시하는 것이 가능해진다.

또한, 드레싱 공구(1)는 본 발명의 드레싱 공구의 일 양태로서, 본 발명의 드레싱 공구는 드레싱 공구(1)에 한정되지 않는다. 도 9(A)는, 본 발명의 드레싱 공구의 제2 예를 모식적으로 도시하는 사시도이고, 도 9(B)는, 본 발명의 드레싱 공구의 제2 예를 모식적으로 도시하는 단면도이다.

단적으로는, 도 9(A) 및 도 9(B)에 도시하는 드레싱 공구(11)는, 지지 플레이트의 상면에 볼록부가 형성되어 있는 점에서 도 2(A) 및 도 2(B)에 도시하는 드레싱 공구(1)와 상이하다. 구체적으로는, 이 드레싱 공구(11)는, 예를 들어, 폴리염화비닐로 이루어진 지지 플레이트(13)를 구비한다.

이 지지 플레이트(13)는, 원판 형상의 본체부(13a)와, 본체부(13a)의 상면으로부터 돌출되고, 또한, 본체부(13a)보다 직경이 작은 원판 형상의 볼록부(13b)를 갖는다. 또한, 지지 플레이트(13)에 있어서는, 평면에서 보아, 각각의 외주가 동심원 형상으로 되도록 본체부(13a) 및 볼록부(13b)가 설치되어 있다.

그리고, 본체부(13a)의 상면에는, 볼록부(13b)를 둘러싸도록, 연삭 지석(58)의 하면(연삭면)의 드레싱에 이용되는 제1 드레싱부(15)가 고정되어 있다. 이 제1 드레싱부(15)는, 도 2(A) 및 도 2(B)에 도시하는 제1 드레싱부(5)와 동일한 형상을 가지며, 또한, 동일한 재료로 이루어진다. 또한, 제1 드레싱부(15)의 내경은, 볼록부(13b)의 직경과 대략 동일하다. 또한, 제1 드레싱부(15)는, 상면이 볼록부(13b)의 상면과 대략 동일한 높이가 되도록 설치되어 있다.

또한, 볼록부(13b)의 상면에는, 연삭 지석(58)의 외측면의 드레싱에 이용되는 제2 드레싱부(17)가 고정된다. 이 제2 드레싱부(17)는, 도 2(A) 및 도 2(B)에 도시하는 제2 드레싱부(7)와 동일한 재료로 이루어진다. 또한, 제2 드레싱부(17)는 그 직경이 제1 드레싱부(15)의 내경, 즉, 볼록부(13b)의 직경과 대략 동일한 원판 형상의 형상을 가진다.

이 드레싱 공구(11)에 있어서는, 연삭 지석(58)의 하면(연삭면)의 드레싱에 이용되는 제1 드레싱부(15)가, 그 외측면의 드레싱에 이용되는 제2 드레싱부(17)와 비교하여, 상면이 낮고, 또한, 외주 단부가 외측에 위치되도록 설치되어 있다. 그 때문에, 이 드레싱 공구(11)를 이용하는 것에 의해, 도 2(A) 및 도 2(B)에 도시하는 드레싱 공구(1)를 이용하는 경우와 마찬가지로, 연삭 지석(58)의 하면 및 외측면의 양쪽의 드레싱을 다른 시기 또는 동시에 실시할 수 있게 된다.

도 10(A)는, 본 발명의 드레싱 공구의 제3 예를 모식적으로 도시하는 사시도이고, 도 10(B)는, 본 발명의 드레싱 공구의 제3 예를 모식적으로 도시하는 단면도이다. 단적으로는, 도 10(A) 및 도 10(B)에 도시하는 드레싱 공구(21)는, 제1 드레싱부 및 제2 드레싱부의 배치가 교체되어 있는 점에서 도 2(A) 및 도 2(B)에 도시하는 드레싱 공구(1)와 상이하다.

구체적으로는, 이 드레싱 공구(21)는, 도 2(A) 및 도 2(B)에 도시하는 지지 플레이트(3)와 동일한 형상을 가지고, 또한, 동일한 재료로 이루어지는 지지 플레이트(23)를 가진다. 이 지지 플레이트(23)의 상면에는, 연삭 지석(58)의 하면(연삭면)의 드레싱에 이용되는 제1 드레싱부(25)와, 그 외측면의 드레싱에 이용되는 제2 드레싱부(27)가 고정되어 있다. 예를 들어, 제1 드레싱부(25) 및 제2 드레싱부(27)는, 공지된 접착제를 통해, 지지 플레이트(23)의 상면에 부착되어 있다.

제1 드레싱부(25)는, 그 직경이 지지 플레이트(23)의 직경보다 짧은 원판 형상의 형상을 가진다. 또한, 제1 드레싱부(25)의 직경은, 연삭 지석(58)의 폭(연삭 지석(58)의 내측면과 외측면의 간격)보다 길다.

제2 드레싱부(27)는 그 외경이 지지 플레이트(23)의 직경보다 짧고, 또한, 그 내경이 제1 드레싱부(25)의 직경과 대략 동일한 원통 형상의 형상을 가지고, 그 내측면이 제1 드레싱부(25)의 측면에 접촉하도록 설치되어 있다. 즉, 드레싱 공구(21)에 있어서는, 제2 드레싱부(27)의 외주 단부가 제1 드레싱부(25)의 외주 단부보다 외측에 있다.

또한, 제1 드레싱부(25)의 상면은, 제2 드레싱부(27)의 상면보다 높은 위치에 있다. 또한, 제1 드레싱부(25) 및 제2 드레싱부(27)는, 제1 드레싱부(25)의 외주 및 제2 드레싱부(27)의 내주 및 외주의 각각이, 평면에서 보았을 때, 지지 플레이트(23)의 외주와 동심원 형상이 되도록 설치되어 있다.

또한, 제1 드레싱부(25)는, 도 2(A) 및 도 2(B)에 도시하는 제1 드레싱부(5)와 동일한 재료로 이루어진다. 또한, 제2 드레싱부(27)는, 도 2(A) 및 도 2(B)에 도시하는 제2 드레싱부(7)와 동일한 재료로 이루어진다.

도 11(A) 및 도 11(B)의 각각은, 드레싱 공구(21)를 이용하여 실시되는 하면 드레싱 단계(S3)의 모습을 모식적으로 도시하는 일부 단면 측면도이다. 이 하면 드레싱 단계(S3)에 있어서는, 우선, 스핀들(48)의 회전에 따라 회전하는 연삭 지석(58)의 궤적과 제1 드레싱부(25)가 Z축 방향(제1 방향)에 있어서 중첩되도록, 척 테이블(16)의 X축 방향에 있어서의 위치를 조정한다(도 11(A) 참조).

또한, 이 조정에 있어서는, 제1 드레싱부(25)의 상면의 중심과 외주를 최단 거리로 연결하고, 또한, Z축 방향에 직교하는 선분과, 회전하는 연삭 지석(58)의 궤적을 Z축 방향에 있어서 중첩시킬 필요가 있다. 즉, Z축 방향에 직교하는 좌표 평면(XY 좌표 평면)에 있어서의 당해 선분의 좌표와 당해 궤적의 좌표를 중첩시킬 필요가 있다. 그 때문에, 필요하다면, 이 조정에 앞서 제1 가동 지지 기구(28b) 및/또는 제2 가동 지지 기구(28c)를 동작시켜 척 테이블(16)의 기울기가 조정되어도 좋다.

그리고, 스핀들(48)과 척 테이블(16)을 회전시키면서, 연삭 지석(58)의 하면과 제1 드레싱부(25)의 상면을 접촉시키도록 연삭 휠(52)과 척 테이블(16)을 Z축 방향을 따라 접근시킨다. 즉, 연삭 휠(52)을 하강시킨다(도 11(B) 참조). 이에 의해, 연삭 지석(58)의 하면이 드레싱된다.

도 12(A) 및 도 12(B)의 각각은, 드레싱 공구(21)를 이용하여 실시되는 외측면 드레싱 단계(S4)의 모습을 모식적으로 도시하는 일부 단면 측면도이다. 이 외측면 드레싱 단계(S4)에 있어서는, 우선, 연삭 지석(58)과 제2 드레싱부(27)가 X축 방향(제2 방향)에 있어서 중첩되도록, 연삭 휠(52)의 Z축 방향에 있어서의 위치를 조정한다(도 12(A) 참조). 구체적으로는, 지지 플레이트(23)의 상면보다 높고, 또한, 제2 드레싱부(27)의 상면보다 낮은 위치에 연삭 지석(58)의 하면을 위치시키도록 연삭 휠(52)의 Z축 방향에 있어서의 위치를 조정한다.

또한, 이 조정에 있어서는, 제2 드레싱부(27)의 측면의 하단과 상단을 최단 거리로 연결하고, 또한, Z축 방향을 따라 직선적으로 연장되는 선분과, 연삭 지석(58)을 X축 방향에 있어서 중첩할 필요가 있다. 즉, X축 방향에 직교하는 좌표 평면(YZ 좌표 평면)에 있어서의 당해 선분의 좌표와 연삭 지석(58)의 좌표를 중첩시킬 필요가 있다. 그 때문에, 필요하다면, 이 조정에 앞서, 제1 가동 지지 기구(28b) 및/또는 제2 가동 지지 기구(28c)를 동작시켜 척 테이블(16)의 기울기가 조정되어도 좋다.

그리고, 스핀들(48)을 회전시키면서, 연삭 지석(58)의 외측면과 제2 드레싱부(27)의 측면을 접촉시키도록 연삭 휠(52)과 척 테이블(16)을 X축 방향을 따라 접근시킨다. 즉, 척 테이블(16)을 X축 방향을 따라 이동시킨다(도 12(B) 참조). 이에 의해, 연삭 지석(58)의 외측면이 드레싱된다.

상술한 바와 같이, 드레싱 공구(21)에 있어서는, 연삭 지석(58)의 외측면의 드레싱에 이용되는 제2 드레싱부(27)가, 그 하면(연삭면)의 드레싱에 이용되는 제1 드레싱부(25)와 비교하여, 상면이 낮고, 또한, 외주 단부가 외측에 위치되도록 설치되어 있다. 그 때문에, 이 드레싱 공구(21)를 이용하는 것에 의해, 연삭 지석(58)의 하면 및 외측면의 양쪽의 드레싱을 다른 시기에 실시하는 것이 가능해진다.

도 13(A)는, 본 발명의 드레싱 공구의 제4 예를 모식적으로 도시하는 사시도이고, 도 13(B)는, 본 발명의 드레싱 공구의 제4 예를 모식적으로 도시하는 단면도이다. 단적으로는, 도 13(A) 및 도 13(B)에 도시하는 드레싱 공구(31)는, 지지 플레이트의 상면에 볼록부가 설치되어 있는 점에서 도 10(A) 및 도 10(B)에 도시하는 드레싱 공구(21)와 상이하다.

구체적으로는, 이 드레싱 공구(31)는, 예를 들어, 폴리염화비닐로 이루어진 지지 플레이트(33)를 구비한다. 이 지지 플레이트(33)는, 원판 형상의 본체부(33a)와, 본체부(33a)의 상면으로부터 돌출되고, 또한, 본체부(33a)보다 직경이 작은 원판 형상의 볼록부(33b)를 갖는다. 또한, 지지 플레이트(33)에 있어서는, 평면에서 보아, 각각의 외주가 동심원 형상이 되도록 본체부(33a) 및 볼록부(33b)가 설치되어 있다.

그리고, 볼록부(33b)의 상면에는, 연삭 지석(58)의 하면의 드레싱에 이용되는 제1 드레싱부(35)가 고정되어 있다. 이 제1 드레싱부(35)는 도 2(A) 및 도 2(B)에 도시하는 제2 드레싱부(7)와 동일한 재료로 이루어진다. 또한, 제1 드레싱부(35)는, 그 직경이 볼록부(33b)의 직경과 대략 동일한 원판 형상의 형상을 가진다.

또한, 본체부(33a)의 상면에는, 볼록부(33b)를 둘러싸도록, 연삭 지석(58)의 외측면의 드레싱에 이용되는 제2 드레싱부(37)가 고정된다. 이 제2 드레싱부(37)는 도 10(A) 및 도 10(B)에 도시하는 제2 드레싱부(27)와 동일한 형상을 가지며, 또한 동일한 재료로 이루어진다. 또한, 제2 드레싱부(27)의 내경은 볼록부(33b)의 직경, 즉, 제1 드레싱부(35)의 직경과 대략 동일하다. 또한, 제2 드레싱부(37)는 상면이 볼록부(33b)의 상면과 대략 동일한 높이가 되도록 설치되어 있다.

이 드레싱 공구(31)에 있어서는, 연삭 지석(58)의 외측면의 드레싱에 이용되는 제2 드레싱부(37)가, 그 하면(연삭면)의 드레싱에 이용되는 제1 드레싱부(35)와 비교하여, 상면이 낮고, 또한, 외주 단부가 외측에 위치되도록 설치되어 있다. 그 때문에, 이 드레싱 공구(31)를 이용하는 것에 의해, 연삭 지석(58)의 하면 및 외측면의 양쪽의 드레싱을 다른 시기에 실시하는 것이 가능해진다.

도 14(A)는, 본 발명의 드레싱 공구의 제5 예를 모식적으로 도시하는 사시도이고, 도 14(B)는, 본 발명의 드레싱 공구의 제5 예를 모식적으로 도시하는 단면도이다. 단적으로는, 도 14(A) 및 도 14(B)에 도시하는 드레싱 공구(41)는, 제2 드레싱부의 형상이 상이한 점에서 도 10(A) 및 도 10(B)에 도시하는 드레싱 공구(21)와 상이하다.

구체적으로는, 이 드레싱 공구(41)는, 도 10(A) 및 도 10(B)에 도시하는 지지 플레이트(23)와 동일한 형상을 가지고, 또한, 동일한 재료로 이루어지는 지지 플레이트(43)를 가진다. 이 지지 플레이트(43)의 상면에는, 연삭 지석(58)의 하면(연삭면)의 드레싱에 이용되는 제1 드레싱부(45)와, 그 외측면의 드레싱에 이용되는 제2 드레싱부(47)가 고정되어 있다.

제1 드레싱부(45)는, 도 10(A) 및 도 10(B)에 도시하는 제1 드레싱부(25)와 동일한 형상을 가지고, 또한, 동일한 재료로 이루어진다. 제2 드레싱부(47)는, 직방체를 원호를 따라서 만곡시킨 것과 같은 형상을 가지고, 그 내측면이 제1 드레싱부(25)의 측면에 접촉하도록 설치되어 있다.

즉, 드레싱 공구(41)에 있어서는, 제2 드레싱부(47)의 외주 단부가 제1 드레싱부(45)의 외주 단부보다 외측에 있다. 또한, 제2 드레싱부(47)는 도 2(A) 및 도 2(B)에 도시하는 제2 드레싱부(7)와 동일한 재료로 이루어진다.

이 드레싱 공구(41)에 있어서는, 연삭 지석(58)의 외측면의 드레싱에 이용되는 제2 드레싱부(47)가, 그 하면(연삭면)의 드레싱에 이용되는 제1 드레싱부(45)와 비교하여, 상면이 낮고, 또한, 외주 단부가 외측에 위치되도록 설치되어 있다. 그 때문에, 이 드레싱 공구(41)를 이용하는 것에 의해, 연삭 지석(58)의 하면 및 외측면의 양쪽의 드레싱을 다른 시기에 실시하는 것이 가능해진다.

도 15(A)는, 본 발명의 드레싱 공구의 제6 예를 모식적으로 도시하는 사시도이고, 도 15(B)는, 본 발명의 드레싱 공구의 제6 예를 모식적으로 도시하는 단면도이다. 단적으로는, 도 15(A) 및 도 15(B)에 도시하는 드레싱 공구(51)는, 제1 드레싱부와 제2 드레싱부가 이격되어 있는 점에서 도 10(A) 및 도 10(B)에 도시하는 드레싱 공구(21)와 상이하다.

구체적으로는, 이 드레싱 공구(51)는, 도 10(A) 및 도 10(B)에 도시하는 지지 플레이트(23)와 동일한 형상을 가지고, 또한, 동일한 재료로 이루어지는 지지 플레이트(53)를 가진다. 이 지지 플레이트(53)의 상면에는, 연삭 지석(58)의 하면(연삭면)의 드레싱에 이용되는 제1 드레싱부(55)와, 그 외측면의 드레싱에 이용되는 제2 드레싱부(57)가 고정되어 있다.

제1 드레싱부(55)는 도 10(A) 및 도 10(B)에 도시하는 제1 드레싱부(25)와 동일한 형상을 가지며, 또한, 동일한 재료로 이루어진다. 제2 드레싱부(57)는, 그 외경이 지지 플레이트(53)의 직경보다 짧고, 또한, 그 내경이 제1 드레싱부(55)보다 긴 원통 형상의 형상을 가지고, 제1 드레싱부(55)를 둘러싸도록 설치되어 있다. 즉, 드레싱 공구(51)에 있어서는, 제2 드레싱부(57)의 외주 단부가 제1 드레싱부(55)의 외주 단부보다 외측에 있다.

또한, 제1 드레싱부(55)의 상면은, 제2 드레싱부(57)의 상면보다 높은 위치에 있다. 또한, 제1 드레싱부(55) 및 제2 드레싱부(57)는, 제1 드레싱부(55)의 외주 및 제2 드레싱부(57)의 내주 및 외주의 각각이, 평면에서 보았을 때, 지지 플레이트(53)의 외주와 동심원 형상이 되도록 설치되어 있다. 또한, 제2 드레싱부(57)는 도 2(A) 및 도 2(B)에 도시하는 제2 드레싱부(7)와 동일한 재료로 이루어진다.

이 드레싱 공구(51)에 있어서는, 연삭 지석(58)의 외측면의 드레싱에 이용되는 제2 드레싱부(57)가, 그 하면(연삭면)의 드레싱에 이용되는 제1 드레싱부(55)와 비교하여, 상면이 낮고, 또한, 외주 단부가 외측에 위치되도록 설치되어 있다. 그 때문에, 이 드레싱 공구(51)를 이용하는 것에 의해, 연삭 지석(58)의 하면 및 외측면의 양쪽의 드레싱을 다른 시기에 실시하는 것이 가능해진다.

그 밖에, 상술한 실시 형태에 관련된 구조 및 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에 있어서 적절히 변경하여 실시할 수 있다.

1: 드레싱 공구
2: 연삭 장치
3: 지지 플레이트
4: 베이스
5: 제1 드레싱부
6: 가이드 레일
7: 제2 드레싱부
8: 이동 플레이트
10: 나사 축
11: 드레싱 공구
12: 펄스 모터
13: 지지 플레이트(13a: 본체부, 13b: 볼록부)
14: 너트
15: 제1 드레싱부
16: 척 테이블
17: 제2 드레싱부
18: 프레임
20: 포러스판
21: 드레싱 공구
22: 회전 구동원
23: 지지 플레이트
24: 베어링
25: 제1 드레싱부
26: 지지판
27: 제2 드레싱부
28a: 고정 지지 기구
28b: 제1 가동 지지 기구
28c: 제2 가동 지지 기구
30: 벽부
31: 드레싱 공구
32: 가이드 레일
33: 지지 플레이트(33a: 본체부 33b: 볼록부)
34: 이동 플레이트
35: 제1 드레싱부
36: 나사 축
37: 제2 드레싱부
38: 펄스 모터
40: 너트
41: 드레싱 공구
42: 고정부
43: 지지 플레이트
44: 연삭 유닛
45: 제1 드레싱부
46: 스핀들 하우징
47: 제2 드레싱부
48: 스핀들
50: 마운트
51: 드레싱 공구
52: 연삭 휠
53: 지지 플레이트
54: 휠 베이스
55: 제1 드레싱부
56: 나사 구멍
57: 제2 드레싱부
58: 연삭 지석

Claims (6)

1. 연삭 휠에 포함되는 연삭 지석의 드레싱에 이용되는 드레싱 공구로서,
   상기 연삭 지석의 하면의 드레싱에 이용되는 제1 드레싱부와,
   상기 연삭 지석의 외측면의 드레싱에 이용되는 제2 드레싱부와,
   상기 제1 드레싱부와 상기 제2 드레싱부가 상면에 고정된 지지 플레이트를 구비하고,
   상기 제1 드레싱부 및 상기 제2 드레싱부 중 한 쪽은, 상기 제1 드레싱부 및 상기 제2 드레싱부 중 다른 쪽과 비교하여, 상면이 낮고, 또한, 외주 단부가 외측에 위치되도록 설치되어 있는, 드레싱 공구.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제2 드레싱부의 상면은, 상기 제1 드레싱부의 상면보다 높은 위치에 있고,
   상기 제1 드레싱부의 외주 단부는, 상기 제2 드레싱부의 외주 단부보다 외측에 있는 것인, 드레싱 공구.
3. 제2항에 있어서,
   상기 지지 플레이트는, 원판 형상의 본체부와, 그 본체부의 상면으로부터 돌출되고, 또한, 상기 본체부보다 직경이 작은 원판 형상의 볼록부를 포함하고,
   상기 제2 드레싱부는, 상기 볼록부의 상면에 고정되고,
   상기 제1 드레싱부는, 상기 본체부의 상기 상면에 고정되어 있는 것인, 드레싱 공구.
4. 제1항에 있어서,
   상기 제1 드레싱부의 상면은, 상기 제2 드레싱부의 상면보다 높은 위치에 있고,
   상기 제2 드레싱부의 외주 단부는, 상기 제1 드레싱부의 외주 단부보다 외측에 있는 것인, 드레싱 공구.
5. 제4항에 있어서,
   상기 지지 플레이트는, 원판 형상의 본체부와, 그 본체부의 상면으로부터 돌출되고, 또한, 상기 본체부보다 직경이 작은 원판 형상의 볼록부를 포함하고,
   상기 제1 드레싱부는, 상기 볼록부의 상면에 고정되고,
   상기 제2 드레싱부는, 상기 본체부의 상기 상면에 고정되어 있는 것인, 드레싱 공구.
6. 연삭 지석의 하면의 드레싱에 이용되는 제1 드레싱부와, 상기 연삭 지석의 외측면의 드레싱에 이용되는 제2 드레싱부와, 상기 제1 드레싱부와 상기 제2 드레싱부가 상면에 고정된 지지 플레이트를 구비하고, 상기 제1 드레싱부 및 상기 제2 드레싱부 중 한 쪽은, 상기 제1 드레싱부 및 상기 제2 드레싱부 중 다른 쪽과 비교하여, 상면이 낮고, 또한, 외주 단부가 외측에 위치되도록 설치되어 있는 드레싱 공구를 이용하여 상기 연삭 휠에 포함되는 상기 연삭 지석을 드레싱하는 드레싱 방법으로서,
   유지면의 중심을 통과하는 직선을 회전축으로 하여 회전 가능한 척 테이블의 상기 유지면에 있어서 상기 드레싱 공구를 유지하는 유지 단계와,
   제1 방향을 따라 연장되는 스핀들의 선단부에 상기 연삭 휠을 장착하는 장착 단계와,
   상기 유지 단계 및 상기 장착 단계 후에, 회전하는 상기 연삭 지석의 궤적과 상기 제1 드레싱부가 상기 제1 방향에 있어서 중첩된 상태로, 상기 스핀들과 상기 척 테이블을 회전시키면서, 상기 연삭 지석의 상기 하면과 상기 제1 드레싱부의 상기 상면을 접촉시키도록 상기 연삭 휠과 상기 척 테이블을 상기 제1 방향을 따라 접근시키는 것에 의해, 상기 연삭 지석의 상기 하면을 드레싱하는 하면 드레싱 단계와,
   상기 유지 단계 및 상기 장착 단계 후에, 상기 연삭 지석과 상기 제2 드레싱부가 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향에 있어서 중첩된 상태로, 적어도 상기 연삭 휠을 회전시키면서, 상기 연삭 지석의 상기 외측면과 상기 제2 드레싱부의 측면을 접촉시키도록 상기 연삭 휠과 상기 척 테이블을 상기 제2 방향을 따라 접근시키는 것에 의해, 상기 연삭 지석의 상기 외측면을 드레싱하는 외측면 드레싱 단계
   를 구비하는 드레싱 방법.
   

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